JPWO2015132952A1 - スクリーン印刷装置、及び、スクリーン印刷方法 - Google Patents

Abstract

基板にパターンを印刷し、基板をマスク本体から版離れさせるスクリーン印刷装置であって、マスク本体を保持するフレームと、マスク本体とフレームとの間に介在する弾性部材と、を有するマスクと、基板を保持する保持部と、保持部に保持されている基板とマスク本体とが重なっている状態でマスク本体を吸着する吸着部と、基板にパターンが印刷された後に、吸着部がマスク本体を吸着している状態で保持部及び吸着部をフレームから基板の板面に垂直な方向に相対的に離間させる離間部と、を備える。マスク本体の基板からの抜け方が一様となり、基板をマスク本体から良好に版離れさせることができる。

Description

マスクを用いて基板にパターンを印刷するスクリーン印刷装置に関する。

従来、印刷するパターンが形成されているマスク本体を用いて基板などの印刷対象物にパターンを印刷するスクリーン印刷において、印刷後に印刷対象物をマスク本体から版離れさせるとき、良好な印刷結果を得るために、可塑性を有するマスク本体を撓ませ、マスク本体が印刷対象物の方向に撓んだ状態を維持したまま、印刷対象物とマスク本体とを剥離する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０００−２６３７４８号公報

（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述した従来の技術では、押圧部材をマスク本体の中央に当接させて印刷対象物の方向に撓んだ状態を維持したままマスク本体を印刷対象物から剥離するため、マスク本体の印刷対象物からの抜け方が一様でなくなるという問題がある。
本明細書では、基板をマスク本体から良好に版離れさせることができる技術を開示する。

（課題を解決するための手段）
本明細書によって開示されるスクリーン印刷装置は、基板にパターンを印刷し、前記基板をマスク本体から版離れさせるスクリーン印刷装置であって、前記マスク本体を保持するフレームと、前記マスク本体と前記フレームとの間に介在される弾性部材と、を有するマスクと、前記基板を保持する保持部と、前記保持部に保持されている前記基板と前記マスク本体とが重なっている状態で前記マスク本体を吸着する吸着部と、前記基板にパターンが印刷された後に、前記吸着部が前記マスク本体を吸着している状態で前記保持部及び前記吸着部を前記フレームから前記基板の板面に垂直な方向に相対的に離間させる離間部と、を備える。

上記スクリーン印刷装置によると、吸着部に吸着されているマスク本体は弾性部材からフレーム側に引っ張る力を受けながらフレームから離間することになる。このため吸着が解除されたとき、マスク本体は弾性部材によってフレーム側に引っ張られ、基板とマスク本体とが高速に版離れする。基板とマスク本体とが高速に版離れすると、印刷に用いられるペーストがマスク本体側に残り難くなる。従って、マスク本体の基板からの抜け方が一様となり、基板をマスク本体から良好に版離れさせることができる。

また、前記吸着部は、前記基板と前記マスク本体とが重なっている状態で前記マスク本体に接する面に孔が形成されている当接部材と、前記孔内の空気を吸引する吸引装置と、を含み、前記離間部は、前記吸着部が前記マスク本体を吸着している状態で前記保持部及び前記当接部材を前記フレームから離間させてもよい。

上記スクリーン印刷装置によると、例えば吸盤を用いて吸着する場合に比べ、吸着する力の大きさや吸着を解除するタイミングなどの制御が容易になる。

また、前記吸着部は、前記離間部によって離間が開始された後、予め設定されているタイミングで前記吸引装置に吸引を停止させる主制御部を含んでもよい。

上記スクリーン印刷装置によると、複数の基板に印刷する場合に、基板間でタイミングがばらつかないようにすることができる。

また、前記吸引装置による吸引を停止させるタイミングを設定するタイミング設定部をさらに備え、前記主制御部は、前記タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記吸引装置による吸引を停止させてもよい。

弾性部材の張力はマスクによって異なっている場合もある。上記スクリーン印刷装置によると、吸着を解除するタイミングを設定できるので、マスクに応じて適切なタイミングを設定することができる。

また、前記吸引装置は前記孔内に空気を送り出すことも可能に構成されており、前記主制御部は、前記タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記吸引装置に空気を送り出させてもよい。

