JP2008068266A - ウエハ加工方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンを含むウエハ1をレーザー2により加工するウエハ加工方法において、ウエハ1にレーザー2を照射して加工するレーザー加工工程と、フッ素系ガスを含む大気圧プラズマ5をレーザー2による加工部位に照射するプラズマ照射工程とを有している。
【選択図】図1
Description
まず、本発明のウエハ加工方法及び装置の第1の実施形態について、図1〜図10を参照して説明する。
次に、本発明のウエハ加工方法及び装置の第2の実施形態について、図11、図12を参照して説明する。なお、上記第1の実施形態と同一の構成要素については、 同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
2 レーザー
3 溝
4 溶融付着物
5 大気圧プラズマ
6 大気圧プラズマ発生手段
11 ウエハ加工装置
13 レーザー発生手段
14 レーザー照射手段
15 三次元移動手段
20 制御手段
Claims (7)
- シリコンを含むウエハをレーザーにより加工するウエハ加工方法において、ウエハにレーザーを照射して加工するレーザー加工工程と、フッ素系ガスを含む大気圧プラズマをレーザーによる加工部位に照射するプラズマ照射工程とを有することを特徴とするウエハ加工方法。
- レーザー加工工程の後に、プラズマ照射工程を行うことを特徴とする請求項1記載のウエハ加工方法。
- 照射する大気圧プラズマ中にレーザーを照射してレーザー加工工程とプラズマ照射工程を同時に行うことを特徴とする請求項1記載のウエハ加工方法。
- フッ素系ガスを含む大気圧プラズマは、不活性ガスとフッ素系ガスの混合ガスに高周波電界を印加して発生させることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のウエハ加工方法。
- フッ素系ガスを含む大気圧プラズマは、不活性ガスに高周波電界を印加して発生させたプラズマにフッ素系ガスを含むガスを混合して発生させることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のウエハ加工方法。
- シリコンを含むウエハをレーザーにより加工するウエハ加工装置において、レーザーを発生するレーザー発生手段と、レーザーをウエハの加工線に沿って照射するレーザー照射手段と、フッ素系ガスを含む大気圧プラズマを発生して照射する大気圧プラズマ発生手段と、大気圧プラズマ発生手段を移動する三次元移動手段と、レーザー発生手段とレーザー照射手段と大気圧プラズマ発生手段と三次元移動手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするウエハ加工装置。
- 大気圧プラズマ発生手段による大気圧プラズマの照射領域の移動に従って、レーザーを大気圧プラズマの照射領域に照射して加工することを特徴とする請求項6記載のウエハ加工装置。
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