JPWO2016063786A1 - 光導波路と光ファイバとの接続方法、半導体光デバイス、および光ファイバが接続された半導体光デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、高粘着性樹脂3の屈折率と放射角との関係を調べた結果、高粘着性樹脂3の屈折率が高い程、放射角が小さくなることが分かった。
また、高粘着性樹脂3の塗布面積を下記数式(3)で求めた。
数式(2)を数式(3)で除すると、およそ62N/cm2という圧力の解が得られる。但し、以上の各値のうち、高粘着性樹脂3の量は半導体光デバイス100個々で異なり得るため、30〜300N/cm2の圧力になると考えられる。このことを考慮すると、高粘着性樹脂3の粘度を、30Pa・S以上とするのが好ましい。また、高粘着性樹脂3の粘度が極端に高いのも好ましくないので、高粘着性樹脂3の粘度を、1000Pa・S以下とするのが好ましい。
本実施の形態に係る接続方法は、半導体光デバイスに形成された光導波路に光ファイバを接続する接続方法において、仮固定部材を介して、上記光導波路の端面に上記光ファイバの端面を仮固定する仮固定工程と、上記仮固定工程の後、上記光導波路の端面に上記仮固定部材越しに上記光ファイバの端面を突き当てつつ、該光ファイバの端面から離れた位置で該光ファイバを上記半導体光デバイスに固定する工程とを含んでいることを特徴としている。
2 モードフィールド変換器
3 高粘着性樹脂(仮固定部材、固定部材)
4 基板部
4a シリカ層
4b シリコン基板
5 溝
6 細線光導波路
7 紫外線硬化性樹脂
8 コア部(光導波路)
11 エアクラッド部(空間)
12 ブリッジ
100 半導体光デバイス
Claims (12)
- 半導体光デバイスに形成された光導波路に光ファイバを接続する接続方法において、
仮固定部材を介して、上記光導波路の端面に上記光ファイバの端面を仮固定する仮固定工程と、
上記仮固定工程の後、上記光導波路の端面に上記仮固定部材越しに上記光ファイバの端面を突き当てつつ、該光ファイバの端面から離れた位置で該光ファイバを上記半導体光デバイスに固定する工程とを含んでいることを特徴とする接続方法。 - 上記仮固定部材が粘着性を有することを特徴とする請求項1に記載の接続方法。
- 上記光導波路を囲む空間を設けることを特徴とする請求項1または2に記載の接続方法。
- 上記仮固定部材の粘度を、30Pa・S以上、かつ、1000Pa・S以下とすることを特徴とする請求項2に記載の接続方法。
- 上記仮固定部材と上記光ファイバの端面との境界で反射する光の量、および、上記仮固定部材と上記光導波路の端面との境界で反射する光の量が、いずれも−27dB未満となるように、上記仮固定部材の比屈折率を設定することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の接続方法。
- 上記仮固定部材の比屈折率を、上記光導波路の比屈折率の80%以上かつ120%以下とすることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の接続方法。
- 上記光ファイバの少なくとも一部を、上記半導体光デバイスの基板部に形成された溝に挿入し、
上記仮固定部材を、上記溝を構成する上記基板部の部分にまで延伸させて設けることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の接続方法。 - 上記光ファイバを通る光のモードフィールド径を7μm以上かつ13μm以下とし、
上記光導波路を通る光のモードフィールド径を400nm以上かつ5μm以下とすることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の接続方法。 - 上記仮固定部材が弾性を有していることを特徴とする請求項1に記載の接続方法。
- 光導波路が形成されている半導体光デバイスにおいて、
上記光導波路の端面に、固定部材を介して、光ファイバの端面が接続されていることを特徴とする半導体光デバイス。 - 上記光導波路は、空間によって囲まれており、かつ、上記光導波路の端面が上記半導体光デバイスの基板部に固定されていない片持ち梁構造となっていることを特徴とする請求項10に記載の半導体光デバイス。
- 光ファイバが接続された半導体光デバイスの製造方法において、
固定部材を介して、上記半導体光デバイスが有する光導波路の端面に上記光ファイバの端面を固定する固定工程と、
上記固定工程の後、上記光導波路の端面に上記固定部材越しに上記光ファイバの端面を突き当てつつ、該光ファイバの端面から離れた位置で該光ファイバを上記半導体光デバイスに固定する工程とを含んでいることを特徴とする製造方法。
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