CN107889447B - 检查装置及部件安装系统以及部件安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查装置及部件安装系统以及部件安装方法。对通过部件安装装置(M2、M3)(安装用装置)安装有部件的基板进行检查的检查装置(M4)具备：检测部(检查处理部32、检查用摄像机33)，检测安装于基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息(31c)；判定部(30a)，判定检测到的位置偏离量是否在给定的第1范围内；发送部(30b)，将检测到的位置偏离量发送至安装用装置；和判断部(30c)，判断是否将检测到的位置偏离量发送至安装用装置。而且，当判定为位置偏离量在第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，判断部(30c)使得搁置位置偏离量向安装用装置的发送。

Description

检查装置及部件安装系统以及部件安装方法

技术领域

本发明涉及对安装有部件的基板进行检查的检查装置、及具备检查装置的部件安装系统、以及在部件安装系统中向基板安装部件的部件安装方法。

背景技术

向基板安装部件来制造安装基板的部件安装系统是连结向基板印刷部件接合用焊料的焊料印刷装置、向焊料印刷后的基板安装部件的部件安装装置等的多个安装用装置而构成的。部件安装装置进行部件安装后的基板成为检查装置的检查对象，通过光学检查等被进行部件的安装状态的检查。在这种构成的部件安装系统中，以往已知基于检查部件安装后的基板而获得的部件的位置偏离信息等来创建用于对部件安装装置的安装程序进行修正的修正信息并进行反馈的系统(例如，参照专利文献1)。在专利文献1的反馈系统中，按照每个部件来蓄积对应的位置偏离信息，统计性地处理已蓄积的位置偏离信息来创建修正信息。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014—216353号公报

发明内容

本公开的检查装置对通过安装用装置安装有部件的基板进行检查，该检查装置具备：检测部，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息；判定部，判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内；发送部，将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置；和判断部，判断是否将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置，当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部使得搁置所述位置偏离量向所述安装用装置的发送。

本公开的另一检查装置对通过安装用装置安装有部件的基板进行检查，该检查装置具备：检测部，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息；判定部，判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内；发送部，将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置；和判断部，判断是否将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置，当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部使得不向所述安装用装置发送所述位置偏离量。

本公开的部件安装系统具备：安装用装置，具有向基板安装部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，该部件安装系统还具备：判定部，判定由所述检查装置所具备的检测部检测到的检查信息中包含的安装于所述基板的所述部件的位置偏离量是否在给定的第1范围内；修正量计算部，基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件；和判断部，判断是否使所述安装用装置基于计算出的所述修正量来进行所述安装位置的修正，当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部搁置使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正。

本公开的另一部件安装系统具备：安装用装置，具有向基板安装部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，该部件安装系统还具备：判定部，判定由所述检查装置所具备的检测部检测到的检查信息中包含的安装于所述基板的所述部件的位置偏离量是否在给定的第1范围内；修正量计算部，基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件；和判断部，判断是否使所述安装用装置基于计算出的所述修正量来进行所述安装位置的修正，当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部不使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正。

本公开的部件安装方法是部件安装系统中向基板安装部件的部件安装方法，所述部件安装系统具备：安装用装置，具有向所述基板安装所述部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，其中，在所述检查装置中，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息，基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件，判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内，当判定为检测到的所述位置偏离量在所述第1范围内的情况下，进一步判断是否满足给定的条件，在判断为满足所述给定的条件的情况下，搁置使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正。

本公开的另一部件安装方法在部件安装系统中向基板安装部件，该部件安装系统具备：安装用装置，具有向所述基板安装所述部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，其中，在所述检查装置中，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息，基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件，判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内，当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内的情况下，进一步判断是否满足给定的条件，在判断为满足所述给定的条件的情况下，不使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正。

根据本公开，能够反馈用于使得部件的安装精度提高的部件的位置偏离信息。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的部件安装系统的构成说明图。

图2是表示本发明的一实施方式的部件安装系统中利用的部件安装装置的构成的俯视图。

图3是本发明的一实施方式的部件安装系统中利用的部件安装装置的部分剖视图。

图4是本发明的一实施方式的部件安装系统中利用的部件安装装置的安装头以及部件供给部的构成说明图。

图5是表示本发明的一实施方式的部件安装系统的控制系统的构成的框图。

图6(a)、(b)是本发明的一实施方式的检查装置中的已被安装的部件的检查的说明图。

图7是在本发明的一实施方式的检查装置中检测的位置偏离量的图，图7(a)是表示检测结果的一例的说明图，图7(b)是表示被统计处理后的结果的说明图。

图8是本发明的一实施方式的检查装置中的检查结果发送方法的流程图。

图9是本发明的一实施方式的部件安装系统中的部件安装方法的流程图。

图10是本发明的一实施方式的部件安装系统中的修正量决定方法的流程图。

符号说明

1 部件安装系统

6 基板

9 Y轴梁部(移动机构)

10 X轴梁部(移动机构)

11b 安装嘴

P 部件

Sx*、Sy* 检测部件尺寸

ΔX、ΔY、Δθ 位置偏离量

具体实施方式

在说明本发明的实施方式之前，先简单地说明以往中的问题点。在包括专利文献1在内的以往的在先技术之中，存在如下问题点，即，由于将获得到的全部修正信息反馈至部件安装装置，因此在产生了由异物混入等所引起的部件的坐标偏离等的突发性位置偏离的情况等下，根据基于该位置偏离信息的修正信息反倒有可能使得安装精度下降。

因此，本公开的目的在于，提供一种能够反馈用于使得部件的安装精度提高的部件的位置偏离信息的检查装置及部件安装系统以及部件安装方法。

以下，利用附图来详细地说明本发明的一实施方式。以下叙述的构成、形状等只是用于说明的例示，能够根据部件安装系统、部件安装装置、检查装置的规格来适当变更。以下，在所有附图中对于对应的要素赋予相同的符号，并省略重复的说明。在图2以及后述的一部分中，作为在水平面内相互正交的2轴方向，示出：基板搬送方向的X方向(图2中的左右方向)、和与基板搬送方向正交的Y方向(图2中的上下方向)。在图3以及后述的一部分中，作为与水平面正交的高度方向而示出Z方向(图3中的上下方向)。Z方向是部件安装装置设置于水平面上的情况下的上下方向。

首先，参照图1来说明部件安装系统1的构成。部件安装系统1具有向基板安装部件来制造安装基板的功能，并具备焊料印刷装置M1、部件安装装置M2、M3以及检查装置M4。这些装置经由通信网络2而与管理计算机3连接。

焊料印刷装置M1向安装对象的基板丝网印刷部件接合用的膏状焊料。部件安装装置M2、M3通过部件安装部12(参照图2)来执行如下的部件安装作业，即，将从部件供给部取出的部件移送搭载至印刷有部件接合用的膏状的基板。检查装置M4对由部件安装装置M2、M3(安装用装置)安装有部件的安装后的基板中的部件的安装状态进行检查来检测从准确的安装位置的位置偏离状态等。管理计算机3不仅具有线管理功能，还具有基于由检查装置M4获取到的包含部件的位置偏离量在内的检查信息来计算反馈至部件安装装置M2、M3的部件安装作业中的修正量的功能。

接下来，参照图2、图3来说明部件安装装置M2、M3的构成。另外，图3示意性地表示图2中的A-A剖面。在图2中，在基台4的上表面的中央，配设有沿着X方向延伸的基板搬送机构5。基板搬送机构5搬送从上游侧装置交接的基板6，并将基板6定位保持至以下说明的部件安装部12的安装作业位置。

在基板搬送机构5的两侧配置有部件供给部7。在部件供给部7沿着X方向并排设置有多个带式供给器8。带式供给器8对保持有安装对象的部件的载带进行间距传送，由此向部件安装部12的安装头吸附部件的部件吸附位置供给部件。在基台4的上表面，在X方向的一侧的端部，配设有沿着Y方向延伸的具备线性驱动机构的Y轴梁部9。在Y轴梁部9，在Y方向上移动自如地结合有具备线性驱动机构的2台X轴梁部10。在2台X轴梁部10，在X方向上移动自如地分别装配有安装头11。

在图3中，在安装头11配备有多个保持头11a。在各个保持头11a的下端部，装配有能够吸附保持部件并单独升降的安装嘴11b。

在图2中，通过驱动Y轴梁部9和X轴梁部10，从而安装头11在X方向、Y方向上移动。即，Y轴梁部9、X轴梁部10构成了使安装头11在水平方向上移动的移动机构。由此，2个安装头11通过安装嘴11b从分别对应的部件供给部7的带式供给器8的部件吸附位置吸附保持并取出部件，然后将该部件移送搭载至基板搬送机构5中定位的基板6的安装位置。Y轴梁部9、X轴梁部10以及安装头11构成了向基板6安装部件的部件安装部12。

在部件供给部7与基板搬送机构5之间配设有部件辨识摄像机13。从部件供给部7取出了部件的安装头11在部件辨识摄像机13的上方移动时，部件辨识摄像机13对被保持于安装头11的状态的部件进行摄像来辨识。在装有安装头11的板10a装配有基板辨识摄像机14，该基板辨识摄像机14位于X轴梁部10的下面侧且分别与安装头11一体地移动。通过安装头11的移动，从而基板辨识摄像机14移动至基板搬送机构5中定位的基板6的上方，对基板6进行摄像来辨识。

在安装头11向基板6安装部件的部件安装作业中，考虑部件辨识摄像机13对部件的辨识结果、基板辨识摄像机14的基板辨识结果、和由部件安装装置M2、M3或管理计算机3计算的修正量来进行安装位置的修正。如此，部件安装装置M2、M3成为具有向基板6安装部件的安装嘴11b和使安装嘴11b在水平方向上移动的移动机构(Y轴梁部9、X轴梁部10)，并且基于修正量来修正安装位置从而向基板6安装部件的安装用装置。

如图3所示，在部件供给部7放置了在供给器基底15a预先装配有多个带式供给器8的状态的台车15。在供给器基底15a设定了用于对装配有各个带式供给器8的供给器位置进行确定的供给器地址。放置于供给器基底15a的各个带式供给器8经由这些供给器地址来确定。在装配于部件供给部7的台车15，保持了将容纳有部件的载带17以卷绕状态进行容纳的供给卷筒16。从供给卷筒16抽出的载带17被带式供给器8间距传送至安装嘴11b的部件吸附位置。

接下来，参照图4来说明安装头11的构成。安装头11具备多个保持头11a，各保持头11a具备驱动机构。通过对驱动机构进行驱动，从而能够使装配于各保持头11a的下端部的安装嘴11b升降(箭头b)，并且使安装嘴11b绕着嘴轴AN旋转(箭头c)。

接下来，参照图5来说明具备部件安装装置M2、M3以及检查装置M4的部件安装系统1的控制系统的构成。在图5中，管理计算机3、部件安装装置M2、M3以及检查装置M4经由通信网络2而连接。部件安装装置M2、M3具备安装控制部20、安装存储部21、部件安装部12、显示部22、输入部23以及辨识处理部24。在安装存储部21中除了存储有用于执行前述的部件安装作业的安装程序、安装数据之外，还存储有位置偏离量数据21a、修正量21b。在位置偏离量数据21a中包含从后述的检查装置M4发送出的安装于基板6的部件的位置偏离量。

安装控制部20是CPU等运算装置，基于安装存储部21中存储的程序、数据来控制以下的各部分，此外，作为内部处理功能而具备修正量计算部20a。修正量计算部20a基于所存储的位置偏离量数据21a中包含的位置偏离量来执行如下的修正量计算处理，即，计算用于使部件安装装置M2、M3(安装用装置)修正安装位置并向基板6安装部件的修正量21b。计算出的修正量21b存储至安装存储部21。

输入部23是键盘、触摸面板、鼠标等输入装置，在操作指令、数据输入等时利用。显示部22是液晶面板等显示装置，除了显示由输入部23进行操作用的操作画面等各种画面之外，还显示位置偏离量数据21a、修正量21b等各种信息。

辨识处理部24通过对基板辨识摄像机14的摄像结果进行辨识处理，由此来检测基板6的位置。此外，辨识处理部24通过对部件辨识摄像机13的摄像结果进行辨识处理，由此来检测被保持于安装头11的状态下的部件的位置。安装控制部20基于安装程序来控制部件安装部12，考虑辨识处理部24对基板6与部件的位置检测结果、和所存储的修正量21b来修正安装位置从而执行部件安装作业。

在图5中，检查装置M4具备检查控制部30、检查存储部31、检查处理部32、显示部34以及输入部35。检查控制部30是CPU等运算装置，作为内部处理功能而具备判定部30a、发送部30b、判断部30c以及偏差计算部30d。检查存储部31是存储装置，存储安装数据31a、阈值信息31b、检查信息31c、统计信息31d等。安装数据31a是在向基板6安装部件时参照的数据，包含基板6中的部件的安装位置的坐标、被安装的部件的种类、部件的大小等信息。

检查处理部32基于检查用摄像机33的摄像结果来执行对安装于后述的基板6的部件的包含位置偏离量、部件的大小在内的检查信息31c进行检测的检查处理。即，检查处理部32和检查用摄像机33成为对安装于基板6的部件的包含位置偏离量、部件的大小在内的检查信息31c进行检测的检测部。检测结果按照每个部件P而与进行安装的部件安装装置M2、M3、安装头11、保持头11a、安装嘴11b、带式供给器8(供给器地址)等建立关联，作为检查信息31c存储至检查存储部31。即，检查存储部31成为对由检测部(检查处理部32、检查用摄像机33)检测到的位置偏离量进行存储的检查结果存储部。

在此，参照图6(a)、图6(b)来说明检查信息31c中包含的、由检测部检测到的安装于基板6的部件的位置偏离量、部件的大小的一例。首先，参照图6(a)来说明部件的位置偏离量。在部件安装作业中，将由安装头11的安装嘴11b从部件供给部7的带式供给器8取出的部件P，以在基板6设定的安装位置M为目标位置来进行移送搭载。此时，部件P的部件中心C不限于必须与安装位置M准确地一致，处于在X方向上位置偏离了位置偏离量ΔX、在Y方向上位置偏离了位置偏离量ΔY、在θ方向(XY面内的旋转方向)上位置偏离了位置偏离量Δθ的状态。

该位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ通过检查处理部32对由检查用摄像机33摄像安装于基板6的部件P得到的结果进行辨识处理来获取(检测)。位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是部件P的位置偏离信息，关于安装于一个基板6的多个部件P，获取位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ，并作为检查信息31c来存储。

接下来，参照图6(b)来说明部件的大小。安装于基板6的部件P的X方向的部件的大小Sx、Y方向的部件的大小Sy通过检查处理部32对检查用摄像机33的摄像结果进行辨识处理来获取(检测)。在部件P被正常安装的情况下，被检测的部件的大小Sx、Sy(以下称作“检测部件尺寸Sx*、Sy*”)与安装数据31a中包含的部件的大小Sx、Sy一致。

另一方面，在以触碰处于安装位置M的附近的异物W等使得部件P倾斜的状态搭载于基板6的情况下，检测部件尺寸Sx*、Sy*变得小于部件的大小Sx、Sy。在图6(b)的例子中，以由于部件P下的异物W而部件P的右端向上方(Z方向)翘起的状态搭载于基板6。因而，检测出X方向的检测部件尺寸Sx*比部件的大小Sx小差分ΔSx。通过将如此检测到的检测部件尺寸Sx*、Sy*和安装数据31a中包含的部件的大小Sx、Sy进行比较，从而能够检测部件P倾斜地搭载于基板6的异常状态。

在图5中，在阈值信息31b中包含上方发送阈值、下方发送阈值、上方警告阈值、下方警告阈值、部件的大小的警告范围Rs等。上方发送阈值是在检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ超过该阈值时不向部件安装装置M2、M3发送位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的阈值。下方发送阈值是在检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ低于该阈值时不向部件安装装置M2、M3发送位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的阈值。上方发送阈值与下方发送阈值之间成为发送判定范围Rt(第1范围)。即，发送判定范围Rt外的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不被发送(反馈)至部件安装装置M2、M3(安装用装置)。

比上方发送阈值小的上方警告阈值是在检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ超过该阈值时使得位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ向部件安装装置M2、M3的发送搁置(以下称作“发送搁置”)的阈值。比下方发送阈值大的下方警告阈值是在检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ超过该阈值时使得位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的发送搁置的阈值。上方警告阈值与下方警告阈值之间成为比发送判定范围Rt小的发送警告范围Rw(第2范围)。部件P的大小的警告范围Rs是当检测到的检测部件尺寸Sx*、Sy*在该范围外的情况下使得位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的发送搁置的阈值。

在图5中，判定部30a执行如下的判定处理，即，判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在发送判定范围Rt(第1范围)内。此外，判定部30a判定为位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt外的情况下，向显示部34通知该情况。另外，判定部30a可以向部件安装装置M2、M3的显示部22、或者后述的管理计算机3的显示部42通知该情况。

发送部30b执行如下的发送处理，即，将检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3(安装用装置)。此外，发送部30b将检测到的包含位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ、检测部件尺寸Sx*、Sy*在内的检查信息31c发送至管理计算机3。判断部30c执行如下的判断处理，即，判断是否将检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3(安装用装置)。

此外，由判定部30a判定为位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt(第1范围)内、且判断部30c判断为满足如下叙述的给定的条件的情况下，发送部30b搁置(发送搁置)位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ向部件安装装置M2、M3(安装用装置)的发送。由此，即便是位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ比发送判定范围Rt小的情况，也不会在安装位置M的修正中直接使用有可能使得部件P的安装精度下降的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ，作业者能够判断状况来判断是否在修正中使用。

或者，判定为位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt(第1范围)内、且判断部30c判断为满足给定的条件的情况下，也可以不向部件安装装置M2、M3(安装用装置)发送位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ。由此，有可能使得部件P的安装精度下降的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不被使用在安装位置M的修正中，能够使得部件P的安装精度提高。

上述的给定的条件之一是：检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ比发送警告范围Rw(第2范围)大。由此，在位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ突发性地变大而超过了发送警告范围Rw的情况下，作业者能够确认状况来适当判断。此外，给定的条件之一是：检测部件尺寸Sx*、Sy*(检测到的部件的大小)在部件的大小的警告范围Rs(给定的大小的范围)外。由此，在有可能部件P倾斜地安装于基板6的情况下，作业者能够确认状况来适当判断。此外，在安装了与指定不同的部件P的情况下也能够进行检测。

此外，给定的条件之一是：将位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3(安装用装置)之后检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向(正、负)较之于发送前的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向没有变化。由此，在部件安装装置M2、M3中发生了安装位置M持续向一方偏移的不良状况、检测部的故障等的情况下，作业者能够确认状况来适当判断。

如此，上述的给定的条件是下述条件中的任意条件：检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ大于比发送判定范围Rt(第1范围)小的给定的发送警告范围Rw(第2范围)；检查信息31c中包含的检测部件尺寸Sx*、Sy*(检测到的部件的大小)在部件的大小的警告范围Rs(给定的大小的范围)外；以及将位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3(安装用装置)之后检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向较之于发送前的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向没有变化。即，给定的条件是若将检查信息31c反馈至部件安装装置M2、M3来修正安装位置M则反倒有可能使得部件P的安装精度下降的条件。

在此，参照图7(a)来说明位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的检测结果例。在图7(a)中，按照安装有部件P的每个基板6，以时间序列(X轴)表示了安装于基板6的部件P的X方向的位置偏离量ΔX(Y轴)。安装有部件P的基板6从旧到新依次显示为基板6(1)、基板6(2)、…。

在图7(a)中，基板6(2)的位置偏离量ΔX超过上方警告阈值，基板6(4)的位置偏离量ΔX低于下方警告阈值，分别在发送警告范围Rw外，因此由判断部30c判断为发送搁置。基板6(8)至基板6(12)的位置偏离量ΔX虽然在发送警告范围Rw内但连续5次为负。即，尽管对位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ进行反馈而修正了安装位置M，但较之于发送前的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向没有变化，因此由判断部30c判断为发送搁置。另外，发送搁置的判断并不限定于连续5次为负或者连续5次为正，也可以适当设定为连续3次、4次、或6次以上等。

在图7(a)中，基板6(5)的位置偏离量ΔX超过上方发送阈值，基板6(7)的位置偏离量ΔX低于下方发送阈值，分别在发送判定范围Rt外。因而，分别由判定部30a判定为在发送判定范围Rt外，并向显示部34通知该情况，发送部30b不向部件安装装置M2、M3发送位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ。

在图5中，偏差计算部30d执行如下的偏差计算处理，即，对在检查存储部31中作为检查信息31c而存储的给定的期间的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ进行统计处理来计算位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的偏差范围Rv。统计处理例如是将根据给定期间的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ计算出的标准偏差σ的±3σ的范围作为偏差范围Rv的处理。在图7(b)中示出安装于基板6的部件P的X方向的位置偏离量ΔX(X轴)的频度(Y轴)、和根据该分布计算出的偏差范围Rv(±3σ的范围)。另外，作为偏差范围Rv，也可以利用高位25％至75％的范围的四分位范围等其他统计量。

判断部30c将位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在偏差范围Rv外作为给定的条件之一，使得位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的发送搁置。由此，基于最近的检测实际成绩(给定期间的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ)来统计性地进行判断，在位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ大的情况下，作业者能够确认状况来适当判断。即，给定的条件是检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在计算出的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的偏差范围Rv外。

输入部35是键盘、触摸面板、鼠标等输入装置，在操作指令、数据输入等时利用。显示部34是液晶面板等显示装置，除了显示由输入部35进行操作用的操作画面等的各种画面之外，还显示检查信息31c、统计信息31d中包含的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ等各种信息。即，检查装置M4具备：显示部34，显示检查信息31c；和输入部35，输入是否将检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3(安装用装置)。

在判断部30c判断为发送搁置的情况下，显示部34对发送被搁置的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ进行显示，输入部35等待指示的输入。而且，作业者基于显示部34中显示的信息，来判断是否基于该位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ来修正安装位置M，并指示是否将发送被搁置的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3。即，在判断部30c判断为搁置(发送搁置)检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ向部件安装装置M2、M3(安装用装置)的发送的情况下，显示部34显示发送被搁置的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ，输入部35等待是否将发送被搁置的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3的输入。

如此，检查装置M4具备：检测部(检查处理部32、检查用摄像机33)，对安装于基板6的部件P的包含位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在内的检查信息31c进行检测；判定部30a，判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在给定的发送判定范围Rt(第1范围)内；发送部30b，将检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3(安装用装置)；和判断部30c，判断是否将检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ发送至部件安装装置M2、M3，并且对由部件安装装置M2、M3安装了部件P的基板6进行检查。

而且，判断部30c当判定为位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt内、且判断为满足给定的条件的情况下，使得位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ向部件安装装置M2、M3的发送搁置。由此，检查装置M4能够仅将能使得部件P的安装精度提高的部件P的位置偏离信息(位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ、检测部件尺寸Sx*、Sy*)反馈至部件安装装置M2、M3。

在图5中，管理计算机3具备管理控制部40、管理存储部41、显示部42以及输入部43。管理控制部40是CPU等运算装置，作为内部处理功能而具备修正量计算部40a、判定部40b、发送部40c、判断部40d以及偏差计算部40e。管理存储部41是存储装置，存储安装数据41a、阈值信息41b、检查信息41c、统计信息41d、修正量41e等。

在安装数据41a和阈值信息41b中，分别包含与检查装置M4的检查存储部31中存储的安装数据31a和阈值信息31b同样的信息。在检查信息41c中，被发送、存储有由检查装置M4检测到的检查信息31c。修正量计算部40a具备与部件安装装置M2、M3所具备的修正量计算部20a同样的功能。即，修正量计算部40a基于管理存储部41中存储的检查信息41c所含的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ来计算修正量41e，并存储至管理存储部41，该修正量41e用于由部件安装装置M2、M3(安装用装置)修正安装位置M来向基板6安装部件P。

在图5中，判定部40b、发送部40c、判断部40d以及偏差计算部40e基于管理存储部41中存储的检查信息41c，分别执行与检查装置M4所具备的判定部30a、发送部30b、判断部30c以及偏差计算部30d同样的判定处理、发送处理、判断处理、偏差计算处理。即，判定部40b判定由检查装置M4所具备的检测部(检查处理部32、检查用摄像机33)检测并存储至管理存储部41的检查信息41c中包含的安装于基板6的部件P的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在发送判定范围Rt(给定的第1范围)内。通过偏差计算部40e的偏差计算处理而获得的统计信息41d存储至管理存储部41。

输入部43是键盘、触摸面板、鼠标等输入装置，在操作指令、数据输入等时利用。显示部42是液晶面板等显示装置，除了显示由输入部43进行操作用的操作画面等各种画面之外，还显示检查信息41c、统计信息41d中包含的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ等各种信息。

接下来，按照图8的流程来说明将由检查装置M4检测到的检查结果(位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ等)发送至部件安装装置M2、M3的检查结果发送方法。关于检查装置M4的检查，按照每个基板6对已被安装的多个部件P执行，在判断是否发送(反馈)该检查结果之后，分别发送(反馈)至安装有该部件P的部件安装装置M2、M3。为了方便起见，在以下的说明中，限定为安装于(要安装于)基板6的一个部件P来进行说明。

首先，检测部(检查处理部32、检查用摄像机33)执行检查处理，检测安装于基板6的部件P的包含位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ、检测部件尺寸Sx*、Sy*在内的检查信息31c(ST1)。接下来，偏差计算部30d执行偏差计算处理，对已存储的给定期间的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ进行统计处理来计算位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的偏差范围Rv(ST2)。

然后，判定部30a执行判定处理，判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在给定的发送判定范围Rt(第1范围)内(ST3)。位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不在发送判定范围Rt内的情况下(ST3中“否”)(图7(a)的基板6(5)、基板6(7))，显示部34通知该情况(错误)(ST4)。而且，不向部件安装装置M2、M3(安装用装置)发送位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ。位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt内的情况下(ST3中“是”)，判定部30a执行判定处理，判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在发送警告范围Rw(第2范围)外(ST5)。

在图8中，位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不在发送警告范围Rw外的情况下(ST5中“否”)，判定部30a判定检测部件尺寸Sx*、Sy*(检测到的部件P的大小Sx、Sy)是否在部件P的大小的警告范围Rs(给定的大小的范围)外(ST6)。检测部件尺寸Sx*、Sy*不在部件P的大小的警告范围Rs外的情况下(ST6中“否”)，判定部30a执行判定处理，判定位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ被发送(反馈)至部件安装装置M2、M3而修正安装位置M之后安装了部件P的基板6中的部件P的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向是否与发送(反馈)前相同(ST7)。

修正后的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向不相同的情况下(ST7中“否”)，判定部30a执行判定处理，判定位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在偏差范围Rv内(ST8)。位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在偏差范围Rv内的情况下(ST8中“是”)，判断部30c执行判断处理，判断为不满足给定的条件。然后，发送部30b执行发送处理，向安装有该部件P的部件安装装置M2、M3发送(反馈)位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ(ST9)。在进行了接收的部件安装装置M2、M3中，将接收到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ作为位置偏离量数据21a来存储，由修正量计算部20a计算修正量21b，从而部件P的安装位置M被修正。

