JPWO2014115367A1 - カラーフィルタ基板、及び液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2013年1月25日に出願された特願2013−012006号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本実施形態においては、カラーフィルタ基板とその製造方法について説明する。本実施形態においては、平面視で、各カラーフィルタの縦方向の両辺に、遮光層(ブラックマトリクス)の形成されていないカラーフィルタ基板について説明する。このように、液晶表示領域において、各カラーフィルタの縦方向の両辺に遮光層(ここでは、ブラックマトリクスと同義とし、以下ではブラックマトリクスと表記する場合もある)を形成しないことにより、遮光層の線幅の分、画素の開口部の横幅を広くすることができる。ブラックマトリクスがない広い画素の開口幅は、液晶表示装置の後工程であるセル化、すなわち、後述されるアレイ基板との位置あわせ(セル化工程でのアライメント)を極めて容易にすることができる。ブラックマトリクスが存在する場合、ブラックマトリクスのパターン線幅のそれぞれ2つの線幅端部に対して、アレイ基板上の薄膜トランジスタと電気的に接続される金属配線の端部の位置を、正確に合わせる必要がある。ブラックマトリクスが存在しない場合、隣接するカラーフィルタの境界に対して、アレイ基板上の金属配線の位置を合わせればよいため、アライメントのマージンが広がる。
このように互いに隣接するカラーフィルタは、製造工程における熱処理工程(リフロー工程)の際に、一方のカラーフィルタ材料が溶融して、先に基板上に形成された他方のカラーフィルタの側面に接触することによって形成される。溶融したカラーフィルタ材料が、先に固定形成されたカラーフィルタの上面に向けて流動しないように、熱処理工程が行われる。
また、互いに隣接するカラーフィルタが厚さ方向において重ならない構造を実現するには、先に基板上に形成されるカラーフィルタの断面形状は、矩形であることが好ましい。断面において矩形形状を有するカラーフィルタの側面は、基板に対して垂直であるため、後に形成されるカラーフィルタは、垂直側面に接触するように配置される。このため、互いに隣接するカラーフィルタは、垂直側面を挟むように配置され、本発明の突起が形成されない構造が実現される。
なお、ここで突起とは、液晶表示に影響を与えやすい光の波長(例えば、550nm)以上の高さを持つ突起である。本実施形態において、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタを隙間なく配設する場合に、ごくわずかなアライメント誤差及び色のにじみが生じてもよい。例えば、液晶表示に影響を与えやすい光の波長の1/2以下のごくわずかなアライメント誤差があっても、本実施形態における「突起形成がない」に該当するとしてもよい。例えば、色のにじみなどによってカラーフィルタにごく微細な盛り上がりが生じても、本実施形態における「突起形成がない」に該当するとしてもよい。また、熱処理工程において、先に形成されたカラーフィルタの上面と側面との間に形成される角部を僅かに覆うように、溶融したカラーフィルタが形成されたとしても、本実施形態における「突起形成がない」に該当するとしてもよい。
ここで、赤フィルタRF、緑フィルタGF、及び青フィルタBFの色バランスや色度が所望に得られるように、横幅W1に対する横幅W2の比率であるほぼ1/2という数値が規定されている。所望の色バランスや色度を得るために、横幅W1に対する横幅W2の比率が、1/2から僅かに値であってもよい。
赤フィルタRFを形成するための現像や硬膜の工程は、緑フィルタGFの形成と同様である。
上記の製造工程においては、透明基板7上に、最初に、緑色レジストGRを用いて十字状のアライメントマーク5を形成した。本発明は、このようなアライメントマーク5に限定されない。
例えば、遮光性色材の主材としてカーボンを含む遮光層(第1の遮光層)を額縁領域に形成する場合に、この遮光層と同じ材料によってアライメントマークを形成してもよい。更に、有機顔料を含む遮光層(第2の遮光層)を形成した後に、上記のようにカーボンを含む材料で形成されたアライメントマークに赤外光を照射し、アライメントマークの位置を検出(認識)することにより、パターニングに用いられるフォトマスクと透明基板との位置あわせを行ってもよい。
図6に示す従来のカラーフィルタ基板においては、ブラックマトリクスBMと赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFとが重なることにより凸部16(突起)が生じ、この凸部16により光漏れが生じコントラストが低下する場合がある。しかしながら、本実施形態に係るカラーフィルタ基板1は、有効表示領域2に、ブラックマトリクスBMが存在せず、平坦性を極めて高くすることができ、コントラスト低下を抑制することができる。
本実施形態は、上記の第1の実施形態の変形例である。本実施形態では、緑フィルタGFの形成方法の変形例について説明する。
本実施形態は、上記第1及び第2の実施形態に係るカラーフィルタ基板とその製造方法の変形例について説明する。
本実施形態は、上記第1〜第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の変形例、液晶表示装置、及び本実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法について説明する。
各画素に形成された複数の画素電極23は、液晶駆動素子33に接続されている。上述したように青フィルタBF又は赤フィルタRFの横幅W1に対する緑フィルタGFの横幅W2はほぼ1/2であり、このフィルタの横幅に応じて、各画素における液晶駆動素子33の個数が異なる。具体的に、横幅W1に対して1/2である横幅W2を有する緑フィルタGF(第1のカラーフィルタ)に対応する画素において、1つの液晶駆動素子が画素電極23に接続されている。
また、横幅W2に対して2倍の横幅W1を有する赤フィルタRF(第2のカラーフィルタ)に対応する画素において、2つの液晶駆動素子が画素電極23に接続されている。
同様に、横幅W2に対して2倍の横幅W1を有する青フィルタBF(第3のカラーフィルタ)に対応する画素において、2つの液晶駆動素子が画素電極23に接続されている。
言い換えると、アレイ基板においては等ピッチで複数の液晶駆動素子33が配列しており、このアレイ基板に対向するようにカラーフィルタ基板を配置すると、線幅W2の2倍の線幅W1を有する赤フィルタRF及び青フィルタBFには2つの液晶駆動素子が対応し、線幅W2を有する緑フィルタGFには一つの液晶駆動素子が対応する。
出射光36a,36bの角度αは、三角柱プリズム27aの1/2頂角εによって調整されてもよい。しかしながら、1/2頂角は可変に調整できないため、用途に応じて予め設定するする必要がある。なお、成人である観察者の両眼が、表示面から30cm程度の距離に位置する場合、表示面から出射される出射光角度αは、およそ6度〜8度の範囲内とすることで3次元画像の視認性を向上させることができる。複数の観察者に対して液晶表示装置24が使用される場合、上記の出射光角度αは拡大されてもよい。処理部31は、観察者又はポインタの位置情報及び動き情報を、CMOS又はCCDなどのような撮像素子(例えばカメラ)によって検出された赤外線又は紫外線に基づいて生成する。このような観察者又はポインタの位置情報及び動き情報の生成には、CMOS又はCCDに代えて、アレイ基板11のマトリクス状に配設された複数の光センサを用いることもできる。
本実施形態においては、上記の第1〜第4の実施形態に係る液晶表示装置に備えられる液晶パネルの変形例について説明する。
ここで、遮光層BLK3に含まれる有機顔料の質量比率は、有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が50〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であることが好ましい。
また、遮光層BLK3に含まれる有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が30〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であることが好ましい。さらに、緑色顔料あるいは青色顔料が10%以下の質量で遮光層BLK3に添加されていることが好ましい。
本実施形態においては、上記の第1〜第5の実施形態に係る液晶表示装置に備えられるバックライトユニット及び光制御素子の変形例について説明する。
バックライトユニット46から出射される光の角度βは、例えば、観察者の両眼と表示面との距離に対応して調整される。光の角度βは、例えば、ピエゾ素子(圧電素子)等の制御性の良い駆動装置で構成された角度制御部50a,51aによって制御される。角度制御部50a,51aは、バックライトユニット46の平面方向に対する、固体発光素子28a,29aの傾きを制御する微調整機構を備える。また、図22を参照して説明したように、角度制御部50a,51aは、処理部31に接続されており、処理部31によって角度制御部50a,51aの動作が制御される。角度制御部50a,51aが駆動することにより、光の角度βは僅かに調整され、表示面から出射される出射光の角度α(表示面と出射光との間の角度)が調整され、観察者の両眼位置に最適な立体表示効果に寄与することができる。
