JPWO2015194105A1 - センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 - Google Patents
センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015194105A1 JPWO2015194105A1 JP2016529004A JP2016529004A JPWO2015194105A1 JP WO2015194105 A1 JPWO2015194105 A1 JP WO2015194105A1 JP 2016529004 A JP2016529004 A JP 2016529004A JP 2016529004 A JP2016529004 A JP 2016529004A JP WO2015194105 A1 JPWO2015194105 A1 JP WO2015194105A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- sensor unit
- pressure
- terminal
- terminal block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/069—Protection against electromagnetic or electrostatic interferences
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
Abstract
Description
10A 被覆層
10B 接着層
12 ハウジング
14 ハーメチックガラス
16 センサチップ
18 チップマウント部材
24 端子台
26 封止材
46 被覆層
Claims (14)
- 圧力を検出するセンサチップと、
前記センサチップの回路に電気的に接続される少なくとも一つの端子を包囲するハーメチックガラスを該センサチップとともに収容するハウジングと、
前記センサチップおよび前記端子と圧力が検出されるべき圧力室とを隔絶するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムと前記センサチップとの間に充填される圧力伝達媒体と、を備え、
前記圧力伝達媒体の成分に応じて選択される接着剤からなる静電気保護層が、前記端子が突出するハーメチックガラスの一方の端面と、前記ハウジングの一方の端面と、前記端子における該ハーメチックガラスの一方の端面から突出する部分とにより画定される表面のうちのいずれかを覆うように形成されていることを特徴とするセンサユニット。 - 前記圧力伝達媒体がシリコーンオイルの場合、シリコーン系接着剤が選択されることを特徴とする請求項1記載のセンサユニット。
- 前記圧力伝達媒体がフッ素系液体の場合、シリコーン系接着剤、または、フッ素系接着剤が選択されることを特徴とする請求項1記載のセンサユニット。
- 圧力を検出するセンサチップと、
前記センサチップの回路に電気的に接続される少なくとも一つの端子を包囲するハーメチックガラスを該センサチップとともに収容するハウジングと、
前記センサチップおよび前記端子と圧力が検出されるべき圧力室とを隔絶するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムと前記センサチップとの間に充填される圧力伝達媒体と、を備え、
前記圧力伝達媒体の成分に応じて選択される充填材料からなる静電気保護層が、前記端子が突出するハーメチックガラスの一方の端面と、前記ハウジングの一方の端面と、前記端子における該ハーメチックガラスの一方の端面から突出する部分とにより画定される表面のうちのいずれかを覆うように形成されていることを特徴とするセンサユニット。 - 前記圧力伝達媒体がフッ素系液体の場合、エラストマー、または、フッ素グリースが前記充填材料として選択されることを特徴とする請求項4記載のセンサユニット。
- 請求項1乃至請求項3に記載のうちのいずれかのセンサユニット、および、該センサユニットの端子を整列させる端子台を収容するセンサユニット収容部を備え、
前記端子を整列させる端子台の端部が、前記ハウジングの一方の端面にシリコーン系接着剤、または、フッ素系接着剤により接着され、前記ダイヤフラムの周縁が前記ハウジングの他方の端面に接合されることを特徴とする圧力検出装置。 - エポキシ系樹脂からなる被覆層が、前記端子台および前記ハウジングを封止する封止材の上面に、形成されることを特徴とする請求項6記載の圧力検出装置。
- シリコーン系樹脂からなる被覆層が、前記端子台および前記ハウジングを封止する封止材の上面に、形成されることを特徴とする請求項6記載の圧力検出装置。
- 前記静電気保護層が、前記端子台の端部と、前記ハウジングの内周面と、前記ハーメチックガラスの一方の端面とにより囲まれる部分だけに形成されることを特徴とする請求項6記載の圧力検出装置。
- 前記静電気保護層が、前記端子におけるハーメチックガラスの一方の端面から前記端子台に至るまでの部分だけに形成されることを特徴とする請求項6記載の圧力検出装置。
- 前記静電気保護層が、前記端子台における前記端子に隣接して形成される環状の突起部から該突起部に向き合う前記ハーメチックガラスの一方の端面に至る部分だけに形成されることを特徴とする請求項6記載の圧力検出装置。
- 請求項4または請求項5に記載のセンサユニット、および、該センサユニットの端子を整列させる端子台を収容するセンサユニット収容部を備え、
前記端子台の端部が、前記ハウジングの一方の端面に前記充填材料により接合され、前記ダイヤフラムの周縁が前記ハウジングの他方の端面に接合されることを特徴とする圧力検出装置。 - エポキシ系樹脂からなる被膜層が、前記端子台および前記ハウジングを封止する封止材の上面に、形成されることを特徴とする請求項12記載の圧力検出装置。
- シリコーン系樹脂からなる被膜層が、前記端子台および前記ハウジングを封止する封止材の上面に、形成されることを特徴とする請求項12記載の圧力検出装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014124592 | 2014-06-17 | ||
JP2014124592 | 2014-06-17 | ||
PCT/JP2015/002767 WO2015194105A1 (ja) | 2014-06-17 | 2015-06-01 | センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018108893A Division JP6510709B2 (ja) | 2014-06-17 | 2018-06-06 | センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015194105A1 true JPWO2015194105A1 (ja) | 2017-04-20 |
JP6352414B2 JP6352414B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=54935117
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016529004A Active JP6352414B2 (ja) | 2014-06-17 | 2015-06-01 | センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 |
JP2018108893A Active JP6510709B2 (ja) | 2014-06-17 | 2018-06-06 | センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018108893A Active JP6510709B2 (ja) | 2014-06-17 | 2018-06-06 | センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10514314B2 (ja) |
EP (2) | EP4235134A3 (ja) |
JP (2) | JP6352414B2 (ja) |
KR (1) | KR101945923B1 (ja) |
CN (1) | CN106662493B (ja) |
WO (1) | WO2015194105A1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108700483B (zh) * | 2016-02-25 | 2020-09-29 | 西铁城精密器件株式会社 | 压力检测装置以及压力检测系统 |
CN105784214B (zh) * | 2016-03-04 | 2019-05-28 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种压力计芯片 |
CN109313097A (zh) * | 2016-07-21 | 2019-02-05 | 株式会社鹭宫制作所 | 压力传感器 |
DE102016115197A1 (de) * | 2016-08-16 | 2018-02-22 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Füllkörper zur Reduktion eines Volumens einer Druckmesskammer |
JP6656125B2 (ja) | 2016-09-09 | 2020-03-04 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ、その中継基板、及び、その中継基板ユニット |
JP2018048964A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
JP6568129B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2019-08-28 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
JP6480969B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2019-03-13 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
JP6698044B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2020-05-27 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
JP6527193B2 (ja) | 2017-04-07 | 2019-06-05 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
JP6462050B2 (ja) * | 2017-06-23 | 2019-01-30 | 株式会社鷺宮製作所 | センサチップの接合構造、および、圧力センサ |
WO2019018687A1 (en) * | 2017-07-20 | 2019-01-24 | Apple Inc. | ENVIRONMENTAL SENSORS INTEGRATED WITH SPEAKER |
JP6718855B2 (ja) * | 2017-11-30 | 2020-07-08 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサのシールド構造、および、それを備える圧力センサ |
JP7043904B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2022-03-30 | 富士電機株式会社 | センサ装置およびその製造方法 |
JP6892404B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2021-06-23 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
WO2020003012A1 (en) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | Measurement Specialties, Inc. | Vacuum-resistant pressure sensing device |
DE102018222781A1 (de) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | Robert Bosch Gmbh | Drucksensoranordnung |
US11460363B2 (en) * | 2019-03-29 | 2022-10-04 | Honeywell International Inc. | Pressure sensors and methods of manufacturing a pressure sensor |
CN210869865U (zh) * | 2019-05-16 | 2020-06-30 | 深圳市艾维普思科技有限公司 | 电子烟的气动开关、电子烟的供电装置及电子烟 |
US11287342B2 (en) * | 2020-03-20 | 2022-03-29 | Mks Instruments, Inc. | Capacitance manometer with improved baffle for improved detection accuracy |
US20220236128A1 (en) * | 2021-01-27 | 2022-07-28 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor components having microfluidic channels |
DE102021122224A1 (de) * | 2021-08-27 | 2023-03-02 | Endress+Hauser SE+Co. KG | Drucksensor, insbesondere für Drucke von mehr als 100 bar |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011510276A (ja) * | 2008-01-18 | 2011-03-31 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧力センサモジュール |
JP2014098685A (ja) * | 2012-06-11 | 2014-05-29 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法 |
JP2014107482A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Denso Corp | 電子装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH061226B2 (ja) * | 1986-05-07 | 1994-01-05 | 日本電装株式会社 | 半導体圧力センサ |
US5948991A (en) * | 1996-12-09 | 1999-09-07 | Denso Corporation | Semiconductor physical quantity sensor device having semiconductor sensor chip integrated with semiconductor circuit chip |
JP3687386B2 (ja) | 1999-02-03 | 2005-08-24 | 株式会社竹中工務店 | Aeを予知因子に用いる岩盤構造物等の脆性材料の崩壊時期の予測方法 |
EP1376090A4 (en) * | 2001-03-29 | 2007-06-06 | Hitachi Ltd | SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR |
JP4846140B2 (ja) | 2001-08-24 | 2011-12-28 | サーパス工業株式会社 | 圧力センサ |
JP3987386B2 (ja) | 2001-11-20 | 2007-10-10 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
US6732590B1 (en) * | 2002-11-20 | 2004-05-11 | Infineon Technologies Ag | Pressure sensor and process for producing the pressure sensor |
JP4839648B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2011-12-21 | 富士電機株式会社 | 圧力センサ装置 |
JP4548066B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2010-09-22 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP4768281B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2011-09-07 | 株式会社ジェイテクト | 圧力センサ及びその製造方法 |
JP2007121196A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP4893238B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2012-03-07 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
CN201123215Y (zh) * | 2007-12-11 | 2008-09-24 | 上海泰好电子科技有限公司 | 轮胎传感器 |
CN101221847B (zh) * | 2007-12-13 | 2011-11-16 | 上海长园维安电子线路保护股份有限公司 | 贴片式高分子基esd防护器件及其制造方法 |
WO2009087767A1 (ja) | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Saginomiya Seisakusho, Inc. | 圧力センサ及びその製造方法 |
CN201780179U (zh) * | 2010-07-27 | 2011-03-30 | 浙江欧德利科技有限公司 | 用于压力变送器的一体化式传感器 |
JP5888843B2 (ja) | 2010-09-22 | 2016-03-22 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
CN102917527B (zh) | 2012-10-15 | 2016-12-21 | 北京小米科技有限责任公司 | 一种电器元件及移动终端 |
JP5973357B2 (ja) | 2013-02-05 | 2016-08-23 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力検知ユニット及び圧力検知ユニットの製造方法 |
JP2016061661A (ja) * | 2014-09-17 | 2016-04-25 | 富士電機株式会社 | 圧力センサ装置および圧力センサ装置の製造方法 |
JP5934772B2 (ja) * | 2014-11-07 | 2016-06-15 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
-
2015
- 2015-06-01 KR KR1020167034910A patent/KR101945923B1/ko active IP Right Grant
- 2015-06-01 JP JP2016529004A patent/JP6352414B2/ja active Active
- 2015-06-01 WO PCT/JP2015/002767 patent/WO2015194105A1/ja active Application Filing
- 2015-06-01 EP EP23179914.9A patent/EP4235134A3/en active Pending
- 2015-06-01 CN CN201580032263.3A patent/CN106662493B/zh active Active
- 2015-06-01 US US15/318,633 patent/US10514314B2/en active Active
- 2015-06-01 EP EP15810013.1A patent/EP3159670B1/en active Active
-
2018
- 2018-06-06 JP JP2018108893A patent/JP6510709B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011510276A (ja) * | 2008-01-18 | 2011-03-31 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧力センサモジュール |
JP2014098685A (ja) * | 2012-06-11 | 2014-05-29 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力センサーおよび圧力センサーの製造方法 |
JP2014107482A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Denso Corp | 電子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3159670A1 (en) | 2017-04-26 |
JP6510709B2 (ja) | 2019-05-08 |
KR101945923B1 (ko) | 2019-02-08 |
EP4235134A2 (en) | 2023-08-30 |
CN106662493B (zh) | 2020-02-28 |
JP6352414B2 (ja) | 2018-07-04 |
WO2015194105A1 (ja) | 2015-12-23 |
US10514314B2 (en) | 2019-12-24 |
KR20170027717A (ko) | 2017-03-10 |
EP4235134A3 (en) | 2023-11-08 |
JP2018136349A (ja) | 2018-08-30 |
EP3159670A4 (en) | 2018-02-21 |
US20170131169A1 (en) | 2017-05-11 |
EP3159670B1 (en) | 2023-07-19 |
CN106662493A (zh) | 2017-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6352414B2 (ja) | センサユニット、および、それを備える圧力検出装置 | |
JP2017134014A (ja) | 圧力センサ | |
JP6461862B2 (ja) | 圧力センサ、および、圧力センサの製造方法 | |
JP6480969B2 (ja) | 圧力センサ | |
WO2018055952A1 (ja) | 圧力センサ | |
JP2017116456A (ja) | 圧力センサ | |
JP2007024771A (ja) | 圧力センサ | |
JP5699843B2 (ja) | 圧力センサ | |
CN110573852B (zh) | 压力传感器以及压力传感器的制造方法 | |
JP6568129B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6698044B2 (ja) | 圧力センサ | |
WO2018055954A1 (ja) | 圧力センサ | |
WO2018016610A1 (ja) | 圧力センサ | |
JP2024038511A (ja) | 圧力センサ | |
CN111465831A (zh) | 压力传感器 | |
JP2013002945A (ja) | 圧力センサ | |
JP2008122135A (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP2018179624A (ja) | 圧力検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6352414 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |