JPWO2015030035A1 - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
はじめに、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る洗浄装置は、水と反応性ガスであるオゾン含有ガスとが混合された気液混合体をベンチュリ管に導入し、ベンチュリ管の喉部にて気液混合体を圧縮して流速を高め、ベンチュリ管の喉部から気液混合体の進行方向に向かって内部断面積が拡大する形状を有する拡大部にて、気液混合体に含まれる反応性ガスの気泡を崩壊させてマイクロバブルを発生し、ベンチュリ管からマイクロバブルを含む気液混合体を洗浄対象に噴射して洗浄対象を洗浄する。ここで、マイクロバブルとは、直径が約1mm以下の微少気泡のことである。マイクロバブルは、界面における物理的吸着に必要な比表面積が広いことや、浮上速度が遅く水中の滞留時間が長いという特徴があり、洗浄においては、汚濁物質輸送の促進や洗浄液中の汚濁物質分離効率の向上が期待できるものである。
つぎに、本実施の形態に従う洗浄装置を用いて行った洗浄実験について説明する。なお、ベンチュリ管としては、導入部から噴出口までの厚さが5mm、導入部の幅D1(図2参照)が14mm、喉部の幅D2が4mm、噴出口の幅D3が8.2mm、喉部から噴出口までの長さL1が40mm、拡大部の開き角θが6度のものを使用した。また、基板保持部には、平面状基板としての30mm×30mmのサイズのシリコン基板の表面に、ノボラック系のレジストを厚さ1000nmで均一に形成したものを洗浄対象として保持した。また、ベンチュリ管の噴出口からレジストまでの距離が25mmとなるように、基板保持部とベンチュリ管との位置関係を調整した。また、水としては水道水を使用し、オゾン含有ガスとしては、オゾンガスと酸素ガスとの成分比が最大約15:85のものを使用した。
はじめに、洗浄実験1として、水道水の流量(QL)を10L/min、気液混合部において混合させるオゾン含有ガスと水道水との気液体積流量比βを5%とした。なお、βは、気体と液体の総体積流量に対する気体の体積流量の比を示す量である。このとき、ベンチュリ管に導入される気液混合体のオゾン濃度は約40ppmと考えられる。
つぎに、洗浄実験2として、水道水の流量(QL)を22L/minに増加させた。一方、気液混合部において混合させるオゾン含有ガスと水道水との気液体積流量比βは洗浄実験1と同様に5%とした。このときも、ベンチュリ管に導入される気液混合体のオゾン濃度は約40ppmと考えられる。その他の条件は洗浄実験1と同じとした。
つぎに、洗浄実験3として、平面状基板としてのアクリル樹脂板の表面に油(グリス)を付着させて汚染したものを洗浄対象として洗浄実験を行った。なお、洗浄条件としては、洗浄実験2と同様に、水道水の流量(QL)を22L/min、気液体積流量比βを5%とした。なお、比較として、オゾン含有ガスではなく空気を用いて気液混合体を生成したときの比較洗浄実験も行った。
1a 導入部
1b 縮小部
1c 喉部
1d 拡大部
1e 噴出口
2 気液混合部
3 接続フランジ
4 止水ブーツ
5 洗浄槽
6 基板保持部
7 圧力ゲージ
8 分離槽
10 筐体
10a 支持部
12 ガス流量計
13 ガス圧力調整器
14 ガス弁
15 貯水槽
16 ポンプ
17 水圧力計
18 水流量調整器/水流量計
19 給水フランジ
20、50 基板
30、30A 洗浄用治具
30a 円筒部
30b 支持部
30c、30d 円盤部
30ca、30dd 噴出口
30da 内周部
30db 傾斜部
30dc 外周部
40 ターンテーブル
100 洗浄装置
A1、A2 領域
B 気泡
D1、D2、D3 幅
MB マイクロバブル
OW 気液混合体
P1 位置
Claims (9)
- 水と反応性ガスであるオゾン含有ガスとが混合された気液混合体が導入される導入部と、
前記導入部の内部断面積よりも小さい内部断面積を有し、前記気液混合体が圧縮されて流速が高められる喉部と、
前記喉部から前記気液混合体の進行方向に向かって内部断面積が拡大する形状を有し、前記気液混合体に含まれる前記反応性ガスの気泡が崩壊してマイクロバブルが発生する拡大部と、
を有するベンチュリ管と、
前記気液混合体を噴出するための噴出口が設けられた噴射部を有する洗浄用治具と、
を備え、
前記ベンチュリ管から噴出された前記マイクロバブルを含む気液混合体を前記噴出口から洗浄対象に噴射して前記洗浄対象を洗浄することを特徴とする洗浄装置。 - 前記気液混合体に含まれるオゾンガスの濃度が10ppm以上、50ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄対象は平面状基板または前記洗浄用治具にて洗浄可能に構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の洗浄装置。
- 前記平面状基板の表面に残留する油脂または形成されたフォトレジストもしくは形成された保護膜を前記洗浄により除去することを特徴とする請求項3に記載の洗浄装置。
- 前記ベンチュリ管を複数備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の洗浄装置。
- 前記噴射部は盤状に形成された盤状部であり、前記盤状部を前記洗浄対象の表面に近接させて前記洗浄対象を洗浄することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の洗浄装置。
- 前記盤状部は、外周部と、前記外周部の内周側に位置し、該外周部に対して前記洗浄対象に対向する表面が窪むように形成された内周部とを備えることを特徴とする請求項6に記載の洗浄装置。
- 前記内周部の外縁は、前記洗浄対象に対向する表面が前記外周部と前記内周部とで平坦である場合に前記盤状部と前記洗浄対象の表面との間に満たされた前記気液混合液に渦流が発生する領域よりも内側に位置することを特徴とする請求項7に記載の洗浄装置。
- 水と反応性ガスであるオゾン含有ガスとが混合された気液混合体をベンチュリ管に導入し、
前記ベンチュリ管の喉部にて前記気液混合体を圧縮して流速を高め、
前記ベンチュリ管の喉部から前記気液混合体の進行方向に向かって内部断面積が拡大する形状を有する拡大部にて、前記気液混合体に含まれる前記反応性ガスの気泡を崩壊させてマイクロバブルを発生し、
前記ベンチュリ管から前記マイクロバブルを含む気液混合体を洗浄対象に噴射して前記洗浄対象を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
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