また、図30Aに示すように、固体発光素子28a,29aが設けられているバックライトユニット46の端部とは反対側の端部にも、固体発光素子28b,29bが設けられている。固体発光素子28b,29bの構造は、固体発光素子28a,29aと同様である。固体発光素子28b,29bは、固体発光素子28a,29aとは反対側から出射される光の角度βを調整する。
また、図30Bは、固体発光素子28a,29aの両方に角度制御部が設けられた構造を示しているが、固体発光素子29aに角度制御部を設けずに、可視光を発光する固体発光素子28aに角度制御部が設けられていればよい。
本実施形態においては、上記第1〜第6の実施形態に係るカラーフィルタ基板1,17,21、39,42に用いられる透明樹脂及び有機顔料などの材料について例示する。
遮光層BLK1〜BLK4、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFなどのカラーフィルタCFの形成に用いられる感光性着色組成物は、顔料分散体(以下ペースト)に加え、多官能モノマー、感光性樹脂又は非感光性樹脂、重合開始剤、溶剤などを含有する。例えば、本実施形態で用いられる感光性樹脂及び非感光性樹脂などのような透明性の高い有機樹脂は、総称して透明樹脂と呼ばれる。
本実施形態に係る遮光層BLK1〜BLK4などの遮光膜、透明樹脂層9,9a,9b、カラーフィルタCFの形成には、フォトリソグラフィによるパターン形成が可能な感光性樹脂組成物を用いることが好ましい。これらの透明樹脂は、アルカリ可溶性を付与された樹脂であることが望ましい。アルカリ可溶性樹脂として、カルボキシル基又は水酸基を含む樹脂を用いてもよく、他の樹脂を用いてもよい。アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、エポキシアクリレート系樹脂、ノボラック系樹脂、ポリビニルフェノール系樹脂、アクリル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂、カルボキシル基含有ウレタン樹脂などを用いることができる。これらのうち、アルカリ可溶性樹脂としては、エポキシアクリレート系樹脂、ノボラック系樹脂、アクリル系樹脂を用いることが好ましく、特に、エポキシアクリレート系樹脂又はノボラック系樹脂が好ましい。
本実施形態に係る透明樹脂の代表として、以下のアクリル系樹脂が例示される。
赤色顔料としては、例えば、C.I.Pigment Red 7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、246、254、255、264、272、279などを用いることができる。
遮光層BLK1及び遮光層BLK2に含まれる遮光性の色材は、可視光波長領域に光吸収性を持ち、遮光機能を備えた色材である。本実施形態において遮光性の色材には、例えば、有機顔料、無機顔料、染料などを用いることができる。無機顔料としては、例えば、カーボンブラック、酸化チタンなどを用いることができる。染料としては、例えば、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料などを用いることができる。有機顔料については、例えば上記の有機顔料を適用してもよい。なお、遮光性成分は、1種を用いてもよく、適当な比率で2種以上を組み合わせてもよい。
遮光層BLK1に用いられる黒色ペースト(分散体)の調製例について説明する。
分散剤 8.3部
銅フタロシアニン誘導体 1.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 71部
上記黒色ペーストを用いて、下記の組成の混合物が均一になるように攪拌混合され、5μmのフィルタで濾過され、遮光層BLK1に適用される黒色レジスト1が調製される。本実施形態において、レジストとは、カーボン又は有機顔料を含む感光性着色組成物を指す。
アクリル樹脂溶液 18部
ジペンタエリスリトールペンタおよびヘキサーアクリレート 5.2部
光重合開始剤 1.2部
増感剤 0.3部
レベリング剤 0.1部
シクロヘキサノン 25部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 25部
本実施形態及び上記各実施形態において、黒色レジスト1又はカラーレジストにおける主体の色材(顔料)は、そのレジストに含まれる色材(顔料)の全質量比(%)に対して50%以上を占める色材を意味する。例えば、黒色レジスト1は、カーボンが色材の100%を占め、カーボンが主な色材となる。また、カーボンを主な色材とする黒色レジスト1では、その色調又は反射色を調整するため、全質量比にて10%以下を目安に、赤色、黄色、青色などの有機顔料を黒色レジストに添加してもよい。
遮光層BLK2に用いられる有機顔料の混合例を以下に示す。
C.I.ピグメントイエロー139(以下、Y139と略記する)
C.I.ピグメントバイオレット23(以下、V23と略記する)
これら3種類の顔料のうち、R254の顔料は除かれてもよい。さらに、この3種類の顔料の他に、色(透過波長)調整用に微量の他の種類の顔料、例えば上記の有機顔料が20%以下の少量で添加されてもよい。
分散剤 0.5部
シクロヘキサノン 23.0部
なお、V23、R254などのような他の顔料についても、同じ樹脂又は溶液に分散され、黒色の顔料分散ペーストが生成されてもよい。
V23ペースト 20.60部
アクリル樹脂溶液 14.00部
アクリルモノマー 4.15部
開始剤 0.7部
増感剤 0.4部
シクロヘキサノン 27.00部
PGMAC 10.89部
上記の組成比により遮光層BLK2に用いられる黒色レジスト2が形成される。
赤色ペースト(分散液)の調製例について以下に説明する。
赤色顔料 C.I.Pigment Red177 10部
黄色顔料 C.I.Pigment Yellow150 2部
分散剤 2部
アクリルワニス(固形分20質量%) 108部
<赤色レジストRRの調製>
赤色ペーストの調製後、下記の組成の混合物が、均一になるように攪拌混合され、およそ5μmのフィルタで濾過され、赤色レジストRRが調製される。
アクリル樹脂溶液 18部
ジペンタエリスリトールペンタおよびヘキサーアクリレート 4.5部
光重合開始剤 1.2部
増感剤 2.0部
シクロヘキサノン 32.3部
<カラーフィルタ基板1,17,21、39,42に用いられる緑色レジストGRの一例>
<緑色ペーストの調製>
下記組成の混合物が均一に攪拌混合され、およそ直径1mmのガラスビーズを用いて、サンドミルで5時間分散され、およそ5μmのフィルタで濾過され、緑色ペースト(分散液)が作製される。
黄色顔料 C.I.Pigment Yellow150 9.6部
分散剤 2部
アクリルワニス(固形分20質量%) 66部
<緑色レジストGRの調製>
緑色ペーストの調製後、下記の組成の混合物が、均一になるように攪拌混合され、およそ5μmのフィルタで濾過され、緑色レジストGRが調製される。
アクリル樹脂溶液 8部
ジペンタエリスリトールペンタおよびヘキサーアクリレート 4部
光重合開始剤 1.2部
光重合開始剤 3.5部
増感剤 1.5部
シクロヘキサノン 5.8部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 30部
例えば、緑色レジストGRは、フッ素系界面活性剤を0.08部添加して用いられてもよい。
<青色ペースト1の分散体の調製>
下記の組成の混合物が均一に攪拌混合され、およそ直径1mmのガラスビーズを用いて、サンドミルで5時間分散され、およそ5μmのフィルタで濾過され、青色ペースト1(青色顔料の分散体)が作製される。
分散剤 6部
アクリルワニス(固形分20質量%) 200部
<青色ペースト2の調製>
下記の組成の混合物がミルで5時間分散され、およそ5μmのフィルタで濾過され、中間青色ペースト(分散液)が作製される。
分散剤 6部
アクリルワニス(固形分20質量%) 200部
この中間青色ペーストに、下記の紫色染料粉体が添加され、よく攪拌され、青色ペースト2が調製される。
<青色レジストBRの調製>
青色ペーストの調製後、下記の組成の混合物が均一になるように攪拌混合され、およそ5μmのフィルタで濾過され、青色レジストBRが調製される。
アクリル樹脂溶液 25.3部
ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサーアクリレート 1.8部
光重合開始剤 1.2部
増感剤 0.2部
シクロヘキサノン 25部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 30部
<カラーフィルタ基板1,17,21、39,42の作製>
上記の3色の赤色レジストRR、緑色レジストGR、青色レジストBRを組み合わせて、例えば、カラーフィルタ基板1,17,21、39,42が作製される。
本願は、2013年1月25日に出願された特願2013−012006号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
有効表示領域2に含まれる領域4の数は、液晶表示装置の画面サイズに応じて変更可能である。
出射光36a,36bの角度αは、三角柱状プリズム27aの1/2頂角εによって調整されてもよい。しかしながら、1/2頂角は可変に調整できないため、用途に応じて予め設定するする必要がある。なお、成人である観察者の両眼が、表示面から30cm程度の距離に位置する場合、表示面から出射される出射光角度αは、およそ6度〜8度の範囲内とすることで3次元画像の視認性を向上させることができる。複数の観察者に対して液晶表示装置24が使用される場合、上記の出射光角度αは拡大されてもよい。処理部31は、観察者又はポインタの位置情報及び動き情報を、CMOS又はCCDなどのような撮像素子(例えばカメラ)によって検出された赤外線又は紫外線に基づいて生成する。このような観察者又はポインタの位置情報及び動き情報の生成には、CMOS又はCCDに代えて、アレイ基板11のマトリクス状に配設された複数の光センサを用いることもできる。
液晶駆動電圧が印加されると、初期水平配向の液晶分子L1〜L10の長軸方向は、基板平面と平行な方向から垂直な方向に立ち上がる。
Claims (19)
- 有効表示領域と、前記有効表示領域を囲む額縁領域とを有する透明基板と、
前記透明基板の上に、それぞれ色が異なるように、かつ、隙間なく互いに隣接するように線状のパターンで形成された、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタと、を備え、
前記第1のカラーフィルタは、前記第2のカラーフィルタと前記第3のカラーフィルタとを区分けするように配置され、
前記第1のカラーフィルタの線幅は、前記第2のカラーフィルタ及び前記第3のカラーフィルタの線幅のほぼ1/2であり、
前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタは、異なる色を有する少なくとも2つのカラーフィルタの重なりに起因する厚さ方向の突起形成がないカラーフィルタ基板。 - 前記第1のカラーフィルタは、赤フィルタ又は緑フィルタである請求項1のカラーフィルタ基板。
- 前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの上に形成される遮光層をさらに具備し、
前記遮光層は、遮光性色材の主材として有機顔料を含み、可視域遮光性及び赤外域透過性を持つ請求項1又は請求項2に記載のカラーフィルタ基板。 - 前記遮光層に含まれる前記有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が50〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
- 前記遮光層に含まれる前記有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が30〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であり、緑色顔料あるいは青色顔料が10%以下の質量で、前記遮光層に添加されている請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
- 前記額縁領域に、遮光性色材の主材としてカーボンを含む遮光層が形成されている請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
- 前記額縁領域に、遮光性色材の主材としてカーボンを含む第1の遮光層と、遮光性色材の主材として有機顔料を含む第2の遮光層とを備える請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
- 前記有効表示領域に形成されるカラーフィルタの厚さは、前記額縁領域に形成される前記遮光層の厚さとほぼ同じである請求項6又は請求項7に記載のカラーフィルタ基板。
- 前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの線状パターンは、複数のV字形状を平面視で縦方向に連結したパターンである請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板と、
前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、
前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、
前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの線状パターンは、前記有効表示領域と前記額縁領域とに形成されており、
前記液晶層に含まれる液晶分子は、液晶駆動電圧の印加されていない状態で基板平面に垂直の長軸を持つ液晶表示装置。 - 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板と、
前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、
前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、
前記第1のカラーフィルタに対応する第1の画素に、1つの液晶駆動素子を備え、
前記第2のカラーフィルタに対応する第2の画素に、2つの液晶駆動素子を備え、
前記第3のカラーフィルタに対応する第3の画素に、2つの液晶駆動素子を備える液晶表示装置。 - 前記バックライトユニットの発光タイミングと液晶駆動電圧印加タイミングとを制御又は同期し、3次元表示を行う処理部をさらに具備する請求項11の液晶表示装置。
- 前記バックライトユニットから出射される光の角度を制御する角度制御部と、液晶画面から出射される出射光の出射角を調整する光制御素子とをさらに具備する請求項11又は請求項12に記載の液晶表示装置。
- 前記液晶駆動素子は、薄膜トランジスタであり、
前記薄膜トランジスタは、ガリウム、インジウム、亜鉛、錫、ハフニウム、イットリウム、ゲルマニウムのうちの2種以上の金属酸化物を含むチャネル層を備える請求項11から請求項13のいずれか一項に記載の液晶表示装置。 - 請求項3から請求項5のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板と、
前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、
前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、
前記アレイ基板は、第1の光センサと第2の光センサとを具備し、
前記第1の光センサは、基板平面と垂直な方向で、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタのうちのいずれかのカラーフィルタを経由し前記遮光層を経由しない光を検出し、
前記第2の光センサは、前記基板平面と垂直な方向で、前記カラーフィルタと前記遮光層とを経由する光を検出し、
前記第1の光センサの検出データから、前記第2の光センサの検出データを引き算する処理部をさらに具備する液晶表示装置。 - 前記バックライトユニットは、
可視光を発光する第1の固体発光素子と、
タッチセンシング用の赤外光を発光する第2の固体発光素子と、を具備し、
前記処理部は、前記第2の固体発光素子の発光タイミングと、前記第2の光センサの受光タイミングとを同期制御する請求項15の液晶表示装置。 - 前記赤外光の波長は、800nm〜1000nmの範囲に含まれる請求項15の液晶表示装置。
- カラーフィルタ基板の製造方法であって、
透明基板上に、第1レジスト層を形成し、
前記第1レジスト層をパターニングすることによって、第1のカラーフィルタと、前記第1のカラーフィルタで囲まれた第1フィルタ開口部及び第2フィルタ開口部とを形成し、
前記第1のカラーフィルタ,前記第1フィルタ開口部,及び前記第2フィルタ開口部を覆うように前記透明基板上に、第2レジスト層を形成し、
前記第2レジスト層をパターニングすることによって、前記第1フィルタ開口部に前記第2レジスト層を形成し、かつ、前記第2フィルタ開口部を露出させ、
熱処理を行うことによって、前記第1フィルタ開口部内で前記第2レジスト層を流動させ、前記第2レジスト層を硬化することによって、フィルタの重なりに起因する突起を形成しないように、かつ、前記第1のカラーフィルタと隙間なく隣接するように第2のカラーフィルタを形成し、
前記第1のカラーフィルタ,前記第2のカラーフィルタ,及び前記第2フィルタ開口部を覆うように前記透明基板上に、第3レジスト層を形成し、
前記第3レジスト層をパターニングすることによって、前記第2フィルタ開口部に前記第3レジスト層を形成し、
熱処理を行うことによって、前記第2フィルタ開口部内で前記第3レジスト層を流動させ、前記第3レジスト層を硬化することによって、フィルタの重なりに起因する突起を形成しないように、かつ、前記第1のカラーフィルタ及び前記第2のカラーフィルタと隙間なく隣接するように第3のカラーフィルタを形成するカラーフィルタ基板の製造方法。 - 請求項18に記載のカラーフィルタ基板の製造方法において、
遮光性色材の主材としてカーボンを含む材料を用いて、前記透明基板の額縁領域にアライメントマークを形成し、
前記額縁領域に、第2の遮光層を形成し、
前記第2の遮光層を形成した後に、前記アライメントマークに赤外光を照射し、前記アライメントマークの位置を検出することにより、前記パターニングに用いられるフォトマスクと前記透明基板との位置あわせを行うカラーフィルタ基板の製造方法。
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