如此，检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送警告范围Rw内且在偏差范围Rv内、进而检测部件尺寸Sx*、Sy*在部件P的大小的警告范围Rs内、进而修正后的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向不相同的情况下(不满足给定的条件的情况下)，向部件安装装置M2、M3发送(反馈)位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ。由此，能够仅将能提高部件P的安装精度的部件P的位置偏离信息(位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ)反馈(发送)至部件安装装置M2、M3。

在图8中，检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送警告范围Rw外的情况下(ST5中“是”)(图7(a)的基板6(2)、基板6(4))、或者检测部件尺寸Sx*、Sy*在部件P的大小的警告范围Rs外的情况下(ST6中“是”)、或者在修正后位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向也相同的情况下(ST7中“是”)(图7(a)的基板6(8)～基板6(12))、或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不在偏差范围Rv内的情况下(ST8中“否”)，通过判断部30c的判断处理而判断为满足给定的条件。然后，由判断部30c搁置位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的发送。

即，判断为满足给定的条件的情况下，搁置检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ向部件安装装置M2、M3(安装用装置)的发送(反馈)。然后，显示部34显示该部件P的信息和检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ(ST10)，输入部35等待基于作业者的指示输入(ST11)。

对显示于显示部34的信息进行了确认的作业者若判断为发送(反馈)检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ(ST11中“是”)，则进入(ST9)，由发送部30b向安装有该部件P的部件安装装置M2、M3发送检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ。另一方面，关于作业者检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ，若判断为安装嘴11b的吸附错误、基板6上的异物W等突发性事件成为原因而判断为不发送位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ(ST11中“否”)，则位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不被发送至部件安装装置M2、M3(ST12)。由此，能够防止部件P的安装精度的下降。

接下来，按照图9、图10的流程来说明在具备部件安装装置M2、M3(安装用装置)和检查装置M4的部件安装系统1中向基板6安装部件P的部件安装方法。为了方便起见，在以下的说明中，限定为安装于(要安装于)基板6的一个部件P来进行说明。

在图9中，部件安装装置M2、M3考虑修正量21b来修正安装位置M，向基板6安装部件P(ST21)。然后，安装有部件P的基板6被搬送至检查装置M4，在检查装置M4中检测检查信息31c并发送至管理计算机3，在管理计算机3中决定修正量41e(ST22：修正量决定步骤)。决定出的修正量41e被发送(反馈)至部件安装装置M2、M3，作为修正量21b存储至安装存储部21，在(ST21)中修正安装位置M来安装部件P。

接下来，参照图10来说明修正量决定步骤(ST22)(修正量决定方法)的详细内容。首先，在搬送来基板6的检查装置M4中，检测安装于基板6的部件P的包含位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在内的检查信息31c(检测步骤)。然后，由发送部30b向管理计算机3发送检查信息31c，在管理计算机3中作为检查信息41c存储至管理存储部41(ST31)。以下的处理在管理计算机3中执行。

修正量计算部40a执行修正量计算处理，基于检查信息41c所含的在检查装置M4中检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ，计算用于由部件安装装置M2、M3(安装用装置)修正安装位置M来向基板6安装部件P的修正量41e(ST32：修正量计算步骤)。接下来，偏差计算部40e执行偏差计算处理，对给定的期间的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ进行统计处理来计算位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的偏差范围Rv(ST33：偏差计算步骤)。

在图10中，判定部40b执行判定处理，判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在发送判定范围Rt(给定的第1范围)内(ST34)。位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不在发送判定范围Rt内的情况下(ST34中“否”)，显示部42通知该情况(错误)(ST35)。而且，不向部件安装装置M2、M3(安装用装置)发送修正量41e或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ。位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt内的情况下(ST34中“是”)，判定部40b执行判定处理，判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在发送警告范围Rw(第2范围)外(ST36)。

位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不在发送警告范围Rw外的情况下(ST36中“否”)，判定部40b执行判定处理，判定检测部件尺寸Sx*、Sy*(检测到的部件P的大小Sx、Sy)是否在部件P的大小的警告范围Rs(给定的大小的范围)外(ST37)。检测部件尺寸Sx*、Sy*不在部件P的大小的警告范围Rs外的情况下(ST37中“否”)，判定部40b执行判定处理，判定位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ被发送(反馈)至部件安装装置M2、M3而修正安装位置M之后安装了部件P的基板6中的部件P的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向是否与发送(反馈)前相同(ST38)。

在图10中，修正后的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向不相同的情况下(ST38中“否”)，判定部40b执行判定处理，判定位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在偏差范围Rv内(ST39)。位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在偏差范围Rv内的情况下(ST39中“是”)，判断部40d执行判断处理，判断为不满足给定的条件。然后，发送部40c执行发送处理，向安装有该部件P的部件安装装置M2、M3发送(反馈)修正量41e(ST40)。在进行了接收的部件安装装置M2、M3中，将接收到的修正量41e作为修正量21b来存储，部件P的安装位置M被修正。

如此，检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送警告范围Rw内且偏差范围Rv内、进而检测部件尺寸Sx*、Sy*在部件P的大小的警告范围Rs内、进而修正后的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向不相同的情况下(不满足给定的条件的情况下)，向部件安装装置M2、M3发送(反馈)修正量41e。由此，能够仅将能使得部件P的安装精度提高的部件P的位置偏离信息(修正量41e)反馈(发送)至部件安装装置M2、M3。

在图10中，检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送警告范围Rw外的情况下(ST36中“是”)、或者检测部件尺寸Sx*、Sy*在部件P的大小的警告范围Rs外的情况下(ST37中“是”)、或者在修正后位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的方向也相同的情况下(ST38中“是”)、或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不在偏差范围Rv内的情况下(ST39中“否”)，通过判断部40d的判断处理而判断为满足给定的条件。然后，由判断部40d搁置修正量41e或位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的发送。

即，判定为检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt(第1范围)内的情况下，进一步判断是否满足给定的条件，在判断为满足给定的条件的情况下，搁置使部件安装装置M2、M3(安装用装置)基于计算出的修正量41e来进行安装位置M的修正。

然后，显示部42显示该部件P的信息和计算出的修正量41e或者检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ(ST41)，输入部43等待基于作业者的指示输入(ST42)。即，在搁置使部件安装装置M2、M3(安装用装置)进行安装位置M的修正时，在显示部42中对搁置了修正的修正量41e或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ进行显示，等待从输入部43输入是否使部件安装装置M2、M3基于搁置了修正的修正量41e进行安装位置M的修正。

在图10中，对显示于显示部42的信息进行了确认的作业者若判断为发送(反馈)计算出的修正量41e(ST42中“是”)，则进入(ST40)，由发送部40c向安装有该部件P的部件安装装置M2、M3发送修正量41e或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ。

另一方面，若作业者关于修正量41e或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ判断为安装嘴11b的吸附错误、基板6上的异物W等突发性事件成为原因而判断为不发送修正量41e或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ(ST42中“否”)，则修正量41e或者位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ不被发送至部件安装装置M2、M3(ST43)。即，在判断为满足给定的条件的情况下，不使部件安装装置M2、M3(安装用装置)基于计算出的修正量41e来进行安装位置M的修正。由此，能够防止部件P的安装精度的下降。

如上述所说明的那样，在本实施方式的部件安装方法中，在检查装置M4之中，检测安装于基板6的部件P的包含位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在内的检查信息31c。然后，基于检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ来计算修正量41e，该修正量41e用于由部件安装装置M2、M3(安装用装置)修正安装位置M来向基板6安装部件P，判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在发送判定范围Rt(给定的第1范围)内，判定为检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ在发送判定范围Rt内的情况下，进一步判断是否满足给定的条件，判断为满足给定的条件的情况下，搁置使部件安装装置M2、M3基于计算出的修正量41e来进行安装位置M的修正。

由此，基于有可能导致部件P的安装精度下降的突发性发生的大的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ的修正量41e，不向部件安装装置M2、M3反馈，能够仅反馈(发送)用于使得部件P的安装精度提高的部件P的位置偏离信息(修正量41e)。

另外，修正量41e的决定并不限于在管理计算机3中执行。例如，也可以在检查装置M4中执行检查信息31c的检测、判定处理、判断处理、偏差计算处理、发送处理，将不满足给定的条件的(使得部件P的安装精度提高的)部件P的位置偏离信息(位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ)发送至部件安装装置M2、M3，在部件安装装置M2、M3中执行修正量计算处理来计算修正量21b。

此外，偏差计算处理(检查结果发送方法中的ST2、修正量决定方法中的ST33)的执行并不限定于判定处理之前。偏差计算处理只要在判定检测到的位置偏离量ΔX、ΔY、Δθ是否在偏差范围Rv内(检查结果发送方法中的ST8、修正量决定方法中的ST39)之前执行即可。

产业上的可利用性

本发明的检查装置及部件安装系统以及部件安装方法具有能够反馈用于使得部件的安装精度提高的部件的位置偏离信息这一效果，在向基板安装部件的部件安装领域中是有用的。

Claims (12)

1.一种检查装置，对通过安装用装置安装有部件的基板进行检查，该检查装置具备：

检测部，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息；

判定部，判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内；

发送部，将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置；和

判断部，判断是否将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置，

当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部使得搁置所述位置偏离量向所述安装用装置的发送，

所述给定的条件是包括下述条件在内的多个条件中的任意条件：

检测到的所述位置偏离量大于比所述第1范围小的给定的第2范围；

所述检查信息中包含的检测到的部件的大小在给定的大小的范围外；

将所述位置偏离量发送至所述安装用装置之后检测到的所述位置偏离量的方向较之于发送前的所述位置偏离量的方向没有变化。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

所述检查装置还具备：

显示部，显示所述检查信息；和

输入部，输入是否将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置，

在所述判断部判断为搁置检测到的所述位置偏离量向所述安装用装置的发送的情况下，

所述显示部对发送被搁置的所述位置偏离量进行显示，

所述输入部等待是否将发送被搁置的所述位置偏离量发送至所述安装用装置的输入。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

所述检查装置还具备：

检查结果存储部，存储由所述检测部检测到的所述位置偏离量；和

偏差计算部，对已存储的给定的期间的所述位置偏离量进行统计处理来计算所述位置偏离量的偏差范围，

所述多个条件还包括：检测到的所述位置偏离量在计算出的所述位置偏离量的偏差范围外。

4.一种检查装置，对通过安装用装置安装有部件的基板进行检查，该检查装置具备：

检测部，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息；

判定部，判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内；

发送部，将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置；和

判断部，判断是否将检测到的所述位置偏离量发送至所述安装用装置，

当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部使得不向所述安装用装置发送所述位置偏离量，

所述给定的条件是包括下述条件在内的多个条件中的任意条件：

检测到的所述位置偏离量大于比所述第1范围小的给定的第2范围；

所述检查信息中包含的检测到的部件的大小在给定的大小的范围外；

将所述位置偏离量发送至所述安装用装置之后检测到的所述位置偏离量的方向较之于发送前的所述位置偏离量的方向没有变化。

5.一种部件安装系统，具备：安装用装置，具有向基板安装部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，

所述部件安装系统还具备：

判定部，判定由所述检查装置所具备的检测部检测到的检查信息中包含的安装于所述基板的所述部件的位置偏离量是否在给定的第1范围内；

修正量计算部，基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件；和

判断部，判断是否使所述安装用装置基于计算出的所述修正量来进行所述安装位置的修正，

当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部搁置使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正，

所述给定的条件是包括下述条件在内的多个条件中的任意条件：

检测到的所述位置偏离量大于比所述第1范围小的给定的第2范围；

所述检查信息中包含的检测到的部件的大小在给定的大小的范围外；

所述安装用装置基于计算出的所述修正量修正所述安装位置而安装了所述部件之后检测到的所述位置偏离量的方向较之于在修正前检测到的所述位置偏离量的方向没有变化。

6.根据权利要求5所述的部件安装系统，其中，

所述部件安装系统还具备：

显示部，显示所述检查信息或者所述修正量；和

输入部，输入是否使所述安装用装置基于计算出的所述修正量来进行所述安装位置的修正，

在所述判断部搁置了使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正的情况下，

所述显示部对搁置了修正的所述修正量或者所述位置偏离量进行显示，

所述输入部等待是否使所述安装用装置基于搁置了修正的所述修正量进行所述安装位置的修正的输入。

7.根据权利要求5或6所述的部件安装系统，其中，

所述部件安装系统还具备：

检查结果存储部，存储由所述检测部检测到的所述位置偏离量；和

偏差计算部，对已存储的给定的期间的所述位置偏离量进行统计处理来计算所述位置偏离量的偏差范围，

所述多个条件还包括：检测到的所述位置偏离量在所述计算出的所述位置偏离量的偏差范围外。

8.一种部件安装系统，具备：安装用装置，具有向基板安装部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，

所述部件安装系统还具备：

判定部，判定由所述检查装置所具备的检测部检测到的检查信息中包含的安装于所述基板的所述部件的位置偏离量是否在给定的第1范围内；

修正量计算部，基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件；和

判断部，判断是否使所述安装用装置基于计算出的所述修正量来进行所述安装位置的修正，

当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内、且判断为满足给定的条件的情况下，所述判断部不使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正，

所述给定的条件是包括下述条件在内的多个条件中的任意条件：

检测到的所述位置偏离量大于比所述第1范围小的给定的第2范围；

所述检查信息中包含的检测到的部件的大小在给定的大小的范围外；

所述安装用装置基于计算出的所述修正量修正所述安装位置而安装了所述部件之后检测到的所述位置偏离量的方向较之于在修正前检测到的所述位置偏离量的方向没有变化。

9.一种部件安装方法，是部件安装系统中向基板安装部件的部件安装方法，所述部件安装系统具备：安装用装置，具有向所述基板安装所述部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，

在所述检查装置中，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息，

基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件，

判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内，

当判定为检测到的所述位置偏离量在所述第1范围内的情况下，进一步判断是否满足给定的条件，

在判断为满足所述给定的条件的情况下，搁置使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正，

所述给定的条件是包括下述条件在内的多个条件中的任意条件：

检测到的所述位置偏离量大于比所述第1范围小的给定的第2范围；

所述检查信息中包含的检测到的部件的大小在给定的大小的范围外；

所述安装用装置基于计算出的所述修正量修正所述安装位置而安装了所述部件之后检测到的所述位置偏离量的方向较之于在修正前检测到的所述位置偏离量的方向没有变化。

10.根据权利要求9所述的部件安装方法，其中，

所述部件安装系统还具备：

显示部，显示所述检查信息或者所述修正量；和

输入部，输入是否使所述安装用装置基于计算出的所述修正量来进行所述安装位置的修正，

在搁置了使所述安装用装置进行所述安装位置的修正时，在所述显示部中对搁置了修正的所述修正量或者所述位置偏离量进行显示，

等待是否使所述安装用装置基于搁置了修正的所述修正量来进行所述安装位置的修正的输入。

11.根据权利要求9或10所述的部件安装方法，其中，

对给定的期间的所述位置偏离量进行统计处理来计算所述位置偏离量的偏差范围，

所述多个条件还包括：进一步判断检测到的所述位置偏离量是否在所述计算出的所述位置偏离量的偏差范围外。

12.一种部件安装方法，是部件安装系统中向基板安装部件的部件安装方法，所述部件安装系统具备：安装用装置，具有向所述基板安装所述部件的安装嘴和使所述安装嘴在水平方向上移动的移动机构；和检查装置，对安装有所述部件的所述基板进行检查，

在所述检查装置中，检测安装于所述基板的部件的包含位置偏离量在内的检查信息，

基于检测到的所述位置偏离量来计算修正量，该修正量用于由所述安装用装置修正安装位置来向所述基板安装所述部件，

判定检测到的所述位置偏离量是否在给定的第1范围内，

当判定为所述位置偏离量在所述第1范围内的情况下，进一步判断是否满足给定的条件，

在判断为满足所述给定的条件的情况下，不使所述安装用装置基于计算出的所述修正量进行所述安装位置的修正，

所述给定的条件是包括下述条件在内的多个条件中的任意条件：

检测到的所述位置偏离量大于比所述第1范围小的给定的第2范围；

所述检查信息中包含的检测到的部件的大小在给定的大小的范围外；

所述安装用装置基于计算出的所述修正量修正所述安装位置而安装了所述部件之后检测到的所述位置偏离量的方向较之于在修正前检测到的所述位置偏离量的方向没有变化。

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