JPWO2015104923A1 - ソレノイドバルブ - Google Patents

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Abstract

ソレノイドバルブ(100)は、パイロット圧力に応じてバルブ通路(2)を流れる作動流体の流量を制御するメインポペット(50)と、電磁力に応じてパイロット圧力を調節するサブポペット(10)と、バルブ通路(2)に設けられる第1シート部(11)及び第2シート部(12)と、を備える。メインポペット(50)は、第1シート部(11)に着座するポペット弁(51)と、第2シート部(12)に摺動自在なスプール弁(61)と、を有する。スプール弁(61)は、第2シート部(12)に対して摺動自在な外周面(63)と、外周面(63)に開口し、スプール弁(61)の移動に伴い第2シート部(12)から露出される面積が変化する貫通孔(62)と、を有する。

Description

本発明は、電磁力に応じて作動流体の流量を制御するソレノイドバルブに関するものである。
一般に、油圧によって作動する建設機械や産業機械では、電磁力に応じて作動油の流量を制御するバルブが用いられる。
JP2002−39429Aには、入口孔と出口孔とを連通する主弁座と、主弁座を開閉する主弁体と、主弁体の背圧室と出口孔とを連通する第1パイロット弁座と、第1パイロット弁座を開閉する第1パイロット弁体と、第1パイロット弁体の背圧室と出口孔とを連通する第2パイロット弁座と、第2パイロット弁座を電磁力によって開閉する第2パイロット弁体と、を備える二段パイロット式電磁弁が記載されている。
この二段パイロット式電磁弁では、二段階に調節されるパイロット圧によって大型の主弁体が開閉駆動され、流量制御が行われる。
しかしながら、JP2002−39429Aに記載される二段パイロット式電磁弁では、主弁体のストロークに対してポペット状の主弁体と主弁座との間に画成される開口面積が変化する度合いが大きいため、流量制御の精度を向上させることが困難である。
本発明は、ソレノイドバルブの流量制御の精度を向上させることを目的とする。
本発明のある態様によれば、電磁力に応じてバルブ通路を流れる作動流体の流量を制御するソレノイドバルブであって、パイロット圧力に応じて移動して前記バルブ通路を流れる作動流体の流量を制御するメインポペットと、前記電磁力に応じて移動して前記パイロット圧力を調節するサブポペットと、前記バルブ通路に設けられる環状の第1シート部及び第2シート部と、を備え、前記メインポペットは、前記第1シート部に着座して前記第1シート部を閉塞するポペット弁と、前記第2シート部の内周に摺動自在に設けられるスプール弁と、を有し、前記スプール弁は、前記第2シート部の内周面に対して摺動自在な外周面と、前記外周面に開口し、前記スプール弁の移動に伴い前記第2シート部から露出される面積が変化する絞り部と、を有するソレノイドバルブが提供される。
図1は、本発明の第1実施形態に係るソレノイドバルブの断面図である。 図2は、図1の一部を拡大したソレノイドバルブの断面図である。 図3は、コイルに流れる電流値とソレノイドバルブの開口面積の関係を示す特性図である。 図4は、本発明の第2実施形態に係るソレノイドバルブの一部を拡大した断面図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
<第1実施形態>
図1を参照して、本発明の第1実施形態に係るソレノイドバルブ100について説明する。
ソレノイドバルブ100は、建設機械や産業機械等に設けられ、図示しない流体圧力源からアクチュエータ(負荷)に給排される作動流体の流量を調節する。
ソレノイドバルブ100は、流体圧力源に図示しない配管等を通じて連通する入口15と、アクチュエータに図示しない配管等を通じて連通する出口16と、入口15と出口16とを連通するバルブ通路2と、を有する。
ソレノイドバルブ100では、作動流体として作動油が用いられる。なお、作動流体は、作動油に限定されず、他の非圧縮性流体または圧縮性流体であってもよい。作動油は、図1及び図2において矢印で示すように、入口15から出口16へとバルブ通路2を流れる。
