JP4229888B2 - 電子部品実装装置 - Google Patents
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Description
図1は、電子部品実装装置の全体構成図である。図に示すように電子部品実装装置は、ボンディングツール10、ボンディングヘッド20、連結部50、昇降部60、ボンディングステージ90、テーブル100、送りリール110a、巻き取りリール110b、ガイドローラ120a,120b、受け皿130、およびセンサ140a,140bを有している。また、主制御部150、温度制御部151、駆動制御部152、吸着制御部153、巻き取り制御部154、認識制御部155、照明制御部156、駆動制御部157、カメラ駆動部158、カメラ159、吸着制御部160、温度制御部161、および駆動制御部162を有している。
基板80には、接着剤70が塗布または貼付けされ、例えば、半導体チップである電子部品40が実装される。接着剤70には、例えば、導電性フィラーを含んだACF(異方性導電性フィルム)、ACP(異方性導電性ペースト)、NCF(絶縁性フィルム)、NCP(絶縁性ペースト)がある。なお、接着剤70は、基板80に塗布または貼付けするのではなく、電子部品40の下面側に予め形成しておいてもよい。
図2は、電子部品実装前のボンディングツール付近の断面図である。図2において図1と同じものには同じ符号を付し、その説明を省略する。図に示すようにボンディングツール10は、電子部品40を吸着するための吸着穴11aを有している。また、防着テープ30を吸着するための吸着穴11b,11cを有している。ボンディングツール10は、ボンディングヘッド20に着脱でき、電子部品40の形、大きさ等に応じて交換できるようになっている。
図5は、防着テープの例を示した平面図である。図に示すように防着テープ170は、送り方向に一定の間隔で、幅方向の中央部分に四角形の開口171を有している。防着テープ170の幅は、電子部品40の一辺の長さより長く、開口171の大きさは、電子部品40より小さい。電子部品40は、開口171を通して、ボンディングツール10に吸着され、防着テープ170は、開口171の周辺でボンディングツール10に吸着される。
図7は、ボンディングツールを示す図で、(A)は平面図、(B)は側面図である。図7の(A),(B)に示すようにボンディングツール190は、吸着穴191a〜191eを有している。吸着穴191aは、例えば、図5で示した防着テープ170の開口171を通して電子部品40を吸着し、吸着穴191b〜191eは、開口171の周囲を吸着して、防着テープ170を吸着する。
図10は、ガイドを具備したボンディングツールの例その1の平面図、図11は、ガイドを具備したボンディングツールの例その1の正面図、図12は、ガイドを具備したボンディングツールの例その1の側面図である。図10〜12において、図7と同じものには同じ符号を付し、その説明を省略する。図10〜12に示すように防着テープの幅方向に、四角形状の板状のガイド211,212が設けられている。ガイド211,212は、防着テープの送り方向と平行に設けられている。
図22は、電子部品実装装置の動作の流れを示したフローチャートである。
ステップS1aにおいて、ボンディングツール10は、吸着穴11b,11cにより、防着テープ30を吸着面に吸着する。
ステップS2bにおいて、ボンディングステージ90は、基板80を吸着する。このときボンディングステージ90を予め加熱しておき、基板80を加熱してもよい。この場合の温度は、接着剤の粘度を低下させる程度に設定する。例えば、基板80の温度が50℃〜100℃になるようにする。なお、ステップS2a,S2bの両方の処理が終了して、次のステップS3に進む。ステップS2a,S2bの処理は、同時に行われてもよいし、どちらかが先に行われてもよい。
ステップS4において、ボンディングツール10は下降し、電子部品40のバンプ41を基板80の端子81に電気的に接続する。
ステップS7において、ボンディングツール10は、防着テープ30の吸着を解除する。
図23〜25は、基板の移動制御を説明する図である。図23〜25において図1と同じものには同じ符号を付し、その説明を省略する。図23〜25の基板80には、電子部品40が実装される部分に、接着剤70a〜70cが塗布されている。図23〜25に示す防着テープ30は、図中において左から右に送られる。基板80は、電子部品40の実装が終了すると、図中において左から右に移動され、電子部品40の実装の終了した部分が使用後の防着テープ30の下方に移動するようになっている。
電子部品40を2次元的に基板80に実装するときは、基板80の端から実装するようにする。例えば、図中において、防着テープ30が左から右に送られるとすると、基板80は、実装位置241,242,…,248,249の順に電子部品40が実装されるように移動される。これによって、防着テープ30に付着した接着剤70が落下しても、実装が終了した部分に落下するので、電子部品40の基板80への実装時の位置ずれ、損傷を防止することができる。
(付記1) 電子部品を実装する電子部品実装装置において、
所定の間隔で開口を有した防着テープを介して前記電子部品を吸着するボンディングツールを有し、
前記ボンディングツールには、前記防着テープを吸着する吸着穴と、前記防着テープの開口を介して前記電子部品を吸着する吸着穴とが設けられていることを特徴とする電子部品実装装置。
(付記6) 電子部品を実装する電子部品実装装置において、
所定の間隔で開口を有した防着テープと、
前記防着テープを吸着する第1の吸着部と前記電子部品を前記開口から吸着する第2の吸着部とを有するボンディングツールと、
前記電子部品を吸着した前記ボンディングツールを上下動させ、接着剤を介しながら、基板に前記電子部品を実装するボンディングヘッドと、
未使用の前記開口から次の前記電子部品が吸着されるように前記防着テープを送る送り部と、
を有することを特徴とする電子部品実装装置。
(付記9) 前記電子部品の未実装部分が使用後の前記防着テープの下方に配置されないよう前記基板を移動する基板移動部を有することを特徴とする付記6記載の電子部品実装装置。
(付記11) 前記送り部は、前記開口の位置を認識して前記防着テープを送ることを特徴とする付記6記載の電子部品実装装置。
(付記14) 前記ボンディングツールには、前記防着テープの幅方向に前記防着テープの送り方向と平行した送りガイドが設けられていることを特徴とする付記6記載の電子部品実装装置。
所定の間隔で開口を有した防着テープを、ボンディングツールの第1の吸着部によって吸着し、
前記開口から前記ボンディングツールの第2の吸着部によって前記電子部品を吸着し、
ボンディングヘッドによって、前記ボンディングツールを上下動させ、接着剤が塗布された基板に前記電子部品を実装し、
送り部によって、未使用の前記開口から次の前記電子部品が吸着されるように前記防着テープを送る、
ことを特徴とする電子部品実装装置の実装方法。
11a〜11c 吸着穴
20 ボンディングヘッド
20a〜20c 穴
30 防着テープ
31 開口
40 電子部品
70 接着剤
80 基板
Claims (4)
- 電子部品を実装する電子部品実装装置において、
所定の間隔で開口を有した防着テープを介して前記電子部品を吸着するボンディングツールを有し、
前記ボンディングツールは、前記電子部品の種類に応じて交換可能にボンディングヘッドに取り付けられ、
前記ボンディングツールには、前記防着テープを吸着する吸着穴と、前記防着テープの開口を介して前記電子部品を吸着する吸着穴とが設けられていることを特徴とする電子部品実装装置。 - 前記ボンディングツールを上下動させ、接着剤を介しながら、基板に前記電子部品を実装する前記ボンディングヘッドと、
未使用の前記開口から次の前記電子部品が吸着されるように前記防着テープを送る送り部と、
前記電子部品の未実装部分が使用後の前記防着テープの下方に配置されないよう前記基板を移動する基板移動部と、
を有することを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。 - 前記電子部品の実装後、前記電子部品の吸着を解除して、前記ボンディングツールを上昇させ、前記防着テープの吸着を解除する吸着制御部を有することを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。
- 前記ボンディングツールには、前記防着テープの幅方向に前記防着テープの送り方向と平行した送りガイドが設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。
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