JP7215305B2 - プラズマ処理装置用の治具、および、プラズマ処理システム - Google Patents

Description

本発明は、プラズマ処理装置用の治具、および、プラズマ処理システムに関する。

従来、ワークの所定領域に対してプラズマ処理を行う技術が知られている。ワークの所定領域をプラズマ処理する場合に、プラズマを発生するプラズマ発生ユニットがワークの所定領域上を自動で動くようにプログラムされたアクチュエータを有する装置が使用されることがある。これにより、ワークの所定領域に対して効率良くプラズマ処理を行うことができる。ただし、このようなアクチュエータを含む装置は、大型化し易く、大量生産向けである。

ところで、近年においては、大気圧下で安定的にプラズマ放電させる技術が確立されてきており、開放空間でのプラズマ処理が実用化されている。例えば、特開２００７－２０７４７５号公報には、小型ボンベの流用を可能にとした携帯型大気圧プラズマ発生装置が開示される。

特開２００７－２０７４７５号公報

例えば少量のサンプルだけをプラズマ処理したい場合等においては、プラズマ処理のための装置を大がかりな構成とせず、手動でプラズマ発生ユニットを動かして所定領域のプラズマ処理を行うといった方法の方が、コスト面等で有利となることがある。ただし、このような方法でワークの所定領域に正確に効率良くプラズマ処理を行う技術は確立されていないと考えられる。

本発明は、ワークの所定領域を手作業で正確且つ効率良くプラズマ処理することができる技術を提供することを目的とする。

本発明の例示的な治具は、プラズマを発生させるプラズマ発生部を有するプラズマ処理装置用の治具であって、前記プラズマ処理装置によりプラズマ処理を行うワークを載せる支持台と、前記支持台から延びる支柱と、前記支柱に支持され、前記プラズマ処理の際に前記プラズマ発生部を案内するスリットが複数設けられる案内板と、を有する。前記複数のスリットのそれぞれは、少なくとも一方の端部が他の前記スリットの端部と連結部を介して隣接する。前記支持台と前記案内板とは、少なくとも１つの前記スリットの少なくとも一方の端部を、隣接する前記スリットの端部が存在した位置と重なる重複位置に配置する相対移動を可能に設けられる。

本発明の例示的なプラズマ処理システムは、上記構成の治具と、前記プラズマ処理装置と、を有する。前記プラズマ処理装置は、前記プラズマ発生部を囲むハウジングを更に有する。前記ハウジングは、前記プラズマ処理を行う際に前記案内板と接触させる面に、前記案内板から離れる方向に凹むハウジング凹部を有する。

例示的な本発明は、ワークの所定領域を手作業で正確且つ効率良くプラズマ処理することを可能にする。

図１は、本発明の実施形態に係るプラズマ処理システムの構成を示す概略斜視図である。 図２は、図１におけるプラズマ処理装置およびその周辺の構成を示す概略断面図である。 図３は、本発明の実施形態に係る支持台とワークとの関係を示す概略断面図である。 図４は、本発明の実施形態に係る案内板の構成を示す概略平面図である。 図５は、本発明の実施形態に係る支柱と案内板との関係を示す概略断面図である。 図６は、本発明の実施形態に係る案内板の作用について説明するための模式図である。 図７は、第１変形例の案内板の構成を示す概略平面図である。 図８は、第１変形例に係る案内板の作用について説明するための第１模式図である。 図９は、第１変形例に係る案内板の作用について説明するための第２模式図である。 図１０は、第２変形例の案内板の構成を示す概略平面図である。

以下、本発明の例示的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。本明細書では、支持台２１に対してワーク２００が配置される側を上として、上下方向を定義する。また、図面中におけるＸ方向およびＹ方向は、上下方向に直交する平面上において互いに直交する方向とし、Ｘ方向を左右方向、Ｙ方向を前後方向と称して、各部の形状や位置関係を説明する。これらの方向は単に説明のために用いられる名称であって、実際の位置関係及び方向を限定する意図はない。

＜１．プラズマ処理システム＞
図１は、本発明の実施形態に係るプラズマ処理システム１００の構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、プラズマ処理システム１００は、プラズマ処理装置１と、治具２とを有する。

図２は、図１におけるプラズマ処理装置１およびその周辺の構成を示す概略断面図である。プラズマ処理装置１はプラズマ発生部１１を有する。プラズマ処理装置１はハウジング１２を更に有する。本実施形態においては、好ましい形態として、プラズマ処理装置１は、大気圧下でプラズマを発生させる大気圧プラズマ処理装置である。なお、プラズマ処理装置１によって行われるプラズマ処理には、例えば、表面改質処理、薄膜形成処理、アッシング処理、又は洗浄処理等が含まれてよい。

プラズマ発生部１１は、プラズマを発生させる。本実施形態では、プラズマ発生部１１はリモート方式でプラズマを発生させる。プラズマ発生部１１は、不図示の高電圧電極とグランド電極とのギャップ間でプラズマを発生させ、プラズマで生成された活性種をガス流によりワーク２００の表面に接触させる。高電圧電極は、プラズマ発生部１１の外部に配置される不図示の高電圧電源と導線により接続される。プラズマ発生部１１の外部からプラズマ発生部１１に供給されるガスの種類は、処理目的に応じて適宜選択されてよく、例えば、窒素ガス、又は、窒素と酸素の混合ガス等であってよい。

なお、プラズマ発生部１１はリモート方式でなくてもよい。例えば、プラズマ発生部１１はダイレクト方式でプラズマを発生させてもよい。この場合には、例えば、ワーク２００は導電性とされ、プラズマ発生部１１が有する高電圧電極と対をなす電極を構成する。

ハウジング１２は、プラズマ発生部１１を囲む。本実施形態では、ハウジング１２は、作業者がプラズマ発生部１１を手作業で動かすための把持部となる。ハウジング１２は、例えばＡＢＳ（Acrylonitrile Butadiene Styrene）樹脂等の樹脂により構成される。詳細には、プラズマ発生部１１は、少なくとも一部を露出させた状態でハウジング１２に囲まれる。図２に示すように、プラズマ発生部１１は、少なくとも、プラズマを吹き出す先端部１１ａを露出させてハウジング１２に囲まれる。

治具２は、プラズマ処理装置１用の治具である。治具２は、プラズマ処理装置１を用いて手作業でワーク２００の所定領域をプラズマ処理する際に使用される。治具２は、支持台２１と、支柱２２と、案内板２３とを有する。

支持台２１には、プラズマ処理装置１によりプラズマ処理を行うワーク２００が載せられる。支持台２１は、例えば金属又は樹脂で構成される。本実施形態では、支持台２１は、上下方向と直交する方向に広がる。ワーク２００は、支持台２１の上面側に載せられる。詳細には、支持台２１は、上下方向にからの平面視において矩形状である。ただし、支持台２１の形状は、矩形状でなくてもよく、例えば円形状、楕円状等の別の形状であってよい。

図３は、本発明の実施形態に係る支持台２１とワーク２００との関係を示す概略断面図である。図３に示すように、本実施形態では、支持台２１は、ワーク２００を位置決めする位置決め部２１１を有する。これにより、ワーク２００をプラズマ処理に適した位置に固定してプラズマ処理を行うことができる。すなわち、プラズマ処理の精度を向上することができる。詳細には、位置決め部２１１は、支持台２１の上面から上方に向けて突出する突起である。突起の形状は、特に限定されず、例えば円柱状又は角柱状等であってよい。突起と支持台２１とは単一部材でも、別部材であってもよい。ワーク２００には、位置決め部２１１を構成する突起が挿入される凹部又は孔部が設けられる。位置決め部２１１の数は、単数でも複数でもよい。本実施形態では、位置決め部２１１の数は複数である。

なお、位置決め部２１１は、突起でなくてもよく、例えば、支持台２１の上面から下方に向けて凹む凹部、又は、支持台２１を上下方向に貫通する貫通孔等であってよい。この場合には、ワーク２００に、凹部又は貫通孔に挿入する突起が設けられてよい。また、支持台２１の上面には、位置決め部２１１に加えて、ワーク２００を支持台２１上の適切な位置に向けて誘導するガイド部が設けられてよい。これにより、ワーク２００を適切な位置に簡単に配置することができ、作業性が向上することができる。ガイド部は、例えば、支持台２１の上面から位置決め部２１１より上方に向けて長く延びる柱状部等であってよい。

支柱２２は支持台２１から延びる。支柱２２は、例えば金属又は樹脂で構成される。本実施形態では、支柱２２は上下方向に延びる。詳細には、支柱２２は、支持台２１の四隅のそれぞれに配置され、支持台２１の上面から上方に延びる。すなわち、本実施形態では、支柱２２の数は複数である。ただし、支柱２２は１つでもよく、この場合には、支柱２２は例えば環状等であってよい。

案内板２３は、支柱２２に支持される。案内板２３は、上下方向に厚みを有する板状である。案内板２３は、例えばポリアセタール等の樹脂により構成される。案内板２３は、樹脂以外の部材によって構成してもよい。本実施形態では、案内板２３は、ワーク２００の上側に配置される。案内板２３は、支柱２２の上部に支持される。案内板２３には、プラズマ処理の際にプラズマ発生部１１を案内するスリット２３１が複数設けられる。本実施形態では、スリット２３１の数は２つである。スリット２３１は、案内板２３を上下方向に貫通し、ワーク２００の被処理面２００ａの形状に合わせて細長く延びる。詳細には、ワーク２００の被処理面２００ａは円環状であり、案内板２３には、円環状の被処理面２００ａ全体をプラズマ処理することを狙って、半円弧状の２つのスリット２３１が設けられている。この点の詳細については後述する。

プラズマ処理装置１は、プラズマ発生部１１の先端部１１ａが下向きとなる向きに配置される。図２に示すように、プラズマ処理の際には、プラズマ発生部１１の先端部１１ａは、スリット２３１内に入れられ、ワーク２００の被処理面２００ａと対向する。先端部１１ａがスリット２３１内に入れられることにより、プラズマ発生部１１の上下方向と直交する方向の動きは、スリット２３１によって拘束され、スリット２３１が延びる方向にのみ移動可能になる。先端部１１ａがスリット２３１に入れられることにより、先端部１１ａから吹き出すプラズマがワーク２００の被処理面２００ａに当たりプラズマ処理が行われる。プラズマ発生部１１がスリット２３１に沿って動かされることにより、ワーク２００のプラズマ処理が施される領域が移動する。

プラズマ発生部１１がスリット２３１に沿って移動される際、ハウジング１２の下面は案内板２３の上面に接触される。すなわち、ハウジング１２の下面が案内板２３の上面に接触した状態で、ハウジング１２は案内板２３に対して動かされる。これにより、先端部１１ａとワーク２００の被処理面２００ａとの距離を一定に保ち、プラズマ処理を安定して行うことができる。

ハウジング１２は、プラズマ処理を行う際に案内板２３と接触させる面に、案内板２３から離れる方向に凹むハウジング凹部１２１を有する。詳細には、ハウジング１２は、下面に上方に向けて凹むハウジング凹部１２１を有する。ハウジング凹部１２１が設けられることにより、ハウジング１２と案内板２３との接触面積を減らすことができる。この結果、案内板２３上においてプラズマ処理装置１を手動で移動させる際の抵抗を低減することができ、プラズマ処理装置１の移動を行い易くすることができる。

なお、ハウジング凹部１２１は、ハウジング１２の下面に単数又は複数形成されてよい。ハウジング凹部１２１は、例えば環状でもよいし、矩形状又は円形状等であってもよい。また、ハウジング１２にハウジング凹部１２１を設ける替りに、接触面積を減らす目的で案内板２３に凹部を設ける構成としてもよい。

＜２．治具の詳細＞
支持台２１と案内板２３とは相対移動可能に設けられる。本実施形態では、案内板２３が支持台２１に対して移動可能に設けられる。詳細には、支柱２２は支持台２１に固定される。案内板２３は、支柱２２に対して移動可能に支持される。これによれば、ワーク２００が載る支持台２１に比べて軽量化することができる案内板２３を動かす構成であるために、作業性を良くすることができる。

なお、支柱２２は、支持台２１と単一部材であってもよいし、別部材であってもよい。支柱２２が支持台２１と別部材である場合、支柱２２は、例えば螺子等の固定部材又は接着剤によって支持台２１に固定されてよい。

また、支持台２１が案内板２３に対して移動可能に設けられる構成としてもよい。この場合には、例えば、案内板２３が支柱２２に固定され、支持台２１が支柱２２に対して移動可能に支持されてよい。

案内板２３は、上下方向と直交する面内において、少なくとも１つの方向に移動可能である。本構成によれば、案内板２３が支持台２１に対して移動する構成を有する治具２の形状が複雑になることを避けることができる。図４は、本発明の実施形態に係る案内板２３の構成を示す概略平面図である。本実施形態では、案内板２３は、上下方向と直交する面内において、１つの方向に移動可能である。

図４に示すように、案内板２３は矩形板状である。ただし、案内板２３は円形板状等の他の形状であってよい。上述のように、案内板２３には、複数のスリット２３１が設けられる。複数のスリット２３１のそれぞれは、少なくとも一方の端部が他のスリット２３１の端部と連結部２３２を介して隣接する。

本実施形態においては、案内板２３には、左方に配置される左スリット２３１Ｌと、右方に配置される右スリット２３１Ｒとの２つのスリット２３１が設けられる。左スリット２３１Ｌおよび右スリット２３１Ｒは、いずれも半円弧状である。左スリット２３１Ｌと右スリット２３１Ｒとは、左右方向の中心を通り、前後方向に延びる軸Ｌ１に対して線対称に配置されている。なお、スリット２３１の形状は、ワーク２００の被処理面２００ａの形状に応じて適宜変更される。すなわち、本実施形態のスリット２３１の形状は例示にすぎない。左スリット２３１Ｌは、両端部が右スリット２３１Ｒの両端部と連結部２３２を介して隣接する。右スリット２３１Ｒは、両端部が左スリット２３１Ｌの両端部と連結部２３２を介して隣接する。

連結部２３２は、隣接するスリット２３１間を第１方向に延びて接続する第１連結部２３２１を有する。本実施形態では、左スリット２３１Ｌの前方の端部と、右スリット２３１Ｒの前方の端部とは、左右方向に延びる第１連結部２３２１にて接続される。また、左スリット２３１Ｌの後方の端部と、右スリット２３１Ｒの後方の端部とは、左右方向に延びる第１連結部２３２１にて接続される。すなわち、本実施形態の案内板２３が有する連結部２３２は、いずれも第１連結部２３２１である。なお、本実施形態では、第１方向は左右方向である。

案内板２３には、第１方向に延びる第１ガイド部２３３が形成されている。本実施形態では、第１ガイド部２３３は、案内板２３を上下方向に貫通する貫通孔である。ただし、第１ガイド部２３３は、案内板２３の下面に設けられる上方に凹む凹部であってもよい。第１ガイド部２３３は、上下方向からの平面視において左右方向に延びる矩形状である。ただし、第１ガイド部２３３の形状は適宜変更されてよい。図４に示すように、本実施形態では、第１ガイド部２３３は、案内板２３の四隅に配置される。ただし、第１ガイド部２３３の配置および数は適宜変更されてよい。第１ガイド部２３３は複数に限らず単数であってもよい。

図５は、本発明の実施形態に係る支柱２２と案内板２３との関係を示す概略断面図である。図５に示すように、第１ガイド部２３３には、支柱２２の一端部が挿入される。第１ガイド部２３３は、支柱２２の一端部と対になって案内板２３を第１方向に移動可能とする。これによれば、案内板２３を支持台２１に対して所定位置に簡単に移動させることができる。本実施形態では、第１ガイド部２３３には、支柱２２の上端部２２１が挿入される。上述のように、本実施形態では、４つの支柱２２と、４つの第１ガイド部２３３とがあり、各第１ガイド部２３３には、１つの支柱上端部２２１が挿入される。支柱上端部２２１が第１ガイド部２３３に挿入された状態において、案内板２３は支柱２２に支持される。第１ガイド部２３３は、支柱上端部２２１と対になって案内板２３を左右方向に移動可能とする。

支柱上端部２２１は、第１ガイド部２３３よりも左右方向の長さが短い。また、支柱上端部２２１は、第１ガイド部２３３と前後方向の長さがほぼ同じである。すなわち、案内板２３は、上下方向と直交する面内において、支柱上端部２２１と第１ガイド部２３３との関係により一定の方向の動きを拘束され、左右方向にのみ移動することができる。

なお、支柱上端部２２１は、例えば上下方向に延びる円柱状又は角柱状のピン形状等であってよい。また、支柱上端部２２１が第１ガイド部２３３の上面より突出する部分を有する場合には、当該突出する部分の前後方向の幅を広げて、案内板２３が支柱２２から簡単に外れない構成としてもよい。

また、支柱上端部２２１は、支柱２２の大部分を構成する支柱本体部２２２とは別部材であり、支柱本体部２２２の上面に固定された部材であってよい。ただし、支柱上端部２２１は、支柱本体部２２２と単一部材であってよい。支柱上端部２２１が支柱本体部２２２と別部材である構成においては、支柱上端部２２１は、支柱本体部２２２に対して着脱可能であってよい。例えば、支柱上端部２２１は螺子であってよい。この場合、螺子の頭部は、第１ガイド部２３３よりも上方に位置し、案内板２３が支柱２２から外れることを防止する抜け止めとして機能を有してよい。

図６は、本発明の実施形態に係る案内板２３の作用について説明するための模式図である。図６において、上段は、第１ガイド部２３３の左端が支柱上端部２２１と接触した状態を示し、下段は、第１ガイド部２３３の右端が支柱上端部２２１と接触した状態を示す。図６の上段に示す状態から、案内板２３を右方に動かすことはできない。図６の下段に示す状態から、案内板２３を左方に動かすことはできない。以下、図６の上段の案内板２３の位置を右限界位置と呼称し、図６の下段の案内板２３の位置を左限界位置と呼称する。

案内板２３が右限界位置に存在する場合、左スリット２３１Ｌが、ワーク２００の上面の左半分より少し広い領域と上下方向に重なる。すなわち、左スリット２３１Ｌは、詳細には、半円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、案内板２３が右限界位置に存在する場合、ワーク２００の上面の左半分より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。なお、本実施形態では、案内板２３が右限界位置に存在する場合、右スリット２３１Ｒは、ワーク２００の上面とは上下方向に重ならない。ただし、右スリット２３１Ｒの一部がワーク２００の上面と上下方向に重なってもよい。

一方、案内板２３が左限界位置に存在する場合、右スリット２３１Ｒが、ワーク２００の上面の右半分より少し広い領域と上下方向に重なる。すなわち、右スリット２３１Ｒも、半円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、案内板２３が左限界位置に存在する場合、ワーク２００の上面の右半分より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。なお、本実施形態では、案内板２３が左限界位置に存在する場合、左スリット２３１Ｌは、ワーク２００の上面とは上下方向に重ならない。ただし、左スリット２３１Ｌの一部がワーク２００の上面と上下方向に重なってもよい。

図６に示すように、支持台２１と案内板２３とは、少なくとも１つのスリット２３１の少なくとも一方の端部を、隣接するスリット２３１の端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置する相対移動を可能に設けられている。詳細には、案内板２３が支持台２１に対して相対移動して右限界位置から左限界位置へと動いた場合に、右スリット２３１Ｒの両端部が、隣接する左スリット２３１Ｌの両端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。また、案内板２３が支持台２１に対して相対移動して左限界位置から右限界位置へと動いた場合に、左スリット２３１Ｌの両端部が、隣接する右スリット２３１Ｒの両端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。

なお、相対移動により少しでも重複位置ＯＰが発生すればよく、重複する端部の大きさは適宜変更されてよい。重複する端部は端辺同士であってもよい。すなわち、案内板２３が右限界位置に存在する場合、左スリット２３１Ｌがワーク２００の上面の左半分と上下方向に重なり、案内板２３が左限界位置に存在する場合、右スリット２３１Ｒがワーク２００の上面の右半分と上下方向に重なる構成としてよい。また、相対移動により重複位置が発生すればよく、左右のスリット２３１Ｌ、２３１Ｒの形状は、必ずしも対称である必要はない。左右のスリット２３１Ｌ、２３１Ｒの形状は、ワーク２００の形状によって適宜変更されてよい。

例えば、支持台２１に対して案内板２３が相対移動できない場合に、案内板２３上に設けられる左右のスリット２３１Ｌ、２３１Ｒによって、円環状のワーク２００の上面をプラズマ処理装置１でプラズマ処理する例を考える。この例では、左スリット２３１Ｌは、円環状のワーク２００の上面のほぼ左半分と上下方向に重ねられ、右スリット２３１Ｒは、円環状のワーク２００の上面のほぼ右半分と上下方向に重ねられる。この場合、案内板２３を使用してプラズマ処理装置１を案内することにより、円環状のワーク２００の上面の大部分をプラズマ処理することができる。ただし、左右のスリット２３１Ｌ、２３１Ｒを連結する連結部２３２が存在するために、円環状のワーク２００の上面の一部についてプラズマ処理を行えない部分が生じる。このために、案内板２３を取り除いて、プラズマ処理ができなかった領域を別途プラズマ処理する必要がある。このような処理は、案内板２３を取り除いた後にプラズマ処理が行われなかった領域の特定が必要であり、作業負担が大きくなる。

この点、本実施形態では、支持台２１に対して案内板２３が相対移動できる構成となっている。そして、相対移動により、右スリット２３１Ｒの両端部を、左スリット２３１Ｌの両端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置することができる。このために、案内板２３を右限界位置に配置して左スリット２３１Ｌを用いたプラズマ処理を行い、その後、案内板２３を左限界位置に配置して右スリット２３１Ｒを用いたプラズマ処理を行えばよい。これによれば、連結部２３２の存在にもかかわらず、ワーク２００の上面全体をプラズマ処理することができる。すなわち、本実施形態では、案内板２３を取り除いてプラズマ処理を行う必要がなく、手作業にてプラズマ処理を正確且つ効率良く行うことができる。

本実施形態では、案内板２３の移動により支柱２２の一端部が第１ガイド部２３３の第１方向の一端部と他端部とのいずれに接触する場合においても、スリット２３１の少なくとも一方の端部が重複位置ＯＰに配置される。詳細には、案内板２３の移動により、支柱上端部２２１が第１ガイド部２３３の左端と接触する場合には、左スリット２３１Ｌの両端部が重複位置ＯＰに配置される。案内板２３の移動により、支柱上端部２２１が第１ガイド部２３３の右端と接触する場合には、右スリット２３１Ｒの両端部が重複位置ＯＰに配置される。これによれば、重複位置ＯＰが得られる位置に案内板２３を容易に配置することができ、作業性を向上することができる。ただし、支柱上端部２２１が第１ガイド部２３３の両端部と接触しない位置において、上述の重複位置ＯＰの配置ができる構成としてもよい。

＜３．変形例＞
（３－１．第１変形例）
図７は、第１変形例の案内板２３Ａの構成を示す概略平面図である。案内板２３Ａは、支持台２１に対して移動可能に設けられる。本変形例では、案内板２３Ａは、上下方向と直交する面内において、２つの方向に移動可能である。詳細には、２つの方向は、互いに直交する方向である。

図７に示すように、本変形例でも案内板２３Ａは矩形板状である。案内板２３Ａには、４つのスリット２３１Ａが設けられる。連結部２３２Ａは、隣接するスリット２３１Ａ間を第１方向に延びて接続する第１連結部２３２１Ａを有する。連結部２３２Ａは、隣接するスリット２３１Ａ間を第２方向に延びて接続する第２連結部２３２２を更に有する。本変形例で、第１方向は左右方向であり、第２方向は上下方向である。

詳細には、案内板２３Ａは、左後スリット２３１ＬＲと、左前スリット２３１ＬＦと、右後スリット２３１ＲＲと、右前スリット２３１ＲＦとを有する。これら４つのスリット２３１ＬＲ、２３１ＬＦ、２３１ＲＲ、２３１ＲＦは、いずれも１／４円弧状である。左後スリット２３１ＬＲと右後スリット２３１ＲＲ、および、左前スリット２３１ＬＦと右前スリット２３１ＲＦは、左右方向の中心を通り、前後方向に延びる軸Ｌ１に対して線対称に配置されている。また、左後スリット２３１ＬＲと左前スリット２３１ＬＦ、および、右後スリット２３１ＲＲと右前スリット２３１ＲＦは、前後方向の中心を通り、左右方向に延びる軸Ｌ２に対して線対称に配置されている。

左後スリット２３１ＬＲの右後端部と、右後スリット２３１ＲＲの左後端部とは、左右方向に延びる第１連結部２３２１Ａにより接続される。左前スリット２３１ＬＦの右前端部と、右前スリット２３１ＲＦの左前端部とは、左右方向に延びる第１連結部２３２１Ａにより接続される。左後スリット２３１ＬＲの左前端部と、左前スリット２３１ＬＦの左後端部とは、前後方向に延びる第２連結部２３２２により接続される。右後スリット２３１ＲＲの右前端部と、右前スリット２３１ＲＦの右後端部とは、前後方向に延びる第２連結部２３２２により接続される。

案内板２３Ａには、第１方向に延び、支柱２２の一端部が挿入される第１ガイド部２３３Ａが形成されている。詳細には、第１ガイド部２３３Ａには、支柱上端部２２１が挿入される。第１ガイド部２３３Ａは、上下方向に貫通し、左右方向に延びる矩形状の貫通孔である。第１ガイド部２３３Ａは、案内板２３Ａの四隅に配置される。第１ガイド部２３３Ａは、支柱上端部２２１と対になって案内板２３Ａを左右方向に移動可能とする。

また、案内板２３Ａには、第２方向に延び、支柱２２の一端部が挿入される第２ガイド部２３４が形成されている。第２ガイド部２３４は、支柱２２の一端部と対になって案内板２３Ａを第２方向に移動可能とする。詳細には、第２ガイド部２３４には、支柱上端部２２１が挿入される。第２ガイド部２３４は、上下方向に貫通し、前後方向に延びる矩形状の貫通孔である。第２ガイド部２３４は、案内板２３Ａの四隅に配置される。第２ガイド部２３４は、支柱上端部２２１と対になって案内板２３Ａを前後方向に移動可能とする。

本変形例では、第２ガイド部２３４は、互いに対をなす、左第２ガイド部２３４Ｌと右第２ガイド部２３４Ｒとを有する。左第２ガイド部２３４Ｌと第１ガイド部２３３Ａとは繋がり、左第２ガイド部２３４Ｌの後端部は、第１ガイド部２３３Ａの左端部を兼ねる。右第２ガイド部２３４Ｒと第１ガイド部２３３Ａとは繋がり、右第２ガイド部２３４Ｒの後端は、第１ガイド部２３３Ａの右端部を兼ねる。

なお、第１ガイド部２３３Ａと第２ガイド部２３４との関係は例示にすぎない。例えば、左第２ガイド部２３４Ｌの前端部が第１ガイド部２３３Ａの左端部を兼ね、右第２ガイド部２３４Ｒの前端部が第１ガイド部２３３Ａの右端部を兼ねる構成等としてもよい。また、第１ガイド部２３３Ａと第２ガイド部２３４とは繋がっていなくてもよい。

図８は、第１変形例に係る案内板２３Ａの作用について説明するための第１模式図である。図８において、上段は、第１ガイド部２３３Ａの左端、および、左第２ガイド部２３４Ｌの後端が支柱上端部２２１と接触した状態を示す。図８において、下段は、第１ガイド部２３３Ａの右端、および、右第２ガイド部２３４Ｒの後端が支柱上端部２２１と接触した状態を示す。図８の上段に示す状態から、案内板２３Ａを右方および前方に動かすことはできない。図８の下段に示す状態から、案内板２３Ａを左方および前方に動かすことはできない。以下、図８の上段の案内板２３Ａの位置を右／前限界位置と呼称し、図８の下段の案内板２３Ａの位置を左／前限界位置と呼称する。

図９は、第１変形例に係る案内板２３Ａの作用について説明するための第２模式図である。図９において、左図は、図８に示す上段と同じ状態を示す。すなわち、図９の左図は、案内板２３Ａが右／前限界位置に存在する場合を示す。図９において、右図は、左第２ガイド部２３４Ｌの前端が支柱上端部２２１と接触した状態を示す。図９の右図の状態においては、案内板２３Ａは、右限界位置にあるとともに、後方に動かすことができない。以下、図９の右図の案内板２３Ａの位置を右／後限界位置と呼称する。

なお、図示は省略するが、案内板２３Ａは、右第２ガイド部２３４Ｒの前端が支柱上端部２２１と接触した状態に移動させることができる。この状態においては、案内板２３Ａは、左限界位置にあるとともに、後方に動かすことができない。案内板２３Ａのこの位置を左／後限界位置と呼称する。

また、図８および図９を用いた説明においては、ワーク２００の円環状の上面（被処理面）を４等分した領域のうち、左後方の領域を第１領域Ｒ１、右後方の領域を第２領域Ｒ２、左前方の領域を第３領域Ｒ３、右前方の領域を第４領域Ｒ４と呼称する。

案内板２３Ａが右／前限界位置に存在する場合（図８上段参照）、左後スリット２３１ＬＲが、ワーク２００の上面の第１領域Ｒ１より少し広い領域と上下方向に重なる。すなわち、左後スリット２３１ＬＲは、１／４円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、案内板２３Ａが右／前限界位置に存在する場合、ワーク２００の上面の第１領域Ｒ１より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。

また、案内板２３Ａが左／前限界位置に存在する場合（図８下段）、右後スリット２３１ＲＲが、ワーク２００の上面の第２領域Ｒ２より少し広い領域と上下方向に重なる。すなわち、右後スリット２３１ＲＲは、１／４円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、案内板２３Ａが左／前限界位置に存在する場合、ワーク２００の上面の第２領域Ｒ２より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。

また、案内板２３Ａが右／後限界位置に存在する場合（図９左図参照）、左前スリット２３１ＬＦが、ワーク２００の上面の第３領域Ｒ３より少し広い領域と上下方向に重なる。すなわち、左前スリット２３１ＬＦは、１／４円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、案内板２３Ａが右／後限界位置に存在する場合、ワーク２００の上面の第３領域Ｒ３より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。

また、案内板２３Ａが左／後限界位置に存在する場合、右前スリット２３１ＲＦが、ワーク２００の上面の第４領域Ｒ４より少し広い領域と上下方向に重なる。すなわち、右前スリット２３１ＲＦは、１／４円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、案内板２３Ａが左／後限界位置に存在する場合、ワーク２００の上面の第４領域Ｒ４より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。

本変形例では、支持台２１と案内板２３Ａとは、スリット２３１Ａの一方の端部を、隣接するスリット２３１Ａの端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置する相対移動を可能に設けられている。

詳細には、案内板２３Ａが支持台２１に対して移動して右／前限界位置から左／前限界位置へと動いた場合、右後スリット２３１ＲＲの左後端部が、隣接する左後スリット２３１ＬＲの右後端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。また、案内板２３Ａが支持台２１に対して移動して左／前限界位置から右／前限界位置へと動いた場合、左後スリット２３１ＬＲの右後端部が、隣接する右後スリット２３１ＲＲの左後端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。

また、案内板２３Ａが支持台２１に対して移動して右／前限界位置から右／後前限界位置へと動いた場合、左前スリット２３１ＬＦの左後端部が、隣接する左後スリット２３１ＬＲの左前端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。また、案内板２３Ａが支持台２１に対して移動して右／後限界位置から右／前限界位置へと動いた場合、左後スリット２３１ＬＲの左前端部が、隣接する左前スリット２３１ＬＦの左後端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。

また、案内板２３Ａが支持台２１に対して移動して左／前限界位置から左／後前限界位置へと動いた場合、右前スリット２３１ＲＦの右後端部が、隣接する右後スリット２３１ＲＲの右前端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。案内板２３Ａが支持台２１に対して移動して左／後限界位置から左／前前限界位置へと動いた場合、右後スリット２３１ＲＲの右前端部が、隣接する右前スリット２３１ＲＦの右後端部が存在した位置と重なる重複位置ＯＰに配置される。

すなわち、本変形例においても、第１ガイド部２３３Ａおよび第２ガイド部２３４を利用した案内板２３Ａの移動により、連結部２３２Ａの存在にもかかわらず、ワーク２００の上面全体をプラズマ処理することができる。本変形例でも、手作業にてプラズマ処理を正確且つ効率良く行うことができる。

また、本変形例では、案内板２３Ａが移動可能となる方向を増やせるために、スリット２３１Ａの数を２つより多くして、各スリット２３１Ａの長さを短くすることができる。これにより、案内板２３Ａに設けられる連結部２３２Ａの数を増やして、案内板２３Ａの強度を向上することができる。

以上からわかるように、本変形例でも、案内板２３Ａの移動により支柱２２の一端部が第１ガイド部２３３Ａの第１方向の一端部と他端部とのいずれに接触する場合においても、スリット２３１の一方の端部が重複位置ＯＰに配置される。また、案内板２３Ａの移動により支柱２２の一端部が第２ガイド部２３４の第２方向の一端部と他端部とのいずれに接触する場合においても、スリット２３１Ａの一方の端部が重複位置ＯＰに配置される。このために、ワーク２００の上面の全体をプラズマ処理するために必要となる案内板２３Ａの移動作業が簡単であり、効率良くプラズマ作業を行うことができる。

（３－２．第２変形例）
図１０は、第２変形例の案内板２３Ｂの構成を示す概略平面図である。第２変形例では、案内板２３Ｂには、支柱２２の一端部が挿入される複数の孔部２３５又は凹部が形成されている。図１０に示す例では、案内板２３Ｂには、支柱上端部２２１が挿入される複数の孔部２３５が形成されている。孔部２３５は、上下方向に案内板２３Ｂを貫通する。上下方向からの平面視において円形状に設けられる孔部２３５の直径は、円柱状に設けられる支柱上端部２２１の直径に比べて若干大きい。孔部２３５に替えて、案内板２３Ｂの下面に、上方に凹む凹部を設けてもよい。

詳細には、４つの支柱上端部２２１のそれぞれに対して左孔部２３５Ｌと右孔部２３５Ｒとが形成されている。すなわち、矩形板状の案内板２３Ｂの四隅に、それぞれ２つずつ孔部２３５が形成されている。なお、左孔部２３５Ｌおよび右孔部２３５Ｒは、上述した第１ガイド部２３３の替りに設けられている。

支柱上端部２２１が左孔部２３５Ｌに挿入された状態では、左スリット２３１Ｌが、ワーク２００の上面の左半分より少し広い領域と上下方向に重なる。本例では、左スリット２３１Ｌは、詳細には、半円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、支柱上端部２２１が左孔部２３５Ｌに挿入された状態では、ワーク２００の上面の左半分より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。

一方、案内板２３Ｂが支柱２２から一旦外されて、支柱上端部２２１が右孔部２３５Ｒに挿入された状態では、右スリット２３１Ｒが、ワーク２００の上面の右半分より少し広い領域と上下方向に重なる。本例では、右スリット２３１Ｒは、詳細には、半円弧より周方向の両側に少し広がった形状をしている。このために、支柱上端部２２１が右孔部２３５Ｒに挿入された状態では、ワーク２００の上面の右半分より少し広い領域をプラズマ処理装置１によりプラズマ処理することができる。

本例では、支柱２２の一端部が挿入される孔部２３５又は凹部を変更する相対移動により、スリット２３１の少なくとも一方の端部が重複位置ＯＰに配置される。詳細には、支柱上端部２２１が挿入される左孔部２３５Ｌを右孔部２３５Ｒに変更する相対移動により、右スリット２３１Ｒの両端部が、左スリット２３１Ｌの両端部が存在した位置に重なる重複位置ＯＰに配置される。また、支柱上端部２２１が挿入される右孔部２３５Ｒを左孔部２３５Ｌに変更する相対移動により、左スリット２３１Ｌの両端部が、右スリット２３１Ｒの両端部が存在した位置に重なる重複位置ＯＰに配置される。

本変形例においても、案内板２３Ｂの支持台２１に対する簡単な移動を行うことにより、連結部２３２の存在にもかかわらず、ワーク２００の上面全体をプラズマ処理することができる。本変形例でも、手作業にてプラズマ処理を正確且つ効率良く行うことができる。

＜４．留意事項＞
本明細書中に開示されている種々の技術的特徴は、その技術的創作の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。また、本明細書中に示される複数の実施形態および変形例は可能な範囲で組み合わせて実施されてよい。

以上では、被処理部が閉曲線状であるワーク２００に本発明が適用される例を示した。ただし、本発明は、被処理部が例えばＣ字状等の閉曲線状でないワークに対しても適用可能である。この場合において、支持台と案内板とは、スリットの一方の端部を、隣接するスリットの端部が存在した位置と重なる重複位置に配置する相対移動を可能に設けられる構成であってよい。

また、以上においては、被処理部が左右対称形状であるワーク２００に本発明が適用される例を示した。ただし、本発明は、被処理部が左右非対称形状であるワークにも適用可能である。例えば、プラズマ処理がシール剤を塗布する領域の洗浄を行うために使用される場合、シール剤により接着される２つの部材のシール剤塗布領域は鏡像関係となる。シール剤塗布領域が左右非対称形状である場合、案内板の左右を反転するようにひっくり返して使用することにより、鏡像関係にある２つの部材のいずれについても、１つの案内板２３を使用してプラズマ処理を行うことができる。

また、以上においては、案内板２３が上下方向に直交する面内で直線移動する構成とした。ただし、ワークの被処理面が円環状等である場合、案内板が支持台に対して回転移動する構成としてもよい。当該回転移動により、複数のスリットの一方の端部が、隣接するスリットの端部が存在した位置と重なる重複位置に配置される構成としてよい。

本発明は、ワークをプラズマ処理する際に利用することができる。

１・・・プラズマ処理装置
２・・・治具
１１・・・プラズマ発生部
１２・・・ハウジング
２１・・・支持台
２２・・・支柱
２３・・・案内板
１００・・・プラズマ処理システム
１２１・・・ハウジング凹部
２００・・・ワーク
２１１・・・位置決め部
２２１・・・支柱上端部（支柱の一端部）
２３１・・・スリット
２３２・・・連結部
２３３・・・第１ガイド部
２３４・・・第２ガイド部
２３５・・・孔部
２３２１・・・第１連結部
２３２２・・・第２連結部
ＯＲ・・・重複位置

Claims (10)

1. プラズマを発生させるプラズマ発生部を有するプラズマ処理装置用の治具であって、
   前記プラズマ処理装置によりプラズマ処理を行うワークを載せる支持台と、
   前記支持台から延びる支柱と、
   前記支柱に支持され、前記プラズマ処理の際に前記プラズマ発生部を案内するスリットが複数設けられる案内板と、
   を有し、
   前記複数のスリットのそれぞれは、少なくとも一方の端部が他の前記スリットの端部と連結部を介して隣接し、
   前記支持台と前記案内板とは、少なくとも１つの前記スリットの少なくとも一方の端部を、隣接する前記スリットの端部が存在した位置と重なる重複位置に配置する相対移動を可能に設けられる、治具。
2. 前記支柱は、前記支持台に固定され、
   前記案内板は、前記支柱に対して移動可能に支持される、請求項１に記載の治具。
3. 前記支柱は、上下方向に延び、
   前記案内板は、上下方向と直交する面内において、少なくとも１つの方向に移動可能である、請求項２に記載の治具。
4. 前記連結部は、隣接する前記スリット間を第１方向に延びて接続する第１連結部を有し、
   前記案内板には、第１方向に延び、前記支柱の一端部が挿入される第１ガイド部が形成されており、
   前記第１ガイド部は、前記支柱の一端部と対になって前記案内板を第１方向に移動可能とする、請求項２又は３に記載の治具。
5. 前記案内板の移動により前記支柱の一端部が前記第１ガイド部の第１方向の一端部と他端部とのいずれに接触する場合においても、前記スリットの少なくとも一方の端部が前記重複位置に配置される、請求項４に記載の治具。
6. 前記連結部は、隣接する前記スリット間を第１方向と直交する第２方向に延びて接続する第２連結部を更に有し、
   前記案内板には、第２方向に延び、前記支柱の一端部が挿入される第２ガイド部が形成されており、
   前記第２ガイド部は、前記支柱の一端部と対になって前記案内板を第２方向に移動可能とする、請求項４又は５に記載の治具。
7. 前記案内板の移動により前記支柱の一端部が前記第２ガイド部の第２方向の一端部と他端部とのいずれに接触する場合においても、前記スリットの一方の端部が前記重複位置に配置される、請求項６に記載の治具。
8. 前記支持台は、前記ワークを位置決めする位置決め部を有する、請求項１から７のいずれか１項に記載の治具。
9. 前記案内板には、前記支柱の一端部が挿入される複数の孔部又は凹部が形成され、
   前記支柱の一端部が挿入される前記孔部又は前記凹部を変更する相対移動により、前記スリットの少なくとも一方の端部が前記重複位置に配置される、請求項２に記載の治具。
10. 請求項１から９のいずれか１項に記載の治具と、
    前記プラズマ処理装置と、
    を有し、
    前記プラズマ処理装置は、前記プラズマ発生部を囲むハウジングを更に有し、
    前記ハウジングは、前記プラズマ処理を行う際に前記案内板と接触させる面に、前記案内板から離れる方向に凹むハウジング凹部を有する、プラズマ処理システム。

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