JPWO2015046319A1 - In合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びIn合金膜 - Google Patents
In合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びIn合金膜 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015046319A1 JPWO2015046319A1 JP2015539329A JP2015539329A JPWO2015046319A1 JP WO2015046319 A1 JPWO2015046319 A1 JP WO2015046319A1 JP 2015539329 A JP2015539329 A JP 2015539329A JP 2015539329 A JP2015539329 A JP 2015539329A JP WO2015046319 A1 JPWO2015046319 A1 JP WO2015046319A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- sputtering target
- film
- atomic
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 136
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims abstract description 130
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 62
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 51
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 44
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 28
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 16
- 229910018182 Al—Cu Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910000905 alloy phase Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 129
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 38
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 18
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 10
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 7
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 7
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910000807 Ga alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910002059 quaternary alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001887 electron backscatter diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C28/00—Alloys based on a metal not provided for in groups C22C5/00 - C22C27/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
- C23C14/185—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/032—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only compounds not provided for in groups H01L31/0272 - H01L31/0312
- H01L31/0322—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only compounds not provided for in groups H01L31/0272 - H01L31/0312 comprising only AIBIIICVI chalcopyrite compounds, e.g. Cu In Se2, Cu Ga Se2, Cu In Ga Se2
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
このIn合金スパッタリングターゲットは、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。In合金スパッタリングターゲットは、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有してもよい。このIn合金膜は、Alを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。In合金膜は、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有してもよい。
Description
本発明は、スパッタリング法を用いて、Inを主成分とする薄膜を形成する際に使用されるIn合金スパッタリングターゲット及びその製造方法と、In合金膜とに関する。
本願は、2013年9月26日に日本に出願された特願2013−199367号及び2014年4月11日に日本に出願された特願2014−081765号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本願は、2013年9月26日に日本に出願された特願2013−199367号及び2014年4月11日に日本に出願された特願2014−081765号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
近年、In又はIn合金からなるスパッタリングターゲットが実用に供せられている。例えば、CIGS化合物半導体を具備する薄膜太陽電池の製造方法は、先ず、ソーダライムガラス基板上に、Mo電極層を形成する工程と、このMo電極層上に、Cu−In−Ga−Se四元系合金膜からなる光吸収層を形成する工程と、このCu−In−Ga−Se四元系合金膜からなる光吸収層上に、ZnS、CdSなどからなるバッファ層を形成する工程と、さらに、このバッファ層上に、透明電極層を形成する工程を有する。CIGS系化合物薄膜太陽電池は、この様な基本構造を有している。
上記のCu−In−Ga−Se四元系合金膜からなる光吸収層の形成方法としては、蒸着法により成膜する方法が知られている。この方法により得られたCu−In−Ga−Se四元系合金膜からなる光吸収層は、高いエネルギー変換効率が得られるという利点もある。しかし、この蒸着法によると、成膜速度が遅く、大面積の化合物薄膜を成膜する場合には、膜厚の面内分布の均一性が不足している。そのために、セレン化法によって、Cu−In−Ga−Se四元系合金膜からなる光吸収層を形成する方法が提案されている。
上記のCu−In−Ga−Se四元系合金膜をセレン化法で成膜する方法は、先ず、Cu−Ga二元系合金スパッタリングターゲットを使用してスパッタリングすることにより、Mo電極層上に、Cu−Ga二元系合金膜を成膜する工程と、Inスパッタリングターゲットを使用したスパッタリングにより、Cu−Ga二元系合金膜上に、In膜を成膜する工程を有する。ここで得られたCu−Ga二元系合金膜及びIn膜からなる積層膜、即ち、前駆体であるプリカーサー膜が形成される。このプリカーサー膜を、Se雰囲気中で熱処理して、Cu−In−Ga−Se四元系合金膜を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
Inは低融点で表面張力が大きいという物性を有する。Inスパッタリングターゲットを使用したスパッタリングにより、In膜を形成する際、前記Inの物性に起因して、Inが粒状に成長してしまう。これにより、不連続に隙間を有する粗い島状のIn膜が表面に生成されることが報告されている(例えば、非特許文献1、2を参照)。
一般にInスパッタリングターゲットは、鋳造法により得たInインゴットから作製することができるが、In結晶粒径が大きくなる。このため、スパッタリング時に異常放電やパーティクルが発生しやすくなり、均一なIn膜が得られないという問題があった。この異常放電やパーティクルの発生を低減するには、In結晶粒径を小さくすることが有効である。しかし、このInインゴットを圧延することにより、大きいIn結晶粒を破壊しても、Inの融点が低いことから、塑性加工の加工熱で直ぐに結晶成長してしまう。このため、結晶粒径が2mm以下のInスパッタリングターゲットを得ることが困難であった。
一方、上述のように、In膜をスパッタリング法で形成すると、Inが島状に凝集して不連続層が形成されるようになる。例えば、Cu−Ga合金膜上にIn膜を積層する場合には、Inで覆われる部分とInで覆われない部分が形成される。この様なInの島状の凝集層が形成されると、その後のセレン化処理時に、Inのない箇所がCuリッチとなって、低抵抗のCu−Se化合物が局所的に生成されることになる。結果的に、光吸収層の成分組成にばらつきが生じ、太陽電池の性能低下をもたらす。
この島状の凝集層のない平坦なIn膜を得るためのスパッタリング条件を検討した結果、50nm程度の比較的薄い膜厚では、この島状凝集層が発生せず、平坦な膜が得られることがわかった。しかしながら、プリカーサーとして用いられるIn膜の膜厚は500nm程度であるのが一般的であるため、この方法では薄いIn膜を多数積層しなければならず、生産性の向上に問題がある。
別の方法として、CuGaスパッタリングターゲットと、Inスパッタリングターゲットとを用い、コスパッタリングしてプリカーサー膜を成膜する方法(非特許文献1、2など)も考えられる。しかし、コスパッタリングは、通常、バッチ方式で処理が行われており、インライン方式のスパッタリングには適していないため、生産性の点で問題がある。
別の方法として、CuGaスパッタリングターゲットと、Inスパッタリングターゲットとを用い、コスパッタリングしてプリカーサー膜を成膜する方法(非特許文献1、2など)も考えられる。しかし、コスパッタリングは、通常、バッチ方式で処理が行われており、インライン方式のスパッタリングには適していないため、生産性の点で問題がある。
Hyeonwook Park, etc., "Effect of precursor structure on Cu(InGa)Se2 formation by reactive annealing", Thin Solid Film, Vol. 519 (2011) 7245-7249, Fig. 2(a), (c) [journal homepage: www.elesevier.com/locate/tsf]
S. Merdes, etc., "Influence of precursor stacking on the absorber growth in Cu(InGa)S2 based solar cells prepared by a rapid thermal process", Thin Solid Film, Vol. 519 (2011) 7189-7192, Fig. 1(a) [journal homepage: www.elesevier.com/locate/tsf]
本発明は、スパッタリング時の異常放電やパーティクルの発生を低減でき、かつIn膜を成膜するときにInの島状凝集層の形成を抑制できるIn合金スパッタリングターゲット及びその製造方法と、In合金膜とを提供することを目的とする。
本発明者らは、InスパッタリングターゲットのIn結晶粒を微細化することにより、異常放電の問題を解決できることに着目し、Inスパッタリングターゲットについて検討した。その結果、Inに固溶しないAlを添加することで、微細なAl粒子がIn素地に分散し、Inの結晶粒の成長を抑えられることが判明した。さらに、Cuを添加することで、AlCu合金又はAlCuIn合金を生成できる。これらの合金により、Alが均一に分散しやすくなり、Inの結晶粒の成長を抑え、In粒子を微細化できることが判明した。
そこで、Inを主成分とし、少量のAlを添加したIn合金スパッタリングターゲットを種々作製した。これらのIn合金スパッタリングターゲットを用いて、直流(DC)スパッタリングを行うと、異常放電やパーティクルの発生を低減できた。また、このスパッタリングターゲットを用いてIn合金膜を成膜したところ、島状の凝集層は、形成され難く、面内均一性を有するIn合金膜が得られることが確認された。さらに、Inを主成分とし、Al及びCuを添加したIn合金スパッタリングターゲットを作製した。このIn合金ターゲットを用いたDCスパッタリングにおいても、異常放電やパーティクルの発生を低減できた。このスパッタリングターゲットを用いてIn合金膜を成膜したところ、島状の凝集層は、形成され難く、面内均一性を有するIn合金膜が得られることが確認された。
本発明は、上記知見から得られたものであり、前記課題を解決するために以下の要件を有する。
(1)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(2)前記(1)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中にAl相(Al粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(3)前記(2)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記Al相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(4)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第1の態様は、溶解したIn中にAl粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(5)本発明のIn合金膜の第1の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
(6)本発明のIn合金膜の第2の態様は、前記(1)〜(3)のいずれかに記載のスパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
(7)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第2の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(8)前記(7)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中に、少なくともAlとCuを含む合金相(合金粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(9)前記(8)のInスパッタリングターゲットは、前記合金相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(10)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第2の態様は、溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(11)本発明のIn合金膜の第3の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
(12)本発明のIn合金膜の第4の態様は、前記(7)〜(9)のいずれかに記載のスパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
(1)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(2)前記(1)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中にAl相(Al粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(3)前記(2)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記Al相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(4)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第1の態様は、溶解したIn中にAl粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(5)本発明のIn合金膜の第1の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
(6)本発明のIn合金膜の第2の態様は、前記(1)〜(3)のいずれかに記載のスパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
(7)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第2の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(8)前記(7)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中に、少なくともAlとCuを含む合金相(合金粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(9)前記(8)のInスパッタリングターゲットは、前記合金相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(10)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第2の態様は、溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(11)本発明のIn合金膜の第3の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
(12)本発明のIn合金膜の第4の態様は、前記(7)〜(9)のいずれかに記載のスパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1,2の態様は、Alを含有するため、Inの結晶粒の成長が抑えられ、In素地の平均結晶粒径が500μm以下である。このため、スパッタリング中における過度な異常放電を抑制することができる。これにより、スパッタリングによって形成されるIn膜の膜質が改善され、均一なIn膜が得られる。このため、本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1,2の態様は、CIGS系化合物薄膜太陽電池における光吸収層の形成に有効である。
(第1の実施形態)
本実施形態のIn合金スパッタリングターゲットは、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。
Al量は、好ましくは1〜20原子%である。
Al量が、25原子%を超えて多くなると、スパッタリングによって形成された膜中のAlの偏析が大きくなり、得られたスパッタ膜の平坦性が悪化する。一方、Al量が、0.5原子%未満であると、In膜の島状凝集を抑制できない。
本実施形態のIn合金スパッタリングターゲットは、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。
Al量は、好ましくは1〜20原子%である。
Al量が、25原子%を超えて多くなると、スパッタリングによって形成された膜中のAlの偏析が大きくなり、得られたスパッタ膜の平坦性が悪化する。一方、Al量が、0.5原子%未満であると、In膜の島状凝集を抑制できない。
スパッタリングターゲットのIn素地中にAl粒子(Al相)が分散し、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が小さくなる。In素地の平均結晶粒径は、好ましくは500μm以下であり、より好ましくは0.1μm以上400μm以下である。
ここで、Alを含むInスパッタリングターゲットを用いて直流(DC)スパッタリングするとき、In素地の結晶粒径が大きいと、粗大なIn結晶粒が、異常放電やノジュールの発生の要因となる。In素地の平均結晶粒径が500μm以下であれば、過度な異常放電は発生しない。
Al粒子の平均粒径は、好ましくは350μm以下であり、より好ましくは0.1〜350μmであり、最も好ましくは0.1〜150μmである。Al粒子が粗大でないことにより、異常放電が起こり難くなる。
ここで、Alを含むInスパッタリングターゲットを用いて直流(DC)スパッタリングするとき、In素地の結晶粒径が大きいと、粗大なIn結晶粒が、異常放電やノジュールの発生の要因となる。In素地の平均結晶粒径が500μm以下であれば、過度な異常放電は発生しない。
Al粒子の平均粒径は、好ましくは350μm以下であり、より好ましくは0.1〜350μmであり、最も好ましくは0.1〜150μmである。Al粒子が粗大でないことにより、異常放電が起こり難くなる。
本実施形態のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法は、溶解したIn中にAl粉末を投入する工程を有する。
Al量が多いと、スパッタリングターゲットは偏晶系合金となるため、AlとInの融液が2相に分離し、Alの偏析量が多くなる。これにより、Alが無い部分のIn素地の結晶粒径が大きくなる。一方、Al量が少ないと、In素地の結晶粒の微細化の効果が薄くなる。そこで、本実施形態のInスパッタリングターゲットの製造方法では、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、In素地の平均結晶粒径が500μm以下であり、Alの平均粒径が350μm以下であるInスパッタリングターゲットが得られるように、In及びAlを溶解して溶湯を作製する工程(溶解したIn中にAl粉末を投入する工程)と、前記溶湯をバッキングプレート上に鋳込み、冷却する工程を有する。
溶湯を作製する工程では、Al原料として、平均粒径が350μm以下の微細なAl粉を添加する。これにより、Inの溶湯中に微細なAl粒子(Al相)を均一に分散させることができ、Alの偏析を抑えることができる。Al粉の平均粒径は、好ましくは0.1〜350μmであり、より好ましくは0.1〜150μmである。
また、この溶湯を冷却する工程においては、自然冷却による放冷であっても、溶湯中に微細なAl粒子が分散していることにより、In結晶粒の成長を抑制することができる。しかし、あまり冷却速度が遅いと、In結晶粒が成長する可能性があり、Inの結晶粒径が大きくなってしまう。このため、In結晶粒の成長を抑制し、その粗大化を防止するには、この溶湯の冷却においては、自然冷却より早い冷却速度で冷却することが好ましい。冷却速度は、好ましくは5℃/min以上であり、より好ましくは30℃/min以上である。冷却速度の上限は特に制限されず、溶湯の冷却を水冷で行ってもよい。
Al量が多いと、スパッタリングターゲットは偏晶系合金となるため、AlとInの融液が2相に分離し、Alの偏析量が多くなる。これにより、Alが無い部分のIn素地の結晶粒径が大きくなる。一方、Al量が少ないと、In素地の結晶粒の微細化の効果が薄くなる。そこで、本実施形態のInスパッタリングターゲットの製造方法では、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、In素地の平均結晶粒径が500μm以下であり、Alの平均粒径が350μm以下であるInスパッタリングターゲットが得られるように、In及びAlを溶解して溶湯を作製する工程(溶解したIn中にAl粉末を投入する工程)と、前記溶湯をバッキングプレート上に鋳込み、冷却する工程を有する。
溶湯を作製する工程では、Al原料として、平均粒径が350μm以下の微細なAl粉を添加する。これにより、Inの溶湯中に微細なAl粒子(Al相)を均一に分散させることができ、Alの偏析を抑えることができる。Al粉の平均粒径は、好ましくは0.1〜350μmであり、より好ましくは0.1〜150μmである。
また、この溶湯を冷却する工程においては、自然冷却による放冷であっても、溶湯中に微細なAl粒子が分散していることにより、In結晶粒の成長を抑制することができる。しかし、あまり冷却速度が遅いと、In結晶粒が成長する可能性があり、Inの結晶粒径が大きくなってしまう。このため、In結晶粒の成長を抑制し、その粗大化を防止するには、この溶湯の冷却においては、自然冷却より早い冷却速度で冷却することが好ましい。冷却速度は、好ましくは5℃/min以上であり、より好ましくは30℃/min以上である。冷却速度の上限は特に制限されず、溶湯の冷却を水冷で行ってもよい。
本実施形態のIn合金膜は、Alを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。
Al量は、好ましくは3〜23原子%である。
本実施形態のIn合金膜は、本実施形態のスパッタリングターゲットを用いて成膜される。
このため、In合金膜中のAlの偏析が小さく、かつ膜の平坦性に優れる。また、島状凝集がほとんど無い。
Al量は、好ましくは3〜23原子%である。
本実施形態のIn合金膜は、本実施形態のスパッタリングターゲットを用いて成膜される。
このため、In合金膜中のAlの偏析が小さく、かつ膜の平坦性に優れる。また、島状凝集がほとんど無い。
(第2の実施形態)
本実施形態のIn合金スパッタリングターゲットは、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。
Al量は、好ましくは1〜10原子%である。
Cu量は、好ましくは1〜10原子%である。
AlとCuとが含有されると、AlとCuとの含有量比によって、350μm以下の微細なAlCu合金粒子(AlCu合金相)又はAlCuIn合金粒子(AlCuIn合金相)が生成される。このCuの添加により、添加されたAlが均一に分散しやすくなり、Alの偏析が抑えられ、さらには、In結晶粒の微細化が容易となる。そこで、スパッタリングターゲット中のCu量を、Al量と同等か、それ以下とすることが好ましい。Al量に対するCu量の比(Cu量/Al量)は、好ましくは0.1〜0.5であり、より好ましくは0.3〜0.5である。
Al及びCuの量を上述した範囲に限定している理由は、Alのみの添加の場合(第1の実施形態)と同様である。
本実施形態のIn合金スパッタリングターゲットは、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。
Al量は、好ましくは1〜10原子%である。
Cu量は、好ましくは1〜10原子%である。
AlとCuとが含有されると、AlとCuとの含有量比によって、350μm以下の微細なAlCu合金粒子(AlCu合金相)又はAlCuIn合金粒子(AlCuIn合金相)が生成される。このCuの添加により、添加されたAlが均一に分散しやすくなり、Alの偏析が抑えられ、さらには、In結晶粒の微細化が容易となる。そこで、スパッタリングターゲット中のCu量を、Al量と同等か、それ以下とすることが好ましい。Al量に対するCu量の比(Cu量/Al量)は、好ましくは0.1〜0.5であり、より好ましくは0.3〜0.5である。
Al及びCuの量を上述した範囲に限定している理由は、Alのみの添加の場合(第1の実施形態)と同様である。
In合金スパッタリングターゲットのIn素地中に、少なくともAlとCuを含む合金粒子(Al合金相)が分散し、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が小さくなる。In素地の平均結晶粒径は、好ましくは500μm以下であり、より好ましくは0.1μm以上100μm以下である。
Alのみが添加された第1の実施形態のIn合金スパッタリングターゲットと同様に、直流(DC)スパッタリングするとき、In素地の結晶粒径が大きいと、粗大なIn結晶粒が、異常放電やノジュールの発生の要因となる。In素地の平均結晶粒径が500μm以下であれば、過度な異常放電は発生しない。
合金粒子の平均粒径は、好ましくは350μm以下であり、より好ましくは0.1〜350μmであり、最も好ましくは0.1〜150μmである。合金粒子が粗大でないことにより、異常放電が起こり難くなる。
Alのみが添加された第1の実施形態のIn合金スパッタリングターゲットと同様に、直流(DC)スパッタリングするとき、In素地の結晶粒径が大きいと、粗大なIn結晶粒が、異常放電やノジュールの発生の要因となる。In素地の平均結晶粒径が500μm以下であれば、過度な異常放電は発生しない。
合金粒子の平均粒径は、好ましくは350μm以下であり、より好ましくは0.1〜350μmであり、最も好ましくは0.1〜150μmである。合金粒子が粗大でないことにより、異常放電が起こり難くなる。
本実施形態のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法は、In,Al,及びCuを溶解して溶湯を作製する工程(溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程)と、前記溶湯をバッキングプレート上に鋳込み、冷却する工程を有する。
溶湯を作製する工程において、原料としてAl粉の代わりにAl−Cu合金粉末を用いる以外は、本実施形態の製造条件は、第1の実施形態の製造条件と同様である。
Al−Cu合金粉末の平均粒径は、好ましくは0.1〜350μmであり、より好ましくは0.1〜150μmである。
溶湯を作製する工程において、原料としてAl粉の代わりにAl−Cu合金粉末を用いる以外は、本実施形態の製造条件は、第1の実施形態の製造条件と同様である。
Al−Cu合金粉末の平均粒径は、好ましくは0.1〜350μmであり、より好ましくは0.1〜150μmである。
本実施形態のIn合金膜は、Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。
Al量は、好ましくは1〜10原子%である。
Cu量は、好ましくは1〜10原子%である。
本実施形態のIn合金膜は、本実施形態のスパッタリングターゲットを用いて成膜される。
このため、In合金膜中のAlの偏析が小さく、かつ膜の平坦性に優れる。また、島状凝集がほとんど無い。
Al量は、好ましくは1〜10原子%である。
Cu量は、好ましくは1〜10原子%である。
本実施形態のIn合金膜は、本実施形態のスパッタリングターゲットを用いて成膜される。
このため、In合金膜中のAlの偏析が小さく、かつ膜の平坦性に優れる。また、島状凝集がほとんど無い。
第1,2の実施形態のIn合金スパッタリングターゲットは、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有する。In素地の平均結晶粒径が500μm以下であり、さらには、Al粒子(Al相)又はAlとCuを含む合金粒子(Al合金相)の平均粒径が350μm以下である。このIn合金スパッタリングターゲットを用いてスパッタリングすれば、Alが、0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金膜を成膜することができる。
In合金スパッタリングターゲットはAlを含むため、Inの結晶粒の成長が抑えられ、In素地の平均結晶粒径が500μm以下である。このため、スパッタリング中における過度な異常放電を抑制することができる。これにより、スパッタリングによって形成されるIn膜の膜質が改善され、均一なIn膜が得られる。このため、第1,2の実施形態のIn合金スパッタリングターゲットは、CIGS系化合物薄膜太陽電池における光吸収層の形成に有効である。
In合金スパッタリングターゲットはAlを含むため、Inの結晶粒の成長が抑えられ、In素地の平均結晶粒径が500μm以下である。このため、スパッタリング中における過度な異常放電を抑制することができる。これにより、スパッタリングによって形成されるIn膜の膜質が改善され、均一なIn膜が得られる。このため、第1,2の実施形態のIn合金スパッタリングターゲットは、CIGS系化合物薄膜太陽電池における光吸収層の形成に有効である。
次に、実施形態のIn合金スパッタリングターゲット及びその製造方法について、以下に、実施例により具体的に説明する。
〔第1実施例〕
先ず、In合金スパッタリングターゲットを製造するために、ターゲット製造原料として、In(純度4N以上)と、Al(純度4N以上)とを用意した。ここで、Alに関しては、平均粒径が350μm以下の微粉末を用いた。表1に示されたAl濃度となるように、InとAlをそれぞれ秤量した。
図1に示されたように、誘導炉IF内にカーボンるつぼMPを配置した。まず、カーボンるつぼMPに所定量のInを投入し、誘導炉(Ar中)にてInを溶解した。Inが溶解した後に、750℃付近で、Al粉末を投入した。Alが溶落した後に、黒鉛棒で撹拌した。
次いで、Alが溶落して得られたIn溶湯MMを、バッキングプレートBP上に配置された黒鉛製の鋳型MCに流し込み、インゴットを鋳造した。このときの冷却の仕方として、以下の3つの手順のうちいずれかを行った。(a)そのまま放冷する(放冷)。(b)冷し金を当てて冷却する(冷し金冷却)。(c)水をプレートに当てる(水冷)。
その後、冷却されたインゴットに対して、旋盤で機械加工を施して、実施例1〜9のIn合金スパッタリングターゲットを作製した。
なお、表1には、添加元素Alの量(原料中のAl濃度)(濃度:at%)のみが示されているが、Inの量は、その残部であるため、表示されていない。すなわち、原料中の残部は、In及び不可避不純物である。
先ず、In合金スパッタリングターゲットを製造するために、ターゲット製造原料として、In(純度4N以上)と、Al(純度4N以上)とを用意した。ここで、Alに関しては、平均粒径が350μm以下の微粉末を用いた。表1に示されたAl濃度となるように、InとAlをそれぞれ秤量した。
図1に示されたように、誘導炉IF内にカーボンるつぼMPを配置した。まず、カーボンるつぼMPに所定量のInを投入し、誘導炉(Ar中)にてInを溶解した。Inが溶解した後に、750℃付近で、Al粉末を投入した。Alが溶落した後に、黒鉛棒で撹拌した。
次いで、Alが溶落して得られたIn溶湯MMを、バッキングプレートBP上に配置された黒鉛製の鋳型MCに流し込み、インゴットを鋳造した。このときの冷却の仕方として、以下の3つの手順のうちいずれかを行った。(a)そのまま放冷する(放冷)。(b)冷し金を当てて冷却する(冷し金冷却)。(c)水をプレートに当てる(水冷)。
その後、冷却されたインゴットに対して、旋盤で機械加工を施して、実施例1〜9のIn合金スパッタリングターゲットを作製した。
なお、表1には、添加元素Alの量(原料中のAl濃度)(濃度:at%)のみが示されているが、Inの量は、その残部であるため、表示されていない。すなわち、原料中の残部は、In及び不可避不純物である。
〔比較例〕
実施形態に相当する実施例と比較するため、下記の表1に示すように、実施例の場合と同様の手法により、比較例1〜4のスパッタリングターゲットを作製した。比較例1,2は、Alが添加されておらずInのみからなるInスパッタリングターゲットである。比較例3は、0.3at%のAlが添加されたIn合金スパッタリングターゲットである。比較例4は、30.0at%のAlが添加されたIn合金スパッタリングターゲット(ターゲット中のAl濃度:28.4at%)である。
実施形態に相当する実施例と比較するため、下記の表1に示すように、実施例の場合と同様の手法により、比較例1〜4のスパッタリングターゲットを作製した。比較例1,2は、Alが添加されておらずInのみからなるInスパッタリングターゲットである。比較例3は、0.3at%のAlが添加されたIn合金スパッタリングターゲットである。比較例4は、30.0at%のAlが添加されたIn合金スパッタリングターゲット(ターゲット中のAl濃度:28.4at%)である。
次に、作製した実施例1〜9及び比較例1〜4のInスパッタリングターゲット及びIn合金スパッタリングターゲットについて、スパッタリングターゲット中におけるAl濃度と、Al粒子の平均粒径と、In結晶粒の平均結晶粒径と、スパッタリング時の異常放電回数とを測定した。その測定方法は、以下の様である。
<ターゲット中のAl濃度の測定>
得られたIn合金スパッタリングターゲットについて、任意の3箇所でICP発光分光分析装置を用いて定量分析を行い、Al濃度(at%)を測定した。測定値の平均値が、表1の「ターゲット組成測定値、Al濃度平均値(at%)」欄に示されている。
得られたIn合金スパッタリングターゲットについて、任意の3箇所でICP発光分光分析装置を用いて定量分析を行い、Al濃度(at%)を測定した。測定値の平均値が、表1の「ターゲット組成測定値、Al濃度平均値(at%)」欄に示されている。
<Al平均粒径の測定>
得られたスパッタリングターゲットの表面(旋盤加工面)を王水で1分程度エッチングし、次いで純水で洗浄した。その後、表面上の任意の5箇所において、倍率200倍で、電子線マイクロアナライザ(EPMA)によるマッピング分析を行った。明確な組織が確認できない場合には、王水のエッチングを追加で行った。
図2は、EPMAによるマッピング分析で得られた元素分布像の一例であり、(a)は、反射電子組成像(COMPO像)であり、(b)は、Al分布を示す像であり、(c)は、In分布を示す像である。得られたAlの分布像((図2(b))の1画像から、Al粒子径を測定し、Al粒子(Al相)の平均粒径を求めた。その測定結果が、表1の「Al平均粒径(μm)」欄に示されている。
得られたスパッタリングターゲットの表面(旋盤加工面)を王水で1分程度エッチングし、次いで純水で洗浄した。その後、表面上の任意の5箇所において、倍率200倍で、電子線マイクロアナライザ(EPMA)によるマッピング分析を行った。明確な組織が確認できない場合には、王水のエッチングを追加で行った。
図2は、EPMAによるマッピング分析で得られた元素分布像の一例であり、(a)は、反射電子組成像(COMPO像)であり、(b)は、Al分布を示す像であり、(c)は、In分布を示す像である。得られたAlの分布像((図2(b))の1画像から、Al粒子径を測定し、Al粒子(Al相)の平均粒径を求めた。その測定結果が、表1の「Al平均粒径(μm)」欄に示されている。
<In平均結晶粒径の測定>
作製した実施例1〜8及び比較例1〜4のスパッタリングターゲットについて、耐水研磨紙にて機械研磨を行った。次いで、Cross section polisher(JEOL社製 SM−09010)により仕上げ研磨を行った。そして、EBSD測定装置(日立ハイテク社製 SU−70、TSL社製 OIM Data、Collection)と、解析ソフト(TSL社製 OIM Analysis Ver.5,31)によって、In素地中の結晶粒界を特定した。次いで結晶粒界の長さを測定し、結晶粒が真円であると仮定して直径を算出した。算出された直径の値の平均値を、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径とした。その測定結果が、表1の「In平均結晶粒径(μm)」欄に示されている。
作製した実施例1〜8及び比較例1〜4のスパッタリングターゲットについて、耐水研磨紙にて機械研磨を行った。次いで、Cross section polisher(JEOL社製 SM−09010)により仕上げ研磨を行った。そして、EBSD測定装置(日立ハイテク社製 SU−70、TSL社製 OIM Data、Collection)と、解析ソフト(TSL社製 OIM Analysis Ver.5,31)によって、In素地中の結晶粒界を特定した。次いで結晶粒界の長さを測定し、結晶粒が真円であると仮定して直径を算出した。算出された直径の値の平均値を、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径とした。その測定結果が、表1の「In平均結晶粒径(μm)」欄に示されている。
<異常放電回数の測定>
スパッタリングターゲットを、直径125mm、厚さ5mmとなるように、バッキングプレート上に作製した。このスパッタリングターゲットをスパッタ装置に取り付けた。スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧を5mTorrとし、直流(DC)電源にてスパッタ出力:200Wの条件でスパッタリングテストを実施した。スパッタリングを1時間連続して行った。この間、電源に付属するアークカウンターを用いて、スパッタ異常により生じた異常放電の回数をカウントした。この測定結果が、表1の「異常放電回数」欄に示されている。
スパッタリングターゲットを、直径125mm、厚さ5mmとなるように、バッキングプレート上に作製した。このスパッタリングターゲットをスパッタ装置に取り付けた。スパッタガスとしてArを用い、スパッタガス圧を5mTorrとし、直流(DC)電源にてスパッタ出力:200Wの条件でスパッタリングテストを実施した。スパッタリングを1時間連続して行った。この間、電源に付属するアークカウンターを用いて、スパッタ異常により生じた異常放電の回数をカウントした。この測定結果が、表1の「異常放電回数」欄に示されている。
次に、上述した実施例1〜8及び比較例1〜4のスパッタリングターゲットを用いて、以下の成膜条件により、In膜及びIn合金膜の成膜試験を行った。In膜及びIn合金膜の目標膜厚は、300nmである。
<成膜条件>
・基板:ガラス基板
・基板サイズ:20mm角
・電源:DC200W
・全圧:0.15Pa
・スパッタリングガス:Ar=50sccm
・ターゲット−基板(TS)距離:70mm
<成膜条件>
・基板:ガラス基板
・基板サイズ:20mm角
・電源:DC200W
・全圧:0.15Pa
・スパッタリングガス:Ar=50sccm
・ターゲット−基板(TS)距離:70mm
上記の成膜条件で得られたIn膜及びIn合金膜中のAl濃度を測定した。さらに、In膜及びIn合金膜の表面について、Inの島状凝集の発生の評価、即ち、In膜及びIn合金膜の平坦性の評価を行った。
<膜中Al濃度の測定>
得られたIn合金膜について、ICP発光分光分析装置を用いて、定量分析を行い、Al濃度(at%)を測定した。その結果が、表1の「膜中Al濃度(at%)」欄に示されている。
<膜中Al濃度の測定>
得られたIn合金膜について、ICP発光分光分析装置を用いて、定量分析を行い、Al濃度(at%)を測定した。その結果が、表1の「膜中Al濃度(at%)」欄に示されている。
<平坦性の評価方法>
得られた膜の表面を取り出し、例えば、電界放出型走査電子顕微鏡(FE−SEM)で表面を観察した。図3は、FE−SEMにより測定されたIn分布像の一例である。FE−SEMで取得した画像において、膜の中でInが欠損している部分、即ち、地肌の見えている部分(地の部分)の面積率を求め、島状凝集の発生の状態を評価した。ここでは、地肌の見えている部分が少ない程、膜の平坦性があるとして、以下のように評価した。
地の部分の面積率が30%より多い場合を、「C」(bad)と評価した。地の部分の面積率が15%より多く30%以下の場合を、「B」(good)と評価した。地の部分の面積率が15%以下の場合を、「A」(excellent)と評価した。
この評価結果は、表1における「平坦性」欄に示されている。
図4は、(a)In膜を用いて作製されたIn膜とCu−Ga合金膜を有する積層膜の断面写真、及び(b)5at%のAlを含有するIn−Al合金膜を用いて作製されたIn−Al合金膜とCu−Ga合金膜を有する積層膜の断面写真を示す。写真(a)では、Cu−Ga合金膜上に成膜されたIn膜に島状凝集が発生しており、膜の平坦性が悪いことが確認された。一方、写真(b)では、Cu−Ga合金膜上に成膜されたIn−Al合金膜において、島状凝集の発生が抑制されており、膜の平坦性が良好であることが確認された。
得られた膜の表面を取り出し、例えば、電界放出型走査電子顕微鏡(FE−SEM)で表面を観察した。図3は、FE−SEMにより測定されたIn分布像の一例である。FE−SEMで取得した画像において、膜の中でInが欠損している部分、即ち、地肌の見えている部分(地の部分)の面積率を求め、島状凝集の発生の状態を評価した。ここでは、地肌の見えている部分が少ない程、膜の平坦性があるとして、以下のように評価した。
地の部分の面積率が30%より多い場合を、「C」(bad)と評価した。地の部分の面積率が15%より多く30%以下の場合を、「B」(good)と評価した。地の部分の面積率が15%以下の場合を、「A」(excellent)と評価した。
この評価結果は、表1における「平坦性」欄に示されている。
図4は、(a)In膜を用いて作製されたIn膜とCu−Ga合金膜を有する積層膜の断面写真、及び(b)5at%のAlを含有するIn−Al合金膜を用いて作製されたIn−Al合金膜とCu−Ga合金膜を有する積層膜の断面写真を示す。写真(a)では、Cu−Ga合金膜上に成膜されたIn膜に島状凝集が発生しており、膜の平坦性が悪いことが確認された。一方、写真(b)では、Cu−Ga合金膜上に成膜されたIn−Al合金膜において、島状凝集の発生が抑制されており、膜の平坦性が良好であることが確認された。
以上の表1によれば、実施例1〜9のIn合金スパッタリングターゲットにおいて、いずれもAl粒子の平均粒径が350μm以下であって、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が500μm以下になっていることが確認された。そして、実施例1〜9のIn合金スパッタリングターゲットを用いたスパッタリングでは、異常放電の回数が1回以下であり、異常放電はほぼ発生しなかった。成膜されたIn合金膜のいずれにおいても、Inの島状凝集が抑制されていることが確認された。
一方、比較例1、2のInスパッタリングターゲットは、Alが添加されていない従来技術のスパッタリングターゲットであって、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が大きく、異常放電の回数も多かった。また平坦なIn膜も得られなかった。
比較例3のIn合金スパッタリングターゲットでは、Alの添加量が少ないため、In結晶粒の成長を抑制できず、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が大きくなった。このため、スパッタ中に異常放電が見られた。また平坦なIn膜が得られなかった。
比較例4のIn合金スパッタリングターゲットでは、Alの添加量が多すぎ、しかも、Al粒子の平均粒径が大きかった。このため、In結晶粒の成長を十分に抑制できず、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径は500μmを超えた大きさになった。このため、スパッタ中に異常放電が見られた。また平坦なIn合金膜が得られなかった。