上記スクリーン印刷装置によると、孔内に空気を送り出すことによって孔内が正圧になるので、よりスムーズに版離れさせることができる。

また、目標圧力を設定する圧力設定部をさらに備え、前記吸着部は、前記吸引装置によって吸引される空気の圧力を前記圧力設定部によって設定された目標圧力に調整するレギュレータを含んでもよい。

上記スクリーン印刷装置によると、版離れするタイミングを設定することができる。

また、本明細書によって開示されるスクリーン印刷方法は、基板にパターンを印刷し、前記基板をマスク本体から版離れさせるスクリーン印刷方法であって、前記マスク本体を保持するフレームと前記マスク本体との間に弾性部材が介在されており、保持部に前記基板を保持させる保持工程と、前記保持部に保持されている前記基板と前記マスク本体とが重なっている状態で吸着部に前記マスク本体を吸着させる吸着工程と、前記基板にパターンが印刷された後に、前記吸着部が前記マスク本体を吸着している状態で前記保持部及び前記吸着部を前記フレームから前記基板の板面に垂直な方向に相対的に離間させる離間工程と、を含む。

上記スクリーン印刷方法によると、基板をマスク本体から良好に版離れさせることができる。

（発明の効果）
上記のスクリーン印刷装置によると、基板をマスク本体から良好に版離れさせることができる。

実施形態１に係るスクリーン印刷装置の全体構成を簡略化して示す模式図。 印刷ステージ部、及び、基板固定部の斜視図。 スクリーン印刷装置の電気的構成を簡略化して示すブロック図。 マスクの模式図。 印刷制御処理のフローチャート。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 印刷の流れを時系列で示す模式図。 比較例を示す模式図。 実施形態１に係るスクリーン印刷装置を用いて版離れを行った結果を示す模式図。 実施形態２に係るマスク本体を引っ張り上げる力とマスク本体を吸着する力とを示す模式図。 実施形態２に係るスクリーン印刷装置の電気的構成を簡略化して示すブロック図。

＜実施形態１＞
実施形態１を図１ないし図７によって説明する。
（１）スクリーン印刷装置の全体構成
先ず、図１を参照して、実施形態１に係るスクリーン印刷装置１の全体構成について概略的に説明する。スクリーン印刷装置１は、マスク本体５１と、マスク本体５１を保持するフレーム５２と、マスク本体５１とフレーム５２との間に介在する弾性部材５３とを有するマスク５０を用いて基板２にパターンを印刷し、その後に基板２をマスク本体５１から版離れさせる装置である。

スクリーン印刷装置１はフレーム固定部１０、印刷部２０、印刷ステージ部３０、及び、基板固定部４０を備えている。ここで、スクリーン印刷装置１はこの他にも図３に示す主制御部６０、エジェクタ６１、設定部６２などを備えているが、図１ではそれらを省略して示している。

フレーム固定部１０は印刷時にフレーム５２が動いてしまわないように固定する機構である。
印刷部２０はマスク５０を用いて基板２にパターンを印刷する機構である。印刷部２０はスキージ２１、マスク本体５１の板面に平行な方向にスキージ２１を移動させるスキージ駆動部２２（図３参照）などを備えている。

次に、図２を参照して、印刷ステージ部３０、及び、基板固定部４０について説明する。
印刷ステージ部３０はマスク本体５１に対して基板２を位置決めする機構である。印刷ステージ部３０は昇降テーブル３０Ａ、図示しない基台に対して昇降テーブル３０Ａを前後方向（Ｘ軸方向）、左右方向（Ｙ軸方向）、及び、上下方向（Ｚ軸方向）に移動させるとともに、図示しない基台に対して昇降テーブル３０ＡをＺ軸に平行な鉛直線周りに回動させるステージ駆動部３０Ｂ（図３参照）などを備えている。

上述した印刷ステージ部３０、及び、後述する主制御部６０は離間部９０を構成している。また、上下方向は基板の板面に垂直な方向の一例である。

基板固定部４０は印刷ステージ部３０に設けられている。従って印刷ステージ部３０が上昇すれば基板固定部４０も上昇し、印刷ステージ部３０が下降すれば基板固定部４０も下降する。基板固定部４０はコンベア部４１、クランプ部４２、基板昇降部４３、上昇規制部４４などを備えて構成されている。

コンベア部４１は基板２をＸ軸方向に搬送する機構である。コンベア部４１はＸ軸方向に平行に延びる二つのベルトユニット４１Ａ及び４１Ｂ、ベルトユニット４１Ａ及び４１Ｂを駆動するベルト駆動部４１Ｃ（図３参照）などを備えている。ベルトユニット４１Ａ及び４１Ｂは複数のプーリ、それら複数のプーリに駆け回されているベルトなどを備えている。

クランプ部４２は基板２を保持する機構である。クランプ部４２は基板２をＹ軸方向から挟んで固定する一対のクランプ４２Ａ及び４２Ｂ、クランプ４２Ａ及び４２ＢをＹ軸方向に移動させるクランプ駆動部４２Ｃ（図３参照）などを備えている。クランプ４２Ａ及び４２Ｂの上面には複数の孔４２Ｄが設けられている。孔４２Ｄはクランプ４２Ａ及び４２ＢをＺ軸方向に貫通しており、下端側が図示しないパイプを介して後述するエジェクタ６１（図３参照）に接続されている。

上述したクランプ部４２、及び、後述する主制御部６０は保持部７０を構成している。また、クランプ４２Ａ、クランプ４２Ｂ、後述する主制御部６０、及び、エジェクタ６１は吸着部８０を構成している。また、上述したクランプ４２Ａ及び４２Ｂは当接部材の一例である。つまり、本実施形態ではクランプ４２Ａ及び４２Ｂは保持部と吸着部とを兼ねている。また、クランプ４２Ａ及び４２Ｂの上面は、基板とマスク本体とが重なっている状態でマスク本体に接する面の一例である。

基板昇降部４３はコンベア部４１によって搬送されてきた基板２を持ち上げる機構である。基板昇降部４３は載置テーブル４３Ａ、載置テーブル４３Ａを昇降テーブル３０Ａに対してＺ軸方向に昇降させる載置テーブル駆動部４３Ｂ（図３参照）などを備えている。図２では省略しているが、載置テーブル４３Ａの上面には基板２を下から支持するための複数のバックアップピン４３Ｃ（図１参照）が設けられている。

上昇規制部４４は載置テーブル４３Ａによって基板２が持ち上げられたときに基板２の上面とクランプ４２Ａ及び４２Ｂの上面とが面一になる高さで基板２の上昇を規制する機構である。上昇規制部４４はクランプ４２Ａ及び４２Ｂに対応して設けられている一対の規制板４４Ａ及び４４Ｂ、これらの規制板４４Ａ及び４４Ｂを、基板２の上昇を規制しない位置（図６Ａに示す位置）と基板２の上昇を規制する位置（図６Ｂに示す位置）とに変位させる規制板駆動部４４Ｃ（図３参照）などを有している。

（２）スクリーン印刷装置の電気的構成
次に、図３を参照して、スクリーン印刷装置１の電気的構成について説明する。スクリーン印刷装置１は主制御部６０を備えている。主制御部６０には前述した各種の駆動部の他、エジェクタ６１、設定部６２などが電気的に接続されている。

主制御部６０はＣＰＵ６０Ａ、ＲＯＭ６０Ｂ、ＲＡＭ６０Ｃなどを備えている。ＣＰＵ６０ＡはＲＯＭ６０Ｂに記憶されている制御プログラムを実行することによってスクリーン印刷装置１の各部を制御する。ＲＯＭ６０Ｂは主制御部６０によって実行される制御プログラムや各種のデータなどを記憶している。ＲＡＭ６０Ｃは主制御部６０が各種の処理を実行するための主記憶装置として用いられる。

エジェクタ６１は空気を吸引する装置である。前述したようにエジェクタ６１はパイプを介して孔４２Ｄに接続されており、エジェクタ６１が空気を吸引することによって孔４２Ｄの内部が負圧になる。また、エジェクタ６１は空気を送り出して孔４２Ｄの内部を正圧にすることも可能に構成されている。エジェクタ６１は吸引装置の一例である。

設定部６２は液晶ディスプレイなどの表示装置や各種の操作ボタンを備えている。作業者は設定部６２を操作することによって後述する「吸着を解除するタイミング」などの各種の設定を行うことができる。設定部６２はタイミング設定部の一例である。

（３）マスクの構成
次に、図４を参照して、マスク５０について説明する。図４では図１に示す上方向からマスク５０を見た場合を示している。マスク本体５１はアルミニウムや鉄などの金属で形成されている矩形枠状のフレーム５２の内側に弾性部材５３を介して支持されている。マスク本体５１はアルミニウムや鉄などで形成されており、印刷するパターンに対応する開口５１Ａが形成されている。弾性部材５３は板状の樹脂やゴムなどによって形成されている。なお、弾性部材５３は例えばばねであってもよい。

（４）印刷制御処理
次に、図５、及び、図６Ａ〜図６Ｈを参照して、主制御部６０によって実行される印刷制御処理について説明する。ここで、図６Ａ〜図６Ｈではスクリーン印刷装置１を図１に示す前側から見た場合を示している。つまり、図６Ａ〜図６Ｈでは基板２は紙面奥側から紙面手前側に向かって搬送される。

Ｓ１０１では、主制御部６０はコンベア部４１を制御して、図６Ａに示すように載置テーブル４３Ａの上方に基板２を搬送させる。
Ｓ１０２では、主制御部６０は規制板駆動部４４Ｃを制御して、図６Ｂに示すように基板２の上昇を規制する位置に規制板４４Ａ及び４４Ｂを変位させる。基板２の上昇を規制する位置では、規制板４４Ａ及び４４Ｂは一部がクランプ４２Ａ及び４２Ｂの上面に当接した状態で基板２の上方に位置する姿勢となる。

そして、主制御部６０は載置テーブル駆動部４３Ｂを制御して載置テーブル４３Ａを上昇させる。載置テーブル４３Ａが上昇すると基板２がコンベア部４１から持ち上げられ、規制板４４Ａ及び４４Ｂに当接する。基板２は規制板４４Ａ及び４４Ｂに当接することでそれ以上の上昇が規制される。

そして、主制御部６０はクランプ駆動部４２Ｃを制御して二つのクランプ４２Ａ及び４２Ｂをそれぞれ基板２側に移動させる。これにより基板２がクランプ４２Ａ及び４２Ｂによって固定される。

Ｓ１０３では、主制御部６０は規制板駆動部４４Ｃを制御して、図６Ｃに示すように基板２の上昇を規制しない位置に規制板４４Ａ及び４４Ｂを変位させる。
Ｓ１０４では、主制御部６０はステージ駆動部３０Ｂを制御して昇降テーブル３０Ａを上昇させる。基板２を固定しているクランプ４２Ａ及び４２Ｂや載置テーブル４３Ａは昇降テーブル３０Ａに設けられているので、昇降テーブル３０Ａを上昇させるとクランプ４２Ａ及び４２Ｂや載置テーブル４３Ａも上昇し、図６Ｄに示すように基板２とマスク本体５１とが重なって密接するとともに、クランプ４２Ａ及び４２Ｂとマスク本体５１とが密接する。

Ｓ１０５では、主制御部６０はエジェクタ６１を制御して空気を吸引させる。これによりマスク本体５１がクランプ４２Ａ及び４２Ｂに吸着される。クランプ４２Ａ及び４２Ｂによってマスク本体５１を吸着すると、印刷時にマスク本体５１が基板２に対して位置ずれしてしまうことを抑制できる。

Ｓ１０６では、主制御部６０はスキージ駆動部２２を制御して、図６Ｅに示すようにスキージ２１を移動させる。スキージ２１が移動するとマスク本体５１上でペースト８０が均されるように広がり、マスク本体５１に形成されている開口５１Ａ（図４参照）に充填される。これにより基板２にパターンが印刷される。

Ｓ１０７では、主制御部６０はステージ駆動部３０Ｂを制御して昇降テーブル３０Ａを下降させる。図６Ｆ及び図６Ｇに示すように、昇降テーブル３０Ａを下降させるとクランプ４２Ａ及び４２Ｂも下降する。これによりクランプ４２Ａ及び４２Ｂがフレーム５２から基板２の板面に垂直な方向に離間する。このとき主制御部６０はクランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着している状態で昇降テーブル３０Ａを下降させる。このためマスク本体５１はクランプ４２Ａ及び４２Ｂと伴に下降し、マスク本体５１を保持している弾性部材５３が伸びてマスク本体５１を上方に引っ張る力が大きくなる。

Ｓ１０８では、主制御部６０は昇降テーブル３０Ａの下降を開始させた後、予め設定されているタイミングでエジェクタ６１を制御して空気の吸引を停止させる。これによりクランプ４２Ａ及び４２Ｂによるマスク本体５１の吸着が解除される。吸着が解除されるとマスク本体５１は弾性部材５３によって上方に引っ張り上げられ、基板２がマスク本体５１から版離れする。上方に引っ張り上げられたマスク本体５１は図６Ｈに示すように元の位置に復帰する。

ここで、吸着を解除するタイミングは、昇降テーブル３０Ａの下降を開始してから予め設定されている時間が経過したタイミングであってもよいし、昇降テーブル３０Ａが予め設定されている距離だけ下降したタイミングであってもよい。このタイミングは作業者が設定部６２を操作して可変に設定することができる。

（５）実施形態の効果
以上説明した実施形態１に係るスクリーン印刷装置１によると、基板２に印刷を行った後、クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着している状態でクランプ４２Ａ及び４２Ｂをフレーム５２から離間させるので、クランプ４２Ａ及び４２Ｂに吸着されているマスク本体５１は弾性部材５３から上方に引っ張る力を受けながらフレーム５２から離間する。このため吸着が解除されたとき、マスク本体５１は弾性部材５３によって上方に強く引っ張られ、基板２とマスク本体５１とが高速に版離れする。基板２とマスク本体５１とが高速に版離れすると、印刷に用いられるペースト８０がマスク本体５１側に残り難くなるので、基板２をマスク本体５１から良好に版離れさせることができる。以下、具体的に説明する。

図７Ａは、クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着していない状態でクランプ４２Ａ及び４２Ｂを下降させて版離れを行った結果を示す比較例である。クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着していない状態でクランプ４２Ａ及び４２Ｂを下降させた場合は、弾性部材５３がマスク本体５１を上方に引っ張り上げる力が小さいうちに版離れする。弾性部材５３がマスク本体５１を上方に引っ張り上げる力が小さいと、基板２とマスク本体５１とが版離れする速度が遅くなる。版離れする速度が遅いと、図７Ａに示すようにペースト８０の一部がマスク本体５１側に残ってしまう場合がある。

また、版離れする速度が遅いと、ペースト８０がマスク本体５１側に残ってしまった部分と残らなかった部分とが生じたり、あるいは部分によって残る量に差が生じたりすることにより、形成したバンプの厚みにムラが生じる場合がある。従って、マスク本体５１の基板２からの抜け方が一様とならず、基板２をマスク本体５１から良好に版離れさせることができない。ここでバンプとは、基板２上に残ったペースト８０のことをいう。

これに対し、図７Ｂは実施形態１に係るスクリーン印刷装置１を用いて版離れを行った結果を示している。高速で版離れさせると、図７Ｂに示すようにペースト８０がマスク本体５１側に残り難くなる。これは、高速で版離れさせるとマスク本体５１とペースト８０とを切り離す力が大きくなるからであると推測される。ペースト８０がマスク本体５１側に残り難くなれば、結果としてバンプの厚みにムラが生じてしまうことも抑制できる。従って、マスク本体５１の基板２からの抜け方が一様となり、基板２をマスク本体５１から良好に版離れさせることができる。

更に、スクリーン印刷装置１によると、エジェクタ６１によってマスク本体５１を吸着するので、例えば吸盤を用いて吸着する場合に比べ、吸着する力の大きさや吸着を解除するタイミングなどの調整が容易になる。

更に、スクリーン印刷装置１によると、クランプ４２Ａ及び４２Ｂの下降を開始させた後、予め設定されているタイミングで吸着を解除するので、複数の基板２に印刷する場合に、基板２間で吸着を解除するタイミングがばらついてしまわないようにすることができる。

更に、スクリーン印刷装置１によると、作業者は設定部６２を操作することによって吸着を解除するタイミングを設定することができる。弾性部材５３の張力はマスク５０によって異なっている場合もあるので、吸着を解除するタイミングを可変に設定できるようにすると、マスク５０に応じて適切なタイミングを設定することができる。

＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２を図８ないし図９によって説明する。
前述した実施形態１ではエジェクタ６１による吸引を停止させることによって吸着を解除する場合を例に説明した。これに対し、実施形態２に係るスクリーン印刷装置１は、自然に吸着が解除されるまで昇降テーブル３０Ａを下降させる。

具体的には、図８に示すように、クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着している状態でクランプ４２Ａ及び４２Ｂを下降させると弾性部材５３がマスク本体５１を引っ張り上げる力Ｆｓが徐々に大きくなり、クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着する力Ｆｖより大きくなったとき（Ｆｓ＞Ｆｖ）に自然に吸着が解除される。

ここで、Ｆｓは弾性部材５３の材質、大きさ、版離れ時の距離などから決定されるパラメータであって、印刷する基板２や使用するマスク５０によって変化するパラメータである。Ｆｖはエジェクタ６１が空気を吸引する圧力や孔４２Ｄの開口の大きさなどから決定されるパラメータである。

自然に吸着が解除されるまでクランプ４２Ａ及び４２Ｂを下降させる場合であっても、クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着する力Ｆｖを調整すれば、版離れするタイミングを制御することができる。そこで、実施形態２に係るスクリーン印刷装置１は、エジェクタ６１が空気を吸引する圧力を調整することにより、クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着する力Ｆｖを調整する。

図９に示すように、実施形態２に係るスクリーン印刷装置１は、実施形態１に係るスクリーン印刷装置１の構成に加えてレギュレータ６３を備えている。レギュレータ６３は孔４２Ｄとエジェクタ６１とを接続するパイプの途中に設けられており、エジェクタ６１によって吸引される空気の圧力を目標圧力に調整する。

実施形態２に係るスクリーン印刷装置１では、作業者は設定部６２を操作して上述した目標圧力を可変に設定することができる。実施形態２に係る設定部６２は圧力設定部の一例である。

以上説明した実施形態２に係るスクリーン印刷装置１によると、基板２とマスク本体５１とを自然に版離れさせる場合に、クランプ４２Ａ及び４２Ｂがマスク本体５１を吸着する力Ｆｖを調整することによって版離れするタイミングを調整することができる。

＜他の実施形態＞
上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も技術的範囲に含まれる。

（１）上記実施形態ではクランプ４２Ａ及びクランプ４２Ｂが保持部７０と吸着部８０とを兼ねている場合を例に説明した。これに対し、クランプ４２Ａ及びクランプ４２Ｂが保持部７０と吸着部８０とを兼ねないようにしてもよい。例えば、規制板４４Ａ及び４４Ｂに孔４２Ｄを設け、規制板４４Ａ及び４４Ｂがマスク本体５１を吸着する構成であってもよい。この場合、規制板４４Ａ、規制板４４Ｂ、主制御部６０、及び、エジェクタ６１によって吸着部８０が構成されることになる。また、この場合、規制板４４Ａ及び４４Ｂは当接部材の一例である。

（２）上記実施形態１では吸着を解除するときエジェクタ６１による空気の吸引を停止させるだけであるが、エジェクタ６１から空気を送り込むことによって孔４２Ｄの内部を積極的に正圧にするようにしてもよい。このようにすると負圧による版離れのし難さを速やかに解消することができるので、負圧の影響によって版離れ速度が遅くなってしまうことを抑制できる。

（３）上記実施形態では基板固定部４０を下降させることによって基板固定部４０をフレーム５２から相対的に離間させる場合を例に説明した。これに対し、フレーム固定部１０を上昇させることによって基板固定部４０をフレーム５２から相対的に離間させてもよいし、基板固定部４０を下降させるとともに、フレーム固定部１０を上昇させることによって基板固定部４０をフレーム５２から相対的に離間させてもよい。

（４）上記実施形態ではＣＰＵ６０Ａによって各処理が実行される場合を例に説明した。これに対し、主制御部６０はＡＳＩＣを備え、これらの処理の一部をＡＳＩＣによって実行してもよい。

１・・・スクリーン印刷装置
２・・・基板
３０・・・印刷ステージ部（「離間部」の一例）
４０・・・基板固定部
４２・・・クランプ部（「保持部」の一例）
４２Ａ・・・クランプ（「吸着部」の一部、「当接部材」の一例）
４２Ｂ・・・クランプ（「吸着部」の一部、「当接部材」の一例）
４２Ｃ・・・クランプ駆動部（「保持部」の一部）
４２Ｄ・・・孔
５０・・・マスク
５１・・・マスク本体
５２・・・フレーム
５３・・・弾性部材
６０・・・主制御部（「保持部」、「吸着部」、「離間部」の一部）
６１・・・エジェクタ（「保持部」の一部、「吸引装置」の一例）
６２・・・設定部（「タイミング設定部」、「圧力設定部」の一例）
６３・・・レギュレータ
７０・・・保持部
８０・・・吸着部
９０・・・離間部

Claims (7)

1. 基板にパターンを印刷し、前記基板をマスク本体から版離れさせるスクリーン印刷装置であって、
   前記マスク本体を保持するフレームと、
   前記マスク本体と前記フレームとの間に介在される弾性部材と、
   を有するマスクと、
   前記基板を保持する保持部と、
   前記保持部に保持されている前記基板と前記マスク本体とが重なっている状態で前記マスク本体を吸着する吸着部と、
   前記基板にパターンが印刷された後に、前記吸着部が前記マスク本体を吸着している状態で前記保持部及び前記吸着部を前記フレームから前記基板の板面に垂直な方向に相対的に離間させる離間部と、
   を備える、スクリーン印刷装置。
2. 請求項１に記載のスクリーン印刷装置であって、
   前記吸着部は、
   前記基板と前記マスク本体とが重なっている状態で前記マスク本体に接する面に孔が形成されている当接部材と、
   前記孔内の空気を吸引する吸引装置と、
   を含み、
   前記離間部は、前記吸着部が前記マスク本体を吸着している状態で前記保持部及び前記当接部材を前記フレームから離間させる、スクリーン印刷装置。
3. 請求項２に記載のスクリーン印刷装置であって、
   前記吸着部は、前記離間部によって離間が開始された後、予め設定されているタイミングで前記吸引装置に吸引を停止させる主制御部を含む、スクリーン印刷装置。
4. 請求項３に記載のスクリーン印刷装置であって、
   前記吸引装置による吸引を停止させるタイミングを設定するタイミング設定部をさらに備え、
   前記主制御部は、前記タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記吸引装置による吸引を停止させる、スクリーン印刷装置。
5. 請求項３又は請求項４に記載のスクリーン印刷装置であって、
   前記吸引装置は前記孔内に空気を送り出すことも可能に構成されており、
   前記主制御部は、前記タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記吸引装置に空気を送り出させる、スクリーン印刷装置。
6. 請求項２に記載のスクリーン印刷装置であって、
   目標圧力を設定する圧力設定部をさらに備え、
   前記吸着部は、前記吸引装置によって吸引される空気の圧力を前記圧力設定部によって設定された目標圧力に調整するレギュレータを含む、スクリーン印刷装置。
7. 基板にパターンを印刷し、前記基板をマスク本体から版離れさせるスクリーン印刷方法であって、
   前記マスク本体を保持するフレームと前記マスク本体との間に弾性部材が介在されており、
   保持部に前記基板を保持させる保持工程と、
   前記保持部に保持されている前記基板と前記マスク本体とが重なっている状態で吸着部に前記マスク本体を吸着させる吸着工程と、
   前記基板にパターンが印刷された後に、前記吸着部が前記マスク本体を吸着している状態で前記保持部及び前記吸着部を前記フレームから前記基板の板面に垂直な方向に相対的に離間させる離間工程と、
   を含む、スクリーン印刷方法。

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