JP2009229838A - カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カラーフィルタ1は、基板3の上に、着色層として、赤色層5、青色層7、緑色層9を有し、赤色層5の上には、スペーサー用青色層8とスペーサー用緑色層10を有する。赤色層5、青色層7、緑色層9、スペーサー用青色層8、スペーサー用緑色層10の上に透明電極層13を有する。さらに、透明電極層13の上にブラックマトリクス14を有する。赤色層5は、赤外線吸収剤を含み、最初に形成される。また、ブラックマトリクス14は、顔料を混色した感光性樹脂からなり、赤外線を透過する。赤色層5により形成されたアライメントマークを赤外線で読み取り、青色層7、緑色層9、ブラックマトリクス14のパターニング時のアライメントを行う。
【選択図】図1
Description
図1は、カラーフィルタ1の断面の概要を示す図である。カラーフィルタ1は、基板3の上に、着色層として、赤色層5、青色層7、緑色層9を有し、赤色層5の上には、スペーサー用青色層8とスペーサー用緑色層10を有する。赤色層5、青色層7、緑色層9、スペーサー用青色層8、スペーサー用緑色層10の上に透明電極層13を有する。さらに、透明電極層13の上にブラックマトリクス14を有する。
図2は、カラーフィルタ1の赤色層5を形成する工程を示す図である。
図2(a1)は、図2(a2)でのA−A断面でカラーフィルタを可視光で観察した断面図であり、図2(a2)はカラーフィルタを可視光で観察した平面図であり、図2(a3)は、カラーフィルタを赤外線で観察した平面図を示す図である。図2(b)(c)(d)においても同様であるし、図3(a1)〜(c3)、図4(a1)〜(c2)、図5(a1)〜(d2)においても同様である。
まず、図2(a1)に示すように、定法に従って洗浄した基板3を用意し、赤色顔料と赤外吸収剤を含む感光性樹脂を塗布し、露光前赤色層15を形成する。露光前赤色層15は、可視光でも赤外線でも観察できるため、図2(a2)および(a3)において、基板3の上には、露光前赤色層15が観察される。
次に、図3(a1)〜(a3)に示すように、赤色層5とアライメントマーク16を有する基板3に、青色顔料を含む感光性樹脂を塗布し、露光前青色層17を形成する。露光前青色層17の形成は、露光前赤色層15の形成と同様の方法で行われる。図3(a1)に示すように、赤色層5を露光前青色層17が覆っている。また、図3(a2)では、基板3の上には、露光前青色層17が観察される。しかし、図3(a3)において、露光前青色層17は可視光を吸収するが、赤外線を透過するため、露光前青色層17は透過して、赤色層5とアライメントマーク16が観察される。
次に、図4(a1)〜(a2)に示すように、赤色層5、青色層7、スペーサー用青色層8を有する基板3に、緑色顔料を含む感光性樹脂を塗布し、露光前緑色層19を形成する。露光前緑色層19の形成は、露光前赤色層15の形成と同様の方法で行われる。図4(a1)に示すように、赤色層5を露光前緑色層19が覆っている。また、図4(a2)では、基板3の上には、露光前緑色層19が観察される。なお、図4(a3)、図4(b3)、図4(c3)は、それぞれ図3(a3)と同じになるため、省略した。
次に、図5(a1)に示すように、基板3、赤色層5、青色層7、スペーサー用青色層8、緑色層9、スペーサー用緑色層10の上に、透明電極層13を、形成する。透明電極層13は、蒸着やスパッタリングにより形成される。
図5(a2)においては、透明電極層13は透明であるため、図示していない。
[予備実験1]
(赤色層用のネガ型感光性樹脂の調整)
ネガ型感光性樹脂(ポリマー1)と、赤色層用のネガ型感光性樹脂を調整した。赤色層用のネガ型感光性樹脂の組成を、表1に示す。赤外吸収剤を含まないものをR0とし、赤外吸収剤を含むものをR1ないしR3とした。赤外吸収剤の含有量はR1が最も少なく、R3が最も多い。
ポリマー1は、ベンジルメタクリレート:スチレン:アクリル酸:2−ヒドロキシエチルメタクリレート=15.6:37.0:30.5:16.9(モル比)の共重合体100モル%に対して、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを16.9モル%付加したものであり、重量平均分子量は42500である。
次いで、基板として、大きさが300mm×400mm、厚みが0.7mmのガラス基板(コーニング社製1737ガラス)を準備した。この基板を定法にしたがって洗浄した後、ガラス基板上にR0をスピンコート法により塗布し、80℃にて3分間プリベークを行い、露光前赤色層を形成した。その後、フォトマスクを介して、露光量30mJ/cm2、露光ギャップ150μmにて露光した。
ガラス基板上の赤色層は、色度値と、膜厚、透過率を測定した。色度値と膜厚については表2に、透過率については、図6、図7に示す。
(ブラックマトリクス用感光性樹脂の調整)
ブラックマトリクスのネガ型感光性樹脂を調整した。組成を以下に示す。
・赤顔料(C.I.Pigmet Red254) 2.50重量部
・青顔料(C.I.Pigmet Blue15:6) 2.50重量部
・黄顔料(C.I.Pigmet Yellow139) 1.25重量部
・顔料誘導体(ゼネカ社製 ソルスパース5000) 0.60重量部
・分散剤(ゼネカ社製 ソルスパース24000) 2.40重量部
・モノマー(サートマー社製 SR399) 4.00重量部
・バインダー樹脂 (ポリマー1) 5.0重量部
・開始剤(チバガイギー社製 イルガキュア907) 1.40重量部
・開始剤(2,2´−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4´,5´−テトラフェニル−1,2´−ビイミダゾール) 0.6重量部
・溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) 79.75重量部
ブラックマトリクスの透過率を測定した。その結果を図8に示す。波長780nm以上での赤外域では、90%以上透過し、ブラックマトリクスは、赤外域では透明である。
[実施例1]
(フォトマスクの作製)
光学研磨された330mm×450mmの合成石英基板上にクロム膜(遮光膜)が厚み100nmで成膜されている常用のマスクブランク上に、市販のフォトレジスト(AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製 AZP−1350)を厚み600nmで塗布し、120℃に加熱されたホットプレートで15分ベークした後、フォトマスク用レーザ描画装置(マイクロニック社製LRS11000-TFT3)で、所望の遮光パターンを描画する。
次に、専用のデベロッパー(AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製 AZデベロッパー)で現像し、遮光膜用レジストパターンを得る。
次に、レジストパターンをエッチング用マスクとし、クロム膜をエッチングし、さらに残ったレジストパターンを剥膜することで、所望の遮光パターンを得る。クロム膜のエッチングには、市販の硝酸セリウム系ウェットエッチャント(ザ・インクテック社製 MR−ES)を用いた。クロム膜のエッチング時間は、60秒である。
最後に残ったレジストを剥膜し、パターン寸法検査、パターン欠陥検査などの検査工程を経て、必要に応じてパターン修正を行い、フォトマスクを得る。
フォトマスクは、赤色層用、緑色層用、青色層用、ブラックマトリクス用の4種類を用意する。
青色層用のネガ型感光性樹脂と、緑色層用のネガ型感光性樹脂を調整する。青色層用のネガ型感光性樹脂の組成を、表4に示し、緑色層用のネガ型感光性樹脂の組成を、表5に示す。
基板として、大きさが300mm×400mm、厚みが0.7mmのガラス基板(コーニング社製1737ガラス)を準備する。この基板を定法にしたがって洗浄した後、ガラス基板の片面全面に、赤外吸収材を含むR1〜R3のいずれかの赤色層をスピンコート法により塗布し、80℃にて3分間プリベークを行い、所定のフォトマスクを介して、露光量30mJ/cm2、露光ギャップ150μmにて露光する。次いで、0.05wt%水酸化カリウム水溶液を用いて現像後、230℃のオーブンで30分間焼成を行い、赤色層を形成する。
次いで、B0とG0を同様に塗布、露光、現像などを行い、青色層および緑色層を形成する。
ITOをスパッタリングし、全面に透明電極層を形成する。
その後、ブラックマトリクス用ネガ型感光性樹脂をスピンコート法により塗布し、100℃にて3分間プリベークを行い、所定のフォトマスクを介して、露光量100mJ/cm2、露光ギャップ150μmにて露光する。次いで、0.05wt%水酸化カリウム水溶液を用いて現像後、200℃のオーブンで30分間焼成を行い、ブラックマトリクスを形成し、カラーフィルタを作製する。
着色層の形成工程を、青色層、赤色層、緑色層の順で形成する点、赤色層をR0で形成し、青色層をB1〜B3のいずれかで形成する点が異なる以外は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを作製する。
着色層の形成工程を、緑色層、赤色層、青色層の順で形成する点、赤色層をR0で形成し、緑色層をG1〜G3のいずれかで形成する点が異なる以外は、実施例1と同様にして、カラーフィルタを作製する。
ブラックマトリクスが、カーボンを含む感光性樹脂により形成される点以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製する。
赤色層をR0で形成する点以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製する。
青色層をB1〜B3のいずれかで形成し、赤色層に加えて、青色層にも赤外吸収剤を含む以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製する。
緑色層をG1〜G3のいずれかで形成し、赤色層に加えて、緑色層にも赤外吸収剤を含む以外は、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作製する。
比較例1は、カーボンが赤外線を透過しないため、アライメントできない
比較例2は、アライメントマークが赤外線を吸収しないため、アライメントできない。
比較例3は、青色層までのアライメントは可能であるが、青色層が赤外線を透過しないため、緑色層、ブラックマトリクスのアライメントができない。
比較例4は、緑色層までのアライメントは可能であるが、緑色層が赤外線を透過しないため、ブラックマトリクスのアライメントができない。
3………基板
5………赤色層
7………青色層
8………スペーサー用青色層
9………緑色層
10………スペーサー用緑色層
11………スペーサー
13………透明電極層
14………ブラックマトリクス
15………露光前赤色層
16………アライメントマーク
17………露光前青色層
19………露光前緑色層
Claims (7)
- 基板上に、着色層を形成する工程(a)と、
前記着色層上に、スペーサーを形成する工程(b)と、
前記基板、前記着色層、前記スペーサー上に、透明電極層を形成する工程(c)と、
前記基板および前記スペーサー上の前記透明電極層上に、ブラックマトリクスを形成する工程(d)と、
を具備し、
前記工程(a)において、最初に形成する着色層を、赤外線吸収剤を含む樹脂で、アライメントマークと同時に形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記工程(d)において、前記ブラックマトリクスを、顔料を含む樹脂で形成することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記工程(a)および前記工程(b)が、
一色の着色層を、前記基板上に形成する工程(e)と、
他色の着色層を、前記基板上および前記着色層上に形成し、着色層とスペーサーを同時に形成する工程(f)と、
により置き換わることを特徴とする請求項1または請求項2記載のカラーフィルタの製造方法。 - 基板と、
前記基板上に形成された着色層と、
前記着色層上に形成されたスペーサーと、
前記基板、前記着色層、前記スペーサーを覆う透明電極層と、
前記基板および前記スペーサー上の前記透明電極層上に形成されたブラックマトリクスと、
を有することを特徴とするカラーフィルタであって、
前記着色層の中で、最初に形成した着色層に、赤外線吸収剤を含むことを特徴とするカラーフィルタ。 - 前記ブラックマトリクスが、顔料を含む樹脂で形成されることを特徴とする請求項4記載のカラーフィルタ。
- 前記ブラックマトリクスが、体積抵抗率103Ω・cm以上であることを特徴とする請求項4または請求項5記載のカラーフィルタ。
- 前記スペーサーは、着色層上に、異なる着色層が積層されることにより形成されることを特徴とする請求項4ないし請求項6記載のカラーフィルタ。
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