JP3569541B2 - 粉体ハンドリング装置 - Google Patents
粉体ハンドリング装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3569541B2 JP3569541B2 JP01564494A JP1564494A JP3569541B2 JP 3569541 B2 JP3569541 B2 JP 3569541B2 JP 01564494 A JP01564494 A JP 01564494A JP 1564494 A JP1564494 A JP 1564494A JP 3569541 B2 JP3569541 B2 JP 3569541B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear
- phase
- electrode
- powder
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、複数相の線状電極が誘電体中に形成された固定子への複数相の交番電圧の印加により、クーロン力を発生させ、粉体を移動や集粉する粉体ハンドリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、本願の発明者等によって、既に、複数相（３相）の線状電極が誘電体中に形成された固定子への複数相（３相交流）の給電により、クーロン力を発生させ、可動シートや可動板を有する可動部材を駆動する静電アクチュエータが、特願平４−２２５５５１号として提案されている。
【０００３】
また、本願の発明者等により、既に、固定子と可動子を対向させて、クーロン力により駆動する静電アクチュエータを有する搬送装置が、特願平４−９５４７５号として提案されている。
【０００４】
一方、粉体の搬送に関しては、従来から、電界カーテンが提案されている。
【０００５】
また、互いに所定間隔を介して配置されている複数個の電極（通常の電界カーテンと同じ構成）と、この電極へ交番する駆動電圧を印加し、帯電している粒子を搬送する装置において、上記電極が配置される一方向側に関して隣り合う電極間の電位差が、その方向側に正であって、負極帯電粒子を移動できる電圧閾値となるように、かつ、上記電極が配置されるその一方向側とは反対方向側に関して隣り合う電極間の電位差がその反対方向側に負であって、正極帯電粒子を移動できる電圧閾値となるように、上記電極へ印加される交番駆動電圧を制御し、粒子帯電極性に応じて粉体を分別するようにした粉体搬送装置が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のものでは、電極設置面に対して粉体の搬送は、電極に交わる方向の一方向にのみ可能であって、粉体を一部分あるいは一領域に集積したり、前後左右に搬送することなどは実現されていない。
【０００７】
また、粉体の微小な位置決め等には難があった。
【０００８】
本発明は、上記に問題点に鑑みてなされたもので、粉体の多方向への移動、一領域への集積、あるいは粉体の微細な位置決め制御を行える粉体ハンドリング装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、粉体ハンドリング装置において、
（１）粉体ハンドリング装置において、絶縁支持体上に平行に配置される複数の下層線状電極と、この下層線状電極の上方に直交するように配置される上層線状電極と、前記下層線状電極及び上層線状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、前記下層線状電極又は上層線状電極の何れか一方に交番電圧を印加し、他方の下層線状電極又は上層線状電極には直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめるようにしたものである。
【００１０】
（２）粉体ハンドリング装置において、絶縁支持体上に平行に配置される複数の下層線状電極と、この下層線状電極の上方に直交するように配置される上層線状電極と、前記下層線状電極及び上層線状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、前記下層線状電極又は上層線状電極の何れか一方に順相の交番電圧と逆相の交番電圧とを印加し、他方の下層線状電極又は上層線状電極には直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめるようにしたものである。
【００１１】
（３）粉体ハンドリング装置において、絶縁支持体上に平行に配置される複数の縦糸状の線状電極と該線状電極と直交するように織られる複数の横糸状の線状電極とからなる織状電極と、この織状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、一方の線状電極に交番電圧を印加する手段と、もう一方の線状電極に直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめるようにしたものである。
【００１２】
（４）上記（１）乃至（３）の何れか１項記載の粉体ハンドリング装置において、前記交番電圧は３相交流電圧である。
【００１３】
（５）上記（２）記載の粉体ハンドリング装置において、前記順相の交番電圧の印加は、配線を順相にし一定パターンを繰り返した後、逆相に配線するパターンを一定パターン繰り返すようにしたものである。
【００１４】
【作用】
本発明によれば、上記したように、絶縁支持体上に一方向に規則的に平行に配置された複数の線状電極を有する固定子と、この固定子を覆う絶縁フィルムを有する固定子を設け、該固定子上に配置される粉体を備える。線状電極に電圧（例えば、多相交番電圧（３相交流電圧や３相チョッピング電圧）を印加すると、線状電極周辺に静電気を生じ、粉体には、静電誘導により逆符号の電荷が誘導される。
【００１５】
次に、所定の周期で電圧を切り換えていけば、線状電極の電荷は電圧が切り換わると同時に変化するが、粉体は若干遅れるので、その結果、電極間に生じる電荷による作用反作用の力を受け移動する。
【００１６】
また、線状電極の一方を縦糸、他方を横糸として電極を格子状に配置すると、これらの線状電極への交番電圧の印加により、本体を自在の方向へ移動できる。
【００１７】
更に、この線状電極へ順相の交番電圧を配置する領域と、その途中より逆相の交番電圧を配置する領域とを設定することにより、その変遷領域に散布された粉体を位置決め、搬送、集粉することができる。
【００１８】
また、線状電極への印加電圧の相順により、固定子周辺に散在する粉体を中央に集めたり、片隅に集めたりすることが可能である。
【００１９】
更に、２層に配置される線状電極のいずれか一方に交番電圧を、その他の層の線状電極に直流電圧を印加することにより、その直流電圧が印加される線状電極に沿って散布される粉体を保持しながら、交番電圧が印加される層の線状電極によって粉体を移動させることができる。
【００２０】
また、線状電極は布のように、絶縁電線からなる複数の縦糸状と複数の横糸状に織った織状電極とすることにより、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【００２１】
更に、固定子の絶縁フィルム（カバーフィルム）上に散布される粉体は、その絶縁フィルム（カバーフィルム）上をスムーズに移動可能である。
【００２２】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図を参照しながら詳細に説明する。
【００２３】
図１は本発明の第１の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図２はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００２４】
