JPH07203690A

JPH07203690A - 静電アクチュエータ

Info

Publication number: JPH07203690A
Application number: JP22694A
Authority: JP
Inventors: Susumu Yashiro; 進屋代
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 1994-01-06
Filing date: 1994-01-06
Publication date: 1995-08-04

Abstract

(57)【要約】【目的】線状電極と給電線とから成る回路を、スルー
ホール加工を施すことなく、簡易かつ安価に得ることが
できるようにする。【構成】固定子１０の同一相（Ａ相、Ｂ相、Ｃ相の各
相）の線状電極２４（電極部１１）は、絶縁被覆された
導電性線材で連続して形成されている。各相の線状電極
に３相電源を投入すると、移動子に電荷が誘導されて静
電駆動力が発生する。このとき、摩擦を軽減させる浮上
力も発生するので、移動子は移動する。絶縁被覆された
導電性線材が用いられるので、スルーホールを施す必要
がない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ビデオカメラ等の家
庭用電化製品やロボット等の工業用製品の駆動源として
用いられる静電アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、家庭用電化製品や工業用製品の小
型化が進んでいる。このため、小さな体積で大きな力を
出せる静電アクチュエータの研究が盛んに行われてい
る。この静電アクチュエータは、静電力（クーロン
力）、すなわち電荷と電荷との間の吸引力や反発力を利
用して、電気エネルギを機械エネルギに変換する装置で
ある。この装置は、構造が簡単な上に、小型化・軽量化
が容易であり、原理的には、小型化すればするほど単位
体積当たりに発生できる力が大きくなるという特性を持
つ。小型化・軽量化を図り、しかも製品の製造コストを
下げるためには、この装置を構成する固定子や移動子の
電極をどのように構成するかということが重要なポイン
トとなる。従来の静電アクチュエータの電極の構成とし
て、例えば特開平４−２８１３７１号公報記載のものが
ある。これは、図１１で示すように、Ｒ相電極１１４
と、Ｓ相電極１１５と、Ｔ相電極１１６との３相分の電
極と、これらのそれぞれの電極とＲ相、Ｓ相、Ｔ相の電
源とを接続する給電線１１１，１１２，１１３とから成
る。ブロック１２０では、Ｔ相−Ｓ相−Ｒ相の順に各電
極が並べられ、ブロック１２１では、Ｒ相−Ｓ相−Ｔ相
の順に各電極が並べられる配置となっている。また、ブ
ロック１２０におけるＲ相電極１１４とＳ相電極１１５
との間の距離（電極ピッチ幅）、及びＳ相電極１１５と
Ｔ相電極１１６との間の電極ピッチ幅は、ブロック１２
１におけるＲ相電極１１４とＳ相電極１１５との間の電
極ピッチ幅、及びＳ相電極１１５とＴ相電極１１６との
間の電極ピッチ幅の１／２である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の静電アクチュエータでは、次のような問題がある。（１）上述した特開平４−２８１３７１号公報記載の例
では、複数相の電源の供給パターンがブロック間で変わ
る。すなわち、ブロック１２０とブロック１２１とで
は、相の並び及び電極ピッチ幅が異なる。このため、ブ
ロック毎における単位密度当たりの静電気力が異なり、
移動子を動かすときに、静電気力から実際の力に変換さ
れるときの効率が低下する。（２）固定子に複数相の電極を配置し、これらの電極に
給電線をボンディングで接続する場合、配線が複雑にな
る。しかも、静電アクチュエータは移動子が動くため、
固定子の電極に給電線をボンディングした部分が力のス
トレスを受け、そのボンディングした部分に接触不良が
発生し易くなる。（３）また、多層配線板を用いた場合は、電極専用のパ
ターンをもつ配線板と、給電線専用のパターンをもつ配
線板とを別々に制作するために、配線板が少なくとも２
層分（２面）必要となり、固定子自体の厚みが増す。加
えて、これらの配線板を接続するために、スルーホール
加工法が必要となり、製品の製造コストが高くなる。

【０００４】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、線状電極と給電線とから成る回路を、スルーホー
ル加工を施すことなく、簡易かつ安価に得ることができ
る静電アクチュエータを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、抵抗体層又は／及び誘電体
層を有する移動可能な移動子と、この移動子の移動する
方向に、複数相の単位で繰り返して配列された複数の線
状電極を有する固定子と、上記複数の線状電極に電源を
供給する駆動制御装置とを備える静電アクチュエータで
あって、上記固定子の同一相の複数の線状電極を、絶縁
被覆を施された導電性線材で連続して形成したことを特
徴としている。

【０００６】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の静電アクチュエータであって、縦方向を向く複数の
上記線状電極を横方向に所定のピッチ幅で配列し、横方
向を向く複数の絶縁性線材のそれぞれで上記線状電極の
それぞれと組み合わせて、上記固定子に、上記線状電極
を織物組織状に組み込んだことを特徴としている。

【０００７】また、請求項３記載の発明は、複数相の単
位で繰り返して配列された第１の線状電極を有する移動
子と、この移動子の第１の線状電極と対向して、複数相
の単位で繰り返し配列された第２の線状電極を有する固
定子と、上記第１及び第２の線状電極に電源を供給する
駆動制御装置とを備える静電アクチュエータであって、
上記移動子の同一相の複数の第１の線状電極、及び、上
記固定子の同一相の複数の第２の線状電極を、それぞ
れ、絶縁被覆を施された導電性線材で連続して形成した
ことを特徴としている。

【０００８】さらにまた、請求項４記載の発明は、請求
項３記載の静電アクチュエータであって、縦方向を向く
複数の上記第１の線状電極を横方向に所定のピッチ幅で
配列し、横方向を向く複数の第１の絶縁性線材のそれぞ
れで上記第１の線状電極のそれぞれと組み合わせて、上
記移動子に、上記第１の線状電極を織物組織状に組み込
むとともに、縦方向を向く複数の上記第２の線状電極を
横方向に所定のピッチ幅で配列し、横方向を向く複数の
第２の絶縁性線材のそれぞれで上記第２の線状電極のそ
れぞれと組み合わせて、上記固定子に、上記第２の線状
電極を織物組織状に組み込んだことを特徴としている。

【０００９】

【作用】請求項１記載の静電アクチュエータでは、抵抗
体層又は／及び誘電体層を有する移動可能な移動子と、
この移動子の移動する方向に、複数相の単位で繰り返し
て配列された線状電極を有する固定子と、上記線状電極
のそれぞれに給電線を介して電源を供給する駆動制御装
置とを備えている。このような構成において、上記固定
子の同一相の複数の線状電極と、これらの複数の線状電
極に上記駆動制御装置から電源を供給する複数の給電線
とを、絶縁被覆を施された導電性線材で連続して形成し
た。したがって、従来、別々に（すなわち、多層に）設
けられていた電極と給電線とを、導電性線材で連続して
固定子の同一面に形成できる。

【００１０】また、請求項２記載の静電アクチュエータ
では、固定子において、縦方向を向く複数の上記線状電
極を横方向に配列し、横方向を向く複数の絶縁性線材の
それぞれで上記線状電極のそれぞれと組み合わせ、上記
固定子に線状電極を織物組織状に組み込んだ。このよう
にすることにより、導電性線材で連続して形成された線
状電極を固定子に簡単に組み込むことができるととも
に、織物組織状とすることで固定子の形状を自由に変え
られる。

【００１１】また、請求項３記載の静電アクチュエータ
では、複数相の単位で繰り返して配列された第１の線状
電極を有する移動子と、この移動子の第１の線状電極と
対向して、複数相の単位で繰り返し配列された第２の線
状電極を有する固定子と、上記第１及び第２の線状電極
に第１及び第２の給電線を介して電源を供給する駆動制
御装置とを備えている。このような構成において、上記
移動子の同一相の複数の第１の線状電極と、これらの第
１の線状電極に上記駆動制御装置から電源を供給する複
数の第１の給電線とを、及び、上記固定子の同一相の複
数の第２の線状電極と、これらの第２の線状電極に駆動
制御装置から電源を供給する複数の第２の供給線とを、
絶縁被覆を施された導電性線材で連続して形成した。し
たがって、従来、別々に（すなわち、多層に）設けられ
ていた第１及び第２の線状電極と給電線とを、導電性線
材で連続して固定子及び移動子の同一面に形成できる。

【００１２】さらにまた、請求項４記載の静電アクチュ
エータでは、固定子及び移動子において、縦方向を向く
複数の上記第１及び第２の線状電極を横方向に配列し、
横方向を向く複数の第１及び第２の絶縁性線材のそれぞ
れで上記第１及び第２の線状電極のそれぞれと組み合わ
せ、上記固定子に第１の線状電極を、及び上記移動子に
第２の線状電極を織物組織状に組み込んだ。このように
することにより、導電性線材で連続して形成された第１
及び第２の線状電極を固定子及び移動子に簡単に組み込
むことができるとともに、織物組織状とするで移動子及
び固定子の形状を自由に変えられる。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。 ◇第１実施例図１は、この発明の第１実施例を示す固定子部分を中心
とした構成図、図２は、誘導電荷型静電アクチュエータ
全体を示す斜視図、図３は、図２の正面図（図２を矢印
Ｘの方向から見た図）、また、図４は、この誘導電荷型
静電アクチュエータの動作を説明する図である。

【００１４】図１乃至図３において、この誘導電荷型静
電アクチュエータは、固定子１０と、移動子２０と、駆
動制御装置３０とを備えている。固定子１０は、例え
ば、絶縁ワニス、ポリイミド、ポリプロピレン、ＰＥＴ
（ポリエチレン・テレフタート）、フッ化樹脂等の絶縁
体内、すなわち、この例では、ポリイミドフィルム２３
内に並列に配列された複数相の線状電極を有している。
これらの複数相の線状電極には、駆動制御装置３０から
複数の給電線を介して電源（電圧）が供給される。ま
た、同一相の複数の線状電極と、これらの同一相の線状
電極に電源を供給する複数の給電線とは、絶縁被覆を施
された１本の導電性線材で形成される。また、導電性線
材の絶縁被覆膜は、例えば軟質塩化ビニール樹脂やポリ
エチレン樹脂からなり、また、導電性線材は、銅、アル
ミ、金、銀、クロム、チタン等の導電性の線材から成
る。

【００１５】移動子２０は、図３で示すように、例え
ば、カーボンその他の導電性不純物を添加ないしはドー
ピングすることにより、表面抵抗率が１０¹²〜１０¹⁵Ω
／□に調整された軽量のＰＥＴからなり高抵抗性誘電体
フィルムからなり、固定子１０上に接触した状態で載置
される。また、駆動制御装置３０はＤＣ／ＡＣ変換器や
制御装置から構成され、３相（Ａ相、Ｂ相、Ｃ相）の電
源（電圧）を固定子１０の線状電極に供給する。これら
Ａ相、Ｂ相、Ｃ相の電源（電圧）の位相は時間毎に変化
するため、固定子と移動子との間に静電気力（クーロン
力）が発生し、この力によって、移動子２０は固定子１
０から浮上するとともに固定子１０の線状電極の配列方
向に沿って移動する。

【００１６】次に、固定子１０に配置された線状電極に
ついて更に詳細に説明する。図１において、Ａ相、Ｂ
相、Ｃ相の３相分の絶縁被覆をそれぞれ施された３本
の、例えば直径が８０μｍ程度の導電性線材により、線
状電極及び給電線の部分が形成されている。電極部１１
は線状電極２４（図３）の部分であり、給電部１２は駆
動制御装置から同一相の線状電極に電源を供給する部分
である。従来は、線状電極と給電線とが別個のものであ
ったため、線状電極と給電線とをボンディング等によ
り、接続する必要があったが、この例では、複数の線状
電極と給電線とを１本の連続した導電性線材で形成して
いる。引き出し部１３は固定子の線状電極と駆動制御装
置３０とを接続して、線状電極に電源を供給する引き出
し線の部分である。

【００１７】複数相の線状電極を形成する場合は、固定
子１０の基板を構成する下部ポリイミドフィルム２３ａ
上に、まず、引き出し部１３の長さを考えて、Ａ相の導
電線１４ａを矢印１７の方向に引く。次に、その導電線
１４ａを、固定子１０の端周面付近で矢印１８の方向に
向きを変え、矢印１８の方向に引く。これを固定子１０
の長手方向に、同一の電極ピッチ幅で線状電極が平行に
配列されるように繰り返し行う。次に、Ｂ相の導電線１
４ｂ、Ｃ相の導電線１４ｃについて、Ａ相のものと同様
な作業を繰り返し行うことにより、導電線による電極部
１１及び給電部１２から成る同一の電極ピッチ幅の線状
電極が、固定子１０に形成される。そして最後に、電極
部１１及び給電部１２の上面に、移動子２０の移動（摺
動）が円滑に行われるように、上部ポリイミドフィルム
２３ｂを被せている。このようにすることにより、固定
子１０に、図３で示すようなＡ相、Ｂ相、Ｃ相を単位と
する３相の線状電極が繰り返して形成される。

【００１８】次に、図４を参照して、この誘導電荷型静
電アクチュエータの動作について説明する。まず、
（ａ）では、駆動制御装置３０からＡ相に正電荷＋Ｖ、
Ｂ相に負電荷−Ｖ、Ｃ相に０が印加されると、各線状電
極２４ａ，２４ｂ，２４ｃに＋Ｖ，−Ｖ，０の電荷が集
まる。次に、（ｂ）では、移動子２０の抵抗体層内に、
線状電極２４ａ，２４ｂ，２４ｃと同じ符号の電荷が誘
導される。このとき移動子２０と固定子１０との間には
吸引力が作用する。次に、（ｃ）では、線状電極２４ａ
が０、線状電極２４ｂが＋Ｖ、線状電極２４ｃが−Ｖに
切り替わる。このとき、２４ａ，２４ｂ，２４ｃの電極
は瞬時に入れ替わるが、移動子２０の電荷は抵抗率が高
いため、線状電極の変化に対し電荷が入れ替わるのに時
間を要する。

【００１９】このとき、移動子２０と固定子１０との間
には反発力による摩擦の減少と右向きの駆動力が発生
し、右に動く。次に、（ｄ）では、移動子２０と固定子
１０との間に（ａ）で説明したような吸引力が作用す
る。次に、（ｅ）では、線状電極２４ａが−Ｖ、線状電
極２４ｂが０、線状電極２４ｃが＋Ｖに電圧が切り替わ
る。このとき、（ｃ）のように、移動子２０と固定子１
０との間には反発力による摩擦の減少と右向きの駆動力
が発生する。次に、（ｆ）では、（ｄ）と同じような作
用の状態になる。このように、（ａ）〜（ｆ）の作用が
移動子と固定子との間に発生し、移動子が右方向に動
く。

【００２０】このように、上記構成によれば、固定子上
の回路に、スルーホール加工を施さなくとも、移動子を
駆動することができる。それ故、簡易かつ安価な静電ア
クチュエータを得ることができる。

【００２１】◇第２実施例次に、この発明の第２実施例について説明する。図５
は、この発明の第２実施例である誘導電荷型静電アクチ
ュエータの固定子の平面図である。この例の固定子１０
ａは、織物組織状に構成されている点で、第１実施例の
固定子１０と大きく異なっている。

【００２２】すなわち、図５に示すように、この固定子
１０ａは、電極及び給電線を形成する銅、アルミ等の導
電性線材から成る導電線４０と、絶縁性線材から成るポ
リエステル繊維４１とから構成され、、Ａ相、Ｂ相、Ｃ
相の導電線を縦糸として、縦方向に向けて同じ電極ピッ
チ幅で、同じ相の順に配列する。次に、横糸となるポリ
エステル繊維４１を横方向に通して組み合わせ、織物組
織状とする。図６には、図５のＥ部分を拡大した図を示
しており、織物組織状に線状電極が組み込まれた固定子
の状態を詳細に示している。すなわち、縦糸となる導電
線４０とポリエステル繊維４１とが、縦糸及び横糸とな
って、１本ずつ交互に上下し、浮沈しながら交差する。
この織物組織状の状態は、例えば平織のように織り込ま
れる。図７には、図６のＹ−Ｙ線に沿う垂直断面図が示
されており、織物組織状に組み合わされた導電線とポリ
エステル繊維との様子が示されている。導電線４０は
銅、アルミ等の導電性線材６１と、ポリエチレン等の絶
縁被覆膜６２とから構成され、各相の導電線における電
極ピッチ幅Ｐは約２００μｍ、導電線の直径Ｄは約８０
μｍである。このように、第２実施例の構成によれば、
第１実施例と同様の効果に加えて、固定子を織物のよう
に自由に変形できる。

【００２３】◇第３実施例次に、この発明の第３実施例について説明する。図８
は、この発明の第３実施例である交流駆動型静電アクチ
ュエータの固定子及び移動子を示す正面図である。この
静電アクチュエータは交流駆動型静電アクチュエータで
あり、固定子側と、移動子側の両方に線状電極を有して
いる。同図において、移動子５０には３相（Ａ相、Ｂ
相、Ｃ相）単位で繰り返して移動子線状電極５１が設け
られ、固定子６０にも、３相単位で繰り返して固定子線
状電極６１が設けられている。すなわち、移動子５０に
おいて、同一相の複数の移動子線状電極５１と、これら
の移動子線状電極５１に図示しない駆動制御装置から電
源を供給する図示しない移動子給電線とを、図１で示す
ように、絶縁被覆を施された導電性線材１本で連続して
形成している。また、固定子６０において、同一相の複
数の固定子線状電極６１と、これらの固定子線状電極に
図示しない駆動制御装置から電源を供給する固定子給電
線とを、同じく図１で示すように、絶縁被覆を施された
導電性線材１本で連続して形成している。そして、これ
ら移動子線状電極５、固定子線状電極６１には図示しな
い１台又は複数台の駆動制御装置から電源（電圧）が供
給される。また、図５で説明したように、移動子５０及
び固定子６０の両方に、電極を織物組織状に組み込んで
もよい。

【００２４】次に、この交流駆動型静電アクチュエータ
の動作について説明する。図９はこの例の静電アクチュ
エータの動作を説明する図、図１０は、同静電アクチュ
エータにおける移動子と固定子との間の電位の位相を示
す図である。図示しない駆動制御装置から、図９に示す
ように、固定子６０の線状電極６１ａ，６１ｂ，６１
ｃ，…を周波数（角周波数ω１）の３相交流電圧で励起
させる。これと同時に、図示しない駆動制御装置から、
移動子５０の線状電極５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，…を周
波数（角周波数ω２）の３相交流電圧で励起させる。こ
の励起により、固定子６０と移動子５０とそれぞれの対
向面上には、進行する電位の波が発生する。すなわち、
図１０に示すように、固定子６０上には、固定子側の座
標系からみた進行速度ｕ１、すなわち、ｕ１＝（ω１／２π）λ である電位の波が発生する。一方、移動子５０上には、
移動子の座標系からみた進行速度ｕ２、すなわち、ｕ２＝（ω２／２π）λ である電位の波が発生する。

【００２５】このとき、固定子６０の線状電極６１ａ，
６１ｂ，６１ｃ，…と移動子５０の線状電極５１ａ，５
１ｂ，５１ｃ，…との間には、絶対座標から見た２進行
波の間の位相差δによって決定される水平方向の駆動力
が発生する。また、固定子６０と移動子５０との間で、
対向する線状電極間に同極性の電圧が印加されているよ
うな位置関係に、固定子６０と移動子５０とがあるとき
には、垂直方向の浮上力が発生する。この浮上力が固定
子６０及び移動子５０間の摩擦を軽減するので、移動子
５０は固定子６０上を動かされる。また、移動子５０の
負荷が一定であれば、位相差δは一定に保たれるので、
移動子５０は、２進行波の移動速度の差に等しい以下の
式で示す移動速度ｕａで移動する。ｕａ＝ｕ１−ｕ２＝（ω１−ω２／２π）λ このように、第３実施例の構成によれば、第２実施例と
同様の効果を得ることができる。加えて、電荷誘導形
（第１及び第２実施例）のものに較べて、移動子の電荷
を高速に制御できる上、帯電粒子の付着等によるノイズ
にも強いため、移動子の高速移動を達成でき、大出力を
一段と確実に抽出し得る。

【００２６】以上、この発明の実施例を図面により詳述
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があってもこの発明に含まれる。例えば、導電性線
材と絶縁性線材との織物組織状とは、平織でもよいが綾
織、朱子織の組み合わせ方でもよい。また、絶縁性線材
の本数は固定子又は可動子の面積の大きさ等により自由
に変えることができる。また、上述の実施例において
は、線径が８０μｍの導電性線材を用いることとした
が、この線径に限定されるものではない。例えば、１０
μｍ〜数ｍのものでもよいし、これ以外の範囲のもので
もよい。また、絶縁性線材も、例えば２０μｍ〜１００
μｍのものでもよいし、これ以外の範囲のものでもよ
い。同様にして、上述の実施例では電極ピッチ幅を２０
０μｍで示したが、これに限定されるものではない。例
えば、８０μｍ〜３００μｍのものでもよいし、１ｍｍ
〜２ｍｍでもよいし、これ以外の範囲のものでもよい。

【００２７】また、上述の実施例においては、電極部の
表面を上部ポリイミドフィルムで被覆する場合について
述べたが、上部ポリイミドフィルムに代えて、電極部の
表面に絶縁ワニス等の絶縁被覆材を塗布することによっ
ても、移動子の移動（又は摺動）を円滑にすることがで
きる。また、上述の第１及び第２実施例においては、移
動子として、高抵抗性誘電体フィルム（ドーピング処理
されたＰＥＴフィルム）を用いたが、電界を取り去って
も、長い間、分極状態を保持する誘電体フィルムであれ
ば、ドーピング処理をすることなく、そのまま移動子の
素材として用いることができる。後者の場合において
は、電極電荷によって誘導される電荷は、分極電荷であ
るが、真電荷の場合と同様に、静電駆動力が発生する。
また、上記したドーピング処理等により高抵抗性誘電体
フィルムを得る代わりに、例えば、厚さ１２μｍ程度の
ＰＥＴフィルムに、カーボンとウレタン樹脂との混合物
を薄く塗布することにより、ＰＥＴフィルムの表面抵抗
率を１０¹²〜１０¹⁵Ω／□に調整しても良い。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の構成に
よれば、電極と給電線とを絶縁被覆を施された導電性線
材で連続して形成したので、同一相の電極及び給電線を
固定子又は移動子の同一平面上に設けることができる。
したがって、線状電極を有する固定子又は移動子の厚み
を薄くすることができるとともに、電極や給電線を形成
する導電性線材の径を小さくすることにより、固定子又
は移動子の外形を小さくすることができる。また、スル
ーホール加工等の必要がないため、製品のコストを低く
することができる。また、固定子又は移動子を電極を組
み合わせた織物組織状とすることにより、固定子又は移
動子の形を自由に変形できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例である誘導電荷型静電ア
クチュエータの固定子部分を中心とした構成図である。

【図２】同静電アクチュエータ全体示す斜視図である。

【図３】同固定子及移動子の正面図（図２を矢印Ｘの方
向から見た図）である。

【図４】同静電アクチュエータの動作を説明する図であ
る。

【図５】この発明の第２実施例である誘導電荷型静電ア
クチュエータの固定子の平面図である。

【図６】図５のＳ部分を拡大した図である。

【図７】図６のＹ−Ｙ線に沿う断面図である。

【図８】この発明の第３実施例である流駆動型静電アク
チュエータの固定子及び移動子を示す正面図である。

【図９】同静電アクチュエータの動作を説明する図であ
る。

【図１０】同静電アクチュエータの移動子と固定子との
位相の関係を示す図である。

【図１１】従来の静電アクチュエータの固定子の電極を
示す図である。

【符号の説明】

１０，１０ａ，６０固定子１１電極部１２給電部２０，５０移動子３０駆動制御装置５１移動子線状電極（第１の線状電極）６１固定子線状電極（第２の線状電極）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】抵抗体層又は／及び誘電体層を有する移
動可能な移動子と、この移動子の移動する方向に、複数
相の単位で繰り返して配列された複数の線状電極を有す
る固定子と、前記複数の線状電極に電源を供給する駆動
制御装置とを備える静電アクチュエータであって、前記固定子の同一相の複数の線状電極を、絶縁被覆を施
された導電性線材で連続して形成したことを特徴とする
静電アクチュエータ。
【請求項２】縦方向を向く複数の前記線状電極を横方
向に所定のピッチ幅で配列し、横方向を向く複数の絶縁
性線材のそれぞれで前記線状電極のそれぞれと組み合わ
せて、前記固定子に、前記線状電極を織物組織状に組み
込んだことを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエ
ータ。
【請求項３】複数相の単位で繰り返して配列された第
１の線状電極を有する移動子と、この移動子の第１の線
状電極と対向して、複数相の単位で繰り返し配列された
第２の線状電極を有する固定子と、前記第１及び第２の
線状電極に電源を供給する駆動制御装置とを備える静電
アクチュエータであって、前記移動子の同一相の複数の第１の線状電極、及び、前
記固定子の同一相の複数の第２の線状電極を、それぞ
れ、絶縁被覆を施された導電性線材で連続して形成した
ことを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項４】縦方向を向く複数の前記第１の線状電極
を横方向に所定のピッチ幅で配列し、横方向を向く複数
の第１の絶縁性線材のそれぞれで前記第１の線状電極の
それぞれと組み合わせて、前記移動子に、前記第１の線
状電極を織物組織状に組み込むとともに、縦方向を向く複数の前記第２の線状電極を横方向に所定
のピッチ幅で配列し、横方向を向く複数の第２の絶縁性
線材のそれぞれで前記第２の線状電極のそれぞれと組み
合わせて、前記固定子に、前記第２の線状電極を織物組
織状に組み込んだことを特徴とする請求項２記載の静電
アクチュエータ。