ソレノイドバルブ100のバルブ通路2は、メインポペット50によって開閉されるメイン通路3と、サブポペット10によって開閉されるサブ通路4と、により構成される。
ソレノイドバルブ100は、入口15及び出口16を有するケース31と、ケース31内に収容されるハウジング32と、を備える。
ハウジング32は、メインポペット50が摺動自在に挿入される内周面33を有する。メインポペット50は、ハウジング32の内周面33によって摺動自在に支持され、軸方向に摺動してメイン通路3を開閉する。
ハウジング32には、内周面33と同一中心線上に環状の第1シート部11及び第2シート部12が形成される。第1シート部11及び第2シート部12は、メイン通路3に設けられる。図2に示されるように、第1シート部11の径と第2シート部12の径とは略同一の径D1に設定される。
メインポペット50は、第1シート部11に着座して第1シート部11を閉塞する円錐台状のポペット弁51と、第2シート部12の内周に摺動自在に設けられる円柱状のスプール弁61と、を有する。
ポペット弁51は、メインポペット50の中心線に対して傾斜したテーパ状の外周面53を有する。外周面53が第1シート部11に当接することにより、メイン通路3が閉塞される。このように、メインポペット50はメイン通路3を隙間なく遮断することができる。
スプール弁61は、メインポペット50の中心線に対して平行に延びる円筒状の外周面63を有する。外周面63は、第2シート部12の内周面に対して摺動自在である。
スプール弁61の先端には、第2シート部12の内周に摺動自在に設けられる環状部65が形成される。環状部65は、メインポペット50の中心線を中心とする円筒状に形成され、その先端面に開口する凹部64を有する。
スプール弁61には、複数の貫通孔62が周方向に並んで形成される。貫通孔62は、環状部65の内周と外周とを連通するものであり、一端がスプール弁61の外周面63に開口し、他端が凹部64の内面に開口する。各貫通孔62は、メインポペット50の中心線を中心として径方向に放射状に形成される。
スプール弁61の外周面63に開口する貫通孔62の開口端の形状は、任意に設定される。貫通孔62の開口端の形状によってスプール弁61のストロークに対するバルブ通路2の開口面積が決まる。
各貫通孔62は、スプール弁61の移動に伴い第2シート部12から露出される面積が変化する絞り部を構成する。具体的には、各貫通孔62は、スプール弁61の移動に伴って、第2シート部12の下流端側において徐々に開口する。また、各貫通孔62は、ポペット弁51が第1シート部11に当接するときであっても、第2シート部12によって完全に閉塞されないように配置される。つまり、各貫通孔62による開口面積は、図1に示すように、ポペット弁51が第1シート部11に当接する閉弁位置において最小値となり、ポペット弁51が開弁方向に変位するにつれて漸次増大する。なお、各貫通孔62は、ポペット弁51が第1シート部11に当接する位置からある程度変位するまで第2シート部12によって閉塞されるように配置されてもよい。この場合、メインポペット50がある程度変位するまでメイン通路3を流れる作動油の流量をほぼゼロに設定することができる。
バルブ通路2において、第1シート部11は第2シート部12の下流側に設けられる。このため、ソレノイドバルブ100を流れる作動油は、スプール弁61の貫通孔62と第2シート部12との間の隙間で絞られた後に、メインポペット50と第1シート部11との間の隙間で絞られる。また、メインポペット50のストロークに対してスプール弁61の貫通孔62と第2シート部12との間に画成される開口面積が変化する度合いは、ポペット弁51の外周面53と第1シート部11の間に画成される開口面積が変化する度合いよりも小さく設定される。このため、メイン通路3を流れる作動油の流量は、スプール弁61の貫通孔62と第2シート部12との間に画成される開口面積により制御される。なお、第1シート部11は、第2シート部12の下流側に設けられているが、第1シート部11は、第2シート部12の上流側に設けられてもよい。この場合においてもメイン通路3を流れる作動油の流量は、スプール弁61の貫通孔62と第2シート部12との間に画成される開口面積により制御される。
また、スプール弁61を通過した作動油がポペット弁51へ至る流路を確保するために、メインポペット50のスプール弁61とポペット弁51との間の部分には径方向内側に凹む環状凹部50aが形成され、さらに、ハウジング32の第1シート部11と第2シート部12との間の部分には、径方向外側に凹む環状凹部32aが形成される。
メインポペット50の背後には、パイロット圧室7が画成される。メインポペット50は、その背面に受けるパイロット圧室7のパイロット圧力と、メインリターンスプリング8のバネ力とによって閉弁方向に付勢される。パイロット圧力と入口15に導かれる供給圧力との差圧力によってメインポペット50がメインリターンスプリング8のバネ力に抗して図1、図2にて左方向に摺動すると、ポペット弁51は第1シート部11から離れる。
パイロット圧室7は、サブ通路4上に設けられる。サブ通路4におけるパイロット圧室7の上流端には、オリフィス5が設けられる。サブ通路4におけるパイロット圧室7の下流端には、サブシート部14が設けられる。
サブ通路4において、作動油は、オリフィス5、パイロット圧室7、サブシート部14の順に流れる。パイロット圧室7内のパイロット圧力は、サブシート部14に着座するサブポペット10を変位させてサブシート部14の開口面積を変化させることによって調節される。
ソレノイドバルブ100は、サブポペット10を変位させる推力を発生するソレノイド機構20を備える。
ソレノイド機構20は、ケース31に連結される円筒状のソレノイドケース21と、ソレノイドケース21内に摺動自在に収容されるプランジャ22と、ソレノイドケース21の外側に設けられるコイル29と、を有する。
ソレノイドケース21の先端部は、ハウジング32に嵌合している。また、ソレノイドケース21の外周には、フランジ47が係合して配置される。フランジ47は、図示しない複数本のボルトを介してケース31に締結される。ソレノイドケース21とハウジング32は、互いに当接した状態でフランジ47とケース31との間に固定される。
フランジ47のケース31側の側面には、ハウジング32の端部を収容する凹部34が形成される。凹部34の内周面には、スナップリング35が嵌められる内周溝34aが形成される。このスナップリング35は、ハウジング32の端部に形成されるつば部36に係合し、ハウジング32の端部をフランジ47の凹部34内に保持する。このように、ハウジング32がフランジ47に保持されることによって、ソレノイド機構20及びハウジング32はアッシー化される。
サブポペット10はプランジャ22に連結され、プランジャ22はソレノイドケース21の内側に画成されるプランジャ室23に収容される。プランジャ室23は、パイロット圧室7に連通しており、パイロット圧力が導かれる。
ソレノイドケース21の端部にはアジャスタスクリュ24が締結される。ソレノイドケース21内にはアジャスタスクリュ24に当接するリテーナ25が摺動自在に介装される。リテーナ25とサブポペット10の端部との間には、コイル状のサブリターンスプリング26が介装される。アジャスタスクリュ24の螺合位置を変えることによってサブリターンスプリング26のバネ力が調整される。アジャスタスクリュ24のソレノイドケース21から突出する端部は、ソレノイドケース21に取り付けられるカバー19によって覆われる。
ソレノイドケース21の開口端部には、円筒状のブロック28が取り付けられる。ブロック28は、サブシート部14にサブポペット10が確実に着座するように、サブポペット10の中心を保ちつつサブポペット10をサブシート部14へ案内する機能を有する。コイル状の対向リターンスプリング27は、プランジャ22とブロック28との間に介装される。また、コイル状のメインリターンスプリング8は、ブロック28とメインポペット50内に取り付けられる円筒状のガイド46との間に介装される。
サブポペット10は、その背面に受けるパイロット圧力及びサブリターンスプリング26と対向リターンスプリング27とのバネ力の差によって閉弁方向(図1において右方向)に付勢される。
コイル29には、コネクタ17に接続される図示しないリード線及び端子18を通じて励磁電流が導かれる。サブポペット10は、コイル29の磁界によって発生する推力が、パイロット圧力による閉弁力とサブリターンスプリング26と対向リターンスプリング27のバネ力とを合わせた力よりも大きくなると、図1において左方向に移動してサブシート部14から離れる。
