JPWO2015016246A1 - 半導体発光素子の製造方法、および半導体発光素子 - Google Patents
半導体発光素子の製造方法、および半導体発光素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2015016246A1 JPWO2015016246A1 JP2015529588A JP2015529588A JPWO2015016246A1 JP WO2015016246 A1 JPWO2015016246 A1 JP WO2015016246A1 JP 2015529588 A JP2015529588 A JP 2015529588A JP 2015529588 A JP2015529588 A JP 2015529588A JP WO2015016246 A1 JPWO2015016246 A1 JP WO2015016246A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light extraction
- extraction surface
- semiconductor
- indentation
- semiconductor light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/58—Optical field-shaping elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/0058—Processes relating to semiconductor body packages relating to optical field-shaping elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0091—Scattering means in or on the semiconductor body or semiconductor body package
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
Description
すなわち、窒化物半導体層の表面をアルカリ溶液でウェットエッチングすると、窒化物半導体層の面内でエッチングによる溶解侵食がばらばらに進行する。このため、エッチングによって形成される凸部の配列が不規則になる。規則的な配列を持つ数マイクロメートル以下の凹凸パターンを形成するためには一般的にフォトリソグラフィ法やナノインプリント法がある。しかしながら、これらの方法は装置、材料ともに高価である。またプロセスとしてもマスクの形成からエッチング加工まで複数のプロセスを経て凹凸パターンを形成するため時間がかかるという問題があった。したがって、光取り出し効率を向上させるうえで好ましい凸部の配列があったとしても、それを簡便に実現する術が求められていた。
本発明者は、ある実験において、窒化物半導体層の光取り出し面にエッチングによって凹凸パターンを形成する場合に、光取り出し面の状態がどのように変化するかを確認するために、触針式の段差計を用いて光取り出し面の表面形状を測定した。その際、本発明者は、光取り出し面をアルカリ溶液でウェットエッチングするとともに、そのエッチングの前と後に、触針式の段差計を用いて光取り出し面の表面形状を測定した。また、本発明者は、エッチング後の光取り出し面の表面形状を電子顕微鏡によって拡大観察した。そうしたところ、エッチング後の光取り出し面の表面に非常に興味深い箇所が存在していることに気づいた。具体的には、エッチング後の光取り出し面の表面に、山脈の尾根のように連なった形状が存在していることに気づいた。
半導体結晶からなる光取り出し面を備える半導体発光素子の製造方法であって、
前記光取り出し面に凹凸パターンを形成する凹凸パターン形成工程を有し、
前記凹凸パターン形成工程は、
前記光取り出し面に複数の圧痕を形成する第1の工程と、
前記複数の圧痕が形成された前記光取り出し面をエッチングすることにより、前記圧痕が形成された箇所を頂部とし、かつ、前記半導体結晶の複数のファセット面を側面とする凸部を形成する第2の工程と、を含む
ことを特徴とする半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第2の態様は、
前記第1の工程では、
複数の突起部を有する加工基板を用いて、前記複数の突起部を前記光取り出し面に押し当てることにより、前記光取り出し面に前記複数の圧痕を形成する
ことを特徴とする上記第1の態様に記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第3の態様は、
前記第2の工程では、
前記光取り出し面をアルカリ溶液を用いてウェットエッチングする
ことを特徴とする上記第1又は第2の態様に記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第4の態様は、
前記第2の工程では、
少なくとも、前記凸部の頂部に前記圧痕を残すか、前記複数のファセット面同士が隣接する稜線のうち少なくとも1つの稜線が複線となるように、前記光取り出し面をエッチングする
ことを特徴とする上記第1〜第3の態様のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第5の態様は、
前記第2の工程では、
前記圧痕を形成した箇所を頂部とする六角錐形状に前記凸部を形成する
ことを特徴とする上記第1〜第4のいずれかの態様に記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第6の態様は、
前記第1の工程では、前記加工基板として、