比較例3のIn合金スパッタリングターゲットでは、Alの添加量が少ないため、In結晶粒の成長を抑制できず、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が大きくなった。このため、スパッタ中に異常放電が見られた。また平坦なIn膜が得られなかった。
比較例4のIn合金スパッタリングターゲットでは、Alの添加量が多すぎ、しかも、Al粒子の平均粒径が大きかった。このため、In結晶粒の成長を十分に抑制できず、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径は500μmを超えた大きさになった。このため、スパッタ中に異常放電が見られた。また平坦なIn合金膜が得られなかった。
以上の様に、第1の実施形態のIn合金スパッタリングターゲットでは、スパッタリング時の異常放電を皆無とすることができた。
このIn合金スパッタリングターゲットで成膜されたIn合金膜は、Alを、0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、膜質が改善され、均一で平坦であることを確認できた。
このIn合金スパッタリングターゲットで成膜されたIn合金膜は、Alを、0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、膜質が改善され、均一で平坦であることを確認できた。
〔第2実施例〕
上述した第1実施例は、Alのみが添加されたIn合金スパッタリングターゲットの場合(第1の実施形態)であったが、第2実施例では、Al及びCuが添加されたIn合金スパッタリングターゲットの場合(第2の実施形態)である。
上述した第1実施例は、Alのみが添加されたIn合金スパッタリングターゲットの場合(第1の実施形態)であったが、第2実施例では、Al及びCuが添加されたIn合金スパッタリングターゲットの場合(第2の実施形態)である。
先ず、In合金スパッタリングターゲットを製造するために、ターゲット製造原料として、In(純度4N以上)と、Al(純度4N以上)と、Cu(純度4N以上)とを用意した。そのうちAlとCuの原料を表2に示される組成比になるように所定量秤量した。所定量のAlとCuの原料を溶融してAl−Cu合金を鋳造した。このAl−Cuインゴットを粉砕し、Al−Cu合金原料とした。
まず、カーボンるつぼMPに所定量のInを投入し、誘導炉(Ar中)にてInを溶解した。Inが溶解した後に、750℃付近で、Al−Cu合金原料をカーボンるつぼMPに投入した。Al−Cu合金原料が溶落した後に、黒鉛棒で撹拌した。
得られた溶湯MMを、バッキングプレートBP上に配置された黒鉛製の鋳型MCに流し込み、インゴットを鋳造した。このときの冷却は、冷し金を当てる手段で行った。
その後、製造されたインゴットに対して、旋盤で機械加工を施して、実施例10〜18のIn合金スパッタリングターゲットを作製した。
なお、表2には、添加元素のAl及びCuの量(原料中のAl濃度及びCu濃度)(濃度:at%)のみが示されているが、Inの量は、その残部であるため、表示されていない。すなわち、原料中の残部は、In及び不可避不純物である。
まず、カーボンるつぼMPに所定量のInを投入し、誘導炉(Ar中)にてInを溶解した。Inが溶解した後に、750℃付近で、Al−Cu合金原料をカーボンるつぼMPに投入した。Al−Cu合金原料が溶落した後に、黒鉛棒で撹拌した。
得られた溶湯MMを、バッキングプレートBP上に配置された黒鉛製の鋳型MCに流し込み、インゴットを鋳造した。このときの冷却は、冷し金を当てる手段で行った。
その後、製造されたインゴットに対して、旋盤で機械加工を施して、実施例10〜18のIn合金スパッタリングターゲットを作製した。
なお、表2には、添加元素のAl及びCuの量(原料中のAl濃度及びCu濃度)(濃度:at%)のみが示されているが、Inの量は、その残部であるため、表示されていない。すなわち、原料中の残部は、In及び不可避不純物である。
〔比較例〕
実施形態に相当する実施例と比較するため、下記の表2に示すように、実施例の場合と同様の手法により、Al及びCuの添加量が実施形態の範囲外となる条件で、比較例5,6のIn合金スパッタリングターゲットを作製した。
実施形態に相当する実施例と比較するため、下記の表2に示すように、実施例の場合と同様の手法により、Al及びCuの添加量が実施形態の範囲外となる条件で、比較例5,6のIn合金スパッタリングターゲットを作製した。
次に、作製した実施例10〜18及び比較例5,6のIn合金スパッタリングターゲットについて、スパッタリングターゲット中におけるAl濃度及びCu濃度と、Al合金粒子(Al合金相)(AlCu合金相、AlCuIn合金相)の平均粒径と、In結晶粒の平均結晶粒径と、スパッタリング時の異常放電回数とを測定した。その測定方法は、上述した第1実施例の場合と同様であり、Al濃度平均値及びCu濃度平均値に係る測定結果が、表2の「ターゲット組成測定値」欄に示され、その他の測定結果が、表2の「Al合金相平均粒径(μm)」欄、「In平均結晶粒径(μm)」欄、「異常放電回数」欄に示されている。
次に、上述した実施例10〜18及び比較例5,6のIn合金スパッタリングターゲットを用いて、第1実施例で示した成膜条件により、In合金膜の成膜試験を行った。
上記成膜条件で得られたIn合金膜中のAl濃度及びCu濃度を測定した。さらに、第1実施例で述べた評価方法を用いて、In合金膜の表面について、Inの島状凝集の発生の評価、即ち、In合金膜の平坦性の評価を行った。その測定結果が、表2の「膜中Al濃度(at%)」と「膜中Cu濃度(at%)」の欄、及び「平坦性」欄に示されている。なお、平坦性の評価基準は、第1実施例の場合と同様である。
上記成膜条件で得られたIn合金膜中のAl濃度及びCu濃度を測定した。さらに、第1実施例で述べた評価方法を用いて、In合金膜の表面について、Inの島状凝集の発生の評価、即ち、In合金膜の平坦性の評価を行った。その測定結果が、表2の「膜中Al濃度(at%)」と「膜中Cu濃度(at%)」の欄、及び「平坦性」欄に示されている。なお、平坦性の評価基準は、第1実施例の場合と同様である。
以上の表2によれば、実施例10〜18のIn合金スパッタリングターゲットにおいて、いずれもAl合金粒子(Al合金相)の平均粒径が350μm以下であって、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が500μm以下になっていることが確認された。そして、実施例10〜18のIn合金スパッタリングターゲットを用いたスパッタリングでは、異常放電の回数が1回以下であり、異常放電はほぼ発生しなかった。成膜されたIn合金膜のいずれにおいても、Inの島状凝集が抑制されていることが確認された。
ここで、上述したように製造された実施例13のIn合金スパッタリングターゲットを代表例として、その分析結果を図5,6に示す。
図5は、EPMAによるマッピング分析で得られた元素分布像であり、(a)は、反射電子組成像(COMPO像)であり、(b)は、In分布を示す像であり、(c)は、Al分布を示す像であり、(d)は、Cu分布を示す像である。
図6は、X線回折(XRD)パターンを示す。図6の最上段のグラフは、全体の回折ピーク(スパッタリングターゲットのXRDパターン)を示している。中段のグラフには、Inに係る回折ピークを示し、最下段のグラフは、AlCu合金(Al4Cu9)に係る回折ピークを示す。
図5に示された元素分布画像における元素分布と図6のXRDパターンに現れた回折ピークとを併せて考慮すると、実施例13のIn合金スパッタリングターゲットでは、In素地中に、AlCu合金粒が分布していることが分かる。
図5は、EPMAによるマッピング分析で得られた元素分布像であり、(a)は、反射電子組成像(COMPO像)であり、(b)は、In分布を示す像であり、(c)は、Al分布を示す像であり、(d)は、Cu分布を示す像である。
図6は、X線回折(XRD)パターンを示す。図6の最上段のグラフは、全体の回折ピーク(スパッタリングターゲットのXRDパターン)を示している。中段のグラフには、Inに係る回折ピークを示し、最下段のグラフは、AlCu合金(Al4Cu9)に係る回折ピークを示す。
図5に示された元素分布画像における元素分布と図6のXRDパターンに現れた回折ピークとを併せて考慮すると、実施例13のIn合金スパッタリングターゲットでは、In素地中に、AlCu合金粒が分布していることが分かる。
一方、比較例5のIn合金スパッタリングターゲットでは、Al及びCuの添加量が多く、Alの偏析を抑制できていなかった。このため、In素地(In結晶粒)の平均結晶粒径が大きく、異常放電の回数も多かった。また平坦なIn合金膜も得られなかった。
比較例6のIn合金スパッタリングターゲットでは、Al及びCuの添加量が少ないため、Inの結晶粒の粗大化を抑制できず、異常放電回数も多かった。また平坦なIn合金膜も得られなかった。
比較例6のIn合金スパッタリングターゲットでは、Al及びCuの添加量が少ないため、Inの結晶粒の粗大化を抑制できず、異常放電回数も多かった。また平坦なIn合金膜も得られなかった。
以上の様に、第2の実施形態のIn合金スパッタリングターゲットでは、スパッタリング時の異常放電を皆無とすることができる。
このIn合金スパッタリングターゲットで成膜されたIn合金膜は、Alを、0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、膜質が改善され、均一で平坦であることを確認できた。
このIn合金スパッタリングターゲットで成膜されたIn合金膜は、Alを、0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、膜質が改善され、均一で平坦であることを確認できた。
本実施形態のスパッタリングターゲットは、スパッタリング中における過度な異常放電を抑制でき、均一で平坦なIn合金膜を製造できる。このため、本実施形態のスパッタリングターゲットは、CIGS系化合物薄膜太陽電池における光吸収層の製造工程に好適に適用できる。
BP バッキングプレート
IF 誘導炉
MC 黒鉛製鋳型
MM 溶湯
MP るつぼ
IF 誘導炉
MC 黒鉛製鋳型
MM 溶湯
MP るつぼ
本発明は、上記知見から得られたものであり、前記課題を解決するために以下の要件を有する。
(1)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、In素地中にAl相が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(2)前記(1)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記Al相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(3)本発明のIn合金膜の第1の態様は、前記(1)または(2)に記載のIn合金スパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
(4)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第2の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(5)前記(4)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中に、少なくともAlとCuを含む合金相(合金粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(6)前記(5)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記合金相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(7)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第1の態様は、溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(8)本発明のIn合金膜の第2の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
(9)本発明のIn合金膜の第3の態様は、前記(4)〜(6)のいずれかに記載のIn合金スパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
(1)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、In素地中にAl相が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(2)前記(1)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記Al相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(3)本発明のIn合金膜の第1の態様は、前記(1)または(2)に記載のIn合金スパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
(4)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第2の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(5)前記(4)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中に、少なくともAlとCuを含む合金相(合金粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(6)前記(5)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記合金相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(7)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第1の態様は、溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(8)本発明のIn合金膜の第2の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
(9)本発明のIn合金膜の第3の態様は、前記(4)〜(6)のいずれかに記載のIn合金スパッタリングターゲットを用いて成膜されることを特徴とする。
本発明は、上記知見から得られたものであり、前記課題を解決するために以下の要件を有する。
(1)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、In素地中にAl相が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(2)前記(1)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記Al相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(3)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第2の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(4)前記(3)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中に、少なくともAlとCuを含む合金相(合金粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(5)前記(4)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記合金相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(6)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第1の態様は、溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(7)本発明のIn合金膜の第1の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
(1)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第1の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有し、In素地中にAl相が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(2)前記(1)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記Al相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(3)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの第2の態様は、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする。
(4)前記(3)のIn合金スパッタリングターゲットは、In素地中に、少なくともAlとCuを含む合金相(合金粒子)が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする。
(5)前記(4)のIn合金スパッタリングターゲットは、前記合金相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする。
(6)本発明のIn合金スパッタリングターゲットの製造方法の第1の態様は、溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程を有し、Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とする。
(7)本発明のIn合金膜の第1の態様は、Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とする。
Claims (12)
- Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とするIn合金スパッタリングターゲット。
- In素地中にAl相が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする請求項1に記載のIn合金スパッタリングターゲット。
- 前記Al相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする請求項2に記載のIn合金スパッタリングターゲット。
- 溶解したIn中にAl粉末を投入する工程を有し、
Alを0.5〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とするIn合金スパッタリングターゲットの製造方法。 - Alを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とするIn合金膜。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットを用いて成膜されたIn合金膜。
- Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とするIn合金スパッタリングターゲット。
- In素地中に、少なくともAlとCuを含む合金相が分散し、前記In素地の平均結晶粒径が500μm以下であることを特徴とする請求項7に記載のIn合金スパッタリングターゲット。
- 前記合金相の平均粒径が、350μm以下であることを特徴とする請求項8に記載のIn合金スパッタリングターゲット。
- 溶解したIn中にAl−Cu合金粉末を投入する工程を有し、
Alを0.5〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有するIn合金スパッタリングターゲットを製造することを特徴とするIn合金スパッタリングターゲットの製造方法。 - Alを0.3〜25原子%含有し、さらに、Cuを0.3〜25原子%含有し、残部がIn及び不可避不純物からなる成分組成を有すること特徴とするIn合金膜。
- 請求項7〜9のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットを用いて成膜されたIn合金膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015539329A JP5871106B2 (ja) | 2013-09-26 | 2014-09-25 | In合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びIn合金膜 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013199367 | 2013-09-26 | ||
JP2013199367 | 2013-09-26 | ||
JP2014081765 | 2014-04-11 | ||
JP2014081765 | 2014-04-11 | ||
JP2015539329A JP5871106B2 (ja) | 2013-09-26 | 2014-09-25 | In合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びIn合金膜 |
PCT/JP2014/075405 WO2015046319A1 (ja) | 2013-09-26 | 2014-09-25 | In合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びIn合金膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5871106B2 JP5871106B2 (ja) | 2016-03-01 |
JPWO2015046319A1 true JPWO2015046319A1 (ja) | 2017-03-09 |
Family
ID=52743453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015539329A Expired - Fee Related JP5871106B2 (ja) | 2013-09-26 | 2014-09-25 | In合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びIn合金膜 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5871106B2 (ja) |
TW (1) | TW201527562A (ja) |
WO (1) | WO2015046319A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6798852B2 (ja) | 2015-10-26 | 2020-12-09 | 三菱マテリアル株式会社 | スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
WO2017073514A1 (ja) * | 2015-10-26 | 2017-05-04 | 三菱マテリアル株式会社 | スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04263143A (ja) * | 1991-02-18 | 1992-09-18 | Dainippon Ink & Chem Inc | 光磁気記録媒体 |
JP5254290B2 (ja) * | 2010-09-01 | 2013-08-07 | Jx日鉱日石金属株式会社 | インジウムターゲット及びその製造方法 |
JP5797572B2 (ja) * | 2011-01-27 | 2015-10-21 | 双葉電子工業株式会社 | 有機el素子 |
CN102251215B (zh) * | 2011-07-06 | 2013-03-06 | 西南民族大学 | 一种采用双缓冲层技术制备AlInN薄膜的方法 |
CN102268650B (zh) * | 2011-07-06 | 2013-08-21 | 西南民族大学 | 一种制备InN薄膜的磁控溅射方法 |
JP5281186B1 (ja) * | 2012-10-25 | 2013-09-04 | Jx日鉱日石金属株式会社 | インジウムターゲット及びその製造方法 |
-
2014
- 2014-09-25 JP JP2015539329A patent/JP5871106B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-09-25 WO PCT/JP2014/075405 patent/WO2015046319A1/ja active Application Filing
- 2014-09-25 TW TW103133315A patent/TW201527562A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015046319A1 (ja) | 2015-04-02 |
TW201527562A (zh) | 2015-07-16 |
JP5871106B2 (ja) | 2016-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5202643B2 (ja) | Cu−Ga合金焼結体スパッタリングターゲット及び同ターゲットの製造方法 | |
JP5144766B2 (ja) | Cu−Ga焼結体スパッタリングターゲット及び同ターゲットの製造方法 | |
JP5818139B2 (ja) | Cu−Ga合金ターゲット材およびその製造方法 | |
TWI458846B (zh) | Cu-Ga target and its manufacturing method | |
JP5594618B1 (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP5165100B1 (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP2011236445A (ja) | インジウムメタルターゲット及びその製造方法 | |
WO2012117579A1 (ja) | インジウムターゲット及びその製造方法 | |
KR20120060858A (ko) | Cu-In-Ga-Se 4 원계 합금 스퍼터링 타깃 | |
JP6665428B2 (ja) | Cu−Ga合金スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
WO2012042959A1 (ja) | Cu-In-Ga-Se四元系合金スパッタリングターゲット | |
TWI438296B (zh) | Sputtering target and its manufacturing method | |
JP5871106B2 (ja) | In合金スパッタリングターゲット、その製造方法及びIn合金膜 | |
JP5819323B2 (ja) | Cu−Gaターゲット及びその製造方法 | |
US20170169998A1 (en) | In-Cu Alloy Sputtering Target And Method For Producing The Same | |
JP6634750B2 (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP6176535B2 (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP6217295B2 (ja) | Inスパッタリングターゲット | |
JP6311912B2 (ja) | Cu−Ga二元系スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
JP2019183277A (ja) | Cu−Ga合金スパッタリングターゲット | |
WO2016047556A1 (ja) | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5871106 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |