JPWO2015137364A1 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図13は、本発明に関連する第1形態に係るプラズマ処理装置を示す概略図ある。図14は、プラズマ処理装置にてウエハをエッチングしている状態を示す説明図である。図15は、プラズマ処理装置が収容される筐体を示す外観図で、(a)は正面図、(b)は右側面図、(c)は背面図である。図16は、プラズマ処理装置に使用されるノズルを示す概略斜視図である。
次いで、プラズマ処理装置Mは、筐体102内の前室Mcの後側上部のウエハ処理室としてのプラズマ処理室12内に収容されている。そして、このプラズマ処理装置Mにてエッチングするウエハ18は、所定の大きさ、例えば直径12.5mm(ハーフインチサイズ)の円形状の表面を有し、単結晶シリコン(Si)にて構成された円盤状に形成されている。そして、このウエハ18の表面には、予め所定のレジストパターンが形成され、プラズマエッチング前の状態とされている。
プラズマ処理室12は、例えば石英ガラス等の外部から低周波電圧を印加することが可能な透明な材料にて構成されている。そして、このプラズマ処理室12は、円筒状の本体部105aを有し、この本体部105aの軸方向を上下方向に沿わせて設置され、この本体部105aの上端側が円盤状の上板105bにて閉塞された形状とされている。また、この上板105bの中心位置には、矩形状の開口部105cが形成されており、この開口部105cには、ガス供給部としての、例えば角筒状のガス供給管105dの下端側が同心状に嵌合されて取り付けられている。このガス供給管105dは、本体部105aの内寸法より小さく、ウエハ18の外寸法より若干大きな外寸法を有する断面矩形筒状に形成されており、このガス供給管105dの下端側の一部を上板105bの外側から開口部105cに内嵌合させた状態とされ、この開口部105cに溶接等されて一体的に取り付けられている。ここで、ガス供給管105dの形状としては、角筒状以外の形状、例えば円筒状等であってもよい。
ウエハ支持台22は、プラズマ処理室12内に収容されつつ、このプラズマ処理室12の上下方向に軸方向を沿わせつつ、このプラズマ処理室12の開口部105cの鉛直下に設置されている。すなわち、このウエハ支持台22は、後述するRF印加板106dを、プラズマ処理室12のガス供給口105eに対し同心状に位置させつつ、このガス供給口105eから所定間隔ほど下方に間隔を空けた位置に設置されている。すなわち、このウエハ支持台22は、プラズマ処理室12のガス供給口105eからノズル107を介して吹き出してくるおそれのあるマイクロプラズマMPが、ウエハ支持台22上のRF印加板106dへ直接当たない程度の間隔を空けてプラズマ処理室12内に取り付けられている。
図18は、本発明に関連する第2形態に係るプラズマ処理装置を示す概略図である。
図19は、本発明の第3形態に係るプラズマ処理装置の一部を示す概略図である。
図20は、本発明に関連する第4形態に係るプラズマ処理装置を示す概略図である。図21は、プラズマ処理装置にてウエハをエッチングしている状態を示す説明図である。
なお、上記各形態では、少なくともLF印加部108の電極部108a,108b間への低周電圧の印加を用いて、レジストパターンが積層されたウエハ18をエッチングする構成とした。しかしながら、各形態はこれに限定されることはなく、レジストパターンが積層された単結晶シリコン構造のウエハ18以外であっても、対応させて用いることができる。
14 ゲートバルブ
15 ガス供給口
16 ガス排出口
18 半導体ウエハ(ワーク)
19 ウエハ支持装置
20 ウエハ受台
22、22’ ウエハ支持台
24 ウエハ押さえ板
25 案内溝
26 スプリング用溝
26a スプリング
28 保護管
30 冷媒供給管(冷媒供給部)
32 冷却管
34、34’給電体(給電部)
35 下部電極
36 ウエハ保持溝(ウエハ載置部)
38 アーム用溝
39 凹部
40 冷却口
41 通気口
42 排気孔
43 上孔
44 上部リング
46 下部リング
48 外筒
50 第1駆動板
52 第1モータ
54 第1駆動ねじ
56 第2駆動板
58 第2モータ
60 第2駆動ねじ
62 昇降装置
63 Z軸方向駆動板
64 絶縁スペーサ
66 内部導体
67 外部導体
68 絶縁体
69 外部電極
70 可動ワッシャ(遮蔽部材)
82 ドッキングポート
M プラズマ処理装置
Ma 本体部
Mb 制御収納部
Mc 前室
Claims (10)
- 処理対象のウエハを支持するウエハ支持装置と、前記ウエハ支持装置の上部に設けられたウエハ保持部と、前記ウエハ保持部を収納し、外気から実質的に遮断された処理室と、前記処理室内に設けられたウエハ処理部と、を有するミニマルファブシステム用処理装置であって、
前記ウエハ支持装置は、前記ウエハ保持部と、前記ウエハ保持部を支持して前記処理室外へ延長する軸部と、前記処理室外で前記軸部に接続し、前記軸部をXYZ軸方向に移動する駆動部と、前記ウエハ処理部による処理がウエハ全面にわたり均一となるように前記駆動部を制御する制御装置と、を有し、
前記駆動部の作動により、前記ウエハ保持部に保持されたウエハが、前記処理室内の前記ウエハ処理部に対しウエハ全面にわたり相対的に移動可能とされている
ことを特徴とするミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記処理室の底部には、前記軸部がXYZ軸方向に移動可能な範囲の穴が設けられており、前記穴による前記処理室と前記軸部との間隙をふさぐ遮蔽部材が、前記ウエハ保持部のXYZ方向への移動を妨げないように設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記遮蔽部材が、開口径の異なる複数の可動ワッシャからなる
ことを特徴とする請求項2に記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記ウエハ保持部は、ウエハ受台とウエハ支持台とウエハ押さえ板とを有し、
前記ウエハ受台は、前記処理室内へ搬送された前記ウエハを載置するウエハ載置部を有し、
前記ウエハ支持台は、前記軸部の上端部に設けられ、前記軸部が前記駆動部によって上昇するに伴い前記ウエハ載置部に載置された前記ウエハを前記ウエハ押さえ板に押しつけるように昇降し、
前記ウエハ押さえ板は、上昇する前記ウエハの周辺部を押さえて、前記ウエハ支持台と協働して前記ウエハを固定して支持する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記ウエハ処理部は、前記処理室へマイクロプラズマを供給するマイクロプラズマ発生部と、前記処理室内に設けられ、供給された前記マイクロプラズマに高周波を重畳するRFプラズマ発生部と、を有するプラズマ処理部であって、
前記ウエハ支持装置は、前記軸部内に、前記RFプラズマ発生部へ給電する給電部と、前記ウエハおよび前記給電部の冷却のための冷媒を供給する冷媒供給部とが設けられている
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記ウエハ支持装置の前記軸部は、外側が前記ウエハ受台を支持する保護管とされ、前記保護管内部に、前記ウエハ支持台を支持する冷媒供給管が設けられて前記冷媒供給部とされ、
前記冷媒供給管は、前記保護管の内部でその軸方向に自由に移動できるように前記ウエハ支持台を支持しており、
前記冷媒供給管の内部には、不活性ガスおよび前記不活性ガスを冷却するための冷媒を収容した冷却管と、前記RFプラズマ発生部に給電するための給電体とが収容されている
ことを特徴とする請求項5に記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記冷却管は前記給電体を取り巻くように配置され、前記冷却管の内部には、前記駆動部側から前記RFプラズマ発生装置の電極側に供給されて再び駆動部側に戻るように冷媒が供給される
ことを特徴とする請求項6に記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記給電部は、外管と、前記外管の内部に設けられる内管の二重構造となって前記ウエハ支持台を支持し、前記給電部の上端に前記RFプラズマ発生部の電極が接続されてなり、
前記内管の内部空間と、前記内管と前記外管の空隙空間とが連通して冷却用冷媒の通路が構成されており、前記給電部および前記電極を冷却する
ことを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記処理室の底部には前記穴を囲む上部リングが取り付けられ、前記ウエハ受台を支持する前記保護管は前記上部リングを貫通して前記処理室の外部に延長されており、前記上部リングにはフレキシブルに変形する外筒を挟んで下部リングが接続されており、
前記保護管は前記外筒を貫通して、前記下部リングとともに前記駆動部にその一端を接続固定され、前記駆動部は前記下部リングに固定されて前記冷媒供給管の下端を支持し、
前記冷媒供給管に支持された前記ウエハ支持台は、前記ウエハを支持固定するために、前記駆動部によって前記保護管の軸方向に移動し、
前記保護管は、前記駆動部によって前記保護管の軸と交差する方向にスキャニング移動する
ことを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載のミニマルファブシステム用処理装置。 - 前記ウエハをハーフインチサイズの半導体ウエハとし、前記ウエハ処理部がプラズマ処理部である
ことを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のミニマルファブシステム用処理装置。
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