JPWO2016038730A1 - 対基板作業装置及び対基板作業システム - Google Patents
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Abstract
Description
基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
前記対基板作業システム中の他の対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、
前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、
情報を作業者に報知可能な報知手段と、
前記他の対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、
を備えたものである。
基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、
自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、
を備えたものである。
自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置との通信状態に基づいて前記対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
を備えたものである。
自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、を備えた対基板作業装置と、
前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置からの前記トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
を備えたものである。
自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
前記対基板作業装置との通信状態に基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に前記他の対基板作業装置に前記トリガー信号を送信する検出手段を有する管理装置と、
を備えたものである。
Claims (11)
- 基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
前記対基板作業システム中の他の対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、
前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、
情報を作業者に報知可能な報知手段と、
前記他の対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、
を備えた対基板作業装置。 - 前記報知制御手段は、前記他の対基板作業装置との通信状態に基づいて該他の対基板作業装置の電源オフを検出する、
請求項1に記載の対基板作業装置。 - 前記報知制御手段は、トリガー信号を受信したか否かに基づいて前記他の対基板作業装置の電源オフを検出する、
請求項1に記載の対基板作業装置。 - 基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、
自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、
を備えた対基板作業装置。 - 請求項4に記載の対基板作業装置であって、
前記基板を搬送方向に搬送する搬送手段と、
前記搬送方向に垂直な方向に引き出し可能なモジュールと、
を備えた対基板作業装置。 - 自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置との通信状態に基づいて前記対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
を備えた対基板作業システム。 - 自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、を備えた対基板作業装置と、
前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置からの前記トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
を備えた対基板作業システム。 - 自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
前記対基板作業装置との通信状態に基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に前記他の対基板作業装置に前記トリガー信号を送信する検出手段を有する管理装置と、
を備えた対基板作業システム。 - 前記対基板作業装置と前記他の対基板作業装置とが隣接配置されている、
請求項6〜8のいずれか1項に記載の対基板作業システム。 - 前記対基板作業装置は、前記他の対基板作業装置との並び方向と直交する方向に引き出し可能なモジュールを有する、
請求項6〜9のいずれか1項に記載の対基板作業システム。 - 請求項6〜10のいずれか1項に記載の対基板作業システムであって、
前記対基板作業装置から前記エラー関連情報を受信して前記他の対基板作業装置に該エラー関連情報を送信するエラー情報送受信手段を有する管理装置、
を備えた対基板作業システム。
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