JPWO2015080278A1 - 弾性波素子、分波器および通信装置 - Google Patents
弾性波素子、分波器および通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015080278A1 JPWO2015080278A1 JP2015551033A JP2015551033A JPWO2015080278A1 JP WO2015080278 A1 JPWO2015080278 A1 JP WO2015080278A1 JP 2015551033 A JP2015551033 A JP 2015551033A JP 2015551033 A JP2015551033 A JP 2015551033A JP WO2015080278 A1 JPWO2015080278 A1 JP WO2015080278A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrode finger
- reflector
- main region
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0004—Impedance-matching networks
- H03H9/0009—Impedance-matching networks using surface acoustic wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
- H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
- H03H9/0033—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only
- H03H9/0038—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices having one acoustic track only the balanced terminals being on the same side of the track
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る弾性波(SAW:Surface Acoustic Wave)素子1の構成を示す平面図である。図2は図1のIc−Ic切断線における一部の断面図である。SAW素子1は、図1に示すように、圧電基板2、圧電基板2の上面2Aに設けられた励振電極(IDT(Interdigital Transducer)電極)3および反射器4を有している。
IDT電極3は、主領域3aと端部領域3bとを備える。主領域3aの電極指設計は一様であり、その電極指設計はIDT電極3全体の励振周波数を決定するものである。すなわち、所望の励振周波数に合わせて、電極指32のピッチ、幅、厚み等の設計パラメーターを一定にした電極指設計をしている。端部領域3bは、この主領域3aの一様な電極指設計から変調する部分から端部まで続く領域を指す。ここで「変調する」とは、電極指32のピッチ(電極指32の中心間の間隔)、ギャップ(電極指32間の隙間)、幅、厚みの設計パラメーターの少なくとも1つを変化させることをいう。主領域3aを構成する電極指32の本数と端部領域3bを構成する電極指32の本数とは、主領域3aの電極指設計による共振周波数がIDT電極3全体の励振周波数を決定するように適宜設定する。具体的には、主領域3aを構成する電極指32の本数を、端部領域3bを構成する電極指32の本数よりも多くすればよい。
上記電極指Aと反射器電極指Cと位置関係の設定に加えて、反射器4の電極指設計で決まる共振周波数が、IDT電極3の主領域3aの電極指設計で決まる共振周波数よりも低く設定されている。反射器4の共振周波数は、ピッチPt2を狭くすると高くなり、ピッチPt2を広くすると低くなる。そのため、反射器4の共振周波数をIDT電極3の主領域3aの共振周波数よりも低くするには、反射器4の反射器電極指42のピッチPt2を、IDT電極3の主領域3aにおけるピッチPt(第1ピッチPt1a)よりも広くなるように設定すればよい。
[圧電基板2]
材料:42°YカットX伝播LiTaO3基板
[IDT電極3]
材料:Al−Cu合金(ただし、圧電基板2と導電層15との間には6nmのTiからなる下地層あり。)
厚さ(Al−Cu合金層):324nm
IDT電極3の電極指32:
本数:100本
第1ピッチPt1a:2.19μm
デューティー(w1/Pt1):0.5
交差幅W:65.7μm(15λ)
[反射器4]
材料:Al−Cu合金(ただし、圧電基板2と導電層15との間には6nmのTiからなる下地層あり。)
厚さ(Al−Cu合金層):324nm
反射器電極指42の本数:30本
反射器電極指42のピッチPt2:2.19μm(Pt1a×1.00)
[保護層5]
材料:SiO2
厚さ:15nm
このようなシミュレーションの条件で計算した比較例1のSAW素子の結果を図7に示す。図7に示すグラフは、横軸に周波数を、縦軸にインピーダンスの絶対値|Z|またはインピーダンスの位相を示している。また、図7(b)は、図7(a)の一点鎖線で囲んだ箇所を拡大したものである。この結果から、共振周波数である約900MHzよりも低い周波数の890MHz前後にスプリアスが発生していることが分かる。これは、SAW素子において、反射器内で振動強度が大きくなる反射器モードのスプリアスが発生していることが原因の1つであると考えられる。
[IDT電極3]
IDT電極3の電極指32:
第2ギャップGp2の位置:(IDT電極3の端部から)8本目と9本目との間
第2ギャップGp2:第1ギャップGp1×0.90
[反射器4]
反射器電極指42のピッチPt2:第1ピッチPt1a×1.02
このようなシミュレーションの条件で計算した実施例1のSAW素子の結果を図8に示す。図8に示すグラフは、横軸に周波数を、縦軸にインピーダンスの絶対値|Z|またはインピーダンスの位相を示している。また、図8(b)は、図8(a)の一点鎖線で囲んだ箇所を拡大したものである。
上述の例では、IDT電極3の端部領域3bの電極指設計として、IDT電極3の第2ギャップGp2を変化させる方法を説明したが、変化部300としてIDT電極3の電極指32の幅w1aを変化させてもよい。
[IDT電極3]
IDT電極3の電極指32:
変化部300の位置(電極指Bの位置):(IDT電極3の端部から)9本目
変化部300の電極指32の幅w1a:主領域3aの電極指32の幅w1×0.90
[反射器4]
反射器電極指42のピッチPt2:第1ピッチPt1a×1.02
このようなシミュレーションの条件で計算した実施例2のSAW素子の結果を図14に示す。図14に示すグラフは、横軸に周波数を、縦軸にインピーダンスの絶対値|Z|またはインピーダンスの位相を示している。また、図14(b)は、図14(a)の一点鎖線で囲んだ箇所を拡大したものである。なお、本シミュレーションは、主領域3aよりも端部側に位置するIDT電極3の電極指32(電極指B)の幅w1aを1つ変化させた場合である。
この結果から、電極指32の幅w1aを主域3aの電極指32の幅w1に対して0.877倍以上であり、且つ1倍よりも小さく設定することにより、比較例1に比べて効果があることが分かる。
上述の実施例1および実施例2では、電極指Aと電極指Bとのギャップを調整したり電極指Bの幅を調整したりすることで、電極指Aと反射器電極指Cとの距離について所望の条件を満たしたが、端部領域3bの電極指設計で決まる共振周波数を、主領域3aの電極指設計で決まる共振周波数よりも高くすることで実現してもよい。
[IDT電極3]
IDT電極3の電極指32:
端部領域3bの電極指32の本数:(IDT電極3の端部から)12本
第2ピッチPt1b:第1ピッチPt1a×0.990
[反射器4]
反射器電極指42のピッチPt2:第1ピッチPt1a×1.02
このようなシミュレーションの条件で計算した本実施形態に係るSAW素子の結果を図20に示す。図20に示すグラフは、横軸に周波数を、縦軸にインピーダンスの絶対値|Z|またはインピーダンスの位相を示している。なお、本実施例3では、端部領域3bに位置するIDT電極3を全て第1ピッチPt1aとした場合である。図20(b)は、図20(a)の一点鎖線で囲んだ箇所を拡大したものである。この結果から、比較例1では890MHz前後に発生していたスプリアスが低減できていることが分かる。
[IDT電極3]
本数:200本
[反射器4]
ピッチPt2:第1ピッチPt1a×1.02
このような条件の下、第2ピッチPt1bを変化させて計算を行なった。その結果を図23に示す。図23に示すグラフは、横軸が第2ピッチPt1bであり、縦軸が通過帯域外のスプリアスの最大位相ピークである。また、比較例1のSAW素子における最大位相ピークを横軸と平行な破線で示している。
IDT電極3の端部領域3bの共振周波数を所定の値に設定する方法として、IDT電極3の第2ピッチPt1bを変化させる方法を説明したが、端部領域3bに位置するIDT電極3のデューティーを変化させてもよい。
[IDT電極3]
IDT電極3の電極指32:
端部領域3bの電極指32の本数:(IDT電極3の端部から)20本
端部領域3bの電極指32のデューティー:主領域3aの電極指32のデューティー×0.86
[反射器4]
反射器電極42のピッチPt2:第1ピッチPt1a×1.02
このようなシミュレーションの条件で計算した実施例4のSAW素子の結果を図25に示す。図25に示すグラフは、横軸に周波数を、縦軸にインピーダンスの絶対値|Z|またはインピーダンスの位相を示している。また、図25(b)は、図25(a)の一点鎖線で囲んだ箇所を拡大したものである。なお、本シミュレーションにおいては、端部領域3bに位置するIDT電極3のデューティーを全て変化させた。
図16は、本発明の実施形態に係る通信装置101の要部を示すブロック図である。通信装置101は、電波を利用した無線通信を行なうものである。分波器7は、通信装置101において送信周波数の信号と受信周波数の信号とを分波する機能を有している。
2 圧電基板
2A 上面
3 励振電極(IDT電極)
3a 主領域
3b 端部領域
30 櫛歯電極
30a 第1櫛歯電極
30b 第2櫛歯電極
31 バスバー
31a 第1バスバー
31b 第2バスバー
32 電極指
32a 第1電極指
32b 第2電極指
300 変化部
Pt1 ピッチ
Pt1a 第1ピッチ
Pt1b 第2ピッチ
Gp ギャップ
Gp1 第1ギャップ
Gp2 第2ギャップ
4 反射器
41 反射器バスバー
42 反射器電極指
Pt2 ピッチ
5 保護層
7 分波器
8 アンテナ端子
9 送信端子
10 受信端子
11 送信フィルタ
12 受信フィルタ
15 導電層
17 多重モード型SAWフィルタ
18 補助共振子
101 通信装置
103 RF−IC
105 バンドパスフィルタ
107 増幅器
109 アンテナ
111 増幅器
113 バンドパスフィルタ
S1、S2、S3 直列共振子
P1、P2、P3 並列共振子
Claims (16)
- 圧電基板と、
該圧電基板の上面に位置し、複数の電極指を有する、弾性波を発生させる励振電極と、
前記圧電基板の上面に位置し、複数の反射器電極指を有し、前記弾性波の伝搬方向において前記励振電極を挟む2つの反射器とを備え、
前記励振電極は、前記弾性波の伝搬方向の両端部間に位置する前記電極指の電極指設計が一様な主領域と、該主領域とは電極指設計が変調する部位から端部まで続く、前記主領域を挟んで両側に位置する2つの端部領域とを有し、
前記反射器は、前記反射器電極指の電極指設計で決まる共振周波数が前記主領域の前記電極指の電極指設計で決まる共振周波数よりも低く、
前記主領域において前記電極指の中心とこれに隣接する前記電極指の中心との間隔をaとし、前記端部領域を構成する前記電極指の数をmとし、前記主領域の前記電極指のうち最も前記端部領域の側に位置する前記電極指の中心と、前記反射器の前記反射器電極指のうち最も前記端部領域の側に位置する前記反射器電極指の中心との距離をxとすると、
0.5×a×(m+1)<x<a×(m+1)
を満たしている弾性波素子。 - 複数の前記電極指は、複数の第1電極指と複数の第2電極指とを有し、
前記励振電極は、前記複数の第1電極指を持つ第1櫛歯電極と、前記複数の第1電極指と噛み合う前記複数の第2電極指を持つ第2櫛歯電極とを有する請求項1に記載の弾性波素子。 - 前記主領域において隣接する2つの前記電極指の隙間である第1ギャップよりも、前記主領域の前記電極指のうち最も前記端部領域の側に位置する前記電極指と、これに隣接する、前記端部領域の前記電極指のうち最も前記主領域の側に位置する前記電極指との隙間である第2ギャップが狭い請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記第2ギャップが、前記第1ギャップに対して0.87倍以上であり、且つ1倍よりも小さい請求項3に記載の弾性波素子。
- 前記端部領域の前記電極指のうち最も前記主領域の側に位置する前記電極指の幅が、前記主領域における前記電極指の幅よりも狭い請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記端部領域の前記電極指のうち最も前記主領域の側に位置する前記電極指の幅が、前記主領域における前記第1電極指または前記第2電極指の幅に対して0.877倍以上であり、且つ1倍よりも小さい請求項5に記載の弾性波素子。
- 前記反射器は、前記反射器電極指の中心とこれに隣接する前記反射器電極指の中心との間隔が、前記主領域における前記電極指の中心とこれに隣接する前記電極指の中心との間隔よりも広い、請求項1乃至6のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記端部領域は、前記電極指の電極指設計で決まる共振周波数が、前記主領域の前記電極指の電極指設計で決まる共振周波数よりも高い、請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記端部領域は、前記電極指の中心とこれに隣接する前記電極指の中心との間隔である第1ピッチが、前記主領域における前記電極指の中心とこれに隣接する前記電極指の中心との間隔である第2ピッチよりも狭い請求項8に記載の弾性波素子。
- 前記励振電極の前記第1ピッチが、前記第2ピッチに対して0.986倍以上であり、且つ1倍よりも小さい請求項9に記載の弾性波素子。
- 前記励振電極は、前記端部領域に位置する前記電極指の幅が、前記主領域に位置する前記電極指の幅よりも狭い請求項8乃至10のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記端部領域において隣接する2つの前記電極指の隙間は、前記第1ギャップと等しい請求項3または4に記載の弾性波素子。
- アンテナ端子と、送信信号をフィルタリングして前記アンテナ端子に出力する送信フィルタと、前記アンテナ端子からの受信信号をフィルタリングする受信フィルタとを備えた分波器であって、
前記送信フィルタまたは前記受信フィルタは、請求項1乃至12のいずれかに記載の弾性波素子を有する分波器。 - 前記送信フィルタは、それぞれが直列に接続した直列共振子と、該直列共振子に対して並列に接続した並列共振子とを有し、前記直列共振子の少なくとも一部が前記弾性波素子で構成されている請求項13に記載の分波器。
- 前記送信フィルタは、前記直列共振子のみが前記弾性波素子で構成されている請求項13に記載の分波器。
- アンテナと、
該アンテナに電気的に接続された請求項13乃至15のいずれかに記載の分波器と、
該分波器に電気的に接続されたRF−ICとを備える通信装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013247163 | 2013-11-29 | ||
JP2013247163 | 2013-11-29 | ||
JP2013268194 | 2013-12-26 | ||
JP2013268194 | 2013-12-26 | ||
PCT/JP2014/081662 WO2015080278A1 (ja) | 2013-11-29 | 2014-11-29 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018093142A Division JP6595659B2 (ja) | 2013-11-29 | 2018-05-14 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015080278A1 true JPWO2015080278A1 (ja) | 2017-03-16 |
JP6595342B2 JP6595342B2 (ja) | 2019-10-23 |
Family
ID=53199213
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015551033A Active JP6595342B2 (ja) | 2013-11-29 | 2014-11-29 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
JP2018093142A Active JP6595659B2 (ja) | 2013-11-29 | 2018-05-14 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018093142A Active JP6595659B2 (ja) | 2013-11-29 | 2018-05-14 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9978927B2 (ja) |
JP (2) | JP6595342B2 (ja) |
CN (1) | CN105745840B (ja) |
WO (1) | WO2015080278A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102645422B1 (ko) * | 2016-01-05 | 2024-03-07 | 가부시키가이샤 와이솔재팬 | 탄성 표면파 장치, 듀플렉서, 및 빗형 전극 |
US10389391B2 (en) | 2016-01-29 | 2019-08-20 | Kyocera Corporation | Acoustic wave resonator, acoustic wave filter, multiplexer, and communication apparatus |
CN109845105B (zh) | 2016-10-13 | 2023-06-13 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置 |
JP6798562B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2020-12-09 | 株式会社村田製作所 | ラダー型フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタ装置 |
CN109937534B (zh) * | 2016-11-09 | 2023-09-08 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置 |
CN110383688B (zh) * | 2017-03-13 | 2023-01-24 | 株式会社村田制作所 | 陷波滤波器 |
WO2018174064A1 (ja) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
JP2020113805A (ja) * | 2017-03-30 | 2020-07-27 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JP6886331B2 (ja) | 2017-04-07 | 2021-06-16 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
WO2019009373A1 (ja) * | 2017-07-06 | 2019-01-10 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
CN108428787B (zh) * | 2018-03-23 | 2021-06-01 | 北京航天微电科技有限公司 | 一种saw芯片及其制备方法、制备系统 |
US20210152153A1 (en) * | 2018-04-11 | 2021-05-20 | Kyocera Corporation | Acoustic wave element, acoustic wave filter, multiplexer, and communication apparatus |
JP7151668B2 (ja) * | 2018-11-08 | 2022-10-12 | 株式会社村田製作所 | マルチプレクサ |
US11521500B1 (en) * | 2018-10-17 | 2022-12-06 | Amazon Technologies, Inc. | Unmanned aerial systems with range finding |
DE102018131952A1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | RF360 Europe GmbH | Elektroakustischer Resonator mit unterdrückter Anregungtransversaler Spaltmoden und verringerten transversalen Moden |
JP7374629B2 (ja) * | 2019-07-04 | 2023-11-07 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
US20210273629A1 (en) * | 2020-02-28 | 2021-09-02 | Resonant Inc. | Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multi-pitch interdigital transducer |
CN112448694A (zh) * | 2021-02-01 | 2021-03-05 | 成都频岢微电子有限公司 | 用于改善通带平坦度的dms滤波器及双工器 |
WO2023070482A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | Lenovo (Beijing) Limited | Overhead reduction in ris-aided urllc systems |
CN115987246A (zh) * | 2023-02-02 | 2023-04-18 | 无锡市好达电子股份有限公司 | 高隔离度声表面波双工器及多工器 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06260876A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波フィルタ |
JP2003008390A (ja) * | 2001-04-16 | 2003-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置、通信装置 |
WO2006137464A1 (ja) * | 2005-06-21 | 2006-12-28 | Epson Toyocom Corporation | 弾性表面波デバイス、モジュール、及び発振器 |
JP2007013414A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波装置、及び電子機器 |
WO2010047113A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
JP2010273382A (ja) * | 2004-01-09 | 2010-12-02 | Panasonic Corp | 弾性表面波共振子及びこれを用いた弾性表面波フィルタ |
JP2012156741A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Panasonic Corp | アンテナ共用器 |
JP2013085273A (ja) * | 2012-12-11 | 2013-05-09 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
JP2015073207A (ja) * | 2013-10-03 | 2015-04-16 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波共振器 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2938478B2 (ja) | 1989-10-24 | 1999-08-23 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
JP3358615B2 (ja) * | 2000-06-26 | 2002-12-24 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
JP3432492B2 (ja) | 2000-09-28 | 2003-08-04 | 富士通株式会社 | 弾性表面波共振器及びこれを用いた弾性表面波フィルタ |
JP4059152B2 (ja) * | 2002-10-16 | 2008-03-12 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子 |
JP4059147B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2008-03-12 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波共振子 |
JP4378650B2 (ja) * | 2004-04-19 | 2009-12-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタおよびそれを用いた通信機 |
JP2007202087A (ja) * | 2005-05-11 | 2007-08-09 | Seiko Epson Corp | ラム波型高周波デバイス |
JP2007214902A (ja) | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 弾性表面波素子 |
EP2357728A4 (en) | 2008-10-24 | 2015-01-28 | Seiko Epson Corp | SURFACE WAVE RECONNECTOR, SURFACE WAVE OSCILLATOR AND SURFACE WAVE MODULE DEVICE |
KR20110081865A (ko) | 2008-10-24 | 2011-07-14 | 엡슨 토요콤 가부시키 가이샤 | 탄성 표면파 공진자, 탄성 표면파 발진기 및 탄성 표면파 모듈 장치 |
-
2014
- 2014-11-29 WO PCT/JP2014/081662 patent/WO2015080278A1/ja active Application Filing
- 2014-11-29 CN CN201480063282.8A patent/CN105745840B/zh active Active
- 2014-11-29 JP JP2015551033A patent/JP6595342B2/ja active Active
- 2014-11-29 US US15/039,810 patent/US9978927B2/en active Active
-
2018
- 2018-05-14 JP JP2018093142A patent/JP6595659B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06260876A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波フィルタ |
JP2003008390A (ja) * | 2001-04-16 | 2003-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置、通信装置 |
JP2010273382A (ja) * | 2004-01-09 | 2010-12-02 | Panasonic Corp | 弾性表面波共振子及びこれを用いた弾性表面波フィルタ |
WO2006137464A1 (ja) * | 2005-06-21 | 2006-12-28 | Epson Toyocom Corporation | 弾性表面波デバイス、モジュール、及び発振器 |
JP2007013414A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子片、弾性表面波装置、及び電子機器 |
WO2010047113A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
JP2012156741A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Panasonic Corp | アンテナ共用器 |
JP2013085273A (ja) * | 2012-12-11 | 2013-05-09 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
JP2015073207A (ja) * | 2013-10-03 | 2015-04-16 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波共振器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6595342B2 (ja) | 2019-10-23 |
JP2018139445A (ja) | 2018-09-06 |
WO2015080278A1 (ja) | 2015-06-04 |
US20160380176A1 (en) | 2016-12-29 |
CN105745840A (zh) | 2016-07-06 |
US9978927B2 (en) | 2018-05-22 |
CN105745840B (zh) | 2018-09-28 |
JP6595659B2 (ja) | 2019-10-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6595659B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
JP6247377B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
WO2017188342A1 (ja) | 弾性波素子および通信装置 | |
JP6573668B2 (ja) | 弾性波装置および通信装置 | |
JP5343965B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
US9847770B2 (en) | Elastic wave resonator, elastic wave filter apparatus, and duplexer | |
JP6487458B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JPWO2016121818A1 (ja) | フィルタ,分波器および通信装置 | |
JP5158725B2 (ja) | 弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置 | |
JP7433216B2 (ja) | 弾性波素子、弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
US20160112030A1 (en) | Acoustic wave device, filter, and duplexer | |
WO2019017422A1 (ja) | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置 | |
JP7219315B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP4100249B2 (ja) | 弾性表面波装置、通信機 | |
KR101711756B1 (ko) | 탄성파 디바이스, 필터 및 분파기 | |
CN108886351B (zh) | 弹性波元件以及通信装置 | |
JP7213747B2 (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
JP2018133615A (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170908 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180514 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20180522 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20180727 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6595342 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |