JPWO2014115367A1 - カラーフィルタ基板、及び液晶表示装置 - Google Patents

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Abstract

本発明のカラーフィルタ基板は、有効表示領域と、前記有効表示領域を囲む額縁領域とを有する透明基板と、前記透明基板の上に、それぞれ色が異なるように、かつ、隙間なく互いに隣接するように線状のパターンで形成された、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタと、を備え、前記第1のカラーフィルタは、前記第2のカラーフィルタと前記第3のカラーフィルタとを区分けするように配置され、前記第1のカラーフィルタの線幅は、前記第2のカラーフィルタ及び前記第3のカラーフィルタの線幅のほぼ1/2であり、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタは、異なる色を有する少なくとも2つのカラーフィルタの重なりに起因する厚さ方向の突起形成がない。

Description

本発明は、カラーフィルタ基板、液晶表示装置、及びカラーフィルタ基板の製造方法に関する。
本願は、2013年1月25日に出願された特願2013−012006号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
一般的な液晶表示装置に備えられる液晶パネルは、2つの基板によって液晶層が挟まれる構成を持つ。2つの基板のそれぞれは、例えばガラスなどのような透明基板を含む。液晶パネルの表側及び裏側には、偏光板、又は、偏光板及び位相差板が備えられる。
有機エレクトロルミネセンス表示装置(以下、有機EL表示装置という)は、液晶に代えて白色発光の有機ELを備える。有機EL表示装置は、赤フィルタ、緑フィルタ、青フィルタを含むカラーフィルタを備えることにより、カラー表示可能である。有機EL表示装置は、高精細ディスプレイとして用いられる。
特許文献1(特開2006−139058号公報)及び特許文献2(国際公開WO2007/148519号)は、赤フィルタ、緑フィルタ、青フィルタを含み、緑フィルタが赤フィルタ及び青フィルタより小さいカラーフィルタを開示している。しかしながら、特許文献1,2は、1/2画素幅の緑フィルタが、それぞれ赤フィルタ、青フィルタを区分するように2倍の線数(1/2画素を絵素とすれば2倍の絵素数)で構成する技術を開示していない。特許文献2では、青フィルタと黄フィルタで緑フィルタの表示を補うことができ、ホワイトバランスの観点から相対的に赤フィルタの面積を大きくする必要がある。特許文献1,2は、立体画像表示、タッチセンシング、光センサを用いた色分離について開示していない。
3次元表示(立体表示)可能又は視野角の制御が可能な液晶表示装置は、バックライトユニット又は外部光源を用いて画像表示を行う。3次元表示可能又は視野角の制御が可能な液晶表示装置は、液晶パネルの表面から観察者側(外部側)へ出射される光の角度を、表示目的に応じて制御する。
3次元表示可能な液晶表示装置又はディスプレイ装置では、様々な表示方式が用いられる。3次元表示方式は、例えば、眼鏡を使用する方式、眼鏡を使用しない方式を含む。眼鏡を使用する方式は、例えば、色の違いを利用するアナグリフ方式又は偏光を利用する偏光眼鏡方式などを含む。眼鏡を使用する方式では、3次元表示時に観察者が専用の眼鏡をかける必要があり、煩わしい。ゆえに、近年の3次元表示においては、眼鏡を使用しない方式の要望が強くなっている。
液晶パネルから単数の観察者(以下、「2眼式」と表記する場合がある)又は複数の観察者(以下、「多眼式」と表記する場合がある)に対する出射光の角度を調整するために、液晶パネルの表面又は裏面に光制御素子を設置する技術が検討されている。眼鏡を使用しない方式の液晶表示装置において光制御素子が用いられる場合がある。
光制御素子の一例として、光学レンズを2次元配列し、規則的な屈折を実現するレンチキュラレンズが用いられる。レンチキュラレンズは、透明樹脂などをシート状に加工して形成され、液晶表示装置の表面又は裏面に貼付することにより用いられる場合がある。
特許文献3(日本国特許第4010564号公報)、特許文献4(日本国特許第4213226号公報)は、レンチキュラレンズ又はレンチキュラスクリーンを用いた3次元表示技術を開示する。
特許文献5(特開2010−210982号公報)は、裸眼での3次元表示のための視差バリアを開示している。特許文献5の[0016][0060]段落には、視差バリアとカラーフィルタとの間に透光膜を備え、3次元表示に必要な視差バリアとカラーフィルタとの間隔を確保することが開示されている。しかしながら、特許文献5に開示されている視差バリアは、主に導電性であり、カラーフィルタに通常形成されているブラックマトリクスとこの視差バリアとの関係で開口率の増加を図ることは開示されていない。例えば、特許文献5の図9では、視差バリアがカラーフィルタ(青フィルタ、緑フィルタ、赤フィルタ)の一部と重なる位置に配置されており、透過率が低下する場合がある。特許文献5の図10は、画素断面構造と推測される。この特許文献5の図10には、ブラックマトリクスが図示されている。しかしながら、特許文献5の図10では、視差バリアがカラーフィルタを横切るように形成されている。この場合、透過率が低下すると考えられる。また、特許文献5のように、視差バリアが導電性の場合、この視差バリアの導電性の影響により、インセル方式の静電容量方式のタッチセンシングを適用することが困難である。
液晶表示画面に対する直接入力方式は、センシング機能を有するタッチパネルを液晶パネルの前面に設置し、このタッチパネルによって入力を受け付けるオンセル方式と、センシング機能をマトリクス状配置のセンサとして液晶表示装置のアレイ基板又はカラーフィルタ基板に形成し、液晶セルに内設するインセル方式と、を含む。
特許文献6(特開平10−171599号公報)には、オンセル方式に用いられる技術として、抵抗膜方式、電磁誘導方式、静電容量方式、光学式タッチパネルが開示されている。液晶パネルの表面にタッチパネルを配設するオンセル方式においては、タッチパネルの厚みと重みが液晶表示装置の厚みと重みに加算され、装置全体の厚み及び重量が増加する。さらに、オンセル方式では、タッチパネルの表面及びタッチパネルの内面の光反射により、液晶表示品位が低下する場合がある。
これに対して、液晶セルにセンサを内設するインセル方式は、液晶表示装置の厚みの増加と、表示品位の低下とを抑制することができ、好ましい。センシング機能を持つセンサとして光センサの開発が進んでいる。
情報機器に用いられる液晶表示装置では、3次元表示の利用が増加している。例えば、3次元表示では、3次元表示されたボタンに対するクリック感の実現、指入力での誤動作防止など、技術的要求が増えている。指入力の検出のために、例えば、上述したような液晶表示装置の表面にタッチパネルを外付けするオンセル方式が用いられる。あるいは、指入力の検出のために、上述したような光センサを液晶パネルに内蔵させたインセル方式が用いられる場合がある。光センサを内蔵する液晶表示装置は、温度の影響及びバックライト光源の影響を受け、指入力について誤動作が発生することを防止するために、光センサの補償を必要とする場合がある。
光センサとして、ポリシリコン又はアモルファスシリコンによって形成されたチャネル層を備えるシリコンフォトダイオードが用いられた場合には、環境温度などの変化により暗電流が発生し、観測データに観測光ではないノイズが加わる場合がある。
特許文献7(特開2002−335454号公報)、特許文献8(特開2007−18458号公報)は、暗電流の補正を行うフォトダイオードを用いて演算補正することを開示している。これらの特許文献7,8は、撮像素子による暗電流補正技術を開示している。
特許文献9(特開2009−151039号公報)は、第1の受光素子と第2の受光素子との検出信号に基づく演算により、検出信号のS/N比を向上させることを開示している。しかしながら、特許文献9は、可視光を精度良く色分離する技術を開示していない。加えて、特許文献9の請求項1に示すように、第1の受光素子の上には、可視光域の光を吸収する光学フィルタ部が備えられ、さらに、入射光を吸収して遮断する遮光部が備えられることから、青色光・緑色光・赤色光の色分離については考慮されていない。加えて、特許文献9には、カラーフィルタ基板の製造で用いられるアライメント方法は開示されていない。特許文献9に開示されている技術は、この特許文献9の[0013]段落に記載されているように、ノイズ成分をキャンセルするタッチセンシングに係わる技術である。
特許文献10(特開2010−186997号公報)は、酸化物半導体を用いた光センサ(受光素子)技術を開示している。特許文献10は、主に有機物を発光層として用いるディスプレイに適用される光センサ技術を開示している。
特許文献11(日本国特許第4857569号公報)には、イメージセンサに適用されるが、1色目の入色にドライエッチングを適用することが開示されている。特許文献11は、画素配列をベイヤー配列とし、かつ、異なる画線幅で線状パターンを形成することを開示していない。ベイヤー配列では、緑画素のコーナー部分の再現性が低下し、例えば、液晶表示装置又は有機EL表示装置では、各色の面積比率が変化し、色バランスが低下し、表示の際の色むらが生じる場合がある。ベイヤー配列では、緑画素の面積比率が赤画素、青画素の2倍になるため、ホワイトバランスを重視する液晶表示装置及び有機EL表示装置に適用することが困難である。また、ベイヤー配列の液晶表示装置及び有機EL表示装置では、テキスト(文字)表示の再現性又は立体表示の整合性を確保することが困難な場合がある。引用文献11は、カラーフィルタ層をドライエッチングする場合の有機顔料に含まれるハロゲン及び金属を用いたコンタミネーションも開示していない。引用文献11は、2色目以降の入色に、熱硬化時の流動性を活用することを開示していない。
特許文献12(特開2004−354662号公報)では、あるフィルタと他のフィルタとが重なる部分を持つ。この2つのフィルタの重なる部分は、他の部分より突出し、カラーフィルタ基板の平坦性が低下する。一般に、カラーフィルタの膜厚は、およそ1.5μmから3μmの範囲にある。このため、2つのフィルタの重なる部分は、少なくとも1μm以上の突起を形成し、液晶の配向の乱れ又は液晶画質低下が発生する場合がある。
特開2006−139058号公報 国際公開第2007/148519号 日本国特許第4010564号公報 日本国特許第4213226号公報 日本国特開2010−210982号公報 特開平10−171599号公報 特開2002−335454号公報 特開2007−18458号公報 特開2009−151039号公報 特開2010−186997号公報 日本国特許第4857569号公報 特開2004−354662号公報
本発明は、高い表示精度と平坦性とを実現するカラーフィルタ基板、液晶表示装置、及びカラーフィルタ基板の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板は、有効表示領域と、前記有効表示領域を囲む額縁領域とを有する透明基板と、前記透明基板の上に、それぞれ色が異なるように、かつ、隙間なく互いに隣接するように線状のパターンで形成された、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタと、を備え、前記第1のカラーフィルタは、前記第2のカラーフィルタと前記第3のカラーフィルタとを区分けするように配置され、前記第1のカラーフィルタの線幅は、前記第2のカラーフィルタ及び前記第3のカラーフィルタの線幅のほぼ1/2であり、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタは、異なる色を有する少なくとも2つのカラーフィルタの重なりに起因する厚さ方向の突起形成がない。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記第1のカラーフィルタは、赤フィルタ又は緑フィルタであることが好ましい。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの上に形成される遮光層をさらに具備し、前記遮光層は、遮光性色材の主材として有機顔料を含み、可視域遮光性及び赤外域透過性を持つことが好ましい。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記遮光層に含まれる前記有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が50〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であることが好ましい。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記遮光層に含まれる前記有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が30〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であり、緑色顔料あるいは青色顔料が10%以下の質量で、前記遮光層に添加されていることが好ましい。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記額縁領域に、遮光性色材の主材としてカーボンを含む遮光層が形成されていることが好ましい。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記額縁領域に、遮光性色材の主材としてカーボンを含む第1の遮光層と、遮光性色材の主材として有機顔料を含む第2の遮光層とを備えることが好ましい。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記有効表示領域に形成されるカラーフィルタの厚さは、前記額縁領域に形成される前記遮光層の厚さとほぼ同じであることが好ましい。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板においては、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの線状パターンは、複数のV字形状を平面視で縦方向に連結したパターンであることが好ましい。
本発明の第2態様の液晶表示装置は、上記第1態様のカラーフィルタ基板と、前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの線状パターンは、前記有効表示領域と前記額縁領域とに形成されており、前記液晶層に含まれる液晶分子は、液晶駆動電圧の印加されていない状態で基板平面に垂直の長軸を持つ。
本発明の第3態様の液晶表示装置は、上記第1態様のカラーフィルタ基板と、前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、前記第1のカラーフィルタに対応する第1の画素に、1つの液晶駆動素子を備え、前記第2のカラーフィルタに対応する第2の画素に、2つの液晶駆動素子を備え、前記第3のカラーフィルタに対応する第3の画素に、2つの液晶駆動素子を備える。
本発明の第3態様の液晶表示装置においては、前記バックライトユニットの発光タイミングと液晶駆動電圧印加タイミングとを制御又は同期し、3次元表示を行う処理部をさらに具備することが好ましい。
本発明の第3態様の液晶表示装置においては、前記バックライトユニットから出射される光の角度を制御する角度制御部と、液晶画面から出射される出射光の出射角を調整する光制御素子とをさらに具備することが好ましい。
本発明の第3態様の液晶表示装置においては、前記液晶駆動素子は、薄膜トランジスタであり、前記薄膜トランジスタは、ガリウム、インジウム、亜鉛、錫、ハフニウム、イットリウム、ゲルマニウムのうちの2種以上の金属酸化物を含むチャネル層を備えることが好ましい。
本発明の第4態様の液晶表示装置は、上記第1態様のカラーフィルタ基板と、前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、前記アレイ基板は、第1の光センサと第2の光センサとを具備し、前記第1の光センサは、基板平面と垂直な方向で、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタのうちのいずれかのカラーフィルタを経由し前記遮光層を経由しない光を検出し、前記第2の光センサは、前記基板平面と垂直な方向で、前記カラーフィルタと前記遮光層とを経由する光を検出し、前記第1の光センサの検出データから、前記第2の光センサの検出データを引き算する処理部をさらに具備する。
本発明の第4態様の液晶表示装置においては、前記バックライトユニットは、可視光を発光する第1の固体発光素子と、タッチセンシング用の赤外光を発光する第2の固体発光素子と、を具備し、前記処理部は、前記第2の固体発光素子の発光タイミングと、前記第2の光センサの受光タイミングとを同期制御することが好ましい。
本発明の第4態様の液晶表示装置においては、前記赤外光の波長は、800nm〜1000nmの範囲に含まれることが好ましい。
本発明の第5態様のカラーフィルタ基板の製造方法は、透明基板上に、第1レジスト層を形成し、前記第1レジスト層をパターニングすることによって、第1のカラーフィルタと、前記第1のカラーフィルタで囲まれた第1フィルタ開口部及び第2フィルタ開口部とを形成し、前記第1のカラーフィルタ,前記第1フィルタ開口部,及び前記第2フィルタ開口部を覆うように前記透明基板上に、第2レジスト層を形成し、前記第2レジスト層をパターニングすることによって、前記第1フィルタ開口部に前記第2レジスト層を形成し、かつ、前記第2フィルタ開口部を露出させ、熱処理を行うことによって、前記第1フィルタ開口部内で前記第2レジスト層を流動させ、前記第2レジスト層を硬化することによって、フィルタの重なりに起因する突起を形成しないように、かつ、前記第1のカラーフィルタと隙間なく隣接するように第2のカラーフィルタを形成し、前記第1のカラーフィルタ,前記第2のカラーフィルタ,及び前記第2フィルタ開口部を覆うように前記透明基板上に、第3レジスト層を形成し、前記第3レジスト層をパターニングすることによって、前記第2フィルタ開口部に前記第3レジスト層を形成し、熱処理を行うことによって、前記第2フィルタ開口部内で前記第3レジスト層を流動させ、前記第3レジスト層を硬化することによって、フィルタの重なりに起因する突起を形成しないように、かつ、前記第1のカラーフィルタ及び前記第2のカラーフィルタと隙間なく隣接するように第3のカラーフィルタを形成する。
本発明の第5態様のカラーフィルタ基板の製造方法においては、遮光性色材の主材としてカーボンを含む材料を用いて、前記透明基板の額縁領域にアライメントマークを形成し、前記額縁領域に、第2の遮光層を形成し、前記第2の遮光層を形成した後に、前記アライメントマークに赤外光を照射し、前記アライメントマークの位置を検出することにより、前記パターニングに用いられるフォトマスクと前記透明基板との位置あわせを行うことが好ましい。
本発明の態様においては、高い表示精度と平坦性とを実現するカラーフィルタ基板、液晶表示装置、及びカラーフィルタ基板の製造方法を提供することができる。
第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の一例を示す平面図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の一例を示す平面図であって、符号Aで示された部分を示す拡大図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の一例を示す平面図であって、符号Bで示された部分を示す拡大図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の一例を示す断面図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板を備える液晶パネルの一例を示す断面図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す状態遷移図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す状態遷移図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す状態遷移図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す状態遷移図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す状態遷移図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す状態遷移図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一例を示す状態遷移図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板における画素形状の変形例を示す平面図である。 従来のカラーフィルタ基板の一例を示す断面図である。 ベイヤー配列のカラーフィルタ基板の一例を示す平面図である。 赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFの白抜け部C2の一例を示す平面図である。 緑フィルタGFのつながり部C3の一例を示す平面図である。 第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板の変形例を示す断面図である。 第2の実施形態に係る緑フィルタGFの形成方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第2の実施形態に係る緑フィルタGFの形成方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第2の実施形態に係る緑フィルタGFの形成方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第2の実施形態に係る緑フィルタGFの形成方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法に関わる工程で形成される中間製品の一例を示す断面図である。 第4の実施形態に係る液晶パネルの一例を示す断面図である。 第4の実施形態に係る液晶表示装置の一例を示す断面図である。 第4の実施形態に係る液晶表示装置の一例を示す平面図である。 第4の実施形態に係る液晶表示装置の一例を示す平面図であって、図15Aの符号Cで示された部分を示す拡大図である。 第4の実施形態に係る液晶パネルの一例を示す断面図である。 第4の実施形態に係るカラーフィルタの透過率特性の一例を示すグラフである。 第4の実施形態に係る遮光層BLK1の遮光特性B1L及び遮光層BLK2の遮光特性B2Lの例を示すグラフである。 緑フィルタの透過特性と、緑フィルタと遮光層とを光学的に重ねた透過特性との一例を示すグラフである。 赤フィルタの透過特性と、赤フィルタと遮光層とを光学的に重ねた透過特性との一例を示すグラフである。 青フィルタの透過特性と、青フィルタと遮光層とを光学的に重ねた透過特性との一例を示すグラフである。 第4の実施形態に係る液晶表示装置の3次元表示状態の一例を示す断面図である。 ダイレクトコピーに用いられる液晶表示装置の一例を示す断面図である。 第5の実施形態に係る液晶パネルの一例を示す断面図である。 緑画素GPaと緑画素GPbとの一例を示す断面図である。 緑画素GPaに液晶駆動電圧が印加された状態の一例を示す断面図である。 緑画素GPbに液晶駆動電圧が印加された状態の一例を示す断面図である。 緑画素GPa,GPbに液晶駆動電圧が印加された状態の一例を示す断面図である。 青画素BPの一例を示す断面図である。 第6の実施形態に係る液晶表示装置の一例を示す断面図である。 第6の実施形態に係る液晶表示装置の一例を示す断面図であって、図30Aで示された角度制御部の構造を説明するための拡大図である。 第6の実施形態に係る光制御素子の構成の一例を示す平面図である。 紫色の顔料V23を含む塗膜の透過率特性V23L、代表的な緑色の顔料C.I.Pigment Green 36を含む塗膜の透過率特性G36L、代表的な緑色の顔料C.I.Pigment Green 58を含む塗膜の透過率特性G58Lの一例を示すグラフである。 半値波長が調整された遮光層の透過率特性の例を示すグラフである。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。なお、以下の説明において、同一又は実質的に同一の機能及び構成要素については、同一符号を付し、説明を省略するか又は必要な場合のみ説明を行う。
各実施形態においては、特徴的な部分についてのみ説明し、通常の液晶表示装置の構成要素と差異のない部分については説明を省略する。
各実施形態においては、液晶表示装置の表示単位が1画素(又は絵素)である場合を説明する。しかしながら、表示単位は、1サブピクセルでもよいし、他にも、複数のピクセル数(画素数)が表示単位を構成してもよいし、任意に定義されたピクセルや画素が表示単位を構成してもよい。画素は、少なくとも2つの平行な辺を持つ多角形であるとする。
平面視で、画素の横方向は、観察者の右目と左目との並び方向と平行とする。
平面視で、画素の横方向と垂直な方向は、画素の縦方向とする。
複数の画素は、他の画素と比較して横方向の幅(以下、横幅という)が1/2の画素を含むとしてもよい。横幅1/2の画素は、縦方向に長い形状を持つ。しかしながら、複数の画素は、縦方向に長い形状に代えて、他の画素と比較して縦方向の幅(以下、縦幅という)が1/2の画素を含むとしてもよい。この場合、縦幅1/2の画素は、横方向に長い形状を持つ。
各実施形態において、画素の縦幅は、画素の開口部の縦幅とほぼ同じである。画素の横幅は、画素の開口部の横幅とほぼ同じである。
各実施形態においては、様々な液晶駆動方式が用いられてもよい。例えば、IPS方式(水平配向の液晶分子を用いた横電界方式)、VA(Vertically Alignment:垂直配向の液晶分子を用いた縦電界方式)、HAN(Hybrid−aligned Nematic)、TN(Twisted Nematic)、OCB(Optically Compensated Bend)、CPA(Continuous Pinwheel Alignment)のような液晶配向方式又は液晶駆動方式が用いられる。液晶層は、正の誘電率異方性を持つ液晶分子を含むとしてもよく、又は、負の誘電率異方性を持つ液晶分子を含むとしてもよい。
液晶駆動電圧印加時の液晶分子の回転方向(動作方向)は、基板の表面に平行になる方向でもよく、基板の平面に垂直に立ち上がる方向でもよい。液晶分子に印加される液晶駆動電圧の方向は、水平方向でもよく、2次元又は3次元的に斜め方向でもよく、垂直方向でもよい。
(第1の実施形態)
本実施形態においては、カラーフィルタ基板とその製造方法について説明する。本実施形態においては、平面視で、各カラーフィルタの縦方向の両辺に、遮光層(ブラックマトリクス)の形成されていないカラーフィルタ基板について説明する。このように、液晶表示領域において、各カラーフィルタの縦方向の両辺に遮光層(ここでは、ブラックマトリクスと同義とし、以下ではブラックマトリクスと表記する場合もある)を形成しないことにより、遮光層の線幅の分、画素の開口部の横幅を広くすることができる。ブラックマトリクスがない広い画素の開口幅は、液晶表示装置の後工程であるセル化、すなわち、後述されるアレイ基板との位置あわせ(セル化工程でのアライメント)を極めて容易にすることができる。ブラックマトリクスが存在する場合、ブラックマトリクスのパターン線幅のそれぞれ2つの線幅端部に対して、アレイ基板上の薄膜トランジスタと電気的に接続される金属配線の端部の位置を、正確に合わせる必要がある。ブラックマトリクスが存在しない場合、隣接するカラーフィルタの境界に対して、アレイ基板上の金属配線の位置を合わせればよいため、アライメントのマージンが広がる。
カラーフィルタ基板は、第1のカラーフィルタによって形成される第1の線状パターンと、第1のカラーフィルタによって形成される第2の線状パターンと、第1及び第2の線状パターンを区分けする第3のカラーフィルタによって形成される第3の線状パターンとを備える。本実施形態において、互いに隙間なく隣接する第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタは、カラーフィルタ基板の厚さ方向で、異なる色を有する少なくとも2つのカラーフィルタの重なりに起因する膜厚方向の突起形成がない。換言すると、異なる色を有する少なくとも2つのカラーフィルタの重なりに起因する膜厚方向の突起が形成されないように、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタは形成されている。また、換言すると、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタにおいて、2つのカラーフィルタが、側面のみにおいて、互いに接触している。
このように互いに隣接するカラーフィルタは、製造工程における熱処理工程(リフロー工程)の際に、一方のカラーフィルタ材料が溶融して、先に基板上に形成された他方のカラーフィルタの側面に接触することによって形成される。溶融したカラーフィルタ材料が、先に固定形成されたカラーフィルタの上面に向けて流動しないように、熱処理工程が行われる。
また、互いに隣接するカラーフィルタが厚さ方向において重ならない構造を実現するには、先に基板上に形成されるカラーフィルタの断面形状は、矩形であることが好ましい。断面において矩形形状を有するカラーフィルタの側面は、基板に対して垂直であるため、後に形成されるカラーフィルタは、垂直側面に接触するように配置される。このため、互いに隣接するカラーフィルタは、垂直側面を挟むように配置され、本発明の突起が形成されない構造が実現される。
なお、ここで突起とは、液晶表示に影響を与えやすい光の波長(例えば、550nm)以上の高さを持つ突起である。本実施形態において、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタを隙間なく配設する場合に、ごくわずかなアライメント誤差及び色のにじみが生じてもよい。例えば、液晶表示に影響を与えやすい光の波長の1/2以下のごくわずかなアライメント誤差があっても、本実施形態における「突起形成がない」に該当するとしてもよい。例えば、色のにじみなどによってカラーフィルタにごく微細な盛り上がりが生じても、本実施形態における「突起形成がない」に該当するとしてもよい。また、熱処理工程において、先に形成されたカラーフィルタの上面と側面との間に形成される角部を僅かに覆うように、溶融したカラーフィルタが形成されたとしても、本実施形態における「突起形成がない」に該当するとしてもよい。
本実施形態においては、カラーフィルタ基板が液晶表示装置に備えられる場合について説明するが、有機EL表示装置に備えられてもよい。
図1A〜図1Cは、本実施形態に係るカラーフィルタ基板1の一例を示す平面図である。
カラーフィルタ基板1は、平面視で、有効表示領域2と、額縁領域3とを持つ。額縁領域3は、有効表示領域2を囲む。有効表示領域2は、複数の領域4を含む。図1A〜図1Cでは、有効領事領域2は、縦方向に4つ、横方向に4つで、計16個の領域4を含む。有効表示領域2に含まれる領域4の数は、液晶表示装置の画面サイズに応じて変更可能である。
カラーフィルタ基板1は、平面視で、額縁領域3に2つ以上のアライメントマーク5を備える。このアライメントマーク5は、カラーフィルタ基板1の製造工程で使用される。例えば、アライメントマーク5は、複数の色のフィルタのうち、最初に形成されるフィルタの色材により、最初に形成されるフィルタとともに形成されてもよい。
カラーフィルタ基板1は、カラーフィルタCFとして、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFを備える。
赤フィルタRFは、縦方向に長い線状パターンである。
青フィルタBFも、縦方向に長い線状パターンである。
緑フィルタGFは、縦方向に長い線状パターンであり、赤フィルタRFと青フィルタBFとの間に備えられ、赤フィルタRFと青フィルタBFとを区分けする。
本実施形態において、赤フィルタRFの横幅と、青フィルタBFの横幅は、W1である。緑フィルタGFの横幅は、W2である。横幅W2は、横幅W1のほぼ1/2とする。
ここで、赤フィルタRF、緑フィルタGF、及び青フィルタBFの色バランスや色度が所望に得られるように、横幅W1に対する横幅W2の比率であるほぼ1/2という数値が規定されている。所望の色バランスや色度を得るために、横幅W1に対する横幅W2の比率が、1/2から僅かに値であってもよい。
赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFは、ストライプ状に配列される。
図2は、カラーフィルタ基板1の一例を示す断面図である。この図2は、図1CのA−A’断面に相当する。
さらに、図3は、カラーフィルタ基板1を備える液晶パネル6の一例を示す断面図である。この図3は、図1AのB−B’断面に相当する。
カラーフィルタ基板1は、透明基板7と、カラーフィルタ層8と、透明樹脂層9と、対向電極10とを備える。なお、対向電極10は、省略されてもよい。
透明基板7としては、例えばガラスが用いられる。透明基板7の第1の平面の上に、カラーフィルタ層8が形成される。
本実施形態において、カラーフィルタ層8は、カラーフィルタCFを含むが、遮光層をさらに含むとしてもよい。カラーフィルタCFは、赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFを含む。
本実施形態において、カラーフィルタCFは有効表示領域2と額縁領域3とに形成されている。カラーフィルタ層8において、有効表示領域2のカラーフィルタCFの厚さと、額縁領域3のカラーフィルタCFの厚さとは、ほぼ同じである。
カラーフィルタ層8の上に、透明樹脂層9層が形成される。
透明樹脂の上に、対向電極10が形成される。
対向電極10は、縦方向に長い線状パターンであり、赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFのそれぞれにそって形成される。
対向電極10は、例えば、櫛歯状、帯状、線状、ストライプ状のパターンで形成することができる。
対向電極10は、導電性の金属酸化物を含むとしてもよい。導電性の金属酸化物としては、例えば、Indium−Tin−Oxide(ITO)などのような透明導電膜が用いられる。
本実施形態において、各対向電極10は、赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFに、厚さ方向で重なる。
本実施形態において、互いに隙間なく隣接する赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFは、互いの隣接部で、光の波長の1/2以下の凹凸を含む場合があっても、厚さ方向に実質的には重ならない。
液晶パネル6は、アレイ基板11と、カラーフィルタ基板1と、液晶層12とを備える。液晶パネル6の表面側(観察者側、カラーフィルタ基板1の表面)には、偏光板131が備えられる。液晶パネル6の裏面側(液晶表示装置の内部側、アレイ基板11の表面)には、偏光板132が備えられる。液晶表示装置は、図3の液晶パネル6の下に、光制御素子、バックライトユニットなどを備える。この液晶パネル6を備える液晶表示装置は、液晶駆動電圧が無印加の場合に黒表示である。IPS(水平配向の液晶分子を用いた横電界方式)又はECB(Electrically Controlled Birefringence)と呼称される初期水平配向の液晶配向方式と異なり、液晶分子の配向方向と偏光板131,132の光軸とのずれが発生しないため、漆黒の黒表示(深い黒表示)が得られる。
アレイ基板11とカラーフィルタ基板1とは、向かい合っている。アレイ基板11とカラーフィルタ基板1との間には、液晶層12が挟まれている。
カラーフィルタ基板1の対向電極10に面するように、液晶層12が配置されている。カラーフィルタ基板1の透明基板7の第2の平面は、液晶パネル6の表示面であり、観察者が観察する面である。
アレイ基板11は、透明基板14と、絶縁層15a〜15cと、共通電極と、画素電極と、液晶駆動素子(アクティブ素子)を備えるが、図3において、共通電極と画素電極とは省略されている。液晶駆動素子としては、例えば、薄膜トランジスタを用いることができる。
透明基板14としては、例えば、ガラス板が用いられる。
透明基板14の第1の平面の上には、絶縁層15a,15bが形成される。絶縁層15bの上には、共通電極が形成される。共通電極の形成された絶縁層15bの上には、絶縁層15cが形成される。絶縁層15cの上には、画素電極が形成される。絶縁層15a〜15cとしては、例えば、SiN、SiO、又は、SiN及びSiOを有する混合物が用いられる。図示されていない画素電極と共通電極とは、導電性の金属酸化物を含むとしてもよい。導電性の金属酸化物としては、例えば、ITOなどのような透明導電膜が用いられる。
アレイ基板11の画素電極に面するように、液晶層12が配置されている。アレイ基板11の透明基板14の第2の平面は、液晶表示装置の内部に位置する面である。
透明基板7の第2の平面(液晶パネル6の表示面)には、偏光板131が備えられる。透明基板14の第2の平面(液晶パネル6の装置内部)には、偏光板132が備えられる。
本実施形態において、アライメントマーク5は、例えば、カラーフィルタCFの1色目により形成されてもよい。アライメントマーク5は、透明基板7上に少なくとも2箇所形成される。アライメントマーク5は、例えば、カラーフィルタCFの材料であるフォトレジストによって塗布膜が形成された後の露光工程において、位置あわせのために用いられる。
以下で、本実施形態に係るカラーフィルタ基板1の製造方法を説明する。
図4A〜図4Gは、カラーフィルタ基板1の製造方法の一例を示す状態遷移図である。
カラーフィルタ基板1の製造装置としては、例えば、塗布装置、乾燥機、露光装置、現像装置、硬膜装置などが用いられる。代表的な乾燥機及び硬膜装置として、クリーンオーブン及びホットプレートなどが用いられる。
図4Aに示すように、透明基板7の上に、緑色レジストGR(着色組成物、第1レジスト層)が形成される。例えば、緑色レジストGRは、透明基板7の全面に、乾燥後の塗膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、加工対象の基板は、クリーンオーブン中で、70℃で20分間プリベークされ、その後、基板は室温に冷却される。そして、基板に対して、超高圧水銀ランプを用いてフォトマスクを介して紫外線が露光される。このとき、例えば基板の端面を基準として、緑色レジストGRを用いて十字状のアライメントマーク5が形成される。その後、当該基板に対して、23℃の炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像を行い(パターニング)、イオン交換水で洗浄し、風乾する。その後、基板に対して、220℃で熱処理、硬膜化(キュア)がなされ、図4Bに示すように、透明基板7の上に、緑フィルタGF(第1のカラーフィルタ)と、緑フィルタGFで囲まれた第1フィルタ開口部61と第2フィルタ開口部62とが形成される。ここで、第1フィルタ開口部61は、後の工程で形成される赤フィルタRFが配置される開口部である。また、第2フィルタ開口部62は、後の工程で形成される青フィルタBFが配置される開口部である。
なお、緑フィルタGFは、上記のようなフォトリソグラフィ法でなく、公知のドライエッチング法を用いて高精細に形成されてもよい。
次に、図4Cに示すように、緑フィルタGF、第1フィルタ開口部61、及び第2フィルタ開口部62を覆うように、加工対象の基板の上に、赤色レジストRR(第2レジスト層)が形成される。例えば、赤色レジストRRは、乾燥後の膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、基板は、アライメントマーク5を用いて位置あわせを行い、露光装置によって露光され、現像装置によって現像され(パターニング)、図4Dに示すように、2つの緑フィルタGFの間に位置する第1フィルタ開口部61に赤色レジストRR(赤フィルタRF)が形成される。また、緑フィルタGF及び第2フィルタ開口部62上に形成された赤色レジストRRは除去される。
次に、熱処理工程を行うことによって、赤色レジストRRに熱フロー性(熱処理による流動化)を付与し、第1フィルタ開口部61内において赤色レジストRRを流動させ、熱処理による硬膜により赤色レジストRRから赤フィルタRF(第2のカラーフィルタ)を形成することにより、図4C及び図4Dに示すように、アライメント誤差である位置ずれρを吸収することができ、平坦な赤フィルタRFを形成することができる。これによって、緑フィルタGFと隙間なく隣接するように赤フィルタRFが形成される。このとき、緑フィルタGFと赤フィルタRFとが重なることに起因する突起は形成されない。
赤フィルタRFを形成するための現像や硬膜の工程は、緑フィルタGFの形成と同様である。
次に、図4Eに示すように、緑フィルタGF、赤フィルタRF、及び第2フィルタ開口部62を覆うように、加工対象の基板の上に、青色レジストBR(第3レジスト層)が形成される。例えば、青色レジストBRは、乾燥後の膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、基板は、乾燥機によって乾燥され、アライメントマーク5を用いて位置あわせを行い、露光装置によって露光され、現像装置(パターニング)によって現像され、図4Fに示すように、2つの緑フィルタGFの間に位置する第2フィルタ開口部62に青色レジストBR(青フィルタBF)が形成される。また、緑フィルタGF及び赤フィルタRF上に形成された青色レジストBRは除去される。
次に、熱処理工程を行うことによって、青色レジストBRに熱フロー性を付与し、第2フィルタ開口部62内において青色レジストBRを流動させ、熱処理による硬膜により青色レジストBRから青フィルタBF(第3のカラーフィルタ)を形成することにより、図4E及び図4Fに示すように、アライメント誤差である位置ずれρを吸収することができ、平坦な青フィルタBFを形成することができる。これによって、緑フィルタGF及び赤フィルタRFと隙間なく隣接するように青フィルタBFが形成される。このとき、緑フィルタGFと青フィルタBFとが重なることに起因する突起、又は、赤フィルタRFと青フィルタBFとが重なることに起因する突起は形成されない。青フィルタBFを形成するための現像や硬膜の工程は、緑フィルタGFの形成と同様である。
上記の製造工程においては、透明基板7上に、最初に、緑色レジストGRを用いて十字状のアライメントマーク5を形成した。本発明は、このようなアライメントマーク5に限定されない。
例えば、遮光性色材の主材としてカーボンを含む遮光層(第1の遮光層)を額縁領域に形成する場合に、この遮光層と同じ材料によってアライメントマークを形成してもよい。更に、有機顔料を含む遮光層(第2の遮光層)を形成した後に、上記のようにカーボンを含む材料で形成されたアライメントマークに赤外光を照射し、アライメントマークの位置を検出(認識)することにより、パターニングに用いられるフォトマスクと透明基板との位置あわせを行ってもよい。
次に、図4Gに示すように、緑フィルタGF、赤フィルタRF、青フィルタBFの上に、透明樹脂層9が形成される。透明樹脂層9は、緑フィルタGF、赤フィルタRF、青フィルタBFに含まれる有機顔料による汚染を防ぎ、また、カラーフィルタ基板1の平坦性をさらに向上させることができる。
本実施形態においては、例えば、透明樹脂層9の上に対向電極10が形成されてもよい。対向電極10は、例えば導電性の金属酸化物の薄膜、より具体的には例えばITOにより形成されてもよい。これにより、上記の図2のカラーフィルタ基板1が形成される。
本実施形態に係るカラーフィルタ基板1が液晶表示装置に適用される場合には、透明樹脂層9又は対向電極10の上に配向膜が形成されてもよい。
本実施形態において、画素形状は長方形状であるが、例えば、図5に示すように、画素形状をV字形状(doglegged shape)としてもよい。この場合、緑フィルタGF、赤フィルタRF、青フィルタBFは、V字形状が縦方向に連結された線状パターンを持つ。このようなV字形状のパターンを用いることにより、液晶表示装置の視野角を広げることができる。
以上説明した本実施形態においては、平面視で、赤フィルタRFの線状パターンと青フィルタBFの線状パターンとが、緑フィルタGFの線状パターンによって隙間なく挟まれる。
本実施形態においては、緑フィルタGF、赤フィルタRF、青フィルタBFのうち、緑フィルタGFが最初に形成される。
緑フィルタGFを形成するために用いられる緑色レジストGRは、顔料比率が高い。このため、上記のようにフォトリソグラフィ法で緑フィルタGFが形成された場合であっても、緑フィルタGFの断面形状は良好である。加えて、緑フィルタGFは視感度が高く、形状の良い緑フィルタGFを形成することにより、ムラのない均質な表示を実現することができる。
本実施形態においては、互いに隣接する赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFは、厚さ方向に互いに重ならない。さらに、本実施形態においては、緑フィルタGF、赤フィルタRF、青フィルタBFのうち、大きな熱フロー性を持つ青フィルタBFが最後に形成される。さらに、本実施形態においては、カラーフィルタ層8において、カラーフィルタCFの厚さと、遮光層BLK1,BLK2の組み合わせの厚さとは、ほぼ同じである。これにより、カラーフィルタ基板1の精度及び平坦性を向上させることができる。
本実施形態によって得られる効果を図6〜図9を用いて説明する。
図6は、透明基板7の上に、遮光層であるブラックマトリクスBMを形成し、その上に、さらに赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFを形成した従来のカラーフィルタ基板の一例を示す断面図である。
通常のフォトリソグラフィ法で赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFを形成すると、ブラックマトリクスBMの上に、赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFのうち2つのフィルタが重なり、凸部16が形成される。このような凸部16は、カラーフィルタ基板の平坦性を低下する。しかしながら、本実施形態に係るカラーフィルタ基板1では、互いに隣接する赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFは厚さ方向に互いに重ならない。
図6に示す従来のカラーフィルタ基板においては、ブラックマトリクスBMと赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFとが重なることにより凸部16(突起)が生じ、この凸部16により光漏れが生じコントラストが低下する場合がある。しかしながら、本実施形態に係るカラーフィルタ基板1は、有効表示領域2に、ブラックマトリクスBMが存在せず、平坦性を極めて高くすることができ、コントラスト低下を抑制することができる。
図7は、撮像素子として周知のベイヤー配列の緑フィルタGFを形成するためのフォトマスクの一例を示す平面である。このようなフォトマスクは、例えば、特許文献11で用いられる。この図7の白の開口領域(カラーフィルタが形成されない領域)は、通常、緑フィルタGFの形成時に形成される。緑フィルタGFの形成領域のコーナー部C1における露光のパターン制御は難しい。
図8は、赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFの白抜け部C2の一例を示す平面図である。露光に用いるフォトマスクにある、赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFのそれぞれパターンにおいてフォトマスク開口部が同じ大きさの場合、赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFのそれぞれは、同じ大きさで形成され、結果として、フィルタの形成のない白抜け部C2が生じる場合がある。
図9は、過度の露光で生じる緑フィルタGFのつながり部C3の一例を示す平面図である。例えば、特許文献11にように、固体撮像素子に備えられるフォトダイオードは、それぞれ画素開口部より小さい。このため、上記のような白抜け部C2及びつながり部C3の影響は小さい。
しかしながら、裏面にバックライトユニットを備える液晶表示装置では、白抜け部C2は光漏れの原因となる。さらに、過度な露光で生じるつながり部C3は、緑フィルタGFの面積比率を増やし、赤・緑・青の色バランスを崩すことになる。本実施形態に係る液晶表示装置においては、上記のような色バランスの崩れ及び白抜けを避けることができる。
本実施形態においては、本実施形態に係るカラーフィルタ基板1は、同一色の並びとなる帯状、ストライプ状、V字状を含む線状パターンを持つため、ベイヤー配列での白抜け部C2及びつながり部C3が生じることを防止することができ、隙間のない高精度にカラーフィルタ基板1を形成することができる。
本実施形態に係るカラーフィルタ基板1及びこのカラーフィルタ基板1を備える表示装置は、例えば250ppi又は画素幅が25μm以下の高精細表示に適している。
本実施形態においては、カラーフィルタ基板1の額縁領域3までカラーフィルタCFが延伸され、有効表示領域2と額縁領域3とにカラーフィルタCFが形成される。有効表示領域2におけるカラーフィルタCFの厚さと、額縁領域3におけるカラーフィルタCFの厚さとは、ほぼ同じである。このようなカラーフィルタ基板1の構成により、カラーフィルタ基板1にコントラスト低下の原因となる凸部が形成されることを防止することができる。さらに、カラーフィルタ基板1においては、額縁領域3に遮光層が形成されないため、遮光層を形成するための工程を省略することができる。
しかしながら、例えば、図10に示すように、カラーフィルタ基板17は、有効表示領域2にカラーフィルタCFを備え、額縁領域3に遮光層BLK1,BLK2を備えてもよい。
本実施形態において、カラーフィルタ基板17のカラーフィルタ層8は、有効表示領域2にカラーフィルタCFを含み、額縁領域3に遮光層BLK1,BLK2を含む。遮光層BLK1,BLK2は、カラーフィルタ基板17の厚さ方向(液晶表示面に垂直な方向)において、重なっている。カラーフィルタ基板17において、有効表示領域2のカラーフィルタCFの厚さと、額縁領域3の遮光層BLK1,BLK2の組み合わせの厚さとは、ほぼ同じである。このようなカラーフィルタ基板17の構成により、カラーフィルタ基板17にコントラスト低下の原因となる凸部(突起)が形成されることを防止することができる。
(第2の実施形態)
本実施形態は、上記の第1の実施形態の変形例である。本実施形態では、緑フィルタGFの形成方法の変形例について説明する。
図11A〜図11Dは、本実施形態に係る緑フィルタGFの形成方法に関わる工程のそれぞれの中間製品の一例を示す断面図である。
図11Aに示すように、透明基板7の上に、緑色レジストGRが形成される。例えば、緑色レジストGRは、透明基板7の全面に、乾燥後の塗膜厚が2.5μmとなるように塗布され、乾燥、硬膜化される。
次に、図11Bに示すように、緑色レジストGRの上に、ポジ型の感光性レジスト層18が形成される。
次に、図11Cに示すように、ポジ型の感光性レジスト層18が線状パターンに成形される。この線状パターンは、緑フィルタGFの線状パターンと同じである。線状パターンの成形は、例えば、周知のフォトリソグラフィ法によって行われる。
次に、図11Dに示すように、ポジ型の感光性レジスト層18の線状パターンとともに、緑色レジストGRがドライエッチングされる。これにより、線状パターンの緑フィルタGFが形成される。
ポジ型の感光性レジスト層18の線状パターンは、エッチング時に除去される。しかしながら、感光性レジスト層18の線状パターンの一部は残されてもよく、又は、感光性レジスト層18の線状パターンは剥膜液で除去されてもよい。
エッチングの終点は、ガラスである透明基板7の成分の例えばSi(シリコン)を検出することで決定することができる。緑フィルタGFの断面形状を垂直に近づけるため、エッチングには、垂直方向にエッチングを行う異方性エッチングを用いることが好ましい。緑フィルタGFの断面形状は、エッチング装置に導入するガスの組成、エッチングレート、又は、磁場条件によって制御可能である。
赤フィルタRF及び青フィルタBFの形成は、上記の第1の実施形態で説明したように、フォトリソグラフィ法などを用いて行われる。
なお、ドライエッチングは、例えばリアクティブイオンエッチング装置などのようなエッチング装置を用いて、あるいは、フロンガス、酸素、又はハロゲン化合物ガスなどを用いて行われる。例えば、CFガス、Cガス、又は、ハロゲン化合物ガスなどの混合ガスを用いてエッチングが行われ、その後エッチング装置内のガスを酸素に置換してスライトリーエッチングが行われてもよい。これにより、緑フィルタGFが形成された後の基板表面の濡れ性を向上させることができ、次に形成される赤フィルタRF、青フィルタBFの熱硬化時の流動性を向上させることができ、各フィルタ間のアライメント誤差を吸収することが容易になる。一般に、青フィルタBFの形成に用いられる青色レジストBRは、熱硬化時に流動しやすいため、青フィルタBFの形成は、カラーフィルタ形成において2番目以降であることが好ましい。
(第3の実施形態)
本実施形態は、上記第1及び第2の実施形態に係るカラーフィルタ基板とその製造方法の変形例について説明する。
図12A及び図12Bは、本実施形態に係るカラーフィルタ基板17の製造方法に関わる工程のそれぞれの中間製品の一例を示す断面図である。
本実施形態に係るカラーフィルタ基板17において、赤フィルタRFは、平面視で、緑フィルタGFと青フィルタBFとの間に備えられ、緑フィルタGFと青フィルタBFとを区分けする。
本実施形態において、緑フィルタGFと青フィルタBFとの横幅は、W1である。赤フィルタRFの横幅は、W2である。W2は、W1のほぼ1/2とする。
図12Aに示すように、透明基板7の上に、赤色レジストRR(赤色感光性着色組成物、第1レジスト層)が形成される。例えば、赤色レジストRRは、透明基板7の全面に、乾燥後の塗膜厚が2.5μmとなるように塗布され、乾燥、硬膜化される。
次に、図12Bに示すように、赤色レジストRRの上に、ポジ型の感光性レジスト層18が形成される。
次に、図12Cに示すように、例えば、基板端面を基準にして位置あわせを行い、ポジ型の感光性レジスト層18が線状パターンに成形される。この線状パターンは、赤フィルタRFの線状パターンと同じである。線状パターン及びアライメントマークの成形は、例えば、周知のフォトリソグラフィ法によって行われる。このとき、基板の端部に対して、例えば赤色レジストRRを用いて十字状のアライメントマーク5が形成される。
次に、図12Dに示すように、ポジ型の感光性レジスト層18の線状パターンとともに、赤色レジストRRがドライエッチングされる。これにより、線状パターンの赤フィルタRF(第1のカラーフィルタ)が形成される。
ポジ型の感光性レジスト層18の線状パターンは、エッチング時に除去される。しかしながら、感光性レジスト層18の線状パターンの一部は残されてもよく、又は、感光性レジスト層18の線状パターンは剥膜液で除去されてもよい。
エッチングの終点は、ガラスである透明基板7の成分の例えばSi(シリコン)を検出することで決定することができる。赤フィルタRFの断面形状を垂直に近づけるため、エッチングには、垂直方向にエッチングを行う異方性エッチングを用いることが好ましい。赤フィルタRFの断面形状は、エッチング装置に導入するガスの組成、エッチングレート、又は、磁場条件によって制御可能である。
図12Eから図12Iは、上記図4C〜図4Gと同様である。しかしながら、上記図4AC〜図4Gは赤フィルタGF(第2のカラーフィルタ)及び青フィルタBF(第3のカラーフィルタ)を形成するのに対して、図12E〜図12Iは緑フィルタGF(第2のカラーフィルタ)及び青フィルタBF(第3のカラーフィルタ)を形成する点で異なる。また、本実施形態では、緑色レジストGRは第2レジスト層に相当する。
図12E〜図12Iでは、緑フィルタGF及び青フィルタBFがフォトリソグラフィ法によって形成され、赤フィルタGF、緑フィルタGF、及び青フィルタBFの上に、透明樹脂層9が積層される。
なお、赤色レジストRR及び赤フィルタRFに含まれる赤色顔料は、ハロゲン化フタロシアニン系顔料に代表される緑顔料及び青顔料と異なり、顔料構造に含まれるハロゲン及び金属(顔料構造の中心化金属)が少なく、ドライエッチングに適している。換言すれば、赤色顔料においては、ドライエッチング時のハロゲン又は金属によるコンタミネーションを抑制しやすい。一般に、青フィルタBFの形成に用いられる青色レジストBR(青色着色組成物)は、熱硬化時に流動しやすいため、上述したように、青フィルタBFの形成は、複数の色のフィルタの形成順序において、2番目以降であることが好ましい。通常、赤フィルタRF及び緑フィルタGFは、青フィルタBFより高い透過率であるため、赤フィルタRFと緑フィルタGFとの少なくとも一方の線幅を、青フィルタBFの線幅の1/2とし、この線幅が1/2のフィルタを分割して配置してもよい。青色は、視感度の低い色であるため、線幅を1/2幅に分割することは避けることが望ましい。
(第4の実施形態)
本実施形態は、上記第1〜第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板の変形例、液晶表示装置、及び本実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法について説明する。
図13は、本実施形態に係る液晶パネル20の一例を示す断面図である。この図13に示す液晶パネル20では、配向膜、偏光板、偏光フィルムなどのような光学フィルム、位相差板などが省略されている。
液晶パネル20は、カラーフィルタ基板21と、対向基板11と、液晶層12とを備える。カラーフィルタ基板21と対向基板11とは、液晶層12を介して、向き合っている。
カラーフィルタ基板21においては、緑フィルタGFと赤フィルタRFとの境界の上、緑フィルタGFと青フィルタBFとの境界の上、赤フィルタRFにおける平面視で縦方向の画素中央線の上、青フィルタBFにおける平面視で縦方向の画素中央線の上に、遮光層BLK2が形成される。そして、緑フィルタGFと赤フィルタRFと青フィルタBFと遮光層BLK2との上に、透明樹脂層9が形成される。
アレイ基板11では、絶縁層15bの上に、各画素に対応する板状の共通電極22が形成される。共通電極22の形成された絶縁層15bの上に、絶縁層15cが形成される。そして、絶縁層15cの上に、画素電極23が形成される。各画素に、複数の画素電極23が形成される。各画素に備えられる複数の画素電極23は、平面視で縦方向の画素中央線に対して対称に配置される。例えば、共通電極22及び画素電極23は、櫛歯状、帯状、線状、ストライプ状のパターンで形成することができる。共通電極22及び画素電極23は、導電性の金属酸化物を含むとしてもよい。導電性の金属酸化物としては、例えば、ITOなどのような透明導電膜が用いられる。
各画素に形成された複数の画素電極23は、液晶駆動素子33に接続されている。上述したように青フィルタBF又は赤フィルタRFの横幅W1に対する緑フィルタGFの横幅W2はほぼ1/2であり、このフィルタの横幅に応じて、各画素における液晶駆動素子33の個数が異なる。具体的に、横幅W1に対して1/2である横幅W2を有する緑フィルタGF(第1のカラーフィルタ)に対応する画素において、1つの液晶駆動素子が画素電極23に接続されている。
また、横幅W2に対して2倍の横幅W1を有する赤フィルタRF(第2のカラーフィルタ)に対応する画素において、2つの液晶駆動素子が画素電極23に接続されている。
同様に、横幅W2に対して2倍の横幅W1を有する青フィルタBF(第3のカラーフィルタ)に対応する画素において、2つの液晶駆動素子が画素電極23に接続されている。
言い換えると、アレイ基板においては等ピッチで複数の液晶駆動素子33が配列しており、このアレイ基板に対向するようにカラーフィルタ基板を配置すると、線幅W2の2倍の線幅W1を有する赤フィルタRF及び青フィルタBFには2つの液晶駆動素子が対応し、線幅W2を有する緑フィルタGFには一つの液晶駆動素子が対応する。
液晶層12は、負の誘電率異方性の液晶分子を備える。液晶分子の長軸(長手方向)は、基板平面に対して平行である。しかしながら、液晶分子は、正の誘電率異方性を持つとしてもよい。
液晶パネル20において、画素電極23と共通電極22とは絶縁層15cを介して形成されている。
処理部31は、液晶駆動素子33を制御し、画素電極23と共通電極22との間の液晶駆動電圧の印加状態を切り替える。画素電極23と共通電極22との間に液晶駆動電圧が印加されることにより、液晶層12の液晶分子が駆動される。液晶駆動電圧印加時、液晶層12の液晶分子は、水平方向に回転する。
本実施形態に係るカラーフィルタ基板21においては、透明基板7の上に、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFが、例えば、平面視で矩形状又は多角形状のパターンで形成される。
カラーフィルタ基板21の有効表示領域2には、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFが形成されており、額縁領域3には、遮光層BLK1,BLK2が形成されている。
遮光層BLK2は、可視域遮光性色材の主材(主体、主剤、又は、主成分)として有機顔料を含む塗膜パターンである。ここで、遮光性色材の主材とは、質量比率において、遮光性色材の全顔料の質量に対して、50%を越える質量を持つ顔料である。有効表示領域2において、透明樹脂層9は、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFを、遮光層BLK2を介して、覆うように形成されている。
例えば、本実施形態において、有効表示領域の遮光層BLK2と額縁領域BLK2とは、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFの形成後に、形成される。
額縁領域3は、有効表示領域2(画素マトリクス部)の外周部分である。額縁領域3の遮光層BLK1は、可視域遮光性色材の主材(主体、主剤、又は、主成分)としてカーボンを含む。額縁領域3では、遮光層BLK1と遮光層BLK2とが重ねられており、これにより額縁領域3の遮光性が向上する。
本実施形態において、アライメントマーク5は、遮光層BLK1の形成時に、遮光層BLK1と同じ色材で形成されるとする。なお、カラーフィルタ基板21において遮光層BLK1を形成しない場合には、1色目に入色される緑フィルタGFを形成する緑レジストGRでアライメントマーク5を形成することができる。
本実施形態の変形例として、例えば、図16に示すように透明樹脂層9aをカラーフィルタCF(図16では緑フィルタGF)の上に形成し、その後、透明樹脂層9aの上に遮光層BLK2をブラックマトリクスとして、さらに、アライメントマーク5上にさらに遮光層BLK2のアライメントマークを形成してもよい。この場合、透明樹脂層9aを厚く形成し、透明樹脂層9bを薄く形成してもよい。この場合、遮光層BLK2によって形成されたアライメントマークは、その厚さ方向で、アレイ基板11により近づけることができ、液晶セルとしてのアライメント精度を向上させることができる。遮光層BLK1によって形成されたアライメントマーク5は、アレイ基板11とその厚さ方向で、カラーフィルタCFの厚みの分、アレイ基板11と離れる。遮光層BLK2によって形成されたブラックマトリクスは、液晶層12に近い位置であるため、横電界方式又はIPS方式特有の隣接画素への混色を抑制できる。
この液晶表示装置24は、横電界方式又はIPS方式としてもよい。画素電極23は、例えば、図13の紙面に対して垂直に伸びる櫛歯状パターンとしてもよい。画素電極23は、絶縁層15cの上に形成され、共通電極22は、絶縁層15cの下に形成される。液晶表示装置24がIPS方式の場合には、カラーフィルタ基板21は、通常、透明電極である対向電極は備えられない。
図14は、本実施形態に係る液晶表示装置24の一例を示す断面図である。この図14は、液晶表示装置24の横方向の断面図である。
液晶表示装置24は、液晶パネル20と、偏光板131,132と、角度制御部50a,51aと、光制御素子25と、バックライトユニット26とを備える。本実施形態においては、液晶パネル20が、例えば、光制御素子25及びバックライトユニット26を備えた液晶表示装置24を説明するが、液晶パネル20自体を液晶表示装置と呼ぶ場合もある。
液晶パネル20の表面(透明基板7の第2の平面側)には、偏光板131が備えられる。液晶パネル20の裏面(透明基板14の第2の平面側)には、偏光板132が備えられる。
偏光板131,132は、複数の位相差板を貼り合わせて形成されてもよい。本実施形態において、一対の偏光板131,132は、クロスニコル構成としてもよい。例えば、一対の偏光板131,132の吸収軸は平行とする。液晶表示装置24は、偏光板131,132のうちのいずれかである第1の偏光板と液晶パネル20との間に、第1の偏光板の第1の直線偏光を、当該第1の直線偏光と直交する第2の直線偏光に変換する旋状素子を備えてもよい。
光制御素子25は、半円柱状レンズ25aのアレイを含む。光制御素子25は、偏光板132とバックライトユニット26との間に備えられる。
バックライトユニット26は、液晶パネル20の裏面側に、偏光板132、光制御素子25を介して、備えられる。バックライトユニット26は、例えば、拡散板、導光板、偏光分離フィルム、再帰反射偏光素子などを備えてもよいが、この図14では省略されている。
バックライトユニット26は、角度制御部50a,51a、光制御素子27、固体発光素子28a,28b,29a,29b、反射板30を備える。角度制御部50a,51aは、図30Bに示すように、固体発光素子28a,29aに設けられている。以下に具体的に述べるように、角度制御部50a,51aは、固体発光素子28a,29aが出射する光の角度と調整する機能を有する。
光制御素子27は、三角柱状プリズム27aのアレイを含む。
複数の固体発光素子28a,28bは、可視光を発光する。
複数の固体発光素子29a,29bは、赤外線又は紫外線を発光する。
固体発光素子28a,28bは、例えば、発光波長域に赤、緑、青の3波長を含む白色光を発する白色LEDとしてもよい。固体発光素子28a,28bは、例えば、GaN系青色LEDとYAG系蛍光物質とを組み合わせた疑似白色LEDでもよい。固体発光素子28a,28bは、演色性を高めるために、赤色LEDなど1色以上の主要ピークを有するLEDが疑似白色LEDとともに用いられてもよい。固体発光素子28a,28bとして、例えば、青色LEDに赤色及び緑色の蛍光体を積層した光源を用いてもよい。
複数の固体発光素子28a,28bは、赤色、緑色、青色のいずれかを個別に発光するLEDを含むとしてもよい。例えば、処理部31は、赤色LED、緑色LED、青色LEDを時分割(フィールドシーケンシャル)発光させ、赤色LED、緑色LED、青色LEDと液晶表示装置24の画素とに対する同期制御を行う。これにより、フルカラーの表示を行うことができる。
複数の固体発光素子29a,29bによって発光される非可視光である赤外光又は紫外光は、液晶表示画面の上の例えば指などのポインタに対する照明光として用いられる。液晶表示装置24は、例えばアレイ基板11上にマトリクス状に複数の光センサ(受光素子)を備え、ポインタなどから反射された照明光の反射光を検出することにより、タッチセンシングを可能とし、ポインタの位置及び動きを検出可能である。光センサの他の例として、液晶表示装置の筐体に実装されたCMOS又はCCDなどの撮像素子(カメラ)が用いられてもよい。このような光センサは、タッチセンシング及び撮像に加えて、生体認証、個人認証に用いられてもよい。
固体発光素子29a,29bは、青色LED又は紫色LEDに、赤外光変換のための蛍光体を塗布して形成されてもよい。固体発光素子29a,29bは、赤外線を発光する半導体レーザとしてもよい。固体発光素子29a,29bは、例えば、GaAsP、GaAlAs、AlGaInPなどの赤外線発光LEDとしてもよい。固体発光素子29a,29bは、例えば、平面視で、バックライトユニット26の端部、側部、又はコーナー部に備えられてもよい。固体発光素子29a,29bは、赤色LED、緑色LED、青色LEDなどのような固体発光素子28a,28bと同列に、又は、交互に並べられてもよい。バックライトユニット26では、固体発光素子28a,28bと固体発光素子29a,29bとは、それぞれがライン状に配列されてもよい。
液晶表示装置24のタッチセンシングでは、例えば、光波長700nm〜1100nm又は光波長800nm〜1000nmの範囲内にある近赤外線を発光する固体発光素子29a,29bから、近赤外光が発光される。この近赤外光は、バックライトユニット26から液晶パネル20の表面を経由して出射され、ポインタを照明する。ポインタからの再反射光は、光センサによって受光され、この受光によってタッチセンシング可能となる。タッチセンシングのタイミングと近赤外光の発光タイミングとは、処理部31によって同期させることが望ましい。しかしながら、例えば、光波長800nmより長波長であり人間の目で視認しにくい近赤外光が用いられる場合には、常時発光でもよい。加えて、青、緑、赤の色分離においては、色分離に影響しにくい光波長800nmより長波長の近赤外発光を用いることが好ましい。
図15A及び図15Bは、本実施形態に係る液晶表示装置24の一例を示す平面図である。この図15A及び図15Bは、液晶表示装置24を、カラーフィルタ基板21の透明基板7の第2の平面側、すなわち、観察者側から見た状態を表している。
図16は、液晶表示装置24に備えられる液晶パネル20の一例を示す断面図である。この図16は、図15BのA−A’断面である。この図16では、緑フィルタGFの上に透明樹脂層9aが形成され、透明樹脂層9aの上に遮光層BLK2が部分的に形成され、透明樹脂層9a及び遮光層BLK2の上に透明樹脂層9bが形成される。
上述のように、遮光層BLK2は、可視域遮光性色材の主材として有機顔料を含む。
光センサ34a(第1の光センサ)は、平面視で、すなわち、厚さ方向で、緑フィルタGFと重なる。したがって、光センサ34aは、緑フィルタGFを透過した光の測定データを生成する。
光センサ34b(第2の光センサ)は、平面視で、すなわち、厚さ方向で、緑フィルタGF及び遮光層BLK2と重なる。したがって、光センサ34bは、緑フィルタGF及び遮光層BLK2を透過した光の測定データを生成する。
光センサ34bは、タッチセンシング用の光センサとして用いられてもよい。この場合、処理部31は、固体発光素子29a,29bの発光タイミングと、光センサ34bの受光タイミングとを同期制御する。
緑画素に対応する遮光層BLK2の下には、画素電極23と電気的に接続されている液晶駆動素子が備えられている。
図17は、本実施形態に係るカラーフィルタCFの透過率特性の一例を示すグラフである。
液晶表示装置24に適用されているカラーフィルタCFは、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFを含む。特性RLは、赤フィルタRFの分光特性である。特性GLは、緑フィルタGLの分光特性である。特性BLは、青フィルタBFの分光特性である。
赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFの透過率は、およそ光波長700nmより長波長で大きく相違している。
したがって、光センサ34aを備える液晶表示装置24をカラーコピー機器又は撮像装置として用いる場合、例えばおよそ光波長700nm〜1100nmの近赤外域の波長において、受光成分を除去しなければ、高精度の赤、緑、青の色分離は困難である。
例えば薄膜トランジスタに含まれる例えばアモルファスシリコン又はポリシリコンなどの半導体は、およそ光波長400nm〜1100nmの波長域で感光する。
図18は、本実施形態に係る遮光層BLK2の遮光特性を示し、代表的に、遮光特性B1L及び遮光層BLK2の遮光特性B2Lの例を示す。
遮光層BLK1は、主な遮光性の色材としてカーボンを含む。遮光層BLK1は、図33のBLKCに示すように、光波長400nmを含む1000nmを含む長波長域で、光の透過抑制特性を持っている。
遮光層BLK2の透過率は、およそ光波長700nm近傍で立ち上がり、およそ光波長750nm近傍より長波長域で高くなる。遮光層BLK2は、およそ光波長660nmより短い波長域で、光を透過抑制可能である。
660nmより長波長域において、遮光層BLK1,BLK2の透過率が50%となる光波長(以下、半値波長と呼称する)は、有機顔料種の選定又は混合によって670nmから800nmの範囲で調整可能である。
図19は、緑フィルタGFの透過特性GLと、緑フィルタGFと遮光層BLK2とを光学的に重ねた透過特性GLBLKとの一例を示すグラフである。
カラーフィルタCFに含まれる赤フィルタRF、青フィルタBF、及び緑フィルタGFのそれぞれの単色層と、遮光層BLK2とを、光を検出するために重ねた部分は、光学的重畳部と称してもよい。
可視光域の高精度の緑の検出データは、緑フィルタGF経由で検出された光の検出データから、緑フィルタGFと遮光層BLK2とを光学的に重ねて検出された光の検出データを引き算して得られる。
このように、緑フィルタGF経由で検出された光の検出データから、緑フィルタGFと遮光層BLK2とを光学的に重ねて検出された光の検出データを引き算することにより、可視光域の緑の検出データのみを抽出することができる。
図20は、赤フィルタRFの透過特性RLと、赤フィルタRFと遮光層BLK2とを光学的に重ねた透過特性RLBLKとの一例を示すグラフである。
可視光域の高精度の赤の検出データは、赤フィルタRF経由で検出された光の検出データから、赤フィルタRFと遮光層BLK2とを光学的に重ねて検出された光の検出データを引き算して得られる。
このように、赤フィルタRF経由で検出された光の検出データから、赤フィルタRFと遮光層BLK2とを光学的に重ねて検出された光の検出データを引き算することにより、可視光域の赤の検出データのみを抽出することができる。
図21は、青フィルタBFの透過特性BLと、青フィルタBFと遮光層BLK2とを光学的に重ねた透過特性BLBLKとの一例を示すグラフである。
可視光域の高精度の青の検出データは、青フィルタBF経由で検出された光の検出データから、青フィルタBFと遮光層BLK2とを光学的に重ねて検出された光の検出データを引き算して得られる。
このように、青フィルタBF経由で検出された光の検出データから、青フィルタBFと遮光層BLK2とを光学的に重ねて検出された光の検出データを引き算することにより、可視光域の青の検出データのみを抽出することができる。
上記の減算処理は、例えば、処理部31によって行われる。光センサ34aは、緑フィルタGF経由で光の検出データを生成する。光センサ34bは、緑フィルタGFと遮光層BLK2とを経由して光の検出データを生成する。
光センサ34aの検出データは、緑色の感光成分と近赤外域の感光成分とを含む。しかしながら、処理部31は、光センサ34aの検出データから、光センサ34bの検出データを引き算することにより、可視光域の部分の緑色成分のみの検出データを抽出することができる。なお、緑フィルタGFを、赤フィルタRF又は青フィルタBFに置き換えることにより、それぞれ可視光域の赤色成分の検出データ、可視光域の青色成分の検出データを抽出することができる。
光センサに感光性の半導体を用いる場合、そのバンドギャップを調整して、目的とする波長域に光センサの感度域を付与させることが望ましい。SiGe半導体では、Geの添加比率でバンドギャップを連続的に変えられ、SiGe半導体で構成される受光素子の受光波長を調整でき、赤外域での感度を付与できる。Geの濃度勾配を持たせたSiGe半導体を実現することもできる。たとえば、GaAs、InGaAs、PbS、PbSe、SiGe、SiGeC等の化合物半導体を用いることによって、赤外光の検出に適した光センサを形成することができる。IGZOやITZOなど金属酸化物のチャネル層を有するトランジスタを光センサ(フォトトランジスタ)として用いる場合は、そのチャネル層にドーピングを行うことで、可視域や赤外域に感度を付与することが望ましい。
広域での光の分離に用いられる光センサ34a,34bとして、例えば、シリコンフォトダイオードが選択される。このシリコンフォトダイオードの構造としては、pin又はpn構造を採用することができる。シリコン系フォトダイオードにおいて、光の入射方向は、効率の観点から、p型の半導体面に光が入射することが好ましい。しかしながら、光の入射方向は、必要に応じてn型の半導体面に光が入射してもよい。p型半導体膜は、例えばボロン(B)を含む半導体材料ガスを用いてプラズマCVDによって形成されてもよい。n型半導体膜は、例えばリン(P)を含む半導体材料ガスを用いてプラズマCVDによって形成されてもよい。i型半導体膜は、これらの不純物を含まない半導体材料ガスを用いてプラズマCVDによって形成されてもよい。このような半導体膜は、アモルファスシリコンでも、ポリシリコンでも、セミアモルファスでもよい。
これらシリコン半導体で構成される光センサ34a,34bは、チャネル層が金属酸化物によって形成された薄膜トランジスタによってスイッチング可能である。あるいは、シリコン半導体で構成される光センサ34a,34bは、アモルファスシリコン又はポリシリコンの薄膜トランジスタによってスイッチング可能である。アモルファスシリコンからポリシリコンまでの膜質は、連続的に変化するシリコンでもよい。例えば、薄膜トランジスタが、ガリウム、インジウム、亜鉛、錫、ハフニウム、イットリウムのうちの2種以上の金属酸化物を含むチャネル層を備える場合、この薄膜トランジスタは移動度が高くリーク電流が小さい。このため、この薄膜トランジスタは、高速かつ低消費電力でスイッチング可能である。金属酸化物を含むチャネル層を備える薄膜トランジスタによって光センサ34a,34bをスイッチングする場合、光センサ34a,34bによって検出される光の強度分布を、再現よく、かつ、少ないバラツキで電気信号に変換することができる。なお、ここでの光センサ34a,34bのスイッチングとは、薄膜トランジスタによる光センサ34a,34bの選択、又は、薄膜トランジスタによる光センサ34a,34bのリセットを意味する。本実施形態において、光センサ34a,34bの出力配線を薄膜トランジスタのソース電極又はドレイン電極と接続し、当該薄膜トランジスタが増幅回路の素子として用いられてもよい。薄膜トランジスタの切り替えは、例えば処理部31によって制御される。
薄膜トランジスタ又は光センサは、トップゲート又はボトムゲート構造のトランジスタとしてもよい。ガリウム、インジウム、亜鉛などの複合酸化物で形成される酸化物半導体トランジスタが用いられる場合、ソース電極又はドレイン電極と、表面結晶化させた複合酸化物によるチャネル層とを電気的に接触させるボトムゲート構造が好ましい。表面結晶化された複合酸化物によるチャネル層は、電気的に安定であるとともに、高い電子移動度を持つ。ボトムゲート構造では、ソース電極又はドレイン電極と結晶化されたチャネル層とを電気的に接続可能である。これらトランジスタは、チャネル層の領域が1つ形成されるシングルゲート構造でも、2つ形成されるダブルゲート構造でも、3つ形成されるトリプルゲート構造でもよい。これらのトランジスタは、チャネル層の領域の上下にゲート絶縁膜を介して配置された2つのゲート電極を備えたデュアルゲート構造でもよい。マルチゲート構造のトランジスタでは、それぞれのゲート電極に異なる電圧が印加されてもよい。例えば、アレイ基板11上に、デュアルゲート構造のトランジスタを複数用いて、液晶駆動のドライバなどの電気回路を透明基板14上に形成してもよい。
立体画像表示、又は、例えば4000画素×2000画素の多画素表示では、応答速度が4.0msec以下、好ましくは2.0msec〜0.5msecの液晶の高速応答が必要である。特に、立体画像表示では、右目、左目の映像信号、飛び出る画像の信号、奥に表示される背景画像信号、赤、緑、青の色信号などの多くの信号を、最小単位の液晶駆動時間(1フレーム)内で処理する必要がある。1フレーム内で、タッチセンシング又は撮像を行う場合は、処理すべき信号はさらに多くなる。これらの場合に、酸化物半導体である金属酸化物をチャネルとして用いる薄膜トランジスタは、好適である。まず、酸化物半導体によるトランジスタは、電子の移動度が高く、例えば2.0msec〜0.5msecの高速スイッチング可能であり、立体画像表示及び多画素表示に適切である。加えて、酸化物半導体によるトランジスタは、電気的な耐圧が非常に高く、液晶駆動の数ボルトから数十ボルト、又は、これ以上の電圧に対する耐圧特性を持ち、かつ、リーク電流が少なく、低消費電力でスイッチング可能である。例えば、市販されているシリコン半導体での液晶駆動素子は、耐圧が7ボルト前後で液晶を高速駆動できる高い電圧を印加できない。従来のIPSと呼ばれる水平配向の液晶の応答は、およそ4msec前後であり、立体画像表示の下限に対して十分な速さではない。従来のVAと呼ばれる垂直配向の液晶の応答は、およそ3msec前後で、立体画像表示の下限に近い。しかしながら、酸化物半導体によるトランジスタは、8ボルト以上の高い電圧で駆動可能であり、およそ2.0msec〜0.5msecの高速応答により低消費電力で駆動可能である。したがって、本実施形態に係る液晶表示装置による立体画像表示又は多画素表示においては、酸化物半導体の薄膜トランジスタが適用されることが好ましい。
酸化物半導体のようなトランジスタを具備するアレイ基板の金属配線として、銅あるいは銅合金を表層として備えた少なくとも2層の金属配線を採用することができる。金属配線は、例えば、銅に対して、マグネシウム、チタン、ニッケル、モリブデン、インジウム、錫、亜鉛、アルミニウム、カルシウム、ベリリウムなどから1以上選択される元素を添加した銅合金を採用することができる。銅に添加する元素はこれらに限定されず、銅に対する添加量は、銅の原子パーセントに対して3原子パーセント以下であることが好ましい。
なお、ここでいう金属配線の表層とは、アレイ基板を厚み方向に沿った断面として見た時に、液晶層側(光センサ側)に位置する金属層(第1金属層)を指す。表層の銅あるいは銅合金に対して、下部に位置する金属層(第2金属層)はアレイ基板側に位置する。
第2金属層には、チタン、モリブデン、タンタル、タングステンなどの高融点金属あるいはこれらの合金が好ましく採用できる。第1金属層の銅あるいは銅合金と、エッチングレートが近いチタン合金を第2金属層として選択できる。銅あるいは銅合金の膜厚及び第2金属層の膜厚は、例えば、それぞれ50nm〜500nmの範囲となるように形成することが好ましい。
酸化物半導体層、銅あるいは銅合金を表層とする第1金属層、第2金属層の成膜方法は限定されず、スパッタリングによる真空成膜が生産効率の面で好ましい。スパッタリング成膜装置により、高いスループットで、大面積の透明基板に対して効率よく第1金属層、第2金属層からなる金属配線を成膜することができる。銅あるいは銅合金と、酸化物半導体層ともにそれぞれ選択的にウエットエッチングの手法でそれらのパターン形成が可能である。ドライエッチング装置など、高価な装置を使う必要がない。銅あるいは銅合金と酸化物半導体との製造工程での整合性は極めて高く、低コスト化観点で好ましい。銅あるいは銅合金は、導電性が良好であるため、配線抵抗を下げ、液晶駆動の低消費電力化が可能である。
酸化物半導体のチャネル層を具備するトランジスタは、例えば、ボトムゲート構造、トップゲート構造、ダブルゲート構造、デユアルゲート構造などのトランジスタを採用することができる。
図22は、本実施形態に係る液晶表示装置24の3次元表示状態の一例を示す断面図である。この図22は、液晶表示装置24の横方向の断面図である。
液晶表示装置24では、バックライトユニット26の両サイドに配置されている固体発光素子28a,28bによる可視光発光が、右目35a用と左目35b用とに分けられる。処理部31は、固体発光素子28a,28bの発光タイミングと液晶駆動タイミングとを制御又は同期し、3次元表示を行う。
本実施形態においては、可視光又は非可視光の照明光が観察者の両眼網膜で反射する。光センサは、この反射光を検出する。処理部31は、光センサの検出データに基づいて、観察者の位置情報を生成する。処理部31は、観察者の位置情報に基づいて、固体発光素子28a,28bから出射される出射光の角度βを調整し、出射光36a,36bの表示面から出射される出射光の角度αを、観察者の両眼位置にあわせて調整する。固体発光素子28aには、角度制御部50aが設けられており、角度制御部50aが駆動することによって、固体発光素子28aから出射される出射光の角度βが調整され、結果的に角度αが調整される。角度制御部50aは、図30Bを参照して以下に具体的に述べる。
出射光36a,36bの角度αは、三角柱プリズム27aの1/2頂角εによって調整されてもよい。しかしながら、1/2頂角は可変に調整できないため、用途に応じて予め設定するする必要がある。なお、成人である観察者の両眼が、表示面から30cm程度の距離に位置する場合、表示面から出射される出射光角度αは、およそ6度〜8度の範囲内とすることで3次元画像の視認性を向上させることができる。複数の観察者に対して液晶表示装置24が使用される場合、上記の出射光角度αは拡大されてもよい。処理部31は、観察者又はポインタの位置情報及び動き情報を、CMOS又はCCDなどのような撮像素子(例えばカメラ)によって検出された赤外線又は紫外線に基づいて生成する。このような観察者又はポインタの位置情報及び動き情報の生成には、CMOS又はCCDに代えて、アレイ基板11のマトリクス状に配設された複数の光センサを用いることもできる。
液晶表示装置24は、アレイ基板11に光センサを備える。光センサ32は、外部から入射光を受光し、又は、バックライトユニット26から出射された光に基づく被写体反射光を受光する。処理部31は、光センサ32の検出データに基づいて、色分離又はタッチセンシングを行う。例えば、光センサは、紫外域又は赤外域発光LEDなどのような固体発光素子29a,29bから出射された特定波長光を検出する。液晶表示装置24は、例えば、液晶表示面に載置した印刷物にバックライトユニット26からの光を照射し、反射光を受光し、コピー装置として利用されてもよい。
図23は、ダイレクトコピーに用いられる液晶表示装置37の一例を示す断面図である。
ダイレクトコピーでは、印刷物38又は写真などと、カラーフィルタ基板39とが向き合う。図23では、カラーフィルタ基板39が下側であり、バックライトユニット40が上側に配置されている。液晶表示装置37は、白表示を行い、印刷物38に向けて光を照射し、直接的にコピーを行う。
以下で、本実施形態に係るカラーフィルタ基板21の製造方法を説明する。
まず、透明基板7上に、黒色レジスト1が形成される。例えば、黒色レジスト1は、透明基板7の全面に、乾燥後の塗膜厚が1.5μmとなるように塗布される。次に、加工対象の基板は、クリーンオーブン中で、70℃で20分間プリベークされ、その後、基板は室温に冷却される。そして、基板に対して、超高圧水銀ランプを用いてフォトマスクを介して紫外線が露光される。このとき、基板の最外周の一部に対して、例えば黒色レジスト1を用いて十字状のアライメントマーク5が形成される。その後、当該基板に対して、23℃の炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像を行い、イオン交換水で洗浄し、風乾する。その後、基板に対して、220℃で熱処理、硬膜化がなされ、透明基板7上に、遮光層BLK1が形成される。
遮光性色材の主材としてカーボンを含む遮光層BLK1の塗膜パターンは、例えば、有効表示領域2の四辺を囲むパターンとする。遮光層BLK1とともに、アライメントマーク5が透明基板7の端部に形成される。
次に、加工対象の基板の上に、赤色レジストRRが形成される。例えば、赤色レジストRRは、乾燥後の膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、基板は、アライメントマーク5を用いて位置あわせを行い、露光装置によって露光され、現像装置によって現像され、ストライプ状の赤フィルタRFが形成される。現像及び硬膜の工程は、遮光層BLK1と同様である。
次に、緑色レジストGRが形成される。例えば、緑レジストGRは、乾燥後の膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、基板は、アライメントマーク5を用いて位置あわせを行い、露光装置によって露光され、現像装置によって現像され、ストライプ状の緑フィルタRFが形成される。現像及び硬膜の工程は、遮光層BLK1と同様である。
次に、青色レジストBRが形成される。例えば、青レジストBRは、乾燥後の膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、基板は、アライメントマーク5を用いて位置あわせを行い、露光装置によって露光され、現像装置によって現像され、ストライプ状の青フィルタBFが形成される。現像及び硬膜の工程は、遮光層BLK1と同様である。
上記のような工程により、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFが形成された後、加工対象の基板の上に、黒色レジスト2が形成される。例えば、黒色レジスト2は、加工対象の基板の全面に、乾燥後の塗膜厚が1.0μmとなるように塗布される。次に、加工対象の基板は、クリーンオーブン中で、70℃で20分間プリベークされ、その後、基板は室温に冷却される。
そして、基板が露光装置にセットされる。このセットにおいて、遮光層BLK1(黒色レジスト1)は透過しないが遮光層BLK2(黒色レジスト2)は透過する赤外光(例えば、850nmの赤外光)が基板の裏面(透明基板7側)に照射され、基板の表面(黒色レジスト2側)で光センサを用いて赤外光を検出し、遮光層BLK1とともに形成されたアライメントマーク5が検出される。図33に示すように、遮光層BLK1の遮光特性BLKCと、遮光層BLK2とでは透過特性が異なる。遮光層BLK1(黒色レジスト1、図33での遮光特性BLKC)は透過しないが遮光層BLK2(黒色レジスト2)は透過する赤外光を検出することにより、アライメントマーク5を検出でき、位置あわせを正確に行うことができる。
なお、このアライメントマーク5の検出に用いられる赤外光の波長は、800nmより長波長であることが好ましい。例えば、およそ800nm以上の赤外光を発光するLED素子を照明用の光源として用いることができる。例えば、光センサとしておよそ800nm以上の赤外域に感度を有するCCD又はCMOSなどの撮像素子(カメラ)を適用することができる。
本実施形態では、カラーフィルタCFの膜厚は2.5μmとし、額縁領域2の膜厚は遮光層BLK1の1.5μm膜厚と遮光層BLK2の1.0μm膜厚を重ねた計2.5μmとし、両方を同じ膜厚としている。ここで、同じ膜厚とは、膜厚の差が、通常のフォトリソグラフィ工程で制御可能な膜厚範囲である±0.2μm以内となることを指す。有効表示領域2の膜厚と額縁領域3の膜厚とをほぼ同じとすることにより、額縁領域3からの光漏れをなくし、表示品位を向上させることができる。
アライメントマーク5を用いた位置あわせの後、超高圧水銀ランプを用いてフォトマスクを介して紫外線が露光される。
その後、当該基板に対して、23℃の炭酸ナトリウム水溶液を用いてスプレー現像を行い、イオン交換水で洗浄し、風乾する。その後、加工対象の基板は、クリーンオーブン中で、230℃で30分間ポストベークされ、硬膜がなされ、遮光層BLK2が形成される。遮光層BLK2の上には、透明樹脂層9が塗布、硬膜され、カラーフィルタ基板21が製造される。
なお、本実施形態において、カラーフィルタ基板21は、対向電極10を備えていない構成を説明している。しかしながら、縦電界方式で液晶駆動が行われる液晶表示装置(例えば、VA方式又はECB方式)の場合には、透明導電膜である対向電極10を透明樹脂層9の上に形成する。
(第5の実施形態)
本実施形態においては、上記の第1〜第4の実施形態に係る液晶表示装置に備えられる液晶パネルの変形例について説明する。
図24は、液晶パネル41の一例を示す断面図である。この図24は、液晶パネル41の横方向の断面図である。
液晶パネル41は、カラーフィルタ基板42と、アレイ基板43と、液晶層44とを備える。
カラーフィルタ基板42とアレイ基板43とは、液晶層44を介して、向かい合う。
液晶層44に備えられる液晶分子は、負の誘電率異方性を持ち、初期垂直配向である。液晶層44に備えられる液晶分子は、カラーフィルタ基板42とアレイ基板43との間に発生する斜め電界に応じて駆動する。
カラーフィルタ基板42は、透明基板7の上に、カラーフィルタ層8、透明樹脂層9、対向電極10a,10b、図示しない配向膜を備える。カラーフィルタ層8は、有効表示領域2のカラーフィルタCFと額縁領域3の遮光層BLK1,BLK2とを備える。カラーフィルタCFは、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFを含む。図24において、額縁領域3の遮光層BLK1,BLK2は図示されていない。
アレイ基板43は、透明基板14の上に、絶縁層15a、絶縁層15b、共通電極22a,22b、絶縁層15c、画素電極23a,23b、図示しない配向膜を備える。
赤画素RPと青画素BPとの間には、緑画素GPa,GPbがそれぞれ横方向に交互に配置される。図24では、赤画素RPと青画素BPとの間に緑画素GPaが配置されており、緑画素GPaと緑画素GPbとの間に青画素BPが配置されている。
赤画素RPは、画素中央線CLにより、左側の赤画素RPaと右側の赤画素RPbに分けられる。青画素BPは、画素中央線CLにより、左側の青画素BPaと右側の青画素BPbに分けられる。
緑画素GPaと緑画素GPbとの組み合わせは、赤画素RP及び青画素BPと同じ動作を行う。換言すれば、緑画素GPaは、左側の赤画素RPa及び左側の青画素BPaに相当する。緑画素GPbは、右側の赤画素RPb及び右側の青画素BPbに相当する。本実施形態においては、緑画素GPaと緑画素GPbとの中央線も、画素中央線CLとする。
本実施形態においては、緑画素GPa、左側の赤画素RPa、左側の青画素BPaに対して、画素電極23a、共通電極22a、対向電極10aが割り当てられている。緑画素GPb、右側の赤画素RPb、右側の青画素BPbに対して、画素電極23b、共通電極22b、対向電極10bが割り当てられている。
図示されていない配向膜は、液晶分子の軸を90°とする垂直配向を提供してもよく、画素中央線CLに対して対称になるプレチルト角θを持つとしてもよい。プレチルト角θは、例えば、液晶パネル41の基板面の法線に対する液晶分子の傾き角とする。液晶層44に対向しているカラーフィルタ基板42の面とアレイ基板43の面のそれぞれには、感光性の配向膜が備えられる。液晶パネル41は、カラーフィルタ基板42とアレイ基板43とが液晶層7を介して貼り合わせた構成を持つ。プレチルト角の設定は、例えば、画素電極23a,23bと、共通電極22a,22b及び対向電極10a,10bとの間に電圧を印加し、紫外線などの放射線を露光することにより、行われる。ラビングなどの物理的手法でプレチルト角が設定されてもよい。
対向電極10a,10b、画素電極23a,23b、共通電極22a,22bは、例えばITOなどのような導電性の金属酸化物によって形成される。対向電極10a,10b、共通電極22a,22bの電位は、たとえばコモン電位(グランド)としてもよい。
画素の形状は、平面視で、縦方向に長い長方形状、V字状などのような多角形としてもよい。
緑画素GPa,GPbは、それぞれ赤画素RP及び青画素BPの1/2の開口幅とし、それぞれ赤画素RPと青画素BPとを区分する位置に配設される。換言すれば、緑画素GPa,GPbは、それぞれ1/2画素幅の緑画素GPa,GPbの一組で実質的に1画素に相当する。赤画素RPは、1/2画素幅の赤画素RPa,RPbを含む。青画素BPは、1/2画素幅の青画素BPa,BPbを含む。
本実施形態において、対向電極10a、10bは、図24の断面の横方向の位置関係では、画素電極23a,23bから画素中央線CLに向く方向に、かつ、画素中央線CLに対して線対称でずれている。このように、横方向にずれた位置関係とすることで、画素電極23a,23bと対向電極10a,10bとの間に斜め電界が発生する。斜め電界により、垂直配向の液晶分子は、画素中央線CLに対して線対称であり、画素中央線CLとは逆の画素の両端側に向けて液晶分子を倒すことができる。プレチルト角θを設定することで、液晶が倒れ始める電圧Vthを低下させることができる。しかしながら、液晶分子の長軸が基板平面と90°となる垂直配向であっても、斜め電界を用いることにより、液晶分子を画素中央線CLから線対称で画素の両端側へ向けて倒すことができる。
カラーフィルタ基板42に形成される対向電極10a,10bは、透明樹脂層9の全面に形成され、かつ、パターン加工されていない、全面形成膜でもよい。図24に示す対向電極10a,10bの間の画素中央部のスリットS1(導電性の金属酸化物を除去した部分)は形成されなくてもよい。
スリットS1を形成しない場合には、画素中央部で生じるわずかな表示ムラを見えにくくするために、画素中央部に、線状の遮光層BLK3が、例えば遮光層BLK2と同じ材質で形成されてもよい。遮光層BLK3は、赤フィルタRF及び青フィルタBFのそれぞれと透明樹脂層9との間に形成される。200ppiを超える高精細画素では、画素中央部の遮光層BLK3を省略することで、明るい表示を行うことができる。
ここで、遮光層BLK3に含まれる有機顔料の質量比率は、有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が50〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であることが好ましい。
また、遮光層BLK3に含まれる有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が30〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であることが好ましい。さらに、緑色顔料あるいは青色顔料が10%以下の質量で遮光層BLK3に添加されていることが好ましい。
有効表示領域2内に、ブラックマトリクスとして用いられる遮光層BLK4が形成されてもよい。遮光層BLK4は、例えば、各画素の境界部に、例えば遮光層BLK2と同じ材質で形成されてもよい。遮光層BLK4は、緑フィルタGFと赤フィルタRFとの境界と透明樹脂層9との間、及び、緑フィルタGFと青フィルタBFとの境界と透明樹脂層9との間に、形成される。250ppiを超える高詳細画素では、遮光層BLK4を省略することで、明るい表示を行うことができる。
なお、遮光層BLK3,BLK4は、遮光層BLK1と同じ材料で形成されてもよい。しかしながら、250ppiを超える高精細画素で、上記図6の凸部16が形成され、液晶配向が乱れることを防止するために、遮光層BLK3,BLK4は、遮光層BLK2と同じ材料で形成されることが好ましい。遮光性色材として有機顔料を用いて形成された遮光層は、カーボンよりも比誘電率が低く、液晶層に近い位置に形成されても、液晶表示に悪影響を与えにくい。遮光性色材としてカーボンを含む材料を用いて形成された遮光層は、有機顔料よりも比誘電率が高いため、液晶表示に対する悪影響を避けるために、液晶層から離れた、例えば、カラーフィルタ基板である透明基板に形成することが望ましい。
250ppiを超える高精細画素では、液晶表示のコントラスト向上のために、黒表示に優れた垂直配向液晶が適用される。また、液晶表示のコントラスト向上のために、アレイ基板43に配設される金属配線が利用される場合がある。
本実施形態に係るアレイ基板43において、共通電極22a、22bは、図24の断面の横方向の位置関係において、画素中央線CLから画素端部へ向かう方向に、かつ、画素中央線CLに対して線対称で、画素電極23a,23bとずれているはみ出し部を持つ。この共通電極22a、22bのはみ出し部と画素電極23a,23bとの間には、液晶駆動電圧印加時に、実効的に強い電場が生じ、このはみ出し部近傍の液晶分子は高速に傾斜する。
緑画素GPaと緑画素GPbは、組み合わせることで、他の赤画素RP及び青画素BPと同様に機能する。
図25は、緑画素GPaと緑画素GPbとの一例を示す断面図である。この図25の緑画素GPaと緑画素GPbとは、例えば図24の青画素BPの両端に隣接している緑画素GPaと緑画素GPbとに相当する。
液晶駆動素子33aは、緑画素GPaに対応する。液晶駆動素子33aは、画素電極23aと電気的に接続されている。
液晶駆動素子33bは、緑画素GPbに対応する。液晶駆動素子33bは、画素電極23bと電気的に接続されている。
液晶駆動素子33a,33bは、例えば、酸化物半導体によって形成されたチャネル層を含む薄膜トランジスタである。酸化物半導体によって形成されたチャネル層には、ガリウム、インジウム、亜鉛、錫、ハフニウム、イットリウム、ゲルマニウムのうちの2種以上の金属酸化物を適用することができる。
処理部31は、液晶駆動素子33a,33bの切り替えを制御する。
横方向において、画素電極23aの端部と対向電極10aの端部との間にズレS2が形成されるように、かつ、対向電極10aから突出するように、画素電極23aの位置が決定されている。横方向の画素端部において、画素電極23bは、対向電極10bに対するズレを持つ。
横方向において、共通電極22aの端部と画素電極23aの端部とがずれるように、画素電極23aの端部から共通電極22aの端部に向けてはみ出すはみ出し部S3が形成さるように、共通電極22aの位置が決定されている。横方向において、共通電極22bは、画素電極23bの端部からはみ出す。
緑画素GPaの対向電極10a、画素電極23a、共通電極22aと、緑画素GPbの対向電極10b、画素電極23b、共通電極22bとは、画素中央線CLに対して、線対称に配置される。
共通電極22a,22b、対向電極10a,10bの電位は、コモン電位又はグラウンドとしてもよい。
図26は、緑画素GPaに液晶駆動電圧が印加された状態の一例を示す断面図である。
緑画素GPaに液晶駆動電圧が印加されることにより、液晶分子L1〜L5が倒れ、バックライトユニット26から光が出射され、例えば、出射光36aが観察者の右目35aに入射される。出射光36aの角度は、バックライトユニット26に備えられるプリズムシート又はレンチキュラレンズなどの光制御素子27によって設定される。液晶分子L1は、はみ出し部S3により、画素電極23aのエッジから共通電極22aに向かう強い電場によって速く大きく倒れる。これにより、液晶の応答性を高速化することができる。対向電極10aと画素電極23aとは、ズレS2を持ち、斜め電界が発生する。対向電極10a近傍の液晶分子L2〜L5は、対向電極10aと画素電極23aとの間の斜め電界によって、一定の方向(例えば、画素中央線CLから画素端部に向かう方向)に迅速に倒れる。
図27は、緑画素GPbに液晶駆動電圧が印加された状態の一例を示す断面図である。
緑画素GPbに液晶駆動電圧が印加されることにより、液晶分子L6〜L10が倒れ、バックライトユニット26から光が出射され、例えば、出射光36bが観察者の左目35bに入射される。
液晶分子L6〜L10の駆動動作は、上記の図26の場合と同様であるが、液晶分子L6〜L10は画素中央軸CLに対して線対称の方向に倒れる。
このように、液晶分子L1〜L5と液晶分子L6〜L10とが画素中央線CLに対して対称方向に倒れることにより、視野角を広げることができる。
上記図26及び図27に示すように、液晶駆動とバックライトユニット26からの出射光の出射タイミングとを制御又は同期させることで、右目35aと左目35bに異なる映像を投射することができる。
さらに、本実施形態においては、赤画素RP、緑画素GPa,GPb、青画素BPに対して、それぞれ背景画及び飛び出る画像などに基づく赤信号、緑信号、青信号を提供し、時分割駆動を行うことによって、カラーの3次元表示を行うことができる。
図28は、緑画素GPa,GPbに液晶駆動電圧が印加された状態の一例を示す断面図である。
緑画素GPa,GPbに同じ映像信号を送ることによって、明るい2次元表示を行うことができる。
このように、本実施形態に係る液晶表示装置は、3次元表示と2次元表示とを簡単に切り替えることができる。
なお、上記図26〜図28の緑画素GPa,GPbを組合せて画像表示を制御する方法は、赤画素RPの制御、青画素BPの制御にも適用可能である。具体的には、緑画素GPaの制御は、左側赤画素RPaの制御、左側青画素BPaの制御に適用可能である。緑画素GPbの制御は、右側赤画素RPbの制御、右側青画素BPbの制御に適用可能である。
図29は、青画素BPの一例を示す断面図である。この図29は、左側青画素BPaに液晶駆動電圧が印加されている。
左側青画素BPaの画素電極23aに液晶駆動電圧が印加された場合、青画素BPの対向電極10a,10bの電位は、コモンの同じ電位である。このため、左側青画素BPaの画素電極33aから生じる電場によって、右側青画素BPbの液晶分子L6〜L9が若干倒れ、青画素BPから出射される出射光36が補強される場合がある。青画素BPは、視感度が低い。さらに、青画素BPには、赤画素RP及び緑画素GPと比較して透過率のやや低い顔料が用いられる。このため、青画素BPの出射光36は補強されることが好ましい。
なお、赤画素と緑画素とは、青画素BPより高い透過率であるため、赤画素と緑画素とのうちの少なくとも一方を、緑画素の1/2幅に分割することができる。
本実施形態においては、液晶分子L1〜L10は、負の誘電率異方性を持つ場合を説明したが、この液晶分子が正の誘電率異方性を持つとしてもよい。液晶分子L1〜L10が正の誘電率異方性を持つ場合、液晶分子液晶分子L1〜L10は、初期水平配向を持つ。液晶駆動電圧が印加されると、初期水平配向の液晶分子L1〜L10の長軸方向は、基板平面と平行な方向から垂直な方向に立ち上がる。
上記の各実施形態において、液晶材料としては、例えば、分子構造内にフッ素原子を備える液晶材料(以下、フッ素系液晶という)を採用することが好ましい。フッ素系液晶は、粘度と比誘電率とが低く、イオン性不純物の取り込みが少ない。液晶材料としてフッ素系液晶を用いた場合、不純物による電圧保持率の低下などの性能の劣化を小さくすることができ、表示ムラ及び表示の焼き付きを抑制することができる。負の誘電率異方性を持つ液晶分子L1〜L10としては、例えば、室温付近で複屈折率が0.1程度のネマチック液晶を用いることができる。正の誘電率異方性を持つ液晶分子L1〜L10液晶としては、様々な液晶材料を適用することができる。消費電力抑制より、高い応答性が要求される液晶表示装置には、大きな誘電率異方性を持つ液晶分子が用いられてもよい。液晶層12,44の厚みは、特に限定されない。本実施形態で実効的に適用可能な液晶層12,44のΔndは、例えば、およそ300nmから500nmの範囲である。配向膜にプレチルト角を付与する形成工程が、例えば、紫外線などの露光を併用して行われる場合、配向膜に水平配向を付与する際には大きな露光量を必要とし、反対に、配向膜に垂直配向を付与する際には小さな露光量でよい。このため、この配向処理を効率化するためには、垂直配向の液晶分子L1〜L10を用いることが好ましい。
本実施形態においては、基板平面から89°などのようなプレチルト角が形成されなくても、斜め電界で液晶分子L1〜L10を駆動可能である。しかしながら、感光性材料の配向膜を形成し、液晶封入後に、液晶分子L1〜L10に電圧を印加しながら紫外線を露光する手法で、配向膜にプレチルト角を形成することは好ましい。画素中央線CLに対して線対称のプレチルト角が付与されることにより、液晶駆動をより高速化することができる。初期垂直配向の液晶分子は、初期水平配向の液晶分子と比較して、配向膜からの規制力が弱いため、より高速な液晶駆動ができる。
(第6の実施形態)
本実施形態においては、上記の第1〜第5の実施形態に係る液晶表示装置に備えられるバックライトユニット及び光制御素子の変形例について説明する。
図30Aは、本実施形態に係る液晶表示装置45の一例を示す断面図である。この図30Aは、液晶表示装置45の横方向の断面図である。図30Bは、角度制御部50a,51aの構造を説明するための拡大断面図である。
バックライトユニット46から出射される光の角度βは、例えば、観察者の両眼と表示面との距離に対応して調整される。光の角度βは、例えば、ピエゾ素子(圧電素子)等の制御性の良い駆動装置で構成された角度制御部50a,51aによって制御される。角度制御部50a,51aは、バックライトユニット46の平面方向に対する、固体発光素子28a,29aの傾きを制御する微調整機構を備える。また、図22を参照して説明したように、角度制御部50a,51aは、処理部31に接続されており、処理部31によって角度制御部50a,51aの動作が制御される。角度制御部50a,51aが駆動することにより、光の角度βは僅かに調整され、表示面から出射される出射光の角度α(表示面と出射光との間の角度)が調整され、観察者の両眼位置に最適な立体表示効果に寄与することができる。
また、図30Aに示すように、固体発光素子28a,29aが設けられているバックライトユニット46の端部とは反対側の端部にも、固体発光素子28b,29bが設けられている。固体発光素子28b,29bの構造は、固体発光素子28a,29aと同様である。固体発光素子28b,29bは、固体発光素子28a,29aとは反対側から出射される光の角度βを調整する。
また、図30Bは、固体発光素子28a,29aの両方に角度制御部が設けられた構造を示しているが、固体発光素子29aに角度制御部を設けずに、可視光を発光する固体発光素子28aに角度制御部が設けられていればよい。
液晶表示装置45は、液晶パネル42と、バックライトユニット46とを備える。なお、液晶表示装置45は、液晶パネル42に代えて、例えば、液晶パネル6,20,41などのような他の液晶パネルを備えてもよい。液晶パネル42の表面側には、偏光板131が備えられており、液晶パネル42の裏面側には、偏光板132が備えられている。
バックライトユニット46は、液晶パネル42の裏面側に備えられる。バックライトユニット46は、光制御素子47、固体発光素子28a,28b,29a,29b、反射板30を備える。バックライトユニット46は、例えば、拡散板、導光板、偏光分離フィルム、再帰反射偏光素子などを備えてもよいが、この図30Aでは省略されている。
光制御素子47は、アクリル樹脂などにより形成され、半円柱状レンズ25aのアレイと、半円柱状レンズ25aのアレイとは反対の位置に配置された三角柱状プリズム27aのアレイとによって構成された一体成型品である。
この光制御素子47では、複数の三角柱状プリズム27aの軸は、平面視で、複数の半円柱状レンズ26aの軸に対して角度ψで傾斜している。
図31は、光制御素子47の構成の一例を示す平面図である。図31の一部分は断面図で示されている。
複数の半円柱状レンズ25aの長手方向の軸は、平行である。複数の半円柱状レンズ25aの軸は、平面視で、横方向と垂直であり、縦方向と平行である。
複数の三角柱状プリズム27aの長手方向の軸は、平行である。複数の三角柱状プリズム27aの軸は、平面視で、複数の半円柱状レンズ25aの軸に対して角度ψで傾斜している。角度ψは、例えば3°〜42°の範囲に属してもよい。角度ψはこの範囲より大きくてもよい。角度ψは、偏光板131,132又は液晶配向の光学軸と干渉しない角度とする。
光制御素子47の一方の面に半円柱状レンズ25aのアレイが形成され、他方の面に三角柱状プリズム27aのアレイが形成されており、両アレイは光制御素子47に一体形成されている。
複数の三角柱状プリズム27aのピッチは、複数の半円柱状レンズ25aのピッチと1:1の関係でもよく、複数の三角柱状プリズム27bのピッチは複数の半円柱状レンズ25aのピッチよりも細かくてもよい。
本実施形態において、半円柱状レンズ25aの横幅は、2組の緑画素GPa,GPb、赤画素RP、青画素BPの横幅(4つの1/2幅の緑画素、1つの赤画素、1つの青画素)の合計の横幅に対して整数倍の幅にすることができる。これにより、多眼式(観察者が複数)の液晶表示を可能にする。半円柱状レンズ25aのピッチと三角柱状プリズム27aのピッチとが同じ場合には、2眼式(観察者が1人)の3次元表示を可能にする。
なお、平面視で、画素は、縦方向に長くてもよく、横方向に長くてもよい。
半円柱状レンズ25aの長手方向の軸は、平面視で、縦方向と垂直であり、横方向と平行としてもよい。
(第7の実施形態)
本実施形態においては、上記第1〜第6の実施形態に係るカラーフィルタ基板1,17,21、39,42に用いられる透明樹脂及び有機顔料などの材料について例示する。
<透明樹脂>
遮光層BLK1〜BLK4、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFなどのカラーフィルタCFの形成に用いられる感光性着色組成物は、顔料分散体(以下ペースト)に加え、多官能モノマー、感光性樹脂又は非感光性樹脂、重合開始剤、溶剤などを含有する。例えば、本実施形態で用いられる感光性樹脂及び非感光性樹脂などのような透明性の高い有機樹脂は、総称して透明樹脂と呼ばれる。
透明樹脂としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、又は感光性樹脂を用いることができる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド樹脂などを用いることができる。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂などを用いることができる。熱硬化性樹脂は、メラミン樹脂とイソシアネート基を含有する化合物とを反応させて生成されてもよい。
<アルカリ可溶性樹脂>
本実施形態に係る遮光層BLK1〜BLK4などの遮光膜、透明樹脂層9,9a,9b、カラーフィルタCFの形成には、フォトリソグラフィによるパターン形成が可能な感光性樹脂組成物を用いることが好ましい。これらの透明樹脂は、アルカリ可溶性を付与された樹脂であることが望ましい。アルカリ可溶性樹脂として、カルボキシル基又は水酸基を含む樹脂を用いてもよく、他の樹脂を用いてもよい。アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、エポキシアクリレート系樹脂、ノボラック系樹脂、ポリビニルフェノール系樹脂、アクリル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂、カルボキシル基含有ウレタン樹脂などを用いることができる。これらのうち、アルカリ可溶性樹脂としては、エポキシアクリレート系樹脂、ノボラック系樹脂、アクリル系樹脂を用いることが好ましく、特に、エポキシアクリレート系樹脂又はノボラック系樹脂が好ましい。
<アクリル樹脂>
本実施形態に係る透明樹脂の代表として、以下のアクリル系樹脂が例示される。
アクリル系樹脂としては、単量体として、例えば(メタ)アクリル酸;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレートペンジル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなどの水酸基含有(メタ)アクリレート;エトキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレートなどのエーテル基含有(メタ)アクリレート;及びシクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレートなどの脂環式(メタ)アクリレートなどを用いて得る重合体を用いることができる。
なお、例示されたこれらの単量体は、単独で使用、又は、2種以上を併用することができる。
さらに、アクリル樹脂は、これら単量体と共重合可能なスチレン、シクロヘキシルマレイミド、又はフェニルマレイミドなどの化合物を含む共重合体を用いて生成されてもよい。また、例えば(メタ)アクリル酸などのエチレン性不飽和基を有するカルボン酸を共重合して得られた共重合体と、グリシジルメタクリレートなどのエポキシ基及び不飽和二重結合を含有する化合物とを反応させることによって、感光性を有する樹脂を生成し、アクリル樹脂としてもよい。例えば、グリシジルメタクリレートなどのエポキシ基含有(メタ)アクリレートの重合体、又は、この重合体とその他の(メタ)アクリレートとの共重合体に、(メタ)アクリル酸などのカルボン酸含有化合物を付加させることによって、感光性を有する樹脂を生成し、アクリル樹脂としてもよい。
例えば、熱フロー性を提供するために、感光性樹脂組成物から形成される塗膜の柔軟性を増す方法が用いられる。例えば、熱フロー性を提供するために、感光性樹脂組成物にオレフィンを共重合した樹脂を添加する方法、又は、可塑剤を感光性樹脂組成物に添加する方法が用いられる。感光性樹脂組成物に添加されるモノマー及び硬化剤の分子量を小さくすることにより、熱フロー性を向上させてもよい。感光性樹脂組成物に添加されるモノマー及び硬化剤の分子量は、例えば、1000〜8000程度とすることで、熱フロー性を向上させることができる。エチレン性不飽和モノマーをラジカル重合させた共重合体を変性することによって生成される感光性樹脂を、感光性樹脂組成物に含有させることにより、熱フロー性を改善させることができる。感光性樹脂組成物に界面活性剤が添加されることにより、熱フロー性を向上させることができる。
<有機顔料>
赤色顔料としては、例えば、C.I.Pigment Red 7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、246、254、255、264、272、279などを用いることができる。
黄色顔料としては、例えば、C.I.Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、144、146、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214などを用いることができる。
青色顔料としては、例えばC.I.Pigment Blue 15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、80などを用いることができ、これら顔料の中では、C.I.Pigment Blue 15:6が好ましい。
紫色顔料としては、例えば、C.I.Pigment Violet 1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50などを用いることができ、これら顔料の中では、C.I.Pigment Violet 23が好ましい。
緑色顔料としては、例えば、C.I.Pigment Green 1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55、58などを用いることができ、これら顔料の中では、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン緑色顔料であるC.I.Pigment Green 58が好ましい。緑色顔料としては、ハロゲンア化アルミニウムフタロシアニン顔料を用いてもよい。
<遮光性色材>
遮光層BLK1及び遮光層BLK2に含まれる遮光性の色材は、可視光波長領域に光吸収性を持ち、遮光機能を備えた色材である。本実施形態において遮光性の色材には、例えば、有機顔料、無機顔料、染料などを用いることができる。無機顔料としては、例えば、カーボンブラック、酸化チタンなどを用いることができる。染料としては、例えば、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料などを用いることができる。有機顔料については、例えば上記の有機顔料を適用してもよい。なお、遮光性成分は、1種を用いてもよく、適当な比率で2種以上を組み合わせてもよい。
例えば、可視光波長域は、およそ光波長400nm〜700nmの範囲である。
上記の各実施形態においては、カーボンを主な色材とする遮光性の塗膜と、有機顔料を主な色材とし可視域に遮光性を持ち赤外域に透過性を持つ塗膜との2種類が用いられる。上記各実施形態において、これら2つの遮光性塗膜の透過特性は、透過率が上昇する波長に差がある。これら2つの遮光性塗膜の赤外域の透過率差が活用される。具体的に活用される波長領域は、赤の長波長側の領域の上限に近いおよそ670nmから青顔料の透過率が立ち上がるおよそ800nmまでの領域である。例えば、遮光層BLK1及び遮光層BLK2の透過率が立ち上がる波長は、赤フィルタRFの透過率が高く維持されるおよそ光波長670nmから、青フィルタBFの透過率が高くなる立ち上がり部分であるおよそ光波長800nmの領域に属するとする。
<遮光層BLK1に適用される黒色レジスト1の例>
遮光層BLK1に用いられる黒色ペースト(分散体)の調製例について説明する。
下記の組成の混合物が均一に攪拌混合され、ビーズミル分散機にて攪拌され、黒色ペーストが作製される。それぞれの組成は、質量部で表す。
カーボン顔料 20部
分散剤 8.3部
銅フタロシアニン誘導体 1.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 71部
上記黒色ペーストを用いて、下記の組成の混合物が均一になるように攪拌混合され、5μmのフィルタで濾過され、遮光層BLK1に適用される黒色レジスト1が調製される。本実施形態において、レジストとは、カーボン又は有機顔料を含む感光性着色組成物を指す。
黒色ペースト 25.2部
アクリル樹脂溶液 18部
ジペンタエリスリトールペンタおよびヘキサーアクリレート 5.2部
光重合開始剤 1.2部
増感剤 0.3部
レベリング剤 0.1部
シクロヘキサノン 25部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 25部
本実施形態及び上記各実施形態において、黒色レジスト1又はカラーレジストにおける主体の色材(顔料)は、そのレジストに含まれる色材(顔料)の全質量比(%)に対して50%以上を占める色材を意味する。例えば、黒色レジスト1は、カーボンが色材の100%を占め、カーボンが主な色材となる。また、カーボンを主な色材とする黒色レジスト1では、その色調又は反射色を調整するため、全質量比にて10%以下を目安に、赤色、黄色、青色などの有機顔料を黒色レジストに添加してもよい。
<遮光層BLK2に用いられる黒色レジスト2の例>
遮光層BLK2に用いられる有機顔料の混合例を以下に示す。
C.I.ピグメントレッド254(以下、R254と略記する)
C.I.ピグメントイエロー139(以下、Y139と略記する)
C.I.ピグメントバイオレット23(以下、V23と略記する)
これら3種類の顔料のうち、R254の顔料は除かれてもよい。さらに、この3種類の顔料の他に、色(透過波長)調整用に微量の他の種類の顔料、例えば上記の有機顔料が20%以下の少量で添加されてもよい。
図32は、紫色の顔料V23を含む塗膜の透過率特性V23L、代表的な緑色の顔料C.I.Pigment Green 36を含む塗膜の透過率特性G36L、代表的な緑色の顔料C.I.Pigment Green 58を含む塗膜の透過率特性G58Lの一例を示すグラフである。
例えば、ハロゲン化銅フタロシアニン、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン、又はハロゲン化アルミニウムフタロシアニンなどの緑色顔料を、遮光層BLK2における光波長700nm付近の分光特性の立ち上がりの調整(分光カーブ形状の調整)のために、少量、用いられてもよい。このような分光特性の立ち上がりの調整により、遮光層BLK2に、最適な赤外域透過性を持たせることができる。あるいは、C.I.ピグメントブルー15:3のような、赤外域に760nmの半値波長を持つ顔料をたとえば、10%以下の量で、遮光層BLK2に用いる有機顔料に添加することにより図18に示す、B2Lの半値波長を700nmより長波長側にシフトさせることができる。C.I.ピグメントブルー15:3のようなブルー顔料を遮光層BLK2に用いる有機顔料に添加する場合、紫色の顔料V23をその相当量分、減らすことができる。たとえば、C.I.ピグメントバイオレット23の質量比率を30%にまで減らすことができる。
遮光層BLK2は、可視域での透過率が5%以下であることが望ましい。可視域は、通常、およそ光波長400nm〜700nmである。遮光層BLK2の半値波長を光波長670nm〜750nmの範囲に設定するためには、およそ光波長660nm付近から赤外線透過率特性が立ち上がり、長波長側で透過率特性が高くなる必要がある。遮光層BLK2の低透過率の波長範囲は、およそ光波長400nm〜650nmの範囲としてもよい。なお、遮光層BLK2の透過率をおよそ光波長400nm〜650nmの範囲で5%以下の低い値とすることは、遮光層BLK2に含まれる顔料の量を増やす、又は、遮光層BLK2の膜厚を厚くすることで極めて容易に実現可能である。半値波長の波長位置も、同様に、顔料の量、後述する紫色顔料、緑色顔料、黄色顔料、赤色顔料の組成比、遮光層BLK2の膜厚などに基づいて、容易に調整されることができる。遮光層BLK2に適用される緑色顔料としては、後述する種々の緑色顔料を適用することができる。遮光層BLK2の半値波長を光波長670nm〜750nmの範囲に設定するために、緑色顔料としては、赤外線透過率の立ち上がり(例えば半値波長)が、光波長700nm〜800nmの範囲にある緑色顔料が好ましい。半値波長を光波長670nm〜750nmの範囲に設定するための調整は、主に紫色顔料と緑色顔料とに基づいて実現される。遮光層BLK2の分光特性を調節するために、青色顔料が添加されてもよい。
R254の質量比率(%)は、例えば、0〜15%の範囲に属してもよい。
Y139の質量比率(%)は、例えば、25〜50%の範囲に属してもよい。
V23の質量比率(%)は、例えば、50〜75%の範囲に属としてもよい。
遮光層BLK2の標準的膜厚、例えば2μm前後の膜厚では、V23の紫色顔料を50〜75%の範囲のいずれかの値で添加する。これにより、遮光層BLK2は、光波長670nm〜750nmで半値波長を持つ。黄色の有機顔料を25〜50%のいずれかの値とし、さらに、赤色の有機顔料を0〜15%添加し、混合することにより、遮光層BLK2の光波長400nm〜660nmの透過率を十分に下げることができる。光波長400nm〜660nmの範囲において遮光層BLK2の透過率に浮き(0%のベースラインからの分光の浮き)を削除することにより、光センサ34aの検出データから光センサ34bの検出データの引き算により、正確な色分離を行うことができる。
通常、これら顔料に基づいてカラーレジスト(着色組成物)が生成される前に、顔料は、樹脂又は溶液に分散され、顔料ペースト(分散液)が生成される。例えば、顔料Y139単体を樹脂又は溶液に分散させるためには、顔料R139の7部(質量部)に対して以下の材料が混合される。
アクリル樹脂溶液(固形分20%) 40部
分散剤 0.5部
シクロヘキサノン 23.0部
なお、V23、R254などのような他の顔料についても、同じ樹脂又は溶液に分散され、黒色の顔料分散ペーストが生成されてもよい。
以下に、上記の顔料分散ペーストに基づいて黒色レジストを生成するための組成比を例示する。
Y139ペースト 14.70部
V23ペースト 20.60部
アクリル樹脂溶液 14.00部
アクリルモノマー 4.15部
開始剤 0.7部
増感剤 0.4部
シクロヘキサノン 27.00部
PGMAC 10.89部
上記の組成比により遮光層BLK2に用いられる黒色レジスト2が形成される。
遮光層BLK2の形成に用いられる顔料の主色材である黒色レジスト2は、全質量比に対し約58%を占める紫色顔料V23である。有機顔料の多くは、およそ光波長800nmより長波長領域で高い透過率を持つ。黄色顔料Y139も、光波長800nmよりも長波長領域で高い透過率を持つ有機顔料である。
例えば、遮光層BLK2に含まれる黒色レジストの主色材は、100%の有機顔料としてもよい。例えば、有機顔料を主色材とする黒色レジスト2は、遮光性を調整するため、全質量の40%以下を目安にカーボンを添加してもよい。
図33は、半値波長が調整された遮光層BLK2の透過率特性B2La、B2Lb、B2Lcの一例を示すグラフである。
例えば、遮光層BLK2の透過率特性B2lcは、青色顔料を含むことで得られる。
<カラーフィルタ基板1,17,21、39,42に用いられる赤色レジストRRの一例>
赤色ペースト(分散液)の調製例について以下に説明する。
下記の組成の混合物が均一に攪拌混合され、およそ直径1mmのガラスビーズを用いて、サンドミルで5時間分散され、およそ5μmのフィルタで濾過され、赤色ペーストが作製される。
赤色顔料 C.I.Pigment Red254 8部
赤色顔料 C.I.Pigment Red177 10部
黄色顔料 C.I.Pigment Yellow150 2部
分散剤 2部
アクリルワニス(固形分20質量%) 108部
<赤色レジストRRの調製>
赤色ペーストの調製後、下記の組成の混合物が、均一になるように攪拌混合され、およそ5μmのフィルタで濾過され、赤色レジストRRが調製される。
赤色ペースト 42部
アクリル樹脂溶液 18部
ジペンタエリスリトールペンタおよびヘキサーアクリレート 4.5部
光重合開始剤 1.2部
増感剤 2.0部
シクロヘキサノン 32.3部
<カラーフィルタ基板1,17,21、39,42に用いられる緑色レジストGRの一例>
<緑色ペーストの調製>
下記組成の混合物が均一に攪拌混合され、およそ直径1mmのガラスビーズを用いて、サンドミルで5時間分散され、およそ5μmのフィルタで濾過され、緑色ペースト(分散液)が作製される。
緑色顔料 C.I.Pigment Green58 10.4部
黄色顔料 C.I.Pigment Yellow150 9.6部
分散剤 2部
アクリルワニス(固形分20質量%) 66部
<緑色レジストGRの調製>
緑色ペーストの調製後、下記の組成の混合物が、均一になるように攪拌混合され、およそ5μmのフィルタで濾過され、緑色レジストGRが調製される。
緑色ペースト 46部
アクリル樹脂溶液 8部
ジペンタエリスリトールペンタおよびヘキサーアクリレート 4部
光重合開始剤 1.2部
光重合開始剤 3.5部
増感剤 1.5部
シクロヘキサノン 5.8部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 30部
例えば、緑色レジストGRは、フッ素系界面活性剤を0.08部添加して用いられてもよい。
<カラーフィルタ基板1,17,21、39,42に用いられる青色レジストBRの一例>
<青色ペースト1の分散体の調製>
下記の組成の混合物が均一に攪拌混合され、およそ直径1mmのガラスビーズを用いて、サンドミルで5時間分散され、およそ5μmのフィルタで濾過され、青色ペースト1(青色顔料の分散体)が作製される。
青色顔料 C.I.Pigment Blue15:6 52部
分散剤 6部
アクリルワニス(固形分20質量%) 200部
<青色ペースト2の調製>
下記の組成の混合物がミルで5時間分散され、およそ5μmのフィルタで濾過され、中間青色ペースト(分散液)が作製される。
青色顔料 C.I.Pigment Blue15:6 49.4部
分散剤 6部
アクリルワニス(固形分20質量%) 200部
この中間青色ペーストに、下記の紫色染料粉体が添加され、よく攪拌され、青色ペースト2が調製される。
紫色染料 2.6部
<青色レジストBRの調製>
青色ペーストの調製後、下記の組成の混合物が均一になるように攪拌混合され、およそ5μmのフィルタで濾過され、青色レジストBRが調製される。
青色ペースト 16.5部
アクリル樹脂溶液 25.3部
ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサーアクリレート 1.8部
光重合開始剤 1.2部
増感剤 0.2部
シクロヘキサノン 25部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 30部
<カラーフィルタ基板1,17,21、39,42の作製>
上記の3色の赤色レジストRR、緑色レジストGR、青色レジストBRを組み合わせて、例えば、カラーフィルタ基板1,17,21、39,42が作製される。
上記の各実施形態は、発明の趣旨が変わらない範囲で様々に変更して適用することができる。上記の各実施形態は、自由に組み合わせて用いることができる。
1,17,21,39,42…カラーフィルタ基板、2…有効表示領域、3…額縁領域、5…アライメントマーク、GF…緑フィルタ、RF…赤フィルタ、BF…青フィルタ、6,20,41…液晶パネル、7,14…透明基板、8…カラーフィルタ層、CF…カラーフィルタ、9,9a,9b…透明樹脂層、10,10a,10b…対向電極、11,43…アレイ基板、12,44…液晶層、131,132…偏光板、15a〜15c…絶縁層、GR…緑色レジスト、RR…赤色レジスト、BR…青色レジスト、BM…ブラックマトリクス、BLK1,BLK2…遮光層、22,22a,22b…共通電極、23,23a,23b…画素電極、24,37,45…液晶表示装置、25,27,47…光制御素子、26,40,46…バックライトユニット、28a,28b,29a,29b…固体発光素子、31…処理部、34a,34b…光センサ、33…液晶駆動素子。
本発明は、カラーフィルタ基板、及び液晶表示装置に関する。
本願は、2013年1月25日に出願された特願2013−012006号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本発明は、高い表示精度と平坦性とを実現するカラーフィルタ基板、及び液晶表示装置を提供することを目的とする。
本発明の第1態様のカラーフィルタ基板は、有効表示領域と、前記有効表示領域を囲む額縁領域とを有する透明基板と、前記透明基板の上に、それぞれ色が異なるように、かつ、隙間なく互いに隣接するように線状のパターンで形成された、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタと、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの上に形成され、遮光性色材の主材として有機顔料を含み、可視域遮光性及び赤外域透過性を持つ遮光層と、を備え、前記第1のカラーフィルタは、前記第2のカラーフィルタと前記第3のカラーフィルタとを区分けするように配置され、前記第1のカラーフィルタの線幅は、前記第2のカラーフィルタ及び前記第3のカラーフィルタの線幅のほぼ1/2であり、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタは、異なる色を有する少なくとも2つのカラーフィルタの重なりに起因する厚さ方向の突起形成がない。
本発明の態様においては、高い表示精度と平坦性とを実現するカラーフィルタ基板、及び液晶表示装置を提供することができる。
カラーフィルタ基板1は、平面視で、有効表示領域2と、額縁領域3とを持つ。額縁領域3は、有効表示領域2を囲む。有効表示領域2は、複数の領域4を含む。図1A〜図1Cでは、有効表示領域2は、縦方向に4つ、横方向に4つで、計16個の領域4を含む。
有効表示領域2に含まれる領域4の数は、液晶表示装置の画面サイズに応じて変更可能である。
図12Eから図12Iは、上記図4C〜図4Gと同様である。しかしながら、上記図4AC〜図4Gは赤フィルタF(第2のカラーフィルタ)及び青フィルタBF(第3のカラーフィルタ)を形成するのに対して、図12E〜図12Iは緑フィルタGF(第2のカラーフィルタ)及び青フィルタBF(第3のカラーフィルタ)を形成する点で異なる。
図12E〜図12Iでは、緑フィルタGF及び青フィルタBFがフォトリソグラフィ法によって形成され、赤フィルタF、緑フィルタGF、及び青フィルタBFの上に、透明樹脂層9が積層される。
液晶パネル20は、カラーフィルタ基板21と、アレイ基板11と、液晶層12とを備える。カラーフィルタ基板21とアレイ基板11とは、液晶層12を介して、向き合っている。
例えば、本実施形態において、有効表示領域の遮光層BLK遮光層BLK2とは、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFの形成後に、形成される。
本実施形態において、アライメントマーク5は、遮光層BLK1の形成時に、遮光層BLK1と同じ色材で形成されるとする。なお、カラーフィルタ基板21において遮光層BLK1を形成しない場合には、1色目に入色される緑フィルタGFを形成する緑レジストGRでアライメントマーク5を形成することができる。
液晶表示装置24に適用されているカラーフィルタCFは、赤フィルタRF、緑フィルタGF、青フィルタBFを含む。特性RLは、赤フィルタRFの分光特性である。特性GLは、緑フィルタGの分光特性である。特性BLは、青フィルタBFの分光特性である。
本実施形態においては、可視光又は非可視光の照明光が観察者の両眼網膜で反射する。光センサは、この反射光を検出する。処理部31は、光センサの検出データに基づいて、観察者の位置情報を生成する。処理部31は、観察者の位置情報に基づいて、固体発光素子28a,28bから出射される出射光の角度βを調整し、出射光36a,36bの表示面から出射される出射光の角度αを、観察者の両眼位置にあわせて調整する。固体発光素子28aには、角度制御部50aが設けられており、角度制御部50aが駆動することによって、固体発光素子28aから出射される出射光の角度βが調整され、結果的に角度αが調整される。角度制御部50aは、図30Bを参照して以下に具体的に述べる。
出射光36a,36bの角度αは、三角柱プリズム27aの1/2頂角εによって調整されてもよい。しかしながら、1/2頂角は可変に調整できないため、用途に応じて予め設定するする必要がある。なお、成人である観察者の両眼が、表示面から30cm程度の距離に位置する場合、表示面から出射される出射光角度αは、およそ6度〜8度の範囲内とすることで3次元画像の視認性を向上させることができる。複数の観察者に対して液晶表示装置24が使用される場合、上記の出射光角度αは拡大されてもよい。処理部31は、観察者又はポインタの位置情報及び動き情報を、CMOS又はCCDなどのような撮像素子(例えばカメラ)によって検出された赤外線又は紫外線に基づいて生成する。このような観察者又はポインタの位置情報及び動き情報の生成には、CMOS又はCCDに代えて、アレイ基板11のマトリクス状に配設された複数の光センサを用いることもできる。
次に、緑色レジストGRが形成される。例えば、緑レジストGRは、乾燥後の膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、基板は、アライメントマーク5を用いて位置あわせを行い、露光装置によって露光され、現像装置によって現像され、ストライプ状の緑フィルタRFが形成される。現像及び硬膜の工程は、遮光層BLK1と同様である。
次に、青色レジストBRが形成される。例えば、青レジストBRは、乾燥後の膜厚が2.5μmとなるように塗布される。次に、基板は、アライメントマーク5を用いて位置あわせを行い、露光装置によって露光され、現像装置によって現像され、ストライプ状の青フィルタBFが形成される。現像及び硬膜の工程は、遮光層BLK1と同様である。
図示されていない配向膜は、液晶分子の軸を90°とする垂直配向を提供してもよく、画素中央線CLに対して対称になるプレチルト角θを持つとしてもよい。プレチルト角θは、例えば、液晶パネル41の基板面の法線に対する液晶分子の傾き角とする。液晶層44に対向しているカラーフィルタ基板42の面とアレイ基板43の面のそれぞれには、感光性の配向膜が備えられる。液晶パネル41は、カラーフィルタ基板42とアレイ基板43とが液晶層44を介して貼り合わせた構成を持つ。プレチルト角の設定は、例えば、画素電極23a,23bと、共通電極22a,22b及び対向電極10a,10bとの間に電圧を印加し、紫外線などの放射線を露光することにより、行われる。ラビングなどの物理的手法でプレチルト角が設定されてもよい。
液晶分子L6〜L10の駆動動作は、上記の図26の場合と同様であるが、液晶分子L6〜L10は画素中央CLに対して線対称の方向に倒れる。
左側青画素BPaの画素電極23aに液晶駆動電圧が印加された場合、青画素BPの対向電極10a,10bの電位は、コモンの同じ電位である。このため、左側青画素BPaの画素電極3aから生じる電場によって、右側青画素BPbの液晶分子L6〜L9が若干倒れ、青画素BPから出射される出射光36が補強される場合がある。青画素BPは、視感度が低い。さらに、青画素BPには、赤画素RP及び緑画素GPと比較して透過率のやや低い顔料が用いられる。このため、青画素BPの出射光36は補強されることが好ましい。
本実施形態においては、液晶分子L1〜L10は、負の誘電率異方性を持つ場合を説明したが、この液晶分子が正の誘電率異方性を持つとしてもよい。液晶分子L1〜L10が正の誘電率異方性を持つ場合、液晶分子L1〜L10は、初期水平配向を持つ。
液晶駆動電圧が印加されると、初期水平配向の液晶分子L1〜L10の長軸方向は、基板平面と平行な方向から垂直な方向に立ち上がる。
複数の三角柱状プリズム27aのピッチは、複数の半円柱状レンズ25aのピッチと1:1の関係でもよく、複数の三角柱状プリズム27のピッチは複数の半円柱状レンズ25aのピッチよりも細かくてもよい。

Claims (19)

  1. 有効表示領域と、前記有効表示領域を囲む額縁領域とを有する透明基板と、
    前記透明基板の上に、それぞれ色が異なるように、かつ、隙間なく互いに隣接するように線状のパターンで形成された、第1のカラーフィルタ、第2のカラーフィルタ、及び第3のカラーフィルタと、を備え、
    前記第1のカラーフィルタは、前記第2のカラーフィルタと前記第3のカラーフィルタとを区分けするように配置され、
    前記第1のカラーフィルタの線幅は、前記第2のカラーフィルタ及び前記第3のカラーフィルタの線幅のほぼ1/2であり、
    前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタは、異なる色を有する少なくとも2つのカラーフィルタの重なりに起因する厚さ方向の突起形成がないカラーフィルタ基板。
  2. 前記第1のカラーフィルタは、赤フィルタ又は緑フィルタである請求項1のカラーフィルタ基板。
  3. 前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの上に形成される遮光層をさらに具備し、
    前記遮光層は、遮光性色材の主材として有機顔料を含み、可視域遮光性及び赤外域透過性を持つ請求項1又は請求項2に記載のカラーフィルタ基板。
  4. 前記遮光層に含まれる前記有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が50〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
  5. 前記遮光層に含まれる前記有機顔料の質量比率は、前記有機顔料の全体の質量に対して、紫色顔料が30〜75%、黄色顔料が25〜50%、又は、赤色顔料が30%以下であり、緑色顔料あるいは青色顔料が10%以下の質量で、前記遮光層に添加されている請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
  6. 前記額縁領域に、遮光性色材の主材としてカーボンを含む遮光層が形成されている請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
  7. 前記額縁領域に、遮光性色材の主材としてカーボンを含む第1の遮光層と、遮光性色材の主材として有機顔料を含む第2の遮光層とを備える請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
  8. 前記有効表示領域に形成されるカラーフィルタの厚さは、前記額縁領域に形成される前記遮光層の厚さとほぼ同じである請求項6又は請求項7に記載のカラーフィルタ基板。
  9. 前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの線状パターンは、複数のV字形状を平面視で縦方向に連結したパターンである請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板。
  10. 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板と、
    前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、
    前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、
    前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタの線状パターンは、前記有効表示領域と前記額縁領域とに形成されており、
    前記液晶層に含まれる液晶分子は、液晶駆動電圧の印加されていない状態で基板平面に垂直の長軸を持つ液晶表示装置。
  11. 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板と、
    前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、
    前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、
    前記第1のカラーフィルタに対応する第1の画素に、1つの液晶駆動素子を備え、
    前記第2のカラーフィルタに対応する第2の画素に、2つの液晶駆動素子を備え、
    前記第3のカラーフィルタに対応する第3の画素に、2つの液晶駆動素子を備える液晶表示装置。
  12. 前記バックライトユニットの発光タイミングと液晶駆動電圧印加タイミングとを制御又は同期し、3次元表示を行う処理部をさらに具備する請求項11の液晶表示装置。
  13. 前記バックライトユニットから出射される光の角度を制御する角度制御部と、液晶画面から出射される出射光の出射角を調整する光制御素子とをさらに具備する請求項11又は請求項12に記載の液晶表示装置。
  14. 前記液晶駆動素子は、薄膜トランジスタであり、
    前記薄膜トランジスタは、ガリウム、インジウム、亜鉛、錫、ハフニウム、イットリウム、ゲルマニウムのうちの2種以上の金属酸化物を含むチャネル層を備える請求項11から請求項13のいずれか一項に記載の液晶表示装置。
  15. 請求項3から請求項5のいずれか一項に記載のカラーフィルタ基板と、
    前記カラーフィルタ基板と、液晶層を介して対向するアレイ基板と、
    前記アレイ基板の前記液晶層が配置されている位置とは逆側の位置に設けられたバックライトユニットとを具備し、
    前記アレイ基板は、第1の光センサと第2の光センサとを具備し、
    前記第1の光センサは、基板平面と垂直な方向で、前記第1のカラーフィルタ、前記第2のカラーフィルタ、及び前記第3のカラーフィルタのうちのいずれかのカラーフィルタを経由し前記遮光層を経由しない光を検出し、
    前記第2の光センサは、前記基板平面と垂直な方向で、前記カラーフィルタと前記遮光層とを経由する光を検出し、
    前記第1の光センサの検出データから、前記第2の光センサの検出データを引き算する処理部をさらに具備する液晶表示装置。
  16. 前記バックライトユニットは、
    可視光を発光する第1の固体発光素子と、
    タッチセンシング用の赤外光を発光する第2の固体発光素子と、を具備し、
    前記処理部は、前記第2の固体発光素子の発光タイミングと、前記第2の光センサの受光タイミングとを同期制御する請求項15の液晶表示装置。
  17. 前記赤外光の波長は、800nm〜1000nmの範囲に含まれる請求項15の液晶表示装置。
  18. カラーフィルタ基板の製造方法であって、
    透明基板上に、第1レジスト層を形成し、
    前記第1レジスト層をパターニングすることによって、第1のカラーフィルタと、前記第1のカラーフィルタで囲まれた第1フィルタ開口部及び第2フィルタ開口部とを形成し、
    前記第1のカラーフィルタ,前記第1フィルタ開口部,及び前記第2フィルタ開口部を覆うように前記透明基板上に、第2レジスト層を形成し、
    前記第2レジスト層をパターニングすることによって、前記第1フィルタ開口部に前記第2レジスト層を形成し、かつ、前記第2フィルタ開口部を露出させ、
    熱処理を行うことによって、前記第1フィルタ開口部内で前記第2レジスト層を流動させ、前記第2レジスト層を硬化することによって、フィルタの重なりに起因する突起を形成しないように、かつ、前記第1のカラーフィルタと隙間なく隣接するように第2のカラーフィルタを形成し、
    前記第1のカラーフィルタ,前記第2のカラーフィルタ,及び前記第2フィルタ開口部を覆うように前記透明基板上に、第3レジスト層を形成し、
    前記第3レジスト層をパターニングすることによって、前記第2フィルタ開口部に前記第3レジスト層を形成し、
    熱処理を行うことによって、前記第2フィルタ開口部内で前記第3レジスト層を流動させ、前記第3レジスト層を硬化することによって、フィルタの重なりに起因する突起を形成しないように、かつ、前記第1のカラーフィルタ及び前記第2のカラーフィルタと隙間なく隣接するように第3のカラーフィルタを形成するカラーフィルタ基板の製造方法。
  19. 請求項18に記載のカラーフィルタ基板の製造方法において、
    遮光性色材の主材としてカーボンを含む材料を用いて、前記透明基板の額縁領域にアライメントマークを形成し、
    前記額縁領域に、第2の遮光層を形成し、
    前記第2の遮光層を形成した後に、前記アライメントマークに赤外光を照射し、前記アライメントマークの位置を検出することにより、前記パターニングに用いられるフォトマスクと前記透明基板との位置あわせを行うカラーフィルタ基板の製造方法。
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