ソレノイドバルブ100は、パイロット圧室7に導かれるパイロット圧力が変化してもサブポペット10を移動させる推力が略一定になるようにサブリターンスプリング26の付勢力を調節する圧力補償機構40を備える。
圧力補償機構40は、ガイド46内に摺動自在に介装される圧力補償スリーブ41と、圧力補償スリーブ41を付勢する圧力補償スプリング42と、を有する。
圧力補償スリーブ41の基端には、サブシート部14が形成される。サブシート部14には、図2に示されるように、サブポペット10の先端に設けられるサブポペット弁13が着座する。
圧力補償スリーブ41の先端部には、円盤状のバネ受け43が連結される。バネ受け43とメインポペット50との間には、皿バネ形の圧力補償スプリング42が介装される。圧力補償スリーブ41は、その基端面に受けるパイロット圧力によってバネ受け43を介して圧力補償スプリング42を圧縮する。
サブリターンスプリング26、サブポペット10、対向リターンスプリング27、圧力補償スリーブ41、バネ受け43、及び圧力補償スプリング42は、同一中心線上に並ぶように配置される。
バネ受け43は、図2に示されるように、その先端面から突出する円柱状の凸部49を有する。2枚の皿バネからなる圧力補償スプリング42は、その内周に凸部49が挿入されることにより、圧力補償スリーブ41と同一中心上に支持される。また、バネ受け43は、圧力補償スリーブ41の軸方向における変位を規制するストッパとしての機能も有する。
パイロット圧力が上昇すると、圧力補償スリーブ41は、サブポペット10と共に圧力補償スプリング42に抗して図1、図2において右方向に移動する。このとき、サブリターンスプリング26は伸張し、サブリターンスプリング26による付勢力は小さくなる。このように、パイロット圧力が上昇した場合、サブリターンスプリング26の付勢力が低下するため、サブポペット10を移動させるために要する推力の上昇を抑制することができる。
また、図2に示すように、圧力補償スリーブ41には、サブ通路4を構成する通孔44、通孔45が形成される。通孔44の一端には、上述のサブシート部14が形成される。
メインポペット50のポペット弁51よりも下流側の部分には、サブ通路4を構成する通孔54が形成される。サブポペット10がサブシート部14から離れると、これらの通孔44,45,54を通じてパイロット圧室7内の作動油が出口16へと流れる。
ケース31には、サブ通路4を構成する通孔37、通孔38、通孔39が形成される。通孔37は、入口15に連通する。通孔38には、チェック弁6が介装される。チェック弁6は、サブ通路4の流出側から流入側への作動油の逆流を阻止する。通孔39には、オリフィス5が介装される。通孔39は、オリフィス5を介してパイロット圧室7に連通する。
次に、ソレノイドバルブ100の動作について説明する。
コイル29が非通電状態にあるときには、サブポペット10がサブシート部14に着座してサブ通路4を遮断する。このとき、パイロット圧室7内の圧力は入口15に供給される作動油の圧力と同等となる。つまり、メインポペット50の背面には、入口15に供給される作動油の圧力と同等の圧力が作用する。このため、メインポペット50は、パイロット圧力と入口15に導かれる供給圧力との差圧力とメインリターンスプリング8のバネ力とによって閉弁方向に付勢される。そして、メインポペット50のポペット弁51が第1シート部11に着座することによってメイン通路3は遮断される。このように、コイル29が非通電状態にあるときには、ソレノイドバルブ100によって作動油の流れが遮断される。
一方、コイル29が通電状態にあるときには、ソレノイド機構20が発生する推力によってサブポペット10がサブシート部14から離され、サブ通路4が開通する。これにより、入口15からオリフィス5を通じてパイロット圧室7内へ導かれる作動油は、サブシート部14を通じて、出口16へと流れる。このように、パイロット圧室7が出口16と連通することによってパイロット圧室7内のパイロット圧力は低下する。そして、パイロット圧力と入口15に導かれる供給圧力との差圧力がメインリターンスプリング8のバネ力を超えると、メインポペット50のポペット弁51が第1シート部11から離れ、メイン通路3が開通する。この結果、作動油は、入口15から貫通孔62と第2シート部12との間、ポペット弁51と第1シート部11との間を通じて、出口16へと流れる。
コイル29に流れる電流が増加され、サブポペット10がサブシート部14からさらに離されると、サブ通路4を流れる作動油の流量が増加し、パイロット圧室7のパイロット圧力はさらに低下する。そして、パイロット圧力の低下に応じてメインポペット50が移動し、スプール弁61の貫通孔62が第2シート部12から露出される面積が大きくなることによって、メイン通路3を通過する作動油の流量が増加する。
図3に示すように、ソレノイドバルブ100は、コイル29に流れる電流値に応じてサブポペット10におけるバルブ通路2の開口面積が比例して大きくなる特性を有するように設定される。なお、図3に示される特性は例示にすぎず、コイル29に流れる電流値とサブポペット10におけるバルブ通路2の開口面積の関係は、貫通孔62の配置や形状、数を変更することによって任意に設定することができる。例えば、開口面積が二次曲線的に増加する区間や一定値を維持する区間を設けるなど、ソレノイドバルブ100の流量特性の設定自由度を向上させることができる。
以上の第1実施形態によれば、以下に示す作用効果を奏する。
上述のソレノイドバルブ100では、ポペット弁51が第1シート部11に着座することによってバルブ通路2が閉塞されるため、メインポペット50によるバルブ通路2の密閉性が確保される。また、スプール弁61が第2シート部12を摺動することによって第2シート部12から露出される貫通孔62の開口面積が変化するため、バルブ通路2を流れる作動油の流量制御の精度が向上される。さらに、ソレノイドバルブ100は、従来の二段パイロット式電磁弁に比べてスプリングの数が少なく、また、摺動部が少ない構成であるため、製造コストを低減することができるとともに性能を安定させることができる。
また、第2シート部12には第1シート部11を通過する前の作動油が導かれ、スプール弁61によって作動油の流量が制御される。このため、第2シート部12の内周に摺動自在に設けられる環状部65に形成される貫通孔62の数や形状を変更することによって、バルブ通路2の開口面積を十分に確保することができるとともに、スプール弁61のストロークに対してバルブ通路2の開口面積が変化する度合いを任意に設定することができる。
また、第2シート部12は第1シート部11の上流側に設けられるので、第2シート部12を挿通する環状部65は、メインポペット50の先端側に設けられる。このため、環状部65に設けられる貫通孔62を容易に形成することができる。
また、サブシート部14に対するサブポペット10の変位量に応じてパイロット圧室7内のパイロット圧力は変化する。このため、サブポペット10の変位量を制御することによって、メインポペット50の開度を変化させることができる。また、サブ通路4においてサブポペット10によって流量制御される作動油と、メイン通路3においてメインポペット50によって流量制御された作動油とがバルブ通路2において合流するため、バルブ通路2を流れる作動油の流量を制御することができる。
また、サブ通路4における作動油の逆流がチェック弁6によって阻止されるため、バルブ通路2における作動油の逆流も防止することができる。
また、サブポペット10を閉弁方向に付勢するパイロット圧力が上昇するのに伴って、サブシート部14及び圧力補償スリーブ41がサブポペット10と共に移動する。このため、サブポペット10を移動させるために要する推力の上昇を抑制することができる。さらに、流入側圧力と流出側圧力の差圧が変化してもサブポペット10の変位量、すなわち、サブシート部14の開口度合は変化しないので、ソレノイドバルブ100の制御を容易に行うことができる。
また、圧力補償機構40は、バネ受け43とメインポペット50との間に複数個の皿バネからなる圧力補償スプリング42が直列に並んで介装される構成である。このように、圧力補償機構40は、摺動部が少ないため、ヒステリシスを小さく抑えることができる。
また、第2シート部12の径が第1シート部11の径と同一に設定されるため、シート部の加工を容易に行うことができる。また、第2シート部12の径を第1シート部11の径より小さくした場合と比較し、第2シート部12に摺動自在なスプール弁61の外径が大きくなるため、スプール弁61に形成される貫通孔62の数を増やしたり、貫通孔62の径を大きくしたりすることが可能となる。このため、制御可能な流量の範囲を拡大することができる。
<第2実施形態>
次に、図4を参照して、本発明の第2実施形態に係るソレノイドバルブ200について説明する。以下では、第1実施形態と異なる点を中心に説明し、第1実施形態と同様の構成には、同一の符号を付し説明を省略する。
ソレノイドバルブ200の基本的な構成は、第1実施形態に係るソレノイドバルブ100と同様である。ソレノイドバルブ200は、第1シート部211の径と第2シート部212の径とが異なる点でソレノイドバルブ100と相違する。以下では、第1実施形態に係るソレノイドバルブ100と比較しながら第2実施形態に係るソレノイドバルブ200の具体的な構成について説明する。
ソレノイドバルブ100では、図2に示されるように、第1シート部11と第2シート部12の径D1は同一に設定される。これに対して、図4に示されるように、ソレノイドバルブ200では、ポペット弁251が着座する第1シート部211の径D3よりもスプール弁261が摺動自在に挿通する第2シート部212の径D4の方が小さく設定される。
また、ソレノイドバルブ100では、スプール弁61を通過した作動油がポペット弁51へ至る流路を確保するために、メインポペット50のスプール弁61とポペット弁51との間の部分には径方向内側に凹む環状凹部50aが形成され、さらに、ハウジング32の第1シート部11と第2シート部12との間の部分には、径方向外側に凹む環状凹部32aが形成される。
これに対して、ソレノイドバルブ200のメインポペット250には、スプール弁261とポペット弁251との間に凹部が設けられることなく、ポペット弁251の外周面253とスプール弁261の外周面263とが連続して形成される。また、ハウジング232の第1シート部211と第2シート部212との間には、凹部が設けられることはなく、第1シート部211と第2シート部212との径が異なることによる段部232aが形成されるだけである。
ソレノイドバルブ200では、スプール弁261を通過した作動油は、スプール弁261の外周面263とポペット弁251の外周面253とに沿って流れてポペット弁251に至るため、別途流路を形成する必要がない。このため、上述のように、メインポペット250とハウジング232との形状を簡素化することができる。
さらに、ソレノイドバルブ200では、メインポペット250のポペット弁251とスプール弁261との間に流路が形成されないため、第2シート部212の下流側端から第1シート部211までのシート間距離L2は、ソレノイドバルブ100におけるシート間距離L1と比較して短く設定される。この結果、ソレノイドバルブ200では、ソレノイドバルブ200の全長を短縮することが可能となる。
なお、各実施形態において、第1シート部11,211の径は、メインポペット50,250の外径D2よりも小さく設定される。これは、パイロット圧が作用するメインポペット50,250の背面の面積を第1シート部11,211の断面積よりも大きくすることにより、閉弁時の応答性を向上させるためである。
以上の第2実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。
ソレノイドバルブ200では、第1シート部211の径D3よりも第2シート部212の径D4を小さく設定したことにより、第1シート部211と第2シート部212との間の距離を短くすることが可能となる。この結果、ソレノイドバルブ200の全長を短縮することができる。
また、メインポペット250とハウジング232とには、流路となる凹部等が形成されることなく、これらの形状は簡素化される。このため、ソレノイドバルブ200の製造コストを低減することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
例えば、スプール弁61,261の外周面63,263に開口する絞り部は、孔状の貫通孔62を設けるとともに、外周面63,263に開口するテーパ溝状のノッチ溝を設けてもよい。また、スプール弁61,261の外周面63,263に開口する絞り部は、孔状の貫通孔62を設けずに、外周面63,263に開口するテーパ溝状のノッチ溝のみを設けてもよい。
本願は2014年1月9日に日本国特許庁に出願された特願2014−2137に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。
100,200・・・ソレノイドバルブ、2・・・バルブ通路、3・・・メイン通路、4・・・サブ通路、5・・・オリフィス、6・・・チェック弁、7・・・パイロット圧室、10・・・サブポペット、11,211・・・第1シート部、12,212・・・第2シート部、14・・・サブシート部、41・・・圧力補償スリーブ、42・・・圧力補償スプリング、50,250・・・メインポペット、51,251・・・ポペット弁、61,261・・・スプール弁、62・・・貫通孔(絞り部)、63,263・・・外周面、65,265・・・環状部、D1・・・第1シート部11及び第2シート部12の径、D2・・・メインポペット50,250の外径、D3・・・第1シート部211の径、D4・・・第2シート部212の径、L1,L2・・・シート間距離

Claims (8)

  1. 電磁力に応じてバルブ通路を流れる作動流体の流量を制御するソレノイドバルブであって、
    パイロット圧力に応じて移動して前記バルブ通路を流れる作動流体の流量を制御するメインポペットと、
    前記電磁力に応じて移動して前記パイロット圧力を調節するサブポペットと、
    前記バルブ通路に設けられる環状の第1シート部及び第2シート部と、を備え、
    前記メインポペットは、
    前記第1シート部に着座して前記第1シート部を閉塞するポペット弁と、
    前記第2シート部の内周に摺動自在に設けられるスプール弁と、を有し、
    前記スプール弁は、
    前記第2シート部の内周面に対して摺動自在な外周面と、
    前記外周面に開口し、前記スプール弁の移動に伴い前記第2シート部から露出される面積が変化する絞り部と、を有するソレノイドバルブ。
  2. 請求項1に記載のソレノイドバルブであって、
    前記第1シート部は、前記第2シート部の下流側に設けられ、
    前記スプール弁は、前記第2シート部の内周に摺動自在に設けられる環状部を有し、
    前記絞り部は、前記環状部に設けられるソレノイドバルブ。
  3. 請求項2に記載のソレノイドバルブであって、
    前記絞り部は、前記環状部の内周と外周とを連通する貫通孔であるソレノイドバルブ。
  4. 請求項1に記載のソレノイドバルブであって、
    前記バルブ通路は、
    前記第1シート部に着座する前記ポペット弁によって開閉されるメイン通路と、
    前記メイン通路から分岐するサブ通路と、を有し、
    前記サブ通路には、
    作動流体の流れを絞るオリフィスと、
    前記オリフィスの下流側に設けられるサブシート部に着座して前記サブ通路を開閉する前記サブポペットと、が設けられ、
    前記オリフィスと前記サブシート部との間には、前記パイロット圧力が導かれるパイロット圧室が設けられるソレノイドバルブ。
  5. 請求項4に記載のソレノイドバルブであって、
    前記サブ通路には、前記サブ通路の流出側から流入側への作動流体の逆流を阻止するチェック弁が設けられるソレノイドバルブ。
  6. 請求項4に記載のソレノイドバルブであって、
    前記メインポペット内に摺動自在に介装される圧力補償スリーブをさらに備え、
    前記圧力補償スリーブに前記サブシート部が設けられ、
    前記圧力補償スリーブと前記メインポペットの間に圧力補償スプリングが介装されるソレノイドバルブ。
  7. 請求項1に記載のソレノイドバルブであって、
    前記第2シート部の径が前記第1シート部の径と同一に設定されるソレノイドバルブ。
  8. 請求項1に記載のソレノイドバルブであって、
    前記第2シート部の径が前記第1シート部の径よりも小さく設定されるソレノイドバルブ。
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