これらの図に示すように、２は絶縁支持体であり、例えば、クラレ製アクリル板（商品名：パラグラス）を用いる。この絶縁支持体２上に、直径４０μｍの裸の銅線からなる線状電極３を、等間隔に平行に複数列に配置する。また、線状電極３は、裸の銅線に代えて、導電性芯線として銅線を用い、その銅線の周囲をポリエステルで被覆した絶縁電線を用いるようにしてもよい。線状電極３の形成は、例えば、印刷配線板や半導体製造工程で用いられるエッチングにより行う。
【００２５】
この線状電極３を３相配線ａ，ｂ，ｃとした後、絶縁フィルム（カバーフィルム）４として、例えば、５μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを用い、線状電極３を接着剤を介して絶縁支持体２と絶縁フィルム４で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子１とした。
【００２６】
上記絶縁支持体２、絶縁フィルム４としては、メタクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂などの高分子材料、エンジニアリングプラスティック、高表面抵抗率である無機材料等が使用できる。
【００２７】
線状電極３としては、銅、金、銀、ニクロム線、ステンレス線、導電性高分子材料などが使用できる。また、絶縁支持体２と絶縁フィルム４の密着固定には、エポキシ系、アクリル系、接着剤などが使用できる。
【００２８】
図２において、１０は３相交流電源であり、この３相交流電源には、ａ相配線１１，ｂ相配線１２，ｃ相配線１３がそれぞれ接続され、各配線は各相の線状電極３へと接続される。
【００２９】
この固定子１上に、粉体６、例えば、遠藤メタルズ（株）製、直径３００μｍＦｅ、直径３００μｍＡｌ、直径３００μｍＮｉ、昭和シェル石油（株）“ミクロハイカＺ”直径１００，２００，３００μｍ、積水化成品工業（株）“テクポリマー”ＭＢＸ−５０（直径５０μｍ）、積水化学工業（株）“ミクロパールＮＩ”（直径１００μｍ）等を搭載する。
【００３０】
そこで、まず、線状電極３に電圧を印加すると、線状電極３間に微小な電流が流れるために、線状電極３の周辺に電荷が発生する。この時、絶縁フィルム４の上の粉体６には、静電誘導により線状電極３とは逆符号の電荷が誘導される。
【００３１】
次に、線状電極３への印加電圧を１つずつずらすと、線状電極３周辺の電荷は電圧の変化とともに瞬時に印加された符号同様の電荷に変化するが、粉体６の電荷は瞬時には変化できず、変化の作用反作用の関係より、一電極ピッチ分移動する。この現象を連続して行うことにより、粉体６を移動（搬送）させることができる。
【００３２】
ここで、線状電極３への印加電圧の印加パターンを逆にすると、粉体６の移動（搬送）方向を切り替えることができる。
【００３３】
図３は本発明の第２の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図４はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００３４】
これらの図において、２２は絶縁支持体であり、下層線状電極２３は導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に平行に複数列に配置する。下層線状電極２３を３相配線ａ，ｂ，ｃとした後、その上に直交するように、上層線状電極２４を配置する。この上層線状電極２４も、導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に平行線状に複数列に配置し、３相配線ａ，ｂ，ｃを接続する。
【００３５】
このように、格子状に配置された２層の線状電極２３，２４を、絶縁フィルム２５としてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体２２と絶縁フィルム２５で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子２１とした。
【００３６】
この固定子２１上に粉体２６を搭載して、格子状の線状電極に３相配線を接続し、その配線の印加電圧の切り替えにより、粉体２６を前後左右斜め方向に移動（搬送）を可能にする。
【００３７】
すなわち、下層線状電極２３には、３相交流電源３０より、ａ相配線３１，ｂ相配線３２，ｃ相配線３３を介して交流電圧を印加する。また、上層線状電極２４には、３相交流電源４０より、ａ相配線４１，ｂ相配線４２，ｃ相配線４３を介して交流電圧を印加する。
【００３８】
そこで、各線状電極に印加される電圧と、粉体２６との間のクーロン力により、粉体２６を移動させることができる。
【００３９】
次に、図５は本発明の第３の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。なお、第２の実施例と同じ部分については同じ番号を付してその説明を省略する。
【００４０】
この実施例では、第２の実施例で示した下層線状電極２３には３相交流電源を接続するのではなく、配線３６を介して直流電源（ＤＣ電源）３５を接続する。つまり、下層線状電極２３には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム２５上に散布される粉体を、下層線状電極２３のライン上に保持しておき、その下層線状電極２３のラインに沿って、上層線状電極２４によって移動させるように構成する。
【００４１】
次に、図６は本発明の第４の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００４２】
この実施例では、第２の実施例で示した上層線状電極２４には、３相交流電源を接続するのではなく、配線４６を介して直流電源（ＤＣ電源）４５を接続する。つまり、上層線状電極２４には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム２５上に散布される粉体を、上層線状電極２４のライン上に保持しておき、その上層線状電極２４のラインに沿って、下層線状電極２３によって移動させるように構成する。
【００４３】
図７は本発明の第５の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図８はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００４４】
この実施例は、第１の実施例と同様に、５２は絶縁支持体であり、線状電極５３は直径４０μｍの銅線からなり、等間隔に平行に複数列に配置したものである。また、この線状電極５３は、導電性芯線としてこの銅線を用い、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用いるようにしてもよい。このように配置された線状電極５３を、絶縁フィルム５４としてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体５２と絶縁フィルム５４で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子５１とした。
【００４５】
そこで、図７に示すように、領域Ａには線状電極５３に３相交流電源６０より、ａ相配線６１，ｂ相配線６２，ｃ相配線６３を介して、順相の３相交流電圧を印加し、領域Ｂには線状電極５３に３相交流電源６０より、ａ相配線６１，ｃ相配線６３，ｂ相配線６２を介して、逆相の３相交流電圧を印加する。５６は固定子５１上に散布される粉体である。
【００４６】
図９は本発明の第６の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図１０はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００４７】
この実施例では、７２は絶縁支持体であり、下層線状電極７３は導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に平行に複数列に配置したもので、下層線状電極７３を３相配線とする。その上に直交するように、上層線状電極７４を配置する。この上層線状電極７４は、導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に複数列に配置し、３相配線を接続する。すなわち、上層線状電極７４には、３相交流電源９０より、ａ相配線９１，ｂ相配線９２，ｃ相配線９３を介して、３相交流電圧を印加する。
【００４８】
このように、格子状に配置された２層の線状電極７３，７４を、絶縁フィルム７５としてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体７２と絶縁フィルム７５で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子７１とした。
【００４９】
更に、下層線状電極７３に印加する電圧は、上記第５の実施例に示したのと同様に、図９に示すように、領域Ａは下層線状電極７３に順次ａ相，ｂ相，ｃ相電圧を印加するように、つまり、順相電圧を印加するように配線を行う。領域Ｂは線状電極７３に順次ｂ相，ａ相，ｃ相電圧を印加するように、つまり、逆相電圧を印加するように配線を行う。なお、下層線状電極７３には３相交流電源８０から３相交流を印加する。
【００５０】
同様に、上層線状電極７４も、下層線状電極７３と同様に、領域により順相電圧、逆相電圧を印加可能に配線する。
【００５１】
したがって、固定子７１上に散布された粉体７６は、固定子７１の設定の位置、つまり、順相から逆相に変化する箇所に粉体７６を位置決めすることができる。例えば、粉体７６を固定子７１の中央に位置決めしたり、四隅へ集めることができる。
【００５２】
次に、図１１は本発明の第７の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００５３】
この実施例では、第６の実施例で示した下層線状電極７３には３相交流電源を接続するのではなく、配線８６を介して直流電源（ＤＣ電源）８５を接続する。つまり、下層線状電極７３には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム７５上に散布される粉体を、下層線状電極７３のライン上に保持しておき、その下層線状電極７３のラインに沿って、上層線状電極７４によって移動させるように構成する。
【００５４】
その場合には、当然、上層線状電極７４は順相から逆相配線としているので、下層線状電極７３のラインに沿った、上層線状電極７４が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体７６の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００５５】
次に、図１２は本発明の第８の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００５６】
この実施例では、第７の実施例で示した上層線状電極７４には３相交流電源を接続するのではなく、配線９６を介して直流電源（ＤＣ電源）９５を接続する。つまり、上層線状電極７４には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム７５上に散布される粉体を、上層線状電極７４のライン上に保持しておき、その上層線状電極７４のラインに沿って、下層線状電極７３によって移動させるように構成する。
【００５７】
その場合にも、当然、下層線状電極７３は順相から逆相配線としているので、上層線状電極７４のラインに沿った、下層線状電極７３が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体７６の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００５８】
次に、図１３は本発明の第９の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図、図１４はその織状電極を示す平面図、図１５はその斜視図である。
【００５９】
この実施例では、線状電極は、図１５に示すように、導電性線状電極１１５に絶縁被覆１１６が施された絶縁電線１１７と、導電性線状電極１２５に絶縁被覆１２６が施された絶縁電線１２７とを、恰も、縦糸と、横糸とを複数平行にかつ直交するように配置し絡ませ、織状にしたものである。
【００６０】
ここで、導電性線状電線は、例えば４０μｍの銅線で、この上部に１０μｍのポリエステルが被覆されている。
【００６１】
図１３及び図１４に示すように、上記した絶縁電線１１７と絶縁電線１２７を直交するように絡ませ織りあげた織状電極（絶縁電線１１７と絶縁電線１２７）に、それぞれ３相配線を接続する。つまり、線状電極１１５（絶縁電線１１７）へ３相交流電源１１０よりａ相配線１１１、ｂ相配線１１２、ｃ相配線１１３を介して３相交流電圧を印加する。また、線状電極１２５（絶縁電線１２７）へ３相交流電源１２０よりａ相配線１２１、ｂ相配線１２２、ｃ相配線１２３を介して３相交流電圧を印加する。これらは順相を接続を一定区間設けた後、逆相接続を行っている。
【００６２】
このような織状電極を絶縁フィルムとしてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体１０１と絶縁フィルム１０２で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子１００とした。
【００６３】
この場合にも、当然、線状電極１１５，１２５は順相から逆相配線としているので、線状電極が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００６４】
次に、図１６は本発明の第１０の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図、図１７はその織状電極を示す平面図である。
【００６５】
線状電極の構成は、前記第９の実施例と同様である。すなわち、線状電極は、図１６及び図１７に示すように、導電性線状電極１４５に絶縁被覆が施された絶縁電線１４７と、導電性線状電極１５５に絶縁被覆が施された絶縁電線１５７とを、恰も、縦糸と、横糸とを複数平行にかつ直交するように配置し絡ませ織状にしたものである。
【００６６】
ここで、導電性線状電線は、例えば４０μｍの銅線で、この上部に１０μｍのポリエステルが被覆されている。
【００６７】
図１６及び図１７に示すように、上記した絶縁電線１４７と絶縁電線１５７を直交するように絡ませ織りあげた織状電極（絶縁電線１４７と絶縁電線１５７）の線状電極１４５（絶縁電線１４７）へは３相配線を接続する。すなわち、線状電極１４５（絶縁電線１４７）へ３相交流電源１４０よりａ相配線１４１、ｂ相配線１４２、ｃ相配線１４３を介して３相交流電圧を印加する。これらは順相を接続を一定区間設けた後、逆相接続を行っている。
【００６８】
一方、線状電極１５５（絶縁電線１５７）へは配線１５１を介して直流電源１５０を接続する。
【００６９】
このような織状電極を絶縁フィルムとしてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体１３１と絶縁フィルム１３２で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子１３０とした。
【００７０】
この場合にも、当然、線状電極１４５は順相から逆相配線としているので、線状電極１５５のラインに沿った、線状電極１４５が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００７１】
上記した第９の実施例及び第１０の実施例においては、線状電極は、布のように、絶縁電線からなる縦糸状と横糸状に織った織状電極とすることにより、上記第１の実施例乃至第８の実施例に示すように、線状電極をエッチングにより形成する場合に比して、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【００７２】
更に、線状電極は、布のように、絶縁電線からなる縦糸状と横糸状に織った織状電極とすることにより、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【００７３】
また、上記各実施例においては、交番電圧として、３相交流電圧を用いたが、これに限定するものではなく、粉体を移動するクーロン力を生じさせるものであれば、ステップ状の交番電圧、３相以外の複数相交流電圧でもよい。
【００７４】
更に、上記固定子は、絶縁フィルム面をテーブル面とした、試料としての粉体のテーブルとして用いることができることは言うまでもない。
【００７５】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００７６】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、粉体ハンドリング装置により、粉体の移動（搬送）が可能になるばかりでなく、固定子上での粉体の方向制御も可能となり、粉体の位置決め、集粉、移動を自在に行うことができる。
【００７７】
また、固定子の絶縁フィルム（カバーフィルム）上に散布される粉体は、その絶縁フィルム（カバーフィルム）上をスムーズに移動することができ、ハンドリングが可能である。
【００７８】
更に、線状電極は、布のように、絶縁電線からなる縦糸状と横糸状に織った織状電極とすることにより、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図２】本発明の第１の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図６】本発明の第４の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図７】本発明の第５の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図８】本発明の第５の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図９】本発明の第６の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図１０】本発明の第６の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１１】本発明の第７の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１２】本発明の第８の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１３】本発明の第９の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１４】本発明の第９の実施例を示す織状電極を示す平面図である。
【図１５】本発明の第９の実施例を示す織状電極を示す斜視図である。
【図１６】本発明の第１０の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１７】本発明の第１０の実施例を示す織状電極を示す平面図である。
【符号の説明】
１，２１，５１，７１，１００，１３０ 固定子
２，２２，５２，７２，１０１，１３１ 絶縁支持体
３，５３，１１５，１２５，１４５，１５５ 線状電極
４，２５，５４，７５，１０２，１３２ 絶縁フィルム
６，２６，５６，７６ 粉体
１０，３０，４０，６０，８０，９０，１１０，１２０，１４０ ３相交流電源
１１，３１，４１，６１，９１，１１１，１２１，１４１ ａ相配線
１２，３２，４２，６２，９２，１１２，１２２，１４２ ｂ相配線
１３，３３，４３，６３，９３，１１３，１２３，１４３ ｃ相配線
２３，７３ 下層線状電極
２４，７４ 上層線状電極
３５，４５，８５，９５，１５０ 直流電源（ＤＣ電源）
３６，４６，８６，９６，１５１ 配線
１１６，１２６ 絶縁被覆
１１７，１２７，１４７，１５７ 絶縁電線
【産業上の利用分野】
本発明は、複数相の線状電極が誘電体中に形成された固定子への複数相の交番電圧の印加により、クーロン力を発生させ、粉体を移動や集粉する粉体ハンドリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、本願の発明者等によって、既に、複数相（３相）の線状電極が誘電体中に形成された固定子への複数相（３相交流）の給電により、クーロン力を発生させ、可動シートや可動板を有する可動部材を駆動する静電アクチュエータが、特願平４−２２５５５１号として提案されている。
【０００３】
また、本願の発明者等により、既に、固定子と可動子を対向させて、クーロン力により駆動する静電アクチュエータを有する搬送装置が、特願平４−９５４７５号として提案されている。
【０００４】
一方、粉体の搬送に関しては、従来から、電界カーテンが提案されている。
【０００５】
また、互いに所定間隔を介して配置されている複数個の電極（通常の電界カーテンと同じ構成）と、この電極へ交番する駆動電圧を印加し、帯電している粒子を搬送する装置において、上記電極が配置される一方向側に関して隣り合う電極間の電位差が、その方向側に正であって、負極帯電粒子を移動できる電圧閾値となるように、かつ、上記電極が配置されるその一方向側とは反対方向側に関して隣り合う電極間の電位差がその反対方向側に負であって、正極帯電粒子を移動できる電圧閾値となるように、上記電極へ印加される交番駆動電圧を制御し、粒子帯電極性に応じて粉体を分別するようにした粉体搬送装置が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のものでは、電極設置面に対して粉体の搬送は、電極に交わる方向の一方向にのみ可能であって、粉体を一部分あるいは一領域に集積したり、前後左右に搬送することなどは実現されていない。
【０００７】
また、粉体の微小な位置決め等には難があった。
【０００８】
本発明は、上記に問題点に鑑みてなされたもので、粉体の多方向への移動、一領域への集積、あるいは粉体の微細な位置決め制御を行える粉体ハンドリング装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、粉体ハンドリング装置において、
（１）粉体ハンドリング装置において、絶縁支持体上に平行に配置される複数の下層線状電極と、この下層線状電極の上方に直交するように配置される上層線状電極と、前記下層線状電極及び上層線状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、前記下層線状電極又は上層線状電極の何れか一方に交番電圧を印加し、他方の下層線状電極又は上層線状電極には直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめるようにしたものである。
【００１０】
（２）粉体ハンドリング装置において、絶縁支持体上に平行に配置される複数の下層線状電極と、この下層線状電極の上方に直交するように配置される上層線状電極と、前記下層線状電極及び上層線状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、前記下層線状電極又は上層線状電極の何れか一方に順相の交番電圧と逆相の交番電圧とを印加し、他方の下層線状電極又は上層線状電極には直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめるようにしたものである。
【００１１】
（３）粉体ハンドリング装置において、絶縁支持体上に平行に配置される複数の縦糸状の線状電極と該線状電極と直交するように織られる複数の横糸状の線状電極とからなる織状電極と、この織状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、一方の線状電極に交番電圧を印加する手段と、もう一方の線状電極に直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめるようにしたものである。
【００１２】
（４）上記（１）乃至（３）の何れか１項記載の粉体ハンドリング装置において、前記交番電圧は３相交流電圧である。
【００１３】
（５）上記（２）記載の粉体ハンドリング装置において、前記順相の交番電圧の印加は、配線を順相にし一定パターンを繰り返した後、逆相に配線するパターンを一定パターン繰り返すようにしたものである。
【００１４】
【作用】
本発明によれば、上記したように、絶縁支持体上に一方向に規則的に平行に配置された複数の線状電極を有する固定子と、この固定子を覆う絶縁フィルムを有する固定子を設け、該固定子上に配置される粉体を備える。線状電極に電圧（例えば、多相交番電圧（３相交流電圧や３相チョッピング電圧）を印加すると、線状電極周辺に静電気を生じ、粉体には、静電誘導により逆符号の電荷が誘導される。
【００１５】
次に、所定の周期で電圧を切り換えていけば、線状電極の電荷は電圧が切り換わると同時に変化するが、粉体は若干遅れるので、その結果、電極間に生じる電荷による作用反作用の力を受け移動する。
【００１６】
また、線状電極の一方を縦糸、他方を横糸として電極を格子状に配置すると、これらの線状電極への交番電圧の印加により、本体を自在の方向へ移動できる。
【００１７】
更に、この線状電極へ順相の交番電圧を配置する領域と、その途中より逆相の交番電圧を配置する領域とを設定することにより、その変遷領域に散布された粉体を位置決め、搬送、集粉することができる。
【００１８】
また、線状電極への印加電圧の相順により、固定子周辺に散在する粉体を中央に集めたり、片隅に集めたりすることが可能である。
【００１９】
更に、２層に配置される線状電極のいずれか一方に交番電圧を、その他の層の線状電極に直流電圧を印加することにより、その直流電圧が印加される線状電極に沿って散布される粉体を保持しながら、交番電圧が印加される層の線状電極によって粉体を移動させることができる。
【００２０】
また、線状電極は布のように、絶縁電線からなる複数の縦糸状と複数の横糸状に織った織状電極とすることにより、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【００２１】
更に、固定子の絶縁フィルム（カバーフィルム）上に散布される粉体は、その絶縁フィルム（カバーフィルム）上をスムーズに移動可能である。
【００２２】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図を参照しながら詳細に説明する。
【００２３】
図１は本発明の第１の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図２はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００２４】
これらの図に示すように、２は絶縁支持体であり、例えば、クラレ製アクリル板（商品名：パラグラス）を用いる。この絶縁支持体２上に、直径４０μｍの裸の銅線からなる線状電極３を、等間隔に平行に複数列に配置する。また、線状電極３は、裸の銅線に代えて、導電性芯線として銅線を用い、その銅線の周囲をポリエステルで被覆した絶縁電線を用いるようにしてもよい。線状電極３の形成は、例えば、印刷配線板や半導体製造工程で用いられるエッチングにより行う。
【００２５】
この線状電極３を３相配線ａ，ｂ，ｃとした後、絶縁フィルム（カバーフィルム）４として、例えば、５μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを用い、線状電極３を接着剤を介して絶縁支持体２と絶縁フィルム４で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子１とした。
【００２６】
上記絶縁支持体２、絶縁フィルム４としては、メタクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂などの高分子材料、エンジニアリングプラスティック、高表面抵抗率である無機材料等が使用できる。
【００２７】
線状電極３としては、銅、金、銀、ニクロム線、ステンレス線、導電性高分子材料などが使用できる。また、絶縁支持体２と絶縁フィルム４の密着固定には、エポキシ系、アクリル系、接着剤などが使用できる。
【００２８】
図２において、１０は３相交流電源であり、この３相交流電源には、ａ相配線１１，ｂ相配線１２，ｃ相配線１３がそれぞれ接続され、各配線は各相の線状電極３へと接続される。
【００２９】
この固定子１上に、粉体６、例えば、遠藤メタルズ（株）製、直径３００μｍＦｅ、直径３００μｍＡｌ、直径３００μｍＮｉ、昭和シェル石油（株）“ミクロハイカＺ”直径１００，２００，３００μｍ、積水化成品工業（株）“テクポリマー”ＭＢＸ−５０（直径５０μｍ）、積水化学工業（株）“ミクロパールＮＩ”（直径１００μｍ）等を搭載する。
【００３０】
そこで、まず、線状電極３に電圧を印加すると、線状電極３間に微小な電流が流れるために、線状電極３の周辺に電荷が発生する。この時、絶縁フィルム４の上の粉体６には、静電誘導により線状電極３とは逆符号の電荷が誘導される。
【００３１】
次に、線状電極３への印加電圧を１つずつずらすと、線状電極３周辺の電荷は電圧の変化とともに瞬時に印加された符号同様の電荷に変化するが、粉体６の電荷は瞬時には変化できず、変化の作用反作用の関係より、一電極ピッチ分移動する。この現象を連続して行うことにより、粉体６を移動（搬送）させることができる。
【００３２】
ここで、線状電極３への印加電圧の印加パターンを逆にすると、粉体６の移動（搬送）方向を切り替えることができる。
【００３３】
図３は本発明の第２の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図４はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００３４】
これらの図において、２２は絶縁支持体であり、下層線状電極２３は導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に平行に複数列に配置する。下層線状電極２３を３相配線ａ，ｂ，ｃとした後、その上に直交するように、上層線状電極２４を配置する。この上層線状電極２４も、導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に平行線状に複数列に配置し、３相配線ａ，ｂ，ｃを接続する。
【００３５】
このように、格子状に配置された２層の線状電極２３，２４を、絶縁フィルム２５としてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体２２と絶縁フィルム２５で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子２１とした。
【００３６】
この固定子２１上に粉体２６を搭載して、格子状の線状電極に３相配線を接続し、その配線の印加電圧の切り替えにより、粉体２６を前後左右斜め方向に移動（搬送）を可能にする。
【００３７】
すなわち、下層線状電極２３には、３相交流電源３０より、ａ相配線３１，ｂ相配線３２，ｃ相配線３３を介して交流電圧を印加する。また、上層線状電極２４には、３相交流電源４０より、ａ相配線４１，ｂ相配線４２，ｃ相配線４３を介して交流電圧を印加する。
【００３８】
そこで、各線状電極に印加される電圧と、粉体２６との間のクーロン力により、粉体２６を移動させることができる。
【００３９】
次に、図５は本発明の第３の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。なお、第２の実施例と同じ部分については同じ番号を付してその説明を省略する。
【００４０】
この実施例では、第２の実施例で示した下層線状電極２３には３相交流電源を接続するのではなく、配線３６を介して直流電源（ＤＣ電源）３５を接続する。つまり、下層線状電極２３には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム２５上に散布される粉体を、下層線状電極２３のライン上に保持しておき、その下層線状電極２３のラインに沿って、上層線状電極２４によって移動させるように構成する。
【００４１】
次に、図６は本発明の第４の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００４２】
この実施例では、第２の実施例で示した上層線状電極２４には、３相交流電源を接続するのではなく、配線４６を介して直流電源（ＤＣ電源）４５を接続する。つまり、上層線状電極２４には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム２５上に散布される粉体を、上層線状電極２４のライン上に保持しておき、その上層線状電極２４のラインに沿って、下層線状電極２３によって移動させるように構成する。
【００４３】
図７は本発明の第５の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図８はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００４４】
この実施例は、第１の実施例と同様に、５２は絶縁支持体であり、線状電極５３は直径４０μｍの銅線からなり、等間隔に平行に複数列に配置したものである。また、この線状電極５３は、導電性芯線としてこの銅線を用い、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用いるようにしてもよい。このように配置された線状電極５３を、絶縁フィルム５４としてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体５２と絶縁フィルム５４で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子５１とした。
【００４５】
そこで、図７に示すように、領域Ａには線状電極５３に３相交流電源６０より、ａ相配線６１，ｂ相配線６２，ｃ相配線６３を介して、順相の３相交流電圧を印加し、領域Ｂには線状電極５３に３相交流電源６０より、ａ相配線６１，ｃ相配線６３，ｂ相配線６２を介して、逆相の３相交流電圧を印加する。５６は固定子５１上に散布される粉体である。
【００４６】
図９は本発明の第６の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図、図１０はその粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００４７】
この実施例では、７２は絶縁支持体であり、下層線状電極７３は導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に平行に複数列に配置したもので、下層線状電極７３を３相配線とする。その上に直交するように、上層線状電極７４を配置する。この上層線状電極７４は、導電性材料からなる直径４０μｍの銅線を有し、ポリエステルが被覆された絶縁電線を用い、等間隔に複数列に配置し、３相配線を接続する。すなわち、上層線状電極７４には、３相交流電源９０より、ａ相配線９１，ｂ相配線９２，ｃ相配線９３を介して、３相交流電圧を印加する。
【００４８】
このように、格子状に配置された２層の線状電極７３，７４を、絶縁フィルム７５としてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体７２と絶縁フィルム７５で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子７１とした。
【００４９】
更に、下層線状電極７３に印加する電圧は、上記第５の実施例に示したのと同様に、図９に示すように、領域Ａは下層線状電極７３に順次ａ相，ｂ相，ｃ相電圧を印加するように、つまり、順相電圧を印加するように配線を行う。領域Ｂは線状電極７３に順次ｂ相，ａ相，ｃ相電圧を印加するように、つまり、逆相電圧を印加するように配線を行う。なお、下層線状電極７３には３相交流電源８０から３相交流を印加する。
【００５０】
同様に、上層線状電極７４も、下層線状電極７３と同様に、領域により順相電圧、逆相電圧を印加可能に配線する。
【００５１】
したがって、固定子７１上に散布された粉体７６は、固定子７１の設定の位置、つまり、順相から逆相に変化する箇所に粉体７６を位置決めすることができる。例えば、粉体７６を固定子７１の中央に位置決めしたり、四隅へ集めることができる。
【００５２】
次に、図１１は本発明の第７の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００５３】
この実施例では、第６の実施例で示した下層線状電極７３には３相交流電源を接続するのではなく、配線８６を介して直流電源（ＤＣ電源）８５を接続する。つまり、下層線状電極７３には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム７５上に散布される粉体を、下層線状電極７３のライン上に保持しておき、その下層線状電極７３のラインに沿って、上層線状電極７４によって移動させるように構成する。
【００５４】
その場合には、当然、上層線状電極７４は順相から逆相配線としているので、下層線状電極７３のラインに沿った、上層線状電極７４が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体７６の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００５５】
次に、図１２は本発明の第８の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【００５６】
この実施例では、第７の実施例で示した上層線状電極７４には３相交流電源を接続するのではなく、配線９６を介して直流電源（ＤＣ電源）９５を接続する。つまり、上層線状電極７４には一定の直流電圧を印加することにより、絶縁フィルム７５上に散布される粉体を、上層線状電極７４のライン上に保持しておき、その上層線状電極７４のラインに沿って、下層線状電極７３によって移動させるように構成する。
【００５７】
その場合にも、当然、下層線状電極７３は順相から逆相配線としているので、上層線状電極７４のラインに沿った、下層線状電極７３が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体７６の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００５８】
次に、図１３は本発明の第９の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図、図１４はその織状電極を示す平面図、図１５はその斜視図である。
【００５９】
この実施例では、線状電極は、図１５に示すように、導電性線状電極１１５に絶縁被覆１１６が施された絶縁電線１１７と、導電性線状電極１２５に絶縁被覆１２６が施された絶縁電線１２７とを、恰も、縦糸と、横糸とを複数平行にかつ直交するように配置し絡ませ、織状にしたものである。
【００６０】
ここで、導電性線状電線は、例えば４０μｍの銅線で、この上部に１０μｍのポリエステルが被覆されている。
【００６１】
図１３及び図１４に示すように、上記した絶縁電線１１７と絶縁電線１２７を直交するように絡ませ織りあげた織状電極（絶縁電線１１７と絶縁電線１２７）に、それぞれ３相配線を接続する。つまり、線状電極１１５（絶縁電線１１７）へ３相交流電源１１０よりａ相配線１１１、ｂ相配線１１２、ｃ相配線１１３を介して３相交流電圧を印加する。また、線状電極１２５（絶縁電線１２７）へ３相交流電源１２０よりａ相配線１２１、ｂ相配線１２２、ｃ相配線１２３を介して３相交流電圧を印加する。これらは順相を接続を一定区間設けた後、逆相接続を行っている。
【００６２】
このような織状電極を絶縁フィルムとしてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体１０１と絶縁フィルム１０２で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子１００とした。
【００６３】
この場合にも、当然、線状電極１１５，１２５は順相から逆相配線としているので、線状電極が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００６４】
次に、図１６は本発明の第１０の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図、図１７はその織状電極を示す平面図である。
【００６５】
線状電極の構成は、前記第９の実施例と同様である。すなわち、線状電極は、図１６及び図１７に示すように、導電性線状電極１４５に絶縁被覆が施された絶縁電線１４７と、導電性線状電極１５５に絶縁被覆が施された絶縁電線１５７とを、恰も、縦糸と、横糸とを複数平行にかつ直交するように配置し絡ませ織状にしたものである。
【００６６】
ここで、導電性線状電線は、例えば４０μｍの銅線で、この上部に１０μｍのポリエステルが被覆されている。
【００６７】
図１６及び図１７に示すように、上記した絶縁電線１４７と絶縁電線１５７を直交するように絡ませ織りあげた織状電極（絶縁電線１４７と絶縁電線１５７）の線状電極１４５（絶縁電線１４７）へは３相配線を接続する。すなわち、線状電極１４５（絶縁電線１４７）へ３相交流電源１４０よりａ相配線１４１、ｂ相配線１４２、ｃ相配線１４３を介して３相交流電圧を印加する。これらは順相を接続を一定区間設けた後、逆相接続を行っている。
【００６８】
一方、線状電極１５５（絶縁電線１５７）へは配線１５１を介して直流電源１５０を接続する。
【００６９】
このような織状電極を絶縁フィルムとしてＰＥＴフィルムを用い、絶縁支持体１３１と絶縁フィルム１３２で挟持し、ニッシリ製エポキシ樹脂プラキャストにて密着固定して一体化し、固定子１３０とした。
【００７０】
この場合にも、当然、線状電極１４５は順相から逆相配線としているので、線状電極１５５のラインに沿った、線状電極１４５が順相から逆相配線に切り換わる位置に粉体の移動（搬送）、集粉を行うことができる。
【００７１】
上記した第９の実施例及び第１０の実施例においては、線状電極は、布のように、絶縁電線からなる縦糸状と横糸状に織った織状電極とすることにより、上記第１の実施例乃至第８の実施例に示すように、線状電極をエッチングにより形成する場合に比して、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【００７２】
更に、線状電極は、布のように、絶縁電線からなる縦糸状と横糸状に織った織状電極とすることにより、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【００７３】
また、上記各実施例においては、交番電圧として、３相交流電圧を用いたが、これに限定するものではなく、粉体を移動するクーロン力を生じさせるものであれば、ステップ状の交番電圧、３相以外の複数相交流電圧でもよい。
【００７４】
更に、上記固定子は、絶縁フィルム面をテーブル面とした、試料としての粉体のテーブルとして用いることができることは言うまでもない。
【００７５】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００７６】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、粉体ハンドリング装置により、粉体の移動（搬送）が可能になるばかりでなく、固定子上での粉体の方向制御も可能となり、粉体の位置決め、集粉、移動を自在に行うことができる。
【００７７】
また、固定子の絶縁フィルム（カバーフィルム）上に散布される粉体は、その絶縁フィルム（カバーフィルム）上をスムーズに移動することができ、ハンドリングが可能である。
【００７８】
更に、線状電極は、布のように、絶縁電線からなる縦糸状と横糸状に織った織状電極とすることにより、等ピッチに配列された電極を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図２】本発明の第１の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図６】本発明の第４の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図７】本発明の第５の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図８】本発明の第５の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図９】本発明の第６の実施例を示す粉体ハンドリング装置の要部断面図である。
【図１０】本発明の第６の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１１】本発明の第７の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１２】本発明の第８の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１３】本発明の第９の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１４】本発明の第９の実施例を示す織状電極を示す平面図である。
【図１５】本発明の第９の実施例を示す織状電極を示す斜視図である。
【図１６】本発明の第１０の実施例を示す粉体ハンドリング装置の模式的な分解斜視図である。
【図１７】本発明の第１０の実施例を示す織状電極を示す平面図である。
【符号の説明】
１，２１，５１，７１，１００，１３０ 固定子
２，２２，５２，７２，１０１，１３１ 絶縁支持体
３，５３，１１５，１２５，１４５，１５５ 線状電極
４，２５，５４，７５，１０２，１３２ 絶縁フィルム
６，２６，５６，７６ 粉体
１０，３０，４０，６０，８０，９０，１１０，１２０，１４０ ３相交流電源
１１，３１，４１，６１，９１，１１１，１２１，１４１ ａ相配線
１２，３２，４２，６２，９２，１１２，１２２，１４２ ｂ相配線
１３，３３，４３，６３，９３，１１３，１２３，１４３ ｃ相配線
２３，７３ 下層線状電極
２４，７４ 上層線状電極
３５，４５，８５，９５，１５０ 直流電源（ＤＣ電源）
３６，４６，８６，９６，１５１ 配線
１１６，１２６ 絶縁被覆
１１７，１２７，１４７，１５７ 絶縁電線
Claims (5)
- （ａ）絶縁支持体上に平行に配置される複数の下層線状電極と、該下層線状電極の上方に直交するように配置される上層線状電極と、前記下層線状電極及び上層線状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、前記下層線状電極又は上層線状電極の何れか一方に交番電圧を印加し、他方の下層線状電極又は上層線状電極には直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、
（ｂ）前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめる粉体ハンドリング装置。 - （ａ）絶縁支持体上に平行に配置される複数の下層線状電極と、該下層線状電極の上方に直交するように配置される上層線状電極と、前記下層線状電極及び上層線状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、前記下層線状電極又は上層線状電極の何れか一方に順相の交番電圧と逆相の交番電圧とを印加し、他方の下層線状電極又は上層線状電極には直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、
（ｂ）前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめる粉体ハンドリング装置。 - （ａ）絶縁支持体上に平行に配置される複数の縦糸状の線状電極と該線状電極と直交するように織られる複数の横糸状の線状電極とからなる織状電極と、該織状電極を覆うように設けられる絶縁フィルムと、一方の線状電極に交番電圧を印加する手段と、もう一方の線状電極に直流電圧を印加する手段を具備する固定子を備え、
（ｂ）前記線状電極への交番電圧の印加により、前記線状電極周辺に移動電界を発生させクーロン力により、前記固定子上に散布された粉体を移動せしめる粉体ハンドリング装置。 - 前記交番電圧は３相交流電圧である請求項１乃至３の何れか１項記載の粉体ハンドリング装置。
- 前記順相の交番電圧の印加は、配線を順相にし一定パターンを繰り返した後、逆相に配線するパターンを一定パターン繰り返したことを特徴とする請求項２記載の粉体ハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01564494A JP3569541B2 (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 粉体ハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01564494A JP3569541B2 (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 粉体ハンドリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07327378A JPH07327378A (ja) | 1995-12-12 |
| JP3569541B2 true JP3569541B2 (ja) | 2004-09-22 |
Family
ID=11894431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01564494A Expired - Lifetime JP3569541B2 (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 粉体ハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3569541B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4594481B2 (ja) * | 2000-03-10 | 2010-12-08 | 株式会社高純度物質研究所 | 静電式粉体輸送装置における粉体輸送量制御方法と粉体輸送量制御装置。 |
| WO2015050138A1 (ja) | 2013-10-01 | 2015-04-09 | 住友理工株式会社 | 搬送装置 |
-
1994
- 1994-02-10 JP JP01564494A patent/JP3569541B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07327378A (ja) | 1995-12-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10044253B2 (en) | Levitated-micro manipulator system | |
| JP3569541B2 (ja) | 粉体ハンドリング装置 | |
| CN109075726B (zh) | 包括分形电极的电粘附夹具 | |
| JPH02285978A (ja) | フィルムを利用した接触型静電アクチュエータ | |
| JP3095642B2 (ja) | 静電アクチュエータおよびその駆動方法 | |
| JP3569544B2 (ja) | 可変ピッチ形粉体搬送装置 | |
| US10504656B2 (en) | Electrodes for linear switched capacitive devices | |
| JPH07274542A (ja) | ２次元静電アクチュエータ | |
| WO2019142605A1 (ja) | 平面モータ | |
| JP3569553B2 (ja) | 粉体の分別方法及びその装置 | |
| JP2020089109A (ja) | 磁気搬送装置、及び、制御方法 | |
| US9231495B2 (en) | Four-wire electrostatic actuator and stator | |
| JP2000143024A (ja) | 媒体搬送装置 | |
| JP2979569B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH07203690A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH0160300B2 (ja) | ||
| JPH07267365A (ja) | 静電搬送装置及び静電搬送方法 | |
| JP2972001B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| WO2023190247A1 (ja) | ワーク吸着装置 | |
| JPH0746706A (ja) | 移動体に対する給電機構 | |
| JPH07322648A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH07337038A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JP2997474B2 (ja) | テーブル装置およびテーブル装置の製造方法 | |
| JPH07322646A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH04281371A (ja) | 静電アクチュエータの電極パターン |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040127 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040322 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040525 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040621 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080625 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090625 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100625 Year of fee payment: 6 |