前記半導体結晶よりも硬度が高い材料からなり、前記複数の突起部が幾何学的配列をなす加工基板を用いる
ことを特徴とする上記第2の態様に記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第7の態様は、
前記第1の工程では、
前記複数の突起部が一定間隔の幾何学的配列をなす加工基板を用いる
ことを特徴とする上記第6の態様に記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第8の態様は、
前記第1の工程では、
前記光取り出し面に加わる荷重を、前記加工基板の突起部1つあたり1mgf以上400mgf以下に設定する
ことを特徴とする上記第2、第6または第7の態様に記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第9の態様は、
前記半導体結晶は、III属窒化物半導体の結晶である
ことを特徴とする上記第1〜第8の態様のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第10の態様は、
前記III属窒化物半導体がAlNである
ことを特徴とする上記第9の態様に記載の半導体発光素子の製造方法である。
本発明の第11の態様は、
半導体結晶からなる光取り出し面を備える半導体発光素子であって、
前記光取り出し面には、複数の凸部が配列された凹凸パターンが形成され、
前記凸部は、前記半導体結晶の複数のファセット面からなる側面を有するものであって、少なくとも、前記凸部の頂部に圧痕を有するか、前記複数のファセット面同士が隣接する稜線のうち少なくとも1つの稜線が複線となっている
ことを特徴とする半導体発光素子である。
本発明の第12の態様は、
前記半導体結晶は、III属窒化物半導体の結晶である
ことを特徴とする上記第11の態様に記載の半導体発光素子である。
本発明の第13の態様は、
前記凸部は、AlNで構成されている
ことを特徴とする上記第11または第12の態様に記載の半導体発光素子である。
本発明の実施の形態においては、次の順序で説明を行う。
1.半導体発光素子の製造方法
1−1.第1の工程
1−2.第2の工程
2.半導体発光素子の構成
3.実施の形態の効果
4.変形例等
まず、本発明の実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法について説明する。
本発明の実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法は、一連の製造工程の中に凹凸パターン形成工程を有する。凹凸パターン形成工程は、半導体結晶からなる露出面を光取り出し面とする半導体発光素子の当該光取り出し面に凹凸パターンを形成する工程である。
まず、凹凸パターン形成工程で処理する前の半導体発光素子の構成例について、図1(A)を用いて説明する。この図1(A)においては、支持基板1上に接合層2を介して2つの発光素子3が実装されている。各々の発光素子3は、少なくとも、活性層となる発光層と、この発光層をサンドイッチ状に挟む第1導電型層および第2導電型層と、含む積層半導体4を有する。積層半導体4は、図示しない結晶成長用の基板(たとえば、サファイア基板等)上にエピタキシャル成長によって複数の半導体層を順に形成することにより得られる。結晶成長用の基板は、この基板を用いて形成した半導体発光素子3を上下反転させて支持基板1上に実装した後、ケミカルリフトオフにより除去(剥離)される。
第1の工程では、半導体層6の光取り出し面7に複数の圧痕を形成する。この工程では、図1(B)に示すように、圧痕形成のために加工基板11を用いる。加工基板11の主表面には、たとえば、一定間隔の幾何学的な配列で複数の突起部12が形成されている。そこで、第1の工程においては、加工基板11の複数の突起部12を発光素子3の光取り出し面7に押し当てることにより、光取り出し面7に複数の圧痕を形成する。
また、プレス工程は複数回で行っても良い。例えば支持基板1に対して、サイズの小さい加工基板11を複数回プレスすることで、支持基板1全体に圧痕の形成を行っても良い。
また、例えば三角形配置の2μmピッチの加工基板11を複数回プレスすることで1μmピッチの圧痕を形成することも可能である。
複数回で行う利点は突起部1つあたりの荷重を同一とすれば、プレス時の荷重を減らすことが出来ることである。
次に、上記の工程で複数の圧痕14が形成された半導体層6の光取り出し面7をエッチングすることにより、図1(C)に示すように、光取り出し面7に複数の凸部15による凹凸パターンを形成する。凸部15は、半導体結晶からなる半導体層6の一部が凸状に残ったものである。この工程では、エッチングマスク等を使用することなく、アルカリ溶液を用いて半導体層6の光取り出し面7をウェットエッチング(異方性ウェットエッチング)する。エッチング条件としては、たとえば、エッチング液としてTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)を含むアルカリ溶液を使用し、エッチング温度=80℃、エッチング時間=30秒に設定するとよい。なお、エッチング液としてTMAHを含むアルカリ水溶液を用いる場合、TMAHの濃度は、半導体層6の構成材料や厚みなどに応じて適宜設定すればよい。
次に、本発明の実施の形態に係る半導体発光素子の構成について説明する。
本発明の実施の形態に係る半導体発光素子には、構成上の特徴はいくつかあるが、ここではその代表的な特徴について記述する。
第1の特徴は、光取り出し面7に形成された凸部15の頂部に圧痕14を有することである。この圧痕14は、上記第1の工程で光取り出し面7に形成され、その後の第2の工程でエッチング処理した後も、凸部15の頂部に残存したものである。凸部15の頂部に圧痕14があると、凸部15の頂部が圧痕14の存在により少し形状的につぶれた状態(典型的には、少しへこんだ状態)になる。これに対して、従来のように光取り出し面7に圧痕14を形成せずにアルカリ溶液でウェットエッチングした場合は、エッチング後に残存する凸部の頂部が尖った形状になる。参考までに、圧痕を形成してエッチングしたときに得られた凸部を斜め方向から撮影した電子顕微鏡写真を図5(A)に示し、圧痕を形成せずにエッチングしたときに得られた凸部を斜め方向から撮影した電子顕微鏡写真を図5(B)に示す。図5(A)に示す凸部15の頂部は圧痕14の存在によって少しへこんでいるが、図5(b)に示す凸部15の頂部は尖っている。なお、図5(A),(B)は圧痕を形成した場合と形成しない場合の凸部の形状的な違いを実験的に確認したものであり、凸部の配列に特段の意味はない。
第2の特徴は、光取り出し面7に六角錐形状に形成された凸部15の複数のファセット面同士が隣接する稜線のうち、少なくとも1つの稜線が複線となることである。六角錐形状の凸部15の稜線は、上記第1の工程で光取り出し面7に圧痕14を形成したことに起因して、その後の第2の工程でウェットエッチングしたときに複線になる。これに対して、従来のように光取り出し面7に圧痕14を形成せずにウェットエッチングした場合は、上述のように凸部の頂部が尖った形状になり、そこを起点にファセット面と稜線が形成されていくので、もともとの結晶構造に欠陥等がないかぎり単線になる。
第3の特徴は、光取り出し面7に形成された複数の凸部15の配列が規則的な配列になることである。光取り出し面7に形成された複数の凸部15の配列は、上記第1の工程で用いる加工基板11の突起部12の配列によって決まる。なぜなら、各々の凸部15は、加工基板11の突起部12との接触によって形成された圧痕14の位置を起点に形成されるからである。このため、たとえば、加工基板11の複数の突起部12が一定の間隔で幾何学的に配列されていた場合は、それと同じ間隔および配列で光取り出し面7に複数の凸部15が形成される。これに対して、従来のように光取り出し面7に圧痕14を形成せずにウェットエッチングした場合は、複数の凸部が不規則(ランダム)な配列になる。
第4の特徴は、光取り出し面7に形成された複数の凸部15の高さがほぼ一様な高さに揃うことである。言い換えれば、各々の凸部15の高さのバラツキが小さいということである。これに対して、従来のように光取り出し面7に圧痕14を形成せずにウェットエッチングした場合は、複数の凸部の高さが不揃いになる。言い換えれば、各々の凸部のサイズのバラツキが大きいということである。
第5の特徴は、光取り出し面7に形成された複数の凸部15の相互間に、第1導電型層に相当するAlGaN層の表層部分(エッチングにより粗面化された部分)が、規則的に存在することである。これに対して、従来のように光取り出し面7に圧痕14を形成せずにウェットエッチングした場合は、複数の凸部の配列が不規則になるため、AlGaN層の表層部分も不規則に存在することになる。
第6の特徴は、光取り出し面7に形成された複数の凸部15が、AlNで構成されていることである。これは凸部15を形成する元になる半導体層6をAlN層としたためである。半導体層6については、たとえばGaN層としてもよいが、本発明者による実験では、AlN層を採用したほうが好ましいという結果が得られた。具体的には、AlN層を採用した場合に比べて、半導体層6をGaN層として光取り出し面7に圧痕14を形成した場合は、エッチング速度が遅くなることに加えて、エッチングによって得られる凸部15の高さや配列のバラツキが大きいという実験結果が得られた。このため、半導体発光素子の製造方法としては、半導体層6の半導体結晶のAl組成が0.5以上のAlGaNの結晶であることが好ましく、AlNの結晶であることが最も好ましい。半導体発光素子の構成としては、凸部15のAl組成が0.5以上のAlGaNで構成されていることが好ましく、AlNで構成されていることが最も好ましい。
第7の特徴は、光取り出し面7に形成された複数の凸部15の平均高さが、その元になる半導体層6の厚さ以上となることである。その技術的根拠は、主に2つある。一つは、第1導電型層(AlGaN層)の表層部分がエッチングにより掘られることで、エッチングのトータルの掘り込み深さが、半導体層6の厚さ以上になるためである。もう一つは、光取り出し面7に形成された圧痕14がエッチングマスクのように機能することにより、圧痕14の部分が凸部15の頂部に残るためである。これに対して、従来のように光取り出し面7に圧痕14を形成せずにウェットエッチングした場合は、圧痕14によるマスク機能が得られないため、凸部の平均高さは、その元になる半導体層の厚み未満となる。
第8の特徴は、パターン形成工程の処理条件を適宜設定することにより、光取り出し面7に形成された複数の凸部15の配列状態が、一定の規則性をもって非常に高密度になることである(詳細は後述)。
本発明者は、加工基板11を用いて光取り出し面7に加える突起部1つあたりの荷重の条件を変えて、それぞれの条件ごとに、ウェットエッチングによって得られる凸部15の配列の規則性を確認してみた。その結果を以下に記述する。
なお、突起部1つあたりの荷重とは、たとえば、加工基板11をプレスする場合のプレス荷重を、光取り出し面と点で接する加工基板の突起部の数で割った値である。第1の荷重と第2の荷重は、突起部の間隔が1μmの加工基板を使用し、第3の荷重と第4の荷重は、突起部の間隔が3μmの加工基板を使用している。そして、それぞれの荷重条件で圧痕形成を実施することにより、荷重条件の異なる複数の半導体発光素子を作製した。その際、各々の半導体発光素子には厚さ0.8μmのAlN層を形成しておき、その表面に共通の加工基板を用いて圧痕を形成した後、以下のエッチング条件によりAlN層の表面(光取り出し面に相当する面であり、窒素極性面)をウェットエッチングした。
(エッチング条件)
エッチング液:TMAH(22wt%)
エッチング温度:80℃
エッチング時間:15sec
本発明者は、光取り出し面を形成する半導体層6の厚みとそれを元に形成される凸部15の高さの関係について、実験的に確認してみた。その結果を以下に記述する。
サファイア基板上にAlN単結晶層を有するAlNテンプレート基板上に、Scをスパッタし、その後にアンモニア雰囲気で熱処理を行ってScNリフトオフ層を形成した。次に、ScNリフトオフ層の上に半導体層6としてAlN層を、厚さ0.6μmとして形成した。次に、AlN層の上に、n−AlGaN層、AlInGaN量子井戸活性層(発光波長340nm)、p−AlGaN層を順に形成した。その後、p−AlGaN層の上にp型電極(Ni/Au)を形成し、Au接合により支持基板(Si基板)を接合した。その後、塩酸によりScNリフトオフ層を除去して成長用基板であるAlNテンプレート基板を剥離した。このとき露出する半導体層6のAlN層の表面は窒素極性面であり、光取り出し面となる。その面に以下に記述する条件で圧痕形成およびウェットエッチングを実施した。その際、AlN層の下層にあるn−AlGaN層の表層部分までエッチングした。
加工基板:パターンピッチ3μmのパターン化サファイア基板
加工基板に加えた荷重:6MPa
突起部1つあたりの荷重:6.3mgf
(エッチングの条件)
エッチング液:TMAH(22wt%)
エッチング温度:80℃
エッチング時間:30sec
半導体層6のAlN層の厚さを1.0μmとした以外は、実施例1と同様に行った。
(実施例3)
半導体層6のAlN層の厚さを2.0μmとした以外は、実施例1と同様に行った。
光取り出し面に圧痕形成を行わなかった以外は実施例1と同様に行った。
(比較例2)
光取り出し面に圧痕形成を行わなかった以外は実施例2と同様に行った。
(比較例3)
光取り出し面に圧痕形成を行わなかった以外は実施例3と同様に行った。
(比較例4)
光取り出し面に圧痕形成とエッチングを行わなかった以外は実施例2と同様に行った。
実施例2の場合と比較例2の場合で、半導体発光素子の光の出力にどの程度の違いが生じるか測定を行うため、圧痕形成もエッチングも行わない比較例4を作製し、それぞれに電極を形成した。
電流50mAを流したときの発光出力は、比較例2が0.408mW、実施例2が0.446mWであった。比較例4の出力(0.325mW)に対し凹凸形成による出力向上率を計算すると、比較例2が126%であったのに対して、実施例2はそれよりも大きい137%であった。実施例2の比較例2に対する出力比は1.09であり、圧痕形成により9%の出力向上があった。すなわち、実施例の凹凸は比較例の凹凸より光取り出し効果が高いことが分かる。
本発明の実施の形態に係る製造方法においては、加工基板11の突起部12の配列にしたがって光取り出し面7に凸部15が形成される。このため、凸部15のピッチは、加工基板11の突起部12のピッチに依存したものとなる。また、凸部15の形状は六角錐形状になる。その場合、半導体層6の厚み寸法と突起部12(圧痕14)のピッチとがほぼ等しい条件で光取り出し面7をエッチングし、半導体層6の厚み寸法相当の高さで凸部15を形成すると、複数の凸部15の配列は、たとえば図8(A),(B)のようになる。この例では、平面視六角形の凸部15の相互間に平面視三角形の領域17が介在している。領域17は、下層の第1導電型層(AlGaN層)の表層部分がエッチングにより露出したものである。領域17には微小な凹凸が形成されている。これに対して、半導体層6の厚み寸法よりも小さいピッチで配列された突起部12を押し付けて圧痕14を形成し、エッチングを行うと、半導体層6の厚み寸法相当のエッチング量に達する前に、各々の凸部15の裾の部分が干渉し合う。以上のことから、半導体層6の厚みと加工基板11の突起部12のピッチとの関係は、相互に等しい関係に設定することが好ましい。
具体的には、上記図8のように凸部15が形成された場合、凸部15の密度はかなり高くなっているものの、厳密には、上記領域17の介在により、凸部15の密度が最も高い、いわゆる最密構造になっているとはいえない。凸部15の配列が図8のようになる場合は、圧痕形成に用いる加工基板11の向きを90°回転させることにより、最密構造が得られる。実際に本発明者が最密構造で複数の凸部15を形成したときの電子顕微鏡写真を図9に示す。この例では、半導体層(AlN層)6の厚み寸法と加工基板11の突起部12のピッチ寸法を、共に1μmとして、光取り出し面7に複数の凸部15を形成した。なお、図9の電子顕微鏡写真において、各々の凸部15の周囲の高濃度部(黒っぽい部分)は、下地の層(AlGaN層)の表層部がエッチングで露出したものである。また、図9の電子顕微鏡写真では稜線が複数となっている凸部が多数観察されるのが分かる。
圧痕形成に用いる加工基板の向きを90°回転させ、半導体層6のAlN層の厚さを1.0μmとし、エッチング時間を4分とした以外は、実施例1と同様に行った。そのときに得られた凸部の電子顕微鏡写真を図10(A)に示す。なお、エッチング時間を長くしたためにAlN層の下のn−AlGaN層もエッチングされており、凸部の平均高さは3.0μmであった。AlN層に比べ、n−AlGaN層がエッチングされた領域では形状が崩れ、ランダム形状になりやすい傾向があることが分かる。
光取り出し面に圧痕形成を行わなかった以外は実施例4と同様に行った。そのときに得られた凸部の電子顕微鏡写真を図10(B)に示す。
実施例4の場合と比較例5の場合で、半導体発光素子の光の出力にどの程度の違いが生じるか測定を行った。電流50mAの流したときの発光出力の、実施例4の比較例5に対する出力比は1.10であり、圧痕形成により10%の出力向上があった。
本発明の実施の形態によれば、次のような効果が得られる。
以上のことから、本発明の実施の形態においては、非常に簡易な方法で凸部の高さや配列等を制御し、所望の凹凸パターンを実現することができる。マスク形成や研削等の方法に比べて簡易であり樹脂などによる表面の汚染もない。
本発明の技術的範囲は上述した実施の形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。
また、バルクのAlN単結晶基板を成長基板や支持基板として使用する場合は、そのAlN単結晶基板に本発明の凹凸パターン形成を行っても良い。AlN単結晶基板を成長基板とする場合には、成長基板をリフトオフせず、成長基板の裏面を光取り出し面とすることも可能である。
その場合の好ましい形態を以下に付記する。
半導体結晶からなる半導体層の表面をエッチングすることにより凹凸パターンを形成する凹凸パターン形成工程を有する半導体素子の製造方法であって、
前記凹凸パターン形成工程は、
前記半導体層の表面に複数の圧痕を形成する第1の工程と、
前記複数の圧痕が形成された前記半導体層の表面をエッチングすることにより、前記圧痕が形成された箇所を頂部とし、かつ、前記半導体結晶の複数のファセット面を側面とする凸部を複数形成する第2の工程と、を含む
ことを特徴とする半導体素子の製造方法。
3…発光素子
4…積層半導体
6…半導体層
7…光取り出し面
11…加工基板
12…突起部
14…圧痕
15…凸部
Claims (13)
- 半導体結晶からなる光取り出し面を備える半導体発光素子の製造方法であって、
前記光取り出し面に凹凸パターンを形成する凹凸パターン形成工程を有し、
前記凹凸パターン形成工程は、
前記光取り出し面に複数の圧痕を形成する第1の工程と、
前記複数の圧痕が形成された前記光取り出し面をエッチングすることにより、前記圧痕が形成された箇所を頂部とし、かつ、前記半導体結晶の複数のファセット面を側面とする凸部を形成する第2の工程と、を含む
ことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1の工程では、
複数の突起部を有する加工基板を用いて、前記複数の突起部を前記光取り出し面に押し当てることにより、前記光取り出し面に前記複数の圧痕を形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第2の工程では、
前記光取り出し面をアルカリ溶液を用いてウェットエッチングする
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第2の工程では、
少なくとも、前記凸部の頂部に前記圧痕を残すか、前記複数のファセット面同士が隣接する稜線のうち少なくとも1つの稜線が複線となるように、前記光取り出し面をエッチングする
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第2の工程では、
前記圧痕を形成した箇所を頂部とする六角錐形状に前記凸部を形成する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1の工程では、前記加工基板として、
前記半導体結晶よりも硬度が高い材料からなり、前記複数の突起部が幾何学的配列をなす加工基板を用いる
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1の工程では、
前記複数の突起部が一定間隔の幾何学的配列をなす加工基板を用いる
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記第1の工程では、
前記光取り出し面に加わる荷重を、前記加工基板の突起部1つあたり1mgf以上400mgf以下に設定する
ことを特徴とする請求項2、6または7に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記半導体結晶は、III属窒化物半導体の結晶である
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記III属窒化物半導体がAlNである
ことを特徴とする請求項9に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 半導体結晶からなる光取り出し面を備える半導体発光素子であって、
前記光取り出し面には、複数の凸部が配列された凹凸パターンが形成され、
前記凸部は、前記半導体結晶の複数のファセット面からなる側面を有するものであって、少なくとも、前記凸部の頂部に圧痕を有するか、前記複数のファセット面同士が隣接する稜線のうち少なくとも1つの稜線が複線となっている
ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記半導体結晶は、III属窒化物半導体の結晶である
ことを特徴とする請求項11に記載の半導体発光素子。 - 前記凸部は、AlNで構成されている
ことを特徴とする請求項11または12に記載の半導体発光素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013158167 | 2013-07-30 | ||
JP2013158167 | 2013-07-30 | ||
PCT/JP2014/070026 WO2015016246A1 (ja) | 2013-07-30 | 2014-07-30 | 半導体発光素子の製造方法、および半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015016246A1 true JPWO2015016246A1 (ja) | 2017-03-02 |
JP6389178B2 JP6389178B2 (ja) | 2018-09-12 |
Family
ID=52431776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015529588A Active JP6389178B2 (ja) | 2013-07-30 | 2014-07-30 | 半導体発光素子の製造方法、および半導体発光素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9537066B2 (ja) |
JP (1) | JP6389178B2 (ja) |
CN (1) | CN105453278B (ja) |
WO (1) | WO2015016246A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107863428B (zh) * | 2017-10-26 | 2023-09-26 | 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 | 一种纳米级图形化衬底及其制作方法 |
CN110034186B (zh) * | 2018-01-12 | 2021-03-16 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于复合势垒层结构的iii族氮化物增强型hemt及其制作方法 |
CN113363360B (zh) * | 2021-05-21 | 2022-09-09 | 厦门士兰明镓化合物半导体有限公司 | 垂直结构led芯片及其制造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005043633A1 (ja) * | 2003-11-04 | 2005-05-12 | Pioneer Corporation | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2006049855A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子およびその製造方法 |
US20110155999A1 (en) * | 2009-12-08 | 2011-06-30 | Lehigh University | Semiconductor light-emitting devices having concave microstructures providing improved light extraction efficiency and method for producing same |
JP2012186335A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Stanley Electric Co Ltd | 光半導体素子および光半導体素子の製造方法 |
JP2013138139A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Dowa Electronics Materials Co Ltd | Iii族窒化物半導体素子およびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3978449B2 (ja) * | 2002-06-21 | 2007-09-19 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US7161188B2 (en) | 2004-06-28 | 2007-01-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor light emitting element, semiconductor light emitting device, and method for fabricating semiconductor light emitting element |
JP5282503B2 (ja) * | 2008-09-19 | 2013-09-04 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子 |
JP5237763B2 (ja) * | 2008-11-10 | 2013-07-17 | スタンレー電気株式会社 | 半導体素子の製造方法 |
JP4996706B2 (ja) | 2010-03-03 | 2012-08-08 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子およびその製造方法 |
-
2014
- 2014-07-30 WO PCT/JP2014/070026 patent/WO2015016246A1/ja active Application Filing
- 2014-07-30 CN CN201480043454.5A patent/CN105453278B/zh active Active
- 2014-07-30 JP JP2015529588A patent/JP6389178B2/ja active Active
- 2014-07-30 US US14/909,359 patent/US9537066B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005043633A1 (ja) * | 2003-11-04 | 2005-05-12 | Pioneer Corporation | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2006049855A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子およびその製造方法 |
US20110155999A1 (en) * | 2009-12-08 | 2011-06-30 | Lehigh University | Semiconductor light-emitting devices having concave microstructures providing improved light extraction efficiency and method for producing same |
JP2012186335A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Stanley Electric Co Ltd | 光半導体素子および光半導体素子の製造方法 |
JP2013138139A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Dowa Electronics Materials Co Ltd | Iii族窒化物半導体素子およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105453278B (zh) | 2019-02-12 |
JP6389178B2 (ja) | 2018-09-12 |
US20160197251A1 (en) | 2016-07-07 |
WO2015016246A1 (ja) | 2015-02-05 |
CN105453278A (zh) | 2016-03-30 |
US9537066B2 (en) | 2017-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110088921B (zh) | 半导体发光元件及其制造方法 | |
JP5142236B1 (ja) | エッチング方法 | |
US9355840B2 (en) | High quality devices growth on pixelated patterned templates | |
JP2006294907A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
JP2007013045A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
JP2013229581A (ja) | サファイア基板及びその製造方法並びに窒化物半導体発光素子 | |
JP6389178B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法、および半導体発光素子 | |
TWI528589B (zh) | Group III nitride semiconductor element and method of manufacturing the same | |
JP2007123446A (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP2010087218A (ja) | Iii族窒化物半導体からなる発光素子およびその製造方法 | |
JP4804444B2 (ja) | 発光ダイオードの構造及びその製造方法 | |
JP2015201488A (ja) | 積層体、及びこれを用いた発光素子の製造方法 | |
KR100916375B1 (ko) | 반도체 발광소자 및 반도체 발광소자를 제조하는 방법 | |
JP6863835B2 (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
JP5514341B2 (ja) | Iii族窒化物半導体素子の製造方法 | |
TWI328907B (en) | Method for manufacturing cleaved facets of nitride semiconductor devices | |
JP5625725B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 | |
JP2016027658A (ja) | エッチング方法 | |
TWI508325B (zh) | 基材表面圖案化方法及其半導體發光元件 | |
CN104167479B (zh) | 一种具有多粗化层的红外发光二极管 | |
TWI384643B (zh) | Manufacturing method of light emitting diode structure | |
JP5808725B2 (ja) | エッチング方法 | |
KR20090054421A (ko) | 반도체 발광소자 및 반도체 발광소자를 제조하는 방법 | |
JP2014120523A (ja) | 半導体の表面に突起又は凹部を形成する方法及び半導体発光素子の製造方法 | |
JP2013168493A (ja) | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180515 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180816 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6389178 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |