JPWO2015050138A1 - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

機械的構成、電気的構成が簡単な搬送装置（１）を提供することを課題とする。搬送装置（１）は、絶縁性を有しエラストマー製の誘電層（２０）と、誘電層（２０）の表裏両側に配置され導電性を有する一対の電極層（２１）と、を有し、基部（２ａ）と、基部（２ａ）よりも弾性変形しやすく表面に被搬送物（Ｗ）を搬送する搬送路（２２）を有する搬送部（２ｂ）と、に区画される搬送部材（２）と、一対の電極層（２１）間に、時間と共に周期的に変化する電圧を印加する電源部（４）と、を備える。電圧の変化に応じて、搬送部（２ｂ）が基部（２ａ）を起点に弾性的に伸縮することにより、搬送装置（１）は、搬送路（２２）において、被搬送物（Ｗ）を搬送する。

Description

本発明は、例えば、小麦粉、塩などの粉体や、錠剤などの粒体を搬送可能な搬送装置に関する。

特許文献１には、微小粉体搬送装置が開示されている。微小粉体搬送装置は、多数の電極を備えている。多数の電極は、搬送方向に並んで配置されている。多数の電極には、搬送方向に沿って、交番電圧が印加されている。粉体は、クーロン力で吸引されることにより、隣り合う電極間を移動する。特許文献２には、特許文献１同様に、搬送方向に並ぶ多数の電極を備える粉体ハンドリング装置が開示されている。

特開２００２−６８４７７号公報 特開平７−３２７３７８号公報

しかしながら、特許文献１の微小粉体搬送装置、特許文献２の粉体ハンドリング装置によると、搬送方向に沿って、搬送方向全長に亘って、多数の電極を配置する必要がある。また、多数の電極に対して、粉体を搬送可能に、交番電圧を印加する必要がある。このため、特許文献１の微小粉体搬送装置、特許文献２の粉体ハンドリング装置によると、機械的構成、電気的構成が複雑である。そこで、本発明は、機械的構成、電気的構成が簡単な搬送装置を提供することを目的とする。

（１）上記課題を解決するため、本発明の搬送装置は、絶縁性を有しエラストマー製の誘電層と、該誘電層の表裏両側に配置され導電性を有する一対の電極層と、を有し、基部と、該基部よりも弾性変形しやすく表面に被搬送物を搬送する搬送路を有する搬送部と、に区画される搬送部材と、一対の該電極層間に、時間と共に周期的に変化する電圧を印加する電源部と、を備え、該電圧の変化に応じて、該搬送部が該基部を起点に弾性的に伸縮することにより、該搬送路において該被搬送物を搬送することを特徴とする。

本明細書において、「交流電圧」とは、時間と共に周期的に変化する電圧をいう。「直流電圧」とは、極性が反転しない電圧をいう。電圧の大きさは、一定でなくてもよい。つまり、本明細書においては、概念上、直流電圧が交流電圧に含まれる場合がある。「交流電源」とは、交流電圧のうち、極性が反転する電圧を、供給可能な電源をいう。「直流電源」とは、直流電圧を供給可能な電源をいう。直流電圧には、大きさが一定のバイアス電圧が含まれる。

本発明の搬送装置は、誘電層と、一対の電極層と、を備えている。一対の電極層間に電圧を印加すると、一対の電極層間に静電引力が加わる。静電引力は、誘電層、つまり搬送部を、積層方向（誘電層と電極層とが積層される方向）に収縮させる方向に作用する。一方、誘電層は、弾性変形可能である。つまり、誘電層は、弾性復元力を有している。弾性復元力は、誘電層、つまり搬送部を、積層方向に伸張させる方向に作用する。このように、搬送部には、静電引力と、弾性復元力と、が作用している。双方の力のバランスにより、搬送部の形状は、弾性的に変化する。

電圧が大きくなると、一対の電極層間の静電引力が大きくなる。このため、搬送部は、誘電層の弾性復元力に抗して、積層方向に収縮する。また、搬送部は、積層方向の収縮量に応じて、面方向（搬送部の表面が展開される方向）に伸張する。反対に、電圧が小さくなると、一対の電極層間の静電引力が小さくなる。このため、搬送部は、誘電層の弾性復元力により、積層方向に伸張する。また、搬送部は、積層方向の伸張量に応じて、面方向に収縮する。

このように、搬送部は、電圧の変化に応じて、伸張と収縮とを弾性的に繰り返すことができる。ここで、基部は、搬送部と比較して、弾性変形しにくい。このため、搬送部は、基部を起点に、伸張と収縮とを弾性的に繰り返すことができる。言い換えると、搬送部は、基部を起点に、振動することができる。当該振動により、搬送部は、搬送路上の被搬送物を、搬送することができる。

本発明の搬送装置によると、搬送路に沿って、搬送路の全長に亘って、多数の電極を配置する必要がない。また、多数の電極に対して、被搬送物を搬送可能に、交番電圧を印加する必要がない。このため、機械的構成、電気的構成が簡単である。また、被搬送物の電気的特性（導電性、絶縁性など）によらず、被搬送物を搬送することができる。

また、一般的な振動コンベアの場合、搬送路を有する硬質（例えば鋼製）のトラフを、多数のコイルばねにより振動させている。トラフ自体は弾性変形しない。これに対して、本発明の搬送装置の場合、誘電層は、柔軟な（ヤング率の小さい）エラストマー製である。このため、誘電層は、搬送部の振動が被搬送物に与える衝撃を、吸収することができる。したがって、搬送時に、搬送部の振動により、被搬送物が損傷を受けるおそれが小さい。

（１−１）上記（１）の構成において、前記誘電層と前記電極層とが積層される方向を積層方向、前記搬送部の表面における前記搬送路の延在方向を搬送方向、該搬送部が該積層方向に最大限伸張すると共に該搬送方向に最大限収縮した状態を収縮状態、該搬送部が該積層方向に最大限収縮すると共に該搬送方向に最大限伸張した状態を伸張状態、該収縮状態から該伸張状態に切り替わる際の、該搬送方向における、該搬送路の変形加速度を伸張加速度、該伸張状態から該収縮状態に切り替わる際の、該搬送方向における、該搬送路の変形加速度を収縮加速度として、該伸張加速度と該収縮加速度とは、相違している構成とする方がよい。

搬送路の変形加速度が小さい場合、搬送路が変形する際、搬送路に対して、被搬送物がずれにくい。このため、搬送路の変形に伴って、被搬送物が移動しやすい。これに対して、搬送路の変形加速度が大きい場合、搬送路が変形する際、搬送路に対して、被搬送物がずれやすい。このため、搬送路の変形に伴って、被搬送物が移動しにくい。

本構成によると、収縮状態から伸張状態への切替時と、伸張状態から収縮状態への切替時と、で変形加速度に差異を設けている。このため、いずれか一方の切替時において、優先的に被搬送物を移動させることができる。したがって、本構成によると、被搬送物の搬送方向を制御することができる。

（２）上記（１）の構成において、前記搬送部の表面における、前記搬送路の延在方向を搬送方向として、前記基部は、該搬送路の該搬送方向一端または該搬送方向他端に配置される構成とする方がよい。

本構成によると、基部を起点に、搬送路の全長に亘って、搬送部を振動させることができる。このため、一回のストローク（収縮状態→伸張状態→再び収縮状態、または伸張状態→収縮状態→再び伸張状態）あたりの被搬送物の搬送距離を大きくすることができる。

（３）上記（１）または（２）の構成において、前記搬送部材の一部を拘束する拘束部材を備え、前記基部は、該搬送部材の該一部が該拘束部材で拘束されることにより、形成される構成とする方がよい。

本構成によると、拘束部材で搬送部材を部分的に拘束することにより、搬送部材に、基部と、搬送部と、を区画することができる。すなわち、拘束部材で搬送部材の一部を拘束することにより、搬送部材の一部に、基部を設定することができる。並びに、搬送部材の他部（拘束部材で拘束されない部分）に、搬送部を設定することができる。本構成によると、搬送部の振動に伴う基部の弾性変形、位置ずれを抑制することができる。

（４）上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記搬送部の表面における、前記搬送路の延在方向を搬送方向、該搬送方向に直交する方向を幅方向として、該搬送路の搬送方向全長は、該搬送路の幅方向全長よりも、長い構成とする方がよい。

本構成によると、搬送路の搬送方向の伸縮量を、幅方向の伸縮量よりも、大きくすることができる。このため、一回のストロークあたりの被搬送物の搬送距離を大きくすることができる。

（５）上記（１）ないし（４）のいずれかの構成において、前記搬送部材は、最も表側の前記電極層の表側に配置されると共に、絶縁性を有しエラストマー製の保護層を有する構成とする方がよい。

保護層は、エラストマー製であり柔軟性を有している。このため、本構成によると、電極層を外部から保護することができる。また、保護層は、絶縁性を有している。このため、本構成によると、電極層と外部との導通を遮断することができる。

（６）上記（１）ないし（５）のいずれかの構成において、前記搬送部材の裏側に配置され、前記搬送部が弾性的に伸縮する際に、該搬送部に摺接する裏地部材を備える構成とする方がよい。本構成によると、弾性変形時に、搬送部が、裏地部材に摺接することができる。

（６−１）上記（６）の構成において、前記裏地部材は、樹脂製または金属製である構成とする方がよい。本構成によると、搬送部が裏地部材に摺接する際の摩擦抵抗が小さくなる。このため、搬送部の弾性変形が、裏地部材に拘束されにくくなる。

（７）上記（１）ないし（６）のいずれかの構成において、前記電源部は、極性が反転しない電圧（つまり直流電圧）を供給可能な直流電源、または極性が反転する電圧を供給可能な交流電源と、該直流電源または該交流電源から供給される該電圧の波形を調整する波形調整部と、を有する構成とする方がよい。本構成によると、波形調整部により、直流電源または交流電源から供給される電圧の波形を、調整することができる。

（８）上記（１）ないし（６）のいずれかの構成において、前記電源部は、極性が反転せず大きさが一定のバイアス電圧を供給可能な直流電源と、極性が反転する電圧を供給可能な交流電源と、を有する構成とする方がよい。本構成によると、直流電圧と交流電圧とを、重畳的に搬送部材に印加することができる。このため、所定のバイアス電圧を基準に、搬送部材に交流電圧を加えることができる。

（９）上記（１）ないし（８）のいずれかの構成において、一対の前記電極層間に前記電源部が印加する前記電圧は、極性が反転しない直流電圧である構成とする方がよい。本構成によると、一対の電極層間に、時間と共に周期的に変化し、かつ極性が反転しない電圧を、印加することができる。

（９−１）上記（９）の構成において、前記直流電圧の時間変化の１周期分の波形は、三角形波、のこぎり波、矩形波のいずれかである構成とする方がよい。本構成によると、波形の形成が容易である。このため、搬送部の伸縮を制御しやすい。

（９−２）上記（９）の構成において、前記直流電圧の時間変化の波形は、連続波、またはパルス波である構成とする方がよい。本構成によると、周波数の調整が容易である。このため、搬送速度を制御しやすい。

（１０）上記（９）の構成において、前記直流電圧の時間変化の１周期分の波形は、時間と共に該直流電圧が上昇する昇圧区間と、時間と共に該直流電圧が下降する降圧区間と、を有し、該昇圧区間における該直流電圧の時間微分値の絶対値は、該降圧区間における該直流電圧の時間微分値の絶対値よりも、小さい構成とする方がよい。

ここで、直流電圧の時間微分値とは、直流電圧をＶ、時間をｔとして、直流電圧の時間変化率（ｄＶ／ｄｔ、傾き）をいう。なお、昇圧区間、降圧区間における直流電圧の時間微分値が一定でない場合、言い換えると２階時間微分値（ｄ^２Ｖ／ｄｔ^２）が０でない場合は、「時間微分値の絶対値」とは、時間微分値の絶対値の最大値をいう。例えば、昇圧区間または降圧区間に、複数の区間（直線区間、曲率一定の曲線区間、曲率が変化する曲線区間など）がある場合、「時間微分値の絶対値」とは、複数の区間の時間微分値の絶対値のうち、最大値をいう。

昇圧区間に対応して、搬送部は伸張する。すなわち、搬送部が、上記（１−１）の収縮状態から伸張状態に切り替わる。昇圧区間における直流電圧の時間微分値は、上記（１−１）の伸張加速度に対応している。時間微分値の絶対値が大きいほど、伸張加速度は大きくなる。

降圧区間に対応して、搬送部は収縮する。すなわち、搬送部が、上記（１−１）の伸張状態から収縮状態に切り替わる。降圧区間における直流電圧の時間微分値は、上記（１−１）の収縮加速度に対応している。時間微分値の絶対値が大きいほど、収縮加速度は大きくなる。

本構成によると、昇圧区間における直流電圧の時間微分値の絶対値は、降圧区間における直流電圧の時間微分値の絶対値よりも、小さい。このため、搬送部をゆっくりと伸張させ、素早く収縮させることができる。したがって、搬送部の伸張時に、搬送路に対して、被搬送物がずれにくい。よって、搬送路の伸張に伴って、被搬送物が移動しやすい。並びに、搬送部の収縮時に、搬送路に対して、被搬送物がずれやすい。よって、搬送路の収縮に伴って、被搬送物が移動しにくい。

このように、本構成によると、被搬送物の慣性を利用することにより、搬送部の伸張時において、被搬送物を効率よく搬送することができる。並びに、搬送部の収縮時において、被搬送物の逆行を抑制することができる。

（１１）上記（１）ないし（１０）のいずれかの構成において、前記電源部を制御する制御部を備える構成とする方がよい。本構成によると、電源部を介して電圧の波形や周期などを、制御部により制御することができる。

（１１−１）上記（１１）の構成において、前記制御部は、前記電圧が予め設定された波形、周期になるように、前記電源を制御する構成とする方がよい。本構成によると、電圧の波形、周期を規定値に設定することができる。なお、電圧の波形、周期は、制御部の記憶部に格納してもよい。

（１２）上記（１１）の構成において、前記搬送部の伸縮を検出する検出部を備え、前記制御部は、該検出部の検出値を基に前記電源部を制御する構成とする方がよい。本構成によると、搬送部の伸縮を基に、電源部を制御することができる。例えば、制御部は、上記（１−１）の伸張状態→収縮状態→伸張状態と搬送部が切り替わる際に、検出部を用いて搬送部の収縮の完了を確認してから、電源部を用いて搬送部の伸張を開始してもよい。こうすると、搬送部の収縮が未完了のまま搬送部の伸張を開始する場合と比較して、同等の搬送速度を確保しながら、一対の電極層間に電源部が印加する電圧の周波数を減らすことができる。

（１２−１）上記（１２）の構成において、前記搬送路には、検出位置が設定され、前記検出部は、前記搬送部の伸縮に伴う該検出位置の変位を検出する変位センサである構成とする方がよい。本構成によると、検出位置の変位を基に、電源部を制御することができる。

（１３）上記（１）ないし（１２）のいずれかの構成において、前記搬送部の表面における、前記搬送路の延在方向を搬送方向、該搬送方向に直交する方向を幅方向として、前記電極層は、該搬送方向に延在し、該幅方向に並ぶ、複数の帯部を有し、該幅方向に隣り合う一対の該帯部間には、隙間が区画されている構成とする方がよい。

本構成によると、幅方向に隣り合う一対の帯部間に、隙間が区画されている。このため、隙間が区画されていない場合と比較して、電極層の面積を小さくすることができる。したがって、隙間が区画されていない場合と比較して、同等あるいはそれを上回る搬送速度を確保しながら、搬送部の駆動に要する電流値を小さくすることができる。また、本構成によると、幅方向に隣り合う一対の帯部同士が、互いに相手方の帯部の伸縮を規制しにくい。このため、複数の帯部が、各々、搬送方向に伸縮しやすい。

本発明によると、機械的構成、電気的構成が簡単な搬送装置を提供することができる。

図１は、第一実施形態の搬送装置の上面図である。 図２は、図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図である。 図３は、搬送部材に印加される電圧の模式図である。 図４（ａ）は、同搬送装置の収縮状態（その１）の左右方向断面図である。図４（ｂ）は、同搬送装置の伸張状態（その１）の左右方向断面図である。図４（ｃ）は、同搬送装置の収縮状態（その２）の左右方向断面図である。図４（ｄ）は、同搬送装置の伸張状態（その２）の左右方向断面図である。 図５は、第二実施形態の搬送装置の前後方向断面図である。 図６は、第三実施形態の搬送装置の前後方向断面図である。 図７は、第四実施形態の搬送装置の左右方向断面図である。 図８は、第五実施形態の搬送装置の上面図である。 図９は、その他の実施形態（その１）の搬送装置の上面図である。 図１０は、その他の実施形態（その２）の搬送装置の左右方向断面図である。 図１１は、電圧の波形が矩形波の場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図１２は、図１１の場合の距離の時間変化を示すグラフである。 図１３は、電圧の波形が右に尖る直角三角形波の場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図１４は、図１３の場合の距離の時間変化を示すグラフである。 図１５は、電圧の波形が左に尖る直角三角形波の場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図１６は、電圧の波形が二等辺三角形波の場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図１７は、電圧の波形が右に尖る三角形波の場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図１８は、電圧の波形が右に尖る直角三角形波の場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図１５〜図１８の場合の距離の時間変化を示すグラフである。 図２０は、電圧の波形が右に尖る直角三角形波であって時系列的に隣り合う一対の波形間に電圧がオフになる間隔を設定した場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図２１は、図２０の場合の距離の時間変化を示すグラフである。 図２２は、電圧の波形が右に尖る直角三角形波である場合の、位置の時間変化を示すグラフである。 図２３は、図２２の場合の搬送部の伸縮の加速度を示すグラフである。 図２４は、図２２の場合の距離の時間変化を示すグラフである。

以下、本発明の搬送装置の実施の形態について説明する。以下に示す図面において、上側は本発明の「表側」に、下側は本発明の「裏側」に、左右方向は本発明の「搬送方向」に、前後方向は本発明の「幅方向」に、各々対応する。また、上下方向は「積層方向」に、前後左右方向は「面方向」に、各々対応する。

＜第一実施形態＞
［搬送装置の構成］
まず、本実施形態の搬送装置の構成について説明する。図１に、本実施形態の搬送装置の上面図を示す。図２に、図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図を示す。なお、図２においては、説明の便宜上、搬送装置の上下方向厚さを誇張して示す。図１、図２に示すように、本実施形態の搬送装置１は、搬送部材２と、拘束部材３０と、裏地部材３１と、前後一対のコネクタ３２と、電源部４と、を備えている。

搬送部材２は、合計５層の誘電層２０と、合計６層の電極層２１と、上下一対の保護層２３と、を備えている。誘電層２０は、水素化ニトリルゴム（Ｈ−ＮＢＲ）製であって、左右方向に長い長方形状を呈している。Ｈ−ＮＢＲは、本発明の「エラストマー」の概念に含まれる。誘電層２０は、柔軟性、絶縁性を有している。誘電層２０の積層方向厚さは、２０μｍである。

電極層２１は、アクリルゴム中にカーボン粉末が充填された電極材料製である。電極層２１は、電極材料を含む塗料が誘電層２０に印刷されることにより、形成されている。電極層２１は、左右方向に長い長方形状を呈している。電極層２１は、柔軟性、導電性を有している。電極層２１の積層方向厚さは、１５μｍである。

６層の電極層２１と５層の誘電層２０とは、上下方向に交互に積層されている。上下方向に隣り合う一対の電極層２１の間には、誘電層２０が介在している。上から数えて奇数番目（１番目、３番目、５番目）の電極層２１は、後述する交流電源４０に電気的に接続されている。上から数えて偶数番目（２番目、４番目、６番目）の電極層２１は、後述する直流電源４１に電気的に接続されている。

保護層２３は、ブチルゴム（ＩＩＲ）製であって、左右方向に長い長方形状を呈している。ＩＩＲは、本発明の「エラストマー」の概念に含まれる。保護層２３は、柔軟性、絶縁性を有している。保護層２３の積層方向厚さは、５μｍである。上側の保護層２３は、最上層の電極層２１の上側に積層されている。下側の保護層２３は、最下層の電極層２１の下側に積層されている。

搬送部材２は、基部２ａと、搬送部２ｂと、に区画されている。基部２ａは、後述する拘束部材３０に、上下方向から拘束されている。当該拘束により、基部２ａは、後述する搬送路２２の左端に設定されている。搬送部２ｂは、基部２ａの右側に設定されている。搬送部２ｂは、後述する電圧の変化に応じて、伸張状態と、収縮状態と、に交互に切り替わることができる。すなわち、搬送部２ｂは、振動することができる。搬送部２ｂの上面（具体的には上側の保護層２３の上面）には、搬送路２２が配置されている。搬送路２２は、左右方向に直線状に延在している。搬送路２２の左端は搬送方向の上流端に、搬送路２２の右端は搬送方向の下流端に、各々対応している。

拘束部材３０は、硬質の樹脂製であって、クランプ状を呈している。拘束部材３０は、絶縁性を有している。拘束部材３０は、基部２ａを、上下方向から挟持している。このため、搬送部２ｂと比較して、基部２ａは、弾性変形が規制されている。

裏地部材３１は、硬質のアクリル樹脂製であって、左右方向に長い長方形状を呈している。裏地部材３１は、絶縁性を有している。裏地部材３１は、搬送部材の下側（具体的には下側の保護層２３の下側）に配置されている。裏地部材３１の上面は、平面状（滑面状）を呈している。裏地部材３１の上面の左縁には、拘束部材３０が固定されている。すなわち、基部２ａは、拘束部材３０を介して、裏地部材３１に固定されている。一方、搬送部２ｂは、裏地部材３１に固定されていない。後述する伸張状態と収縮状態とに切り替わる際、搬送部２ｂの下面（具体的には下側の保護層２３の下面）は、裏地部材３１の上面に摺接する。

コネクタ３２は、基部２ａに連なっている。前側のコネクタ３２は、基部２ａに配置された銀ペースト製の配線（図略）を介して、上から数えて奇数番目の電極層２１に、電気的に接続されている。一方、後側のコネクタ３２は、基部２ａに配置された配線を介して、上から数えて偶数番目の電極層２１に、電気的に接続されている。

電源部４は、交流電源４０と、直流電源４１と、を備えている。交流電源４０は、前側のコネクタ３２に、電気的に接続されている。直流電源４１は、後側のコネクタ３２に、電気的に接続されている。

図３に、搬送部材に印加される電圧の模式図を示す。図３に示すように、交流電源４０は、搬送部材２に、正弦波状の交流電圧を印加している。直流電源４１は、搬送部材２に、直流電圧（バイアス電圧）を印加している。具体的には、交流電源４０は、０Ｖを中心に極性が反転する電圧を形成している。並びに、直流電源４１は、大きさが一定のバイアス電圧を形成している。搬送部材２には、直流電圧と交流電圧とが重畳的に印加されている。なお、交流電圧の振幅Ｖｐは、直流電圧Ｖｄｃよりも、小さい。また、波高Ｖｐｐは、交流電圧の最大値Ｖｍａｘと最小値Ｖｍｉｎとの差である。波高Ｖｐｐは、振幅Ｖｐの二倍である。

［搬送装置の動き］
次に、本実施形態の搬送装置の動きについて説明する。図４（ａ）に、本実施形態の搬送装置の収縮状態（その１）の左右方向断面図を示す。図４（ｂ）に、本実施形態の搬送装置の伸張状態（その１）の左右方向断面図を示す。図４（ｃ）に、本実施形態の搬送装置の収縮状態（その２）の左右方向断面図を示す。図４（ｄ）に、本実施形態の搬送装置の伸張状態（その２）の左右方向断面図を示す。図４（ａ）〜図４（ｄ）においては、説明の便宜上、搬送装置の上下方向厚さを誇張して示す。なお、図４（ａ）は図３の点Ａに、図４（ｂ）は図３の点Ｂに、図４（ｃ）は図３の点Ｃに、図４（ｄ）は図３の点Ｄに、各々対応している。

前述したように、搬送部材２の基部２ａは、拘束部材３０を介して、裏地部材３１に固定されている。このため、搬送部材２に電圧が印加されると、搬送部２ｂは、基部２ａを起点として、図４（ａ）、図４（ｃ）に示す収縮状態と、図４（ｂ）、図４（ｄ）に示す伸張状態と、を交互に繰り返す。すなわち、搬送部２ｂは、図３に示す電圧の周波数に対応して、振動する。

（収縮状態から伸張状態に切り替わる際の搬送装置の動き）
まず、図４（ａ）、図４（ｃ）に示す収縮状態から、図４（ｂ）、図４（ｄ）に示す伸張状態に、切り替わる際の搬送部２ｂの動きについて説明する。図４（ａ）、図４（ｃ）に示す収縮状態において、搬送部２ｂには、図３の点Ａ、点Ｃに示すように、電圧の最小値Ｖｍｉｎが印加されている。このため、上下方向に隣り合う一対の電極層２１間の静電引力が最小になる。したがって、搬送部２ｂは、合計５層の誘電層２０、合計６層の電極層２１の弾性復元力により、上下方向に最大限に伸張し、水平方向に最大限に収縮している。

図３の点Ａ→点Ｂ、点Ｃ→点Ｄに示すように、搬送部２ｂに印加される電圧が大きくなると、上下方向に隣り合う一対の電極層２１間の静電引力が大きくなる。このため、図４（ａ）→図４（ｂ）、図４（ｃ）→図４（ｄ）に示すように、搬送部２ｂは、合計５層の誘電層２０、合計６層の電極層２１の弾性復元力に抗して、上下方向に収縮し、水平方向に伸張する。なお、図１に示すように、搬送路２２の左右方向全長は、前後方向全長よりも、長い。このため、搬送路２２の左右方向の伸張量は、前後方向の伸張量よりも、大きい。

図４（ｂ）、図４（ｄ）に示す伸張状態において、搬送部２ｂには、図３の点Ｂ、点Ｄに示すように、電圧の最大値Ｖｍａｘが印加されている。このため、上下方向に隣り合う一対の電極層２１間の静電引力が最大になる。したがって、搬送部２ｂは、上下方向に最大限に収縮し、水平方向に最大限に伸張している。なお、伸張状態においては、搬送部２ｂに、合計５層の誘電層２０、合計６層の電極層２１の弾性復元力が蓄積されている。このようにして、搬送部２ｂは、収縮状態から伸張状態に切り替わる。

（伸張状態から収縮状態に切り替わる際の搬送装置の動き）
次に、図４（ｂ）に示す伸張状態から、図４（ｃ）に示す収縮状態に、切り替わる際の搬送部２ｂの動きについて説明する。図３の点Ｂ→点Ｃに示すように、搬送部２ｂに印加される電圧が小さくなると、上下方向に隣り合う一対の電極層２１間の静電引力が小さくなる。このため、図４（ｂ）→図４（ｃ）に示すように、搬送部２ｂは、合計５層の誘電層２０、合計６層の電極層２１の弾性復元力により、上下方向に伸張し、水平方向に収縮する。なお、図１に示すように、搬送路２２の左右方向全長は、前後方向全長よりも、長い。このため、搬送路２２の左右方向の収縮量は、前後方向の収縮量よりも、大きい。このようにして、搬送部２ｂは、伸張状態から収縮状態に切り替わる。

（伸張加速度と収縮加速度との関係）
次に、伸張加速度と収縮加速度との関係について説明する。図４（ａ）、図４（ｃ）に示す収縮状態から、図４（ｂ）、図４（ｄ）に示す伸張状態に、切り替わる際の、搬送路２２の左右方向の変形加速度を伸張加速度ａ１とする。また、図４（ｂ）に示す伸張状態から図４（ｃ）に示す収縮状態に切り替わる際の、搬送路２２の左右方向の変形加速度を収縮加速度ａ２とする。本実施形態においては、伸張加速度ａ１＜収縮加速度ａ２の関係が成立している。このため、搬送路２２は、収縮状態から伸張状態にゆっくりと切り替わる。反対に、搬送路２２は、伸張状態から収縮状態に素早く切り替わる。

なお、搬送路２２の変形加速度は、一例として、収縮状態から伸張状態、あるいは伸張状態から収縮状態に切り替わる際の、搬送路２２上の任意の一点の、左右方向の移動加速度から算出することができる。

（被搬送物の動き）
次に、本実施形態の搬送装置により搬送される、被搬送物Ｗの動きについて説明する。図４（ａ）〜図４（ｄ）に示すように、被搬送物Ｗは、図３に示す電圧の変化に応じて、左側から右側に向かって、搬送路２２上を移動する。

図４（ａ）→図４（ｂ）に示すように、収縮状態から伸張状態に切り替わる際、搬送路２２は、基部２ａを起点に右側に伸張する。ここで、収縮状態から伸張状態に切り替わる際の、搬送路２２の伸張加速度ａ１は小さい。このため、被搬送物Ｗは、搬送路２２に対して、左右方向にずれにくい。したがって、被搬送物Ｗは、搬送路２２の伸張に伴って、位置Ｐ１から位置Ｐ２に、右側に移動する。

図４（ｂ）→図４（ｃ）に示すように、伸張状態から収縮状態に切り替わる際、搬送路２２は、基部２ａを起点に左側に収縮する。ここで、伸張状態から収縮状態に切り替わる際の、搬送路２２の収縮加速度ａ２は大きい。このため、被搬送物Ｗは、搬送路２２に対して、左右方向にずれやすい。加えて、伸張状態から収縮状態に切り替わる際、搬送部２ｂは、弾性復元力により、上下方向に伸張する。このため、被搬送物Ｗは、搬送路２２から、上側に跳ねやすい。この点においても、被搬送物Ｗは、搬送路２２に対して、左右方向にずれやすい。したがって、被搬送物Ｗは、搬送路２２が収縮しても、位置Ｐ２から位置Ｐ１に復動しない。被搬送物Ｗは、位置Ｐ２に留まる。

図４（ｃ）→図４（ｄ）に示すように、再び、収縮状態から伸張状態に切り替わる際は、図４（ａ）→図４（ｂ）の場合と同様に、被搬送物Ｗは、搬送路２２の伸張に伴って、位置Ｐ２から位置Ｐ３に、右側に移動する。

このように、搬送部２ｂが収縮状態と伸張状態とを繰り返すことにより、被搬送物Ｗは、コマ送り状に、左側から右側に向かって、搬送路２２上を移動する。すなわち、被搬送物Ｗは、収縮状態から伸張状態への切替時に所定のピッチ（＝Ｐ２−Ｐ１＝Ｐ３−Ｐ２）だけ移動し、伸張状態から収縮状態への切替時に停止する。

［作用効果］
次に、本実施形態の搬送装置の作用効果について説明する。本実施形態の搬送装置１によると、搬送部２ｂは、基部２ａを起点に、図４（ｂ）、図４（ｄ）に示す伸張状態と、図４（ａ）、図４（ｃ）に示す収縮状態と、を繰り返すことができる。言い換えると、搬送部２ｂは、基部２ａを起点に、振動することができる。当該振動により、搬送部２ｂは、搬送路２２上の被搬送物Ｗを、搬送することができる。

本実施形態の搬送装置１によると、搬送路２２に沿って、搬送路２２の全長に亘って、多数の電極を配置する必要がない。また、多数の電極に対して、被搬送物Ｗを搬送可能に、交番電圧を印加する必要がない。このため、機械的構成、電気的構成が簡単である。また、被搬送物Ｗの電気的特性（導電性、絶縁性など）によらず、被搬送物Ｗを搬送することができる。

また、一般的な振動コンベアの場合、搬送路２２を有する硬質（例えば鋼製）のトラフを、多数のコイルばねにより振動させている。トラフ自体は弾性変形しない。これに対して、本実施形態の搬送装置１の場合、誘電層２０は、柔軟な（ヤング率の小さい）エラストマー製である。このため、誘電層２０は、搬送部２ｂの振動が被搬送物Ｗに与える衝撃を、吸収することができる。したがって、搬送時に、搬送部２ｂの振動により、被搬送物Ｗが損傷を受けるおそれが小さい。

また、本実施形態の搬送装置１によると、搬送路２２の左右方向の変形加速度について、伸張加速度ａ１＜収縮加速度ａ２の関係が成立している。このため、搬送部２ｂは、収縮状態から伸張状態にゆっくりと切り替わる。反対に、搬送部２ｂは、伸張状態から収縮状態に素早く切り替わる。したがって、被搬送物Ｗの搬送方向を、左側から右側に向かう方向に、制御することができる。

また、本実施形態の搬送装置１によると、図４（ａ）〜図４（ｄ）に示すように、基部２ａが、搬送部２ｂの左端に連なっている。このため、基部２ａを起点に、搬送路２２の左右方向全長に亘って、搬送部２ｂを振動させることができる。このため、一回のストローク（収縮状態→伸張状態→再び収縮状態）あたりの被搬送物Ｗの搬送距離を大きくすることができる。

また、本実施形態の搬送装置１によると、図３に示すように、直流電圧と交流電圧とを、重畳的に搬送部材２に印加することができる。このため、所定のバイアス電圧を基準に、搬送部材２に交流電圧（時間と共に周期的に変化する電圧）を加えることができる。

また、本実施形態の搬送装置１によると、図１、図２に示すように、拘束部材３０で搬送部材２を部分的に拘束することにより、搬送部材２に、基部２ａと、搬送部２ｂと、を区画することができる。すなわち、拘束部材３０で搬送部材２の一部を拘束することにより、搬送部材２の一部に、基部２ａを設定することができる。並びに、搬送部材２の他部（拘束部材３０で拘束されない部分）に、搬送部２ｂを設定することができる。このため、図４（ａ）〜図４（ｄ）に示すように、搬送部２ｂが振動する場合であっても、基部２ａの弾性変形、位置ずれを抑制することができる。

また、基部２ａには、電極層２１の左縁が含まれている。また、コネクタ３２は、基部２ａの左側（基部２ａを挟んで搬送部２ｂの反対側）に配置されている。このため、図４（ａ）〜図４（ｄ）に示すように、搬送部２ｂが振動する場合であっても、電極層２１とコネクタ３２とが電気的に断線しにくい。

また、図１に示すように、本実施形態の搬送装置１の搬送路２２の左右方向全長は、前後方向全長よりも、長い。このため、搬送路２２の左右方向の伸縮量は、前後方向の伸縮量よりも、大きい。したがって、搬送方向が前後方向である場合と比較して、一回のストローク（収縮状態→伸張状態→再び収縮状態）あたりの被搬送物Ｗの搬送距離を大きくすることができる。

また、本実施形態の搬送装置１は、図２に示すように、上下一対の保護層２３を備えている。保護層２３は、ＩＩＲ製であって、柔軟性を有している。このため、本実施形態の搬送装置１によると、最上層、最下層の電極層２１を、外部から保護することができる。また、保護層２３は、絶縁性を有している。このため、本実施形態の搬送装置１によると、最上層、最下層の電極層２１と外部との導通を遮断することができる。

また、本実施形態の搬送装置１は、図４（ａ）〜図４（ｄ）に示すように、裏地部材３１を備えている。このため、弾性変形時に、搬送部２ｂが、裏地部材３１に摺接することができる。また、裏地部材３１は、硬質のアクリル樹脂製である。このため、裏地部材３１がエラストマー製である場合と比較して、搬送部２ｂが裏地部材３１に摺接する際の摩擦抵抗を小さくすることができる。したがって、搬送部２ｂの弾性変形が、裏地部材３１に拘束されにくくなる。

＜第二実施形態＞
本実施形態の搬送装置と、第一実施形態の搬送装置との相違点は、前後方向に二つの搬送装置が並置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図５に、本実施形態の搬送装置の前後方向断面図を示す。なお、図２と対応する部位については、同じ符号で示す。

図５に示すように、搬送ユニット１０は、二つの搬送装置１を備えている。二つの搬送装置１は、上下方向にずれて、前後方向（幅方向）に並置されている。二つの搬送路２２間には高度差が設定されている。二つの搬送装置１の間には、重複部Ｏ１が配置されている。重複部Ｏ１においては、上側から見て、前側の搬送装置１の後縁と、後側の搬送装置１の前縁と、が重複している。重複部Ｏ１の上下方向隙間Ｌ１は、被搬送物Ｗの直径よりも、短い。このため、被搬送物Ｗは、重複部Ｏ１から脱落しにくい。

本実施形態の搬送装置と、第一実施形態の搬送装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。また、二つの搬送装置１は、前後方向に並置されている。このため、単位時間あたりの被搬送物Ｗの搬送量を多くすることができる。

＜第三実施形態＞
本実施形態の搬送装置と、第二実施形態の搬送装置との相違点は、二つの搬送装置の間に、緩衝部材が介装されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図６に、本実施形態の搬送装置の前後方向断面図を示す。なお、図５と対応する部位については、同じ符号で示す。

図６に示すように、二つの搬送装置１は、前後方向（幅方向）に並置されている。二つの搬送路２２間には高度差が設定されていない。二つの搬送装置１の間には、発泡エラストマー製の緩衝部材９１が介装されている。緩衝部材９１は、スポンジ状を呈している。緩衝部材９１は、柔軟性、絶縁性を有している。緩衝部材９１の前後方向のばね定数は、搬送装置１の前後方向のばね定数よりも、小さい。

本実施形態の搬送装置と、第二実施形態の搬送装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。また、本実施形態の搬送装置１によると、二つの搬送装置１の間に、柔軟な緩衝部材９１が介装されている。このため、搬送装置１が収縮状態（図４（ａ）、図４（ｃ）参照）から伸張状態（図４（ｂ）、図４（ｄ）参照）に切り替わる際の前後方向の弾性変形を、緩衝部材９１により、吸収することができる。したがって、二つの搬送装置１間において、一方の搬送装置１の弾性変形が、他方の搬送装置１の弾性変形を、阻害するおそれが小さい。よって、二つの搬送装置１を、互いに独立して駆動することができる。

＜第四実施形態＞
本実施形態の搬送装置と、第一実施形態の搬送装置との相違点は、制御部と変位センサとが配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図７に、本実施形態の搬送装置の前後方向断面図を示す。なお、図２と対応する部位については、同じ符号で示す。

図７に示すように、搬送装置１は、制御部５と、変位センサ６と、を備えている。また、電源部４は、交流電源４０と、波形調整部４２と、を備えている。変位センサ６は、本発明の「検出部」の概念に含まれる。変位センサ６と、制御部５と、波形調整部４２と、は電気的に接続されている。搬送路２２には、検出位置Ｐ４が設定されている。変位センサ６は、搬送部２ｂの伸縮に伴う検出位置Ｐ４の変位を検出する。制御部５は、変位センサ６の検出値、つまり検出位置Ｐ４の変位を基に、波形調整部４２を制御する。波形調整部４２は、交流電源４０から供給される交流電圧の周波数、波形、最大値Ｖｍａｘ、最小値Ｖｍｉｎなどを調整する。

本実施形態の搬送装置と、第一実施形態の搬送装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。また、本実施形態の搬送装置１によると、搬送速度や被搬送物Ｗの性状（体積、質量、形状など）などに応じて、波形調整部４２により、電圧を調整することができる。

例えば、交流電圧の波形が正弦波状の場合、波形調整部４２により、当該交流電圧からパルス波（孤立波）を生成することができる。また、波形調整部４２により、変位センサ６の検出値、つまり検出位置Ｐ４の変位を基に、パルス波のパルス幅や周期を調整することができる。すなわち、時系列的に隣り合う一対のパルス波間の間隔を、調整することができる。具体的には、制御部５は、変位センサ６を用いて、図４（ｂ）に示す伸張状態から図４（ｃ）に示す収縮状態（図３に示す電圧の波形がパルス波の場合は電圧０Ｖ）に切り替わる際の、搬送部２ｂの収縮の完了を確認することができる。並びに、制御部５は、搬送部２ｂの収縮の完了を確認してから、波形調整部４２を用いて、搬送部２ｂの伸張（図４（ｃ）に示す収縮状態から図４（ｄ）に示す伸張状態への切替）を開始することができる。こうすると、搬送部２ｂの収縮が未完了のまま搬送部２ｂの伸張を開始する場合と比較して、同等の搬送速度を確保しながら、図３に示す電圧の周波数を減らすことができる。

＜第五実施形態＞
本実施形態の搬送装置と、第一実施形態の搬送装置との相違点は、電極層が、複数の帯部を備えている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。図８に、本実施形態の搬送装置の上面図を示す。なお、図１と対応する部位については、同じ符号で示す。

図８に透過して示すように、合計６層の電極層２１は、各々、７本の帯部２１０と、連結部２１１と、を備えている。７本の帯部２１０は、各々、左右方向（搬送方向）に延在している。また、７本の帯部２１０は、前後方向（幅方向）に平行に並んでいる。連結部２１１は、前後方向に延在している。連結部２１１は、７本の帯部２１０の左端（搬送方向の上流端）を、前後方向に連結している。連結部２１１は、拘束部材３０に、上下方向から拘束されている。前後方向に隣り合う一対の帯部２１０間には、隙間Ｆが区画されている。

本実施形態の搬送装置と、第一実施形態の搬送装置とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。また、本実施形態の搬送装置１によると、前後方向に隣り合う一対の帯部２１０間に、隙間Ｆが区画されている。このため、隙間Ｆが区画されていない場合と比較して、電極層２１の面積（上面、下面の面積）を小さくすることができる。したがって、隙間Ｆが区画されていない場合と比較して、同等あるいはそれを上回る搬送速度を確保しながら、搬送部２ｂの駆動に要する電流値を小さくすることができる。また、本実施形態の搬送装置１によると、前後方向に隣り合う一対の帯部２１０同士が、互いに相手方の帯部２１０の伸縮を規制しにくい。このため、７本の帯部２１０が、各々、左右方向に伸縮しやすい。

＜その他＞
以上、本発明の搬送装置の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。

図９に、その他の実施形態（その１）の搬送装置の上面図を示す。なお、図１と対応する部位については、同じ符号で示す。図９に示すように、基部２ａを境に、左右二つの搬送部２ｂを配置してもよい。左側の搬送部２ｂは、基部２ａを起点に、左側に伸縮可能である。右側の搬送部２ｂは、基部２ａを起点に、右側に伸縮可能である。このため、本実施形態の搬送装置１によると、左右両方向に被搬送物を搬送することができる。

図１０に、その他の実施形態（その２）の搬送装置の左右方向断面図を示す。なお、図２と対応する部位については、同じ符号で示す。図１０に示すように、拘束部材兼用の裏地部材３１を配置してもよい。すなわち、左端に拘束部３１０を有する裏地部材３１を配置してもよい。こうすると、部品点数が少なくなる。また、電源部４に交流電源４０だけを配置してもよい。こうすると、電気的な回路構成が簡単になる。また、搬送路２２に、前後方向に延在するリブ２２０を、左右方向に並置してもよい。リブ２２０の右斜面（下流側斜面）は、左斜面（上流側斜面）よりも、傾斜がきつい。このため、搬送装置１が収縮状態（図４（ａ）、図４（ｃ）参照）から伸張状態（図４（ｂ）、図４（ｄ）参照）に切り替わる際に、搬送路２２に対して、被搬送物がずれにくい。反対に、搬送装置１が伸張状態から収縮状態に切り替わる際に、搬送路２２に対して、被搬送物がずれやすい。

図１、図２に示す拘束部材３０の種類は特に限定しない。基部２ａの変形、位置ずれを拘束できればよい。例えば、ボルト−ナット、スクリューなどの締結部材、クリップなどの係合部材、バンド、テープなどの結束部材、接着剤、ステープラなどの固定部材を、拘束部材３０として用いてもよい。

また、搬送装置１は、拘束部材３０を備えていなくてもよい。基部２ａの変形、位置ずれが規制できればよい。例えば、搬送部２ｂの質量（自重）に対して、基部２ａの質量を、過大にすればよい。また、搬送部２ｂの下面の摩擦係数に対して、基部２ａの下面の摩擦係数を、過大にすればよい。また、基部２ａに対して、前後方向（幅方向）両側から、張力を加えてもよい。また、裏地部材３１に、下側の保護層２３の左縁を接着することにより、基部２ａを設定してもよい。また、搬送装置１は、上側、下側の保護層２３、裏地部材３１を備えていなくてもよい。

また、搬送路２２における搬送方向は特に限定しない。搬送方向が一方向の場合、基部２ａから離間する方向でも、基部２ａに接近する方向でもよい。また、搬送方向を切替可能としてもよい。すなわち、搬送方向を、基部２ａに対する離間方向と、接近方向と、で適宜切り替えてもよい。

また、搬送路２２は傾斜していてもよい。傾斜方向は特に限定しない。例えば、傾斜方向は、上流側から下流側に向かって上昇する方向であってもよい。反対に、傾斜方向は、上流側から下流側に向かって下降する方向であってもよい。

搬送方向を制御するためには、収縮状態（図４（ａ）、図４（ｃ））から伸張状態（図４（ｂ）、図４（ｄ））への切替時と、伸張状態から収縮状態への切替時と、で搬送路２２の変形加速度に差異を設定すればよい。伸張加速度ａ１＞収縮加速度ａ２の場合、被搬送物Ｗは、主に、伸張状態から収縮状態への切替時に移動する。このため、被搬送物Ｗは、基部２ａに接近する方向に移動しやすい。反対に、伸張加速度ａ１＜収縮加速度ａ２の場合、被搬送物Ｗは、主に、収縮状態から伸張状態への切替時に移動する。このため、被搬送物Ｗは、基部２ａから離間する方向に移動しやすい。

なお、変形加速度（伸張加速度ａ１、収縮加速度ａ２）の制御は、例えば、図３に示す交流電圧の周波数、波形、最大値Ｖｍａｘ、最小値Ｖｍｉｎ、直流電圧Ｖｄｃの電圧値、図２に示す搬送部２ｂのヤング率、搬送部２ｂにおける（電極層２１−誘電層２０−電極層２１）の積層数などを調整することにより、実行することができる。搬送速度の制御についても同様である。

搬送部２ｂにおける（電極層２１−誘電層２０−電極層２１）の積層数は特に限定しない。積層数を多くすると、一回のストローク（収縮状態→伸張状態→再び収縮状態）あたりの被搬送物Ｗの搬送距離を大きくすることができる。

誘電層２０に対する電極層２１の配置方法は特に限定しない。接着、印刷などの方法を用いることができる。裏地部材３１に対する拘束部材３０の配置方法は特に限定しない。固定しても、固定しなくてもよい。

図３に示す電圧の波形は特に限定しない。三角形波（例えば、二等辺三角形波、直角三角形波など）、のこぎり波、矩形波、台形波などであってもよい。また、電圧の波形は、連続波でもパルス波でもよい。また、交流電圧の振幅Ｖｐは、直流電圧Ｖｄｃに、近い値である方がよい。振幅Ｖｐ＝直流電圧Ｖｄｃとするのが好ましい。こうすると、一回のストローク（収縮状態→伸張状態→再び収縮状態）あたりの被搬送物Ｗの搬送距離を大きくすることができる。

図７に示す変位センサ６（検出部）の種類は特に限定しない。例えば、柔軟な伸びセンサ、歪みセンサなどであってもよい。柔軟な伸びセンサ、歪みセンサは、搬送部２ｂに内蔵してもよい。また、柔軟な伸びセンサ、歪みセンサは、搬送部２ｂから独立して配置してもよい。また、図７に示す交流電源４０の代わりに、直流電源を配置してもよい。そして、波形調整部４２により、直流電圧から所定の波形を生成してもよい。また、波形調整部４２を、制御部５や交流電源４０、直流電源に内蔵してもよい。

誘電層２０の材質は特に限定しない。エラストマー製であればよい。例えば、誘電率の高いエラストマーを用いることが好ましい。具体的には、常温における比誘電率（１００Ｈｚ）が２以上、さらには５以上のエラストマーが好ましい。例えば、エステル基、カルボキシル基、水酸基、ハロゲン基、アミド基、スルホン基、ウレタン基、ニトリル基等の極性官能基を有するエラストマー、あるいは、これらの極性官能基を有する極性低分子量化合物を添加したエラストマーを採用するとよい。Ｈ−ＮＢＲ以外の好適なエラストマーとしては、シリコーンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、エチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）、アクリルゴム、ウレタンゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、等が挙げられる。保護層２３の材質は特に限定しない。上記誘電層２０と同様の材質としてもよい。

電極層２１の材質は、特に限定しない。例えば、シリコーンゴム、アクリルゴム、Ｈ−ＮＢＲ中に銀粉末、カーボンが充填された柔軟導電材料製としてもよい。電極層２１を金属や炭素材料から形成してもよい。伸縮性を付与するという観点から、例えば、金属等をメッシュ状に編むことにより、電極層２１を形成することができる。また、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等の導電性高分子から、電極層２１を形成してもよい。また、バインダーと導電材とを含む柔軟導電材料を採用する場合、バインダーには、エラストマーを用いることが好ましい。エラストマーとしては、例えば、シリコーンゴム、ＮＢＲ、ＥＰＤＭ、天然ゴム、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、アクリルゴム、ウレタンゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン等が好適である。また、導電材としては、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料、銀、金、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、チタン、白金、鉄、およびこれらの合金等の金属材料、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）や、酸化チタン、酸化亜鉛にアルミニウム、アンチモン等の他金属をドーピングしたもの等の導電性酸化物の中から、適宜選択すればよい。導電材は、一種を単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。配線の材質は特に限定しない。上記電極層２１と同様の材質としてもよい。

拘束部材３０、裏地部材３１の材質は特に限定しない。誘電層２０を形成するエラストマーよりもヤング率が高い、樹脂製、金属製であればよい。搬送部２ｂが裏地部材３１に摺接する際の摩擦抵抗を小さくするために、裏地部材３１の表面に、潤滑剤（離型剤、オイルなど）を塗布してもよい。また、搬送部２ｂに対する接触面積を小さくするために、裏地部材３１の表面に、凸部を配置してもよい。また、裏地部材３１自体をフッ素樹脂製としてもよい。

図６に示す緩衝部材９１の構造、材質等は特に限定しない。例えば、中実体、多孔質体（ハニカム構造体、ダンボールなど）、発泡体（発泡スチロールなど）、中空体等でもよい。中空体の場合、内部に気体、液体等を充填してもよい。

被搬送物Ｗの種類は特に限定しない。図４（ｂ）に示す伸張状態から図４（ｃ）に示す収縮状態に切り替わる際、被搬送物Ｗは、跳ねる方が好ましい。この観点から、被搬送物Ｗは、質量が小さい、粉体（小麦粉、塩、砂糖、化粧品、顆粒など）や粒体（薬の錠剤など）などであってもよい。

また、単位ストロークあたりの被搬送物Ｗの搬送距離は、質量が小さいほど、より長くなる。このことを利用して、本実施形態の搬送装置１により、複数種類の被搬送物Ｗを、質量ごとに分級してもよい。

以下、被搬送物の好適な搬送条件を調べるために行った、実験について説明する。

＜サンプル＞
表１に、実験に用いたサンプルを示す。

表１に示すように、実験に用いたサンプルは、実施例１〜７である。なお、実施例２は、第一実施形態の搬送装置１（図１〜図４参照）である。実施例１〜７の誘電層２０、電極層２１、保護層２３、拘束部材３０、裏地部材３１の材質、積層方向厚さは、一致している。また、実施例１〜７は、いずれも搬送方向に長い長方形状を呈している。

なお、後述する実験１〜３の場合、搬送対象となる被搬送物Ｗは薄力粉である。薄力粉を構成する単位粒子の平均粒径（直径）は、５６μｍである。薄力粉の使用量は２ｇである。また、後述する実験４の場合、搬送対象となる被搬送物Ｗは塩（具体的には塩の粒子の集合体）である。塩一粒の平均粒径（直径）は、４００μｍである。塩の使用量は２ｇである。また、後述する実験５の場合、搬送対象となる被搬送物Ｗは錠剤３錠である。錠剤一錠は、短軸円柱状を呈している。錠剤一錠の直径は１５ｍｍ、軸長は６ｍｍである。錠剤１錠の質量は１ｇである。実験１〜４は、被搬送物Ｗを、搬送部２ｂの一端部の中央付近に乗せ、ヘラを用いて平らにした状態で、行った。

＜実験１＞
実験１に用いたサンプルは、表１の実施例２である。搬送路２２の搬送方向の順方向は、図１〜図４における左側から右側に向かう方向（基部２ａから離間する方向）である。実験１においては、図３に示す直流電圧Ｖｄｃ、交流電圧を変化させ、実施例２による被搬送物Ｗの搬送状態を観察した。表２に、実験結果を示す。

表２中、「○」は、被搬送物Ｗの搬送速度が速いことを示す。「△」は、被搬送物Ｗの搬送速度が普通であることを示す。表２に示すように、交流電圧だけを印加しても（直流電圧Ｖｄｃを印加しなくても）、被搬送物Ｗの搬送は可能である。

また、図３に示す波高Ｖｐｐが大きい場合、搬送部２ｂから発生するジュール熱が大きくなる。このため、ジュール熱の発生を抑制する観点からは、波高Ｖｐｐを小さく（一例として４００Ｖ以下）する方がよい。ただし、波高Ｖｐｐを小さくすると、その分、被搬送物Ｗの搬送状態が悪くなる。このため、波高Ｖｐｐを小さくする代わりに、直流電圧Ｖｄｃを大きく（一例として５００Ｖ以上）する方がよい。

なお、被搬送物Ｗを、搬送部２ｂの一端部の中央付近に山盛り状に載せた状態（ヘラを用いて平らにしない状態）で本実験を行っても、被搬送物Ｗの山を徐々に崩しながら、表２同様に、被搬送物Ｗを搬送することができた。

＜実験２＞
実験２に用いたサンプルは、表１の実施例１〜３である。表１に示すように、実施例１〜３の相違点は、サイズである。搬送路２２の搬送方向の順方向は、図１〜図４における左側から右側に向かう方向（基部２ａから離間する方向）である。反対に、搬送路２２の搬送方向の逆方向は、図１〜図４における右側から左側に向かう方向（基部２ａに接近する方向）である。

実験２においては、図３に示す交流電圧の周波数（搬送部２ｂの振動数）を変化させ、実施例１〜３による被搬送物Ｗの搬送状態を観察した。なお、図３に示す直流電圧Ｖｄｃを３５０Ｖとした。また、波高Ｖｐｐを７００Ｖ（つまり振幅Ｖｐ＝３５０Ｖ）とした。表３に、実験結果を示す。

表３中、「○」は、被搬送物Ｗの搬送方向が順方向であり、被搬送物Ｗの搬送速度が速いことを示す。「△」は、被搬送物Ｗの搬送方向が順方向であり、被搬送物Ｗの搬送速度が普通であることを示す。「−○」は、被搬送物Ｗの搬送方向が逆方向であり、被搬送物Ｗの搬送速度が速いことを示す。「−△」は、被搬送物Ｗの搬送方向が逆方向であり、被搬送物Ｗの搬送速度が普通であることを示す。「×」は、被搬送物Ｗの搬送速度が遅いことを示す。

表３に示すように、実施例１〜３のサイズにより、被搬送物Ｗの搬送に適した周波数は異なる。また、周波数を調整することにより、順方向のみならず、逆方向に、被搬送物Ｗを搬送することができる。

また、人間の可聴周波数帯域は、２０〜２００００Ｈｚ程度である。この点、表３に示すように、実施例１〜３は、４０Ｈｚ〜１００Ｈｚ程度の低周波数帯域、言い換えると人間に聞こえにくい低周波数帯域で、駆動可能である。このため、実施例１〜３は、静音性（低騒音性）に優れている。

＜実験３＞
実験３に用いたサンプルは、表１の実施例２、４〜７である。表１に示すように、実施例２、４〜７の相違点は、積層数である。積層数とは、電極層２１と誘電層２０とを交互に積層させた場合の誘電層２０の枚数を意味する。例えば、積層数＝９枚は、誘電層２０＝９枚、電極層２１＝１０枚であることを意味する。

実験３においては、実験２と同様に、図３に示す交流電圧の周波数（搬送部２ｂの振動数）を変化させ、実施例２、４〜７による被搬送物Ｗの搬送状態を観察した。なお、図３に示す直流電圧Ｖｄｃを３５０Ｖとした。また、波高Ｖｐｐを７００Ｖ（つまり振幅Ｖｐ＝３５０Ｖ）とした。表４に、実験結果を示す。順方向、逆方向、「○」、「△」、「−○」、「−△」、「×」の定義は、実験２と同様である。

表４に示すように、実施例２、４〜７の積層数により、被搬送物Ｗの搬送に適した周波数は異なる。また、周波数を調整することにより、順方向のみならず、逆方向に、被搬送物Ｗを搬送することができる。

また、人間の可聴周波数帯域は、２０〜２００００Ｈｚ程度である。この点、表４に示すように、実施例２、４〜７は、４０Ｈｚ〜１００Ｈｚ程度の低周波数帯域、言い換えると人間に聞こえにくい低周波数帯域で、駆動可能である。このため、実施例２、４〜７は、静音性（低騒音性）に優れている。

＜実験４＞
実験４に用いたサンプルは、表１の実施例２である。実験４と実験１との相違点は、被搬送物Ｗの種類だけである。すなわち、実験４においては、被搬送物Ｗとして、薄力粉（実験１）ではなく、塩を用いた。表５に、実験結果を示す。

表５中、「○」は、被搬送物Ｗの搬送速度が速いことを示す。「△」は、被搬送物Ｗの搬送速度が普通であることを示す。表５に示すように、被搬送物Ｗが塩の場合であっても、搬送可能である。

なお、被搬送物Ｗを、搬送部２ｂの一端部の中央付近に山盛り状に載せた状態（ヘラを用いて平らにしない状態）で本実験を行っても、被搬送物Ｗの山を徐々に崩しながら、表５同様に、被搬送物Ｗを搬送することができた。

＜実験５＞
実験５に用いたサンプルは、表１の実施例２である。実験５と実験１との相違点は、被搬送物Ｗの種類だけである。すなわち、実験５においては、被搬送物Ｗとして、薄力粉（実験１）ではなく、錠剤を用いた。表６に、実験結果を示す。

表６中、「○」は、被搬送物Ｗの搬送速度が速いことを示す。「△」は、被搬送物Ｗの搬送速度が普通であることを示す。表６に示すように、被搬送物Ｗが錠剤の場合であっても、搬送可能である。

＜実験６〜実験９について＞
実験６〜実験９に関する図１１〜図２４の縦軸、横軸の単位は、各々、任意単位である。同種の図同士は、互いに比較可能である。すなわち、横軸が時間、縦軸が電圧、位置である図１１、図１３、図１５〜図１８、図２０、図２２は、互いに比較可能である。また、横軸が時間、縦軸が距離の図１２、図１４、図１９、図２１、図２４は、互いに比較可能である。

また、図１１、図１３、図１５〜図１８、図２０、図２２の縦軸の「位置」とは、図７に示すように、搬送路２２に設定される検出位置Ｐ４の搬送方向（左右方向）位置である。位置の基点（０点）は、搬送路２２の上流端（左端）Ｐ５である。

また、図１２、図１４、図１９、図２１、図２４の縦軸の「距離」とは、図７に示すように、被搬送物Ｗの位置Ｐ６と、検出位置Ｐ４と、の間の搬送方向の距離Ｅである。ただし、搬送前における距離Ｅを「０」と定義している。なお、実験は、高速度カメラにより撮影した。検出位置Ｐ４、被搬送物Ｗの位置Ｐ６、距離Ｅは、高速度カメラの映像から測定した。

図７に示すように、位置Ｐ６は、検出位置Ｐ４の搬送方向上流側に設定されている。このため、搬送に伴って距離Ｅが０から正方向に変化した場合は、被搬送物Ｗが上流側（搬送方向の逆方向）に動いたことを意味する。反対に、搬送に伴って距離Ｅが０から負方向に変化した場合は、被搬送物Ｗが下流側（搬送方向の順方向）に動いたことを意味する。なお、被搬送物Ｗは、ジルコニアビーズ（具体的にはジルコニアビーズの集合体）である。ジルコニアビーズ一粒の平均粒径（直径）は、３００μｍである。

＜実験６＞
実験６においては、電圧（極性が反転しない直流電圧）の波形（矩形波、三角形波）の相違による搬送速度の相違を調べた。実験６に用いたサンプルは、表１の実施例２である。図１１に、電圧の波形が矩形波の場合の、位置の時間変化を示す。図１２に、図１１の場合の距離の時間変化を示す。図１３に、電圧の波形が右に尖る直角三角形波の場合の、位置の時間変化を示す。図１４に、図１３の場合の距離の時間変化を示す。なお、図１１、図１３に示す電圧の波形は、図７に示す波形調整部４２により生成した。

［電圧の波形が矩形波の場合］
まず、電圧の波形が矩形波の場合について説明する。図１１に示すように、電圧Ｍ１の時間変化の波形Ｇ（ただし１周期分の波形。以下同じ。）は、昇圧区間Ｈと、降圧区間Ｋと、を備えている。昇圧区間Ｈにおいては、電圧Ｍ１がオフからオンに切り替わる。すなわち、時間と共に電圧Ｍ１が上昇する。昇圧区間Ｈに対応して、搬送部２ｂは、搬送方向に伸張する。このため、検出位置Ｐ４は下流側に変位する。昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ１の時間微分値（傾き）は、搬送部２ｂの伸張加速度に対応している。時間微分値の絶対値が大きいほど、搬送部２ｂの伸張加速度は大きくなる。反対に、降圧区間Ｋにおいては、電圧Ｍ１がオンからオフに切り替わる。すなわち、時間と共に電圧Ｍ１が下降する。降圧区間Ｋに対応して、搬送部２ｂは、搬送方向に収縮する。このため、検出位置Ｐ４は上流側に変位する。降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ１の時間微分値（傾き）は、搬送部２ｂの収縮加速度に対応している。時間微分値の絶対値が大きいほど、搬送部２ｂの収縮加速度は大きくなる。波形Ｇが矩形波の場合、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ１の時間微分値の絶対値と、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ１の時間微分値の絶対値と、は同じである。

図１２に示すように、波形Ｇが矩形波の場合、図７に示す距離Ｅ（詳しくは、被搬送物Ｗの位置Ｐ６と、検出位置Ｐ４と、の間の搬送方向の距離Ｅ）は、０から負方向に変化している。すなわち、波形Ｇが矩形波の場合、被搬送物Ｗを下流側に搬送可能である。

しかしながら、図１２にハッチングで示すように、波形Ｇが矩形波の場合、距離Ｅが正方向に変化する区間が、複数、存在している。すなわち、被搬送物Ｗが上流側に動く区間（逆行区間）が、複数、存在している。

［電圧の波形が三角形波の場合］
次に、電圧の波形が右（時系列的に後）に尖る直角三角形波の場合について説明する。図１３に示すように、電圧Ｍ２の時間変化の１周期分の波形Ｇは、昇圧区間Ｈと、降圧区間Ｋと、を備えている。昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ２の時間微分値の絶対値は、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ２の時間微分値の絶対値よりも、小さい。

図１４に示すように、図７に示す距離Ｅ（詳しくは、被搬送物Ｗの位置Ｐ６と、検出位置Ｐ４と、の間の搬送方向の距離Ｅ）は、０から負方向に変化している。すなわち、波形Ｇが右に尖る直角三角形波の場合、被搬送物Ｗを下流側に搬送可能である。

また、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ２の時間微分値の絶対値は、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ２の時間微分値の絶対値よりも、小さい。このため、搬送部２ｂは、ゆっくりと伸張し、素早く収縮する。したがって、搬送部２ｂの伸張時に、搬送路２２に対して、被搬送物Ｗがずれにくい。よって、搬送路２２の伸張に伴って、被搬送物Ｗが下流側に移動しやすい。並びに、搬送部２ｂの収縮時に、搬送路２２に対して、被搬送物Ｗがずれやすい。よって、搬送路２２の収縮に伴って、被搬送物Ｗが移動しにくい。

このように、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ２の時間微分値の絶対値を、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ２の時間微分値の絶対値よりも、小さくすると、図１４に示すように、被搬送物Ｗが逆行しにくい。また、図１２、図１４に示すように、電圧Ｍ２によると、電圧Ｍ１に対して、搬送速度を速くすることができる。

＜実験７＞
実験７においては、電圧（極性が反転しない直流電圧）の波形（４種類の三角形波）の相違による搬送速度の相違を調べた。実験７に用いたサンプルは、表１の実施例２である。図１５に、電圧の波形が左に尖る直角三角形波の場合の、位置の時間変化を示す。図１６に、電圧の波形が二等辺三角形波の場合の、位置の時間変化を示す。図１７に、電圧の波形が右に尖る三角形波の場合の、位置の時間変化を示す。図１８に、電圧の波形が右に尖る直角三角形波の場合の、位置の時間変化を示す。図１９に、図１５〜図１８の場合の距離の時間変化を示す。なお、図１５〜図１８に示す電圧Ｍ３〜Ｍ６の波形は、図７に示す波形調整部４２により生成した。また、図１８の電圧Ｍ６の波形は、図１３の電圧Ｍ２の波形と同様である。

図１５〜図１８に示すように、電圧Ｍ３〜Ｍ６各々の時間変化の１周期分の波形Ｇは、昇圧区間Ｈと、降圧区間Ｋと、を備えている。図１５に示すように、電圧Ｍ３の波形が左（時系列的に前）に尖る直角三角形波の場合、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ３の時間微分値の絶対値は、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ３の時間微分値の絶対値よりも、大きい。図１６に示すように、電圧Ｍ４の波形が二等辺三角形波の場合、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ４の時間微分値の絶対値と、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ４の時間微分値の絶対値と、は同じである。図１７に示すように、電圧Ｍ５の波形が右（時系列的に後）に尖る三角形波の場合、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ５の時間微分値の絶対値は、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ５の時間微分値の絶対値よりも、やや小さい。図１８に示すように、電圧Ｍ６の波形が右に尖る直角三角形波の場合、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ６の時間微分値の絶対値は、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ６の時間微分値の絶対値よりも、小さい。

図１９に示すように、搬送方向、搬送速度の相違はあるものの、波形Ｇが４種類の三角形波の場合、いずれも被搬送物Ｗを搬送可能である。また、図１９中のＭ５、Ｍ６に示すように、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ５、Ｍ６の時間微分値の絶対値を、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ５、Ｍ６の時間微分値の絶対値よりも、小さくすると、被搬送物Ｗが逆行しにくい。また、絶対値の比（＝（昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ５、Ｍ６の時間微分値の絶対値）／（降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ５、Ｍ６の時間微分値の絶対値））が小さいほど、搬送速度が速くなる。また、図１９中のＭ３に示すように、昇圧区間Ｈにおける電圧Ｍ３の時間微分値の絶対値を、降圧区間Ｋにおける電圧Ｍ３の時間微分値の絶対値よりも、大きくすると、被搬送物Ｗを逆行させることができる。

＜実験８＞
実験８においては、電圧（極性が反転しない直流電圧）の波形を右（時系列的に後）に尖る直角三角形波とした。並びに、実験８においては、時系列的に隣り合う一対の波形間に、電圧がオフになる間隔を設定した。また、実験８においては、搬送速度を調べた。実験８に用いたサンプルは、表１の実施例２である。図２０に、電圧の波形が右に尖る直角三角形波であって時系列的に隣り合う一対の波形間に電圧がオフになる間隔を設定した場合の、位置の時間変化を示す。図２１に、図２０の場合の距離の時間変化を示す。なお、図２１においては、比較のために、図１４の電圧Ｍ２を、図２０の電圧Ｍ７と併せて示す。

図１３、図２０に示すように、電圧Ｍ２の波形Ｇと、電圧Ｍ７の波形Ｇと、は同じである。また、波形Ｇの周期、波長、波高も同じである。ただし、図２０にハッチングで示すように、電圧Ｍ７の隣り合う一対の波形Ｇ間には、電圧がオフになる間隔が設定されている。間隔の幅は、波形Ｇの幅と同じである。これに対して、図１３に示すように、電圧Ｍ２の隣り合う一対の波形Ｇ間には、電圧がオフになる間隔が設定されていない。波形Ｇは連続している。このため、電圧Ｍ７の周波数は、電圧Ｍ２の周波数の、半分である。

図２１に示すように、電圧Ｍ２（間隔なし）と電圧Ｍ７（間隔あり）とを比較すると、搬送速度はほぼ同じである。電圧Ｍ７によると、電圧Ｍ２に対して、同等の搬送速度を確保しながら、周波数を減らすことができる。

＜実験９＞
実験９においては、電圧（極性が反転しない直流電圧）の波形を右（時系列的に後）に尖る直角三角形波とし、搬送速度を調べた。実験９に用いたサンプルは、表１の実施例２の全ての電極層２１に対して、図８に示す７本の帯部２１０、連結部２１１、隙間Ｆを形成したものである。図２２に、電圧の波形が右に尖る直角三角形波である場合の、位置の時間変化を示す。図２３に、図２２の場合の搬送部の伸縮の加速度を示す。図２４に、図２２の場合の距離の時間変化を示す。なお、図２３、図２４においては、比較のために、図１４の電圧Ｍ２の一部（時間０〜２００の部分）を、図２２の電圧Ｍ８と併せて示す。また、図２３の縦軸においては、正方向が伸張方向の加速度を、負方向が収縮方向の加速度を、各々示す。

図１３、図２２に示すように、電圧Ｍ２の波形Ｇと、電圧Ｍ８の波形Ｇと、は同じである。また、波形Ｇの周期、波長、波高も同じである。図２３に示すように、電圧Ｍ８（実験９のサンプル。実線）の方が、電圧Ｍ２（実施例２。点線）よりも、搬送部２ｂの伸張加速度、収縮加速度が大きい。また、電圧Ｍ８の場合、特に、伸張加速度に対して、収縮加速度を、大きくすることができる。すなわち、搬送部２ｂを、ゆっくりと伸張させ、素早く収縮させることができる。このため、図２４に示すように、電圧Ｍ８（実験９のサンプル）の方が、電圧Ｍ２（実施例２）よりも、搬送速度を速くすることができる。

また、図１（表１の実施例２）、図８（実験９のサンプル）に示すように、実験９のサンプルは、実施例２に対して、上側から見た場合の電極層２１の面積が小さい。このため、搬送部２ｂの駆動に要する電流値を小さくすることができる。

１：搬送装置、２：搬送部材、２ａ：基部、２ｂ：搬送部、２０：誘電層、２１：電極層、２１０：帯部、２１１：連結部、２２：搬送路、２２０：リブ、２３：保護層、３０：拘束部材、３１：裏地部材、３１０：拘束部、３２：コネクタ、４：電源部、４０：交流電源、４１：直流電源、４２：波形調整部、５：制御部、６：変位センサ（検出部）、９１：緩衝部材、１０：搬送ユニット。
Ｅ：距離、Ｆ：隙間、Ｇ：波形、Ｈ：昇圧区間、Ｋ：降圧区間、Ｌ１：上下方向隙間、Ｏ１：重複部、Ｖｄｃ：直流電圧、Ｖｍａｘ：最大値、Ｖｍｉｎ：最小値、Ｖｐ：振幅、Ｖｐｐ：波高、Ｗ：被搬送物、ａ１：伸張加速度、ａ２：収縮加速度。

Claims (13)

1. 絶縁性を有しエラストマー製の誘電層と、該誘電層の表裏両側に配置され導電性を有する一対の電極層と、を有し、基部と、該基部よりも弾性変形しやすく表面に被搬送物を搬送する搬送路を有する搬送部と、に区画される搬送部材と、
   一対の該電極層間に、時間と共に周期的に変化する電圧を印加する電源部と、
   を備え、
   該電圧の変化に応じて、該搬送部が該基部を起点に弾性的に伸縮することにより、該搬送路において該被搬送物を搬送する搬送装置。
2. 前記搬送部の表面における、前記搬送路の延在方向を搬送方向として、
   前記基部は、該搬送路の該搬送方向一端または該搬送方向他端に配置される請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記搬送部材の一部を拘束する拘束部材を備え、
   前記基部は、該搬送部材の該一部が該拘束部材で拘束されることにより、形成される請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記搬送部の表面における、前記搬送路の延在方向を搬送方向、該搬送方向に直交する方向を幅方向として、
   該搬送路の搬送方向全長は、該搬送路の幅方向全長よりも、長い請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の搬送装置。
5. 前記搬送部材は、最も表側の前記電極層の表側に配置されると共に、絶縁性を有しエラストマー製の保護層を有する請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の搬送装置。
6. 前記搬送部材の裏側に配置され、前記搬送部が弾性的に伸縮する際に、該搬送部に摺接する裏地部材を備える請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の搬送装置。
7. 前記電源部は、極性が反転しない電圧を供給可能な直流電源、または極性が反転する電圧を供給可能な交流電源と、該直流電源または該交流電源から供給される該電圧の波形を調整する波形調整部と、を有する請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の搬送装置。
8. 前記電源部は、極性が反転せず大きさが一定のバイアス電圧を供給可能な直流電源と、極性が反転する電圧を供給可能な交流電源と、を有する請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の搬送装置。
9. 一対の前記電極層間に前記電源部が印加する前記電圧は、極性が反転しない直流電圧である請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の搬送装置。
10. 前記直流電圧の時間変化の１周期分の波形は、時間と共に該直流電圧が上昇する昇圧区間と、時間と共に該直流電圧が下降する降圧区間と、を有し、
    該昇圧区間における該直流電圧の時間微分値の絶対値は、該降圧区間における該直流電圧の時間微分値の絶対値よりも、小さい請求項９に記載の搬送装置。
11. 前記電源部を制御する制御部を備える請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の搬送装置。
12. 前記搬送部の伸縮を検出する検出部を備え、
    前記制御部は、該検出部の検出値を基に前記電源部を制御する請求項１１に記載の搬送装置。
13. 前記搬送部の表面における、前記搬送路の延在方向を搬送方向、該搬送方向に直交する方向を幅方向として、
    前記電極層は、該搬送方向に延在し、該幅方向に並ぶ、複数の帯部を有し、
    該幅方向に隣り合う一対の該帯部間には、隙間が区画されている請求項１ないし請求項１２のいずれかに記載の搬送装置。

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