JP5195092B2 - カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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第2および第3の発明において、前記ブラックマトリクスの下で、ある色の着色層と他の色の着色層とを重ねてもよい。
図1は、カラーフィルタ1を示す図である。カラーフィルタ1は、基板6に、所定のパターンの赤色層9、緑色層11、青色層13とを有し、これら着色層の上に透明電極層5を有する。透明電極層5の上に、開口部を有するブラックマトリクス7を有し、一部のブラックマトリクス7の上に柱状スペーサー15を有する。
図4は、第2の実施形態にかかる、カラーフィルタ2の製造工程の一部を示す図である。
図5は、第3の実施形態にかかる、カラーフィルタ3の製造工程の一部を示す図である。
図6は、第4の実施形態にかかる、カラーフィルタ4を示す図である。
[実施例]
(フォトマスクの作製)
光学研磨された390mm×610mmの合成石英基板上にクロム膜(遮光膜)が厚み100nmで成膜されている常用のマスクブランク上に、市販のフォトレジスト(東京応化工業社製 ip−3500)を厚み600nmで塗布し、120℃に加熱されたホットプレートで15分ベークした後、フォトマスク用レーザ描画装置(マイクロニック社製LRS11000−TFT3)で、所望のパターンを描画した。
次に、専用のデベロッパー(東京応化工業社製 NMD3)で現像し、遮光膜用レジストパターンを得た。
次に、レジストパターンをエッチング用マスクとし、クロム膜をエッチングし、さらに残ったレジストパターンを剥膜することで、所望の遮光パターンを得た。クロム膜のエッチングには、市販の硝酸セリウム系ウェットエッチャント(ザ・インクテック社製 MR−ES)を用いた。クロム膜のエッチング時間は、60秒であった。
<成膜条件>
・ガス流量比 Ar:N2=5:1
・パワー:1.3kW
・ガス圧:3.5mTorr
窒化クロム膜の膜厚は10nmとした。
次に、窒化クロム膜上に市販のフォトレジスト(東京応化製 ip−3500)を再度、厚み600nmで塗布し、120℃に加熱されたホットプレート上で15分ベークした。
続いて半透明パターンとなる像を再度、レーザ描画装置(マイクロニック社製LRS11000−TFT3)で描画し、専用デベロッパー(東京応化社製 NMD3)で現像し、レジストパターンを得た。
次に、レジストパターンをマスクとして、市販の硝酸セリウム系ウェットエッチャント(ザ・インクテック社製 MR−ES)で窒化クロム膜及びクロム膜をエッチングし、半透明パターン及び遮光パターンを得た。
最後に残ったレジストを剥膜し、パターン寸法検査、パターン欠陥検査などの検査工程を経て、必要に応じてパターン修正を行い、フォトマスクを得た。
ネガ型感光性樹脂組成物(ポリマー1)、ネガ型黒色感光性樹脂組成物を以下の成分で調製した。ネガ型黒色感光性樹脂組成物は、光学濃度が0.5となるように調製した。
・メタクリル酸メチル−スチレン−アクリル酸共重合体 32重量部
・エポキシ樹脂:ジャパンエポキシレジン社製 エピコート180s70 18重量部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート 42重量部
・チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製 イルカギュア907 8重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 300重量部
・赤顔料(C.I.Pigmet Red254) 2.50重量部
・青顔料(C.I.Pigmet Blue15:6) 2.50重量部
・黄顔料(C.I.Pigmet Yellow139) 1.25重量部
・顔料誘導体(ゼネカ社製 ソルスパース5000) 0.60重量部
・分散剤(ゼネカ社製 ソルスパース24000) 2.40重量部
・モノマー(サートマー社製 SR399) 4.00重量部
・バインダー樹脂(ポリマー1) 5.0重量部
・開始剤(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製 イルガキュア907) 1.40重量部
・開始剤(2,2´−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4´,5´−テトラフェニル−1,2´−ビイミダゾール) 0.6重量部
・溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) 79.75重量部
<露光条件>
・露光量:75mJ/cm2(I線換算)
・露光ギャップ:200μm
現像後の再度の露光を省略する以外は、実施例と同様にしてカラーフィルタを作製した。
フォトマスクを介して露光を行う際に、下記条件で露光を行い、再度の露光を省略する以外は、実施例と同様にしてカラーフィルタを作製した。
<露光条件>
・露光量:1000mJ/cm2(I線換算)
・露光ギャップ:200μm
実施例、比較例1、比較例2で形成されたパターンの断面形状を走査型電子顕微鏡で観察し、寸法を測定した。結果を表1に示す。
5………透明電極層
6………基板
7………ブラックマトリクス
9………赤色層
11………緑色層
13………青色層
15………柱状スペーサー
16………フォトマスク
17………マスク基板
19………透過部
20………半透過部
21………遮光部
23………光
25………黒色感光性樹脂組成物
27………リブ
29………遮光パターン
31………半透明パターン
101………カラーフィルタ
103………ブラックマトリクス
105………オーバーコート
107………柱状スペーサー
109………スペーサー
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上に、互いに接するように形成された複数の着色層と、
前記複数の着色層上に形成された透明電極層と、
前記透明電極層上に形成された、柱状スペーサーと、ブラックマトリクスと、
を有し、
前記ブラックマトリクスと柱状スペーサーとが、同一の黒色感光性樹脂組成物で一括して形成され、
前記柱上スペーサーと前記ブラックマトリクスの膜厚差が2μm以上あることを特徴とするカラーフィルタ。 - 前記ブラックマトリクスの下で、ある色の着色層と他の色の着色層とが重なることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ。
- さらに、前記透明電極層上に形成されたリブを有し、
前記ブラックマトリクスと前記柱状スペーサーと前記リブとが、同一の黒色感光性樹脂組成物で一括して形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタ。 - 互いに接するように形成された複数の着色層の上に透明電極層を積層した基板の前記透明電極層上に、ネガ型黒色感光性樹脂組成物を塗布する工程(a)と、
前記黒色感光性樹脂組成物を、ブラックマトリクスに対応する半透過部と、柱状スペーサーに対応する透過部とを備えるフォトマスクを用いて露光する工程(b)と、
前記黒色感光性樹脂組成物を現像する工程(c)と、
前記黒色感光性樹脂組成物を再度露光する工程(d)と、
前記黒色感光性樹脂組成物をポストベークする工程(e)と、
を備え、
前記ブラックマトリクスと前記柱状スペーサーとを一括して形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 互いに接するように形成された複数の着色層の上に透明電極層を積層した基板の前記透明電極層上に、ネガ型黒色感光性樹脂組成物を塗布する工程(a)と、
前記黒色感光性樹脂組成物を、ブラックマトリクスに対応する半透過部と、柱状スペーサーに対応する透過部と、リブに対応する半透過部と、を備えるフォトマスクを用いて露光する工程(b)と、
前記黒色感光性樹脂組成物を現像する工程(c)と、
前記黒色感光性樹脂組成物を再度露光する工程(d)と、
前記黒色感光性樹脂組成物をポストベークする工程(e)と、
を備え、
前記ブラックマトリクスと前記柱状スペーサーと前記リブとを一括して形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記ブラックマトリクスの下で、ある色の着色層と他の色の着色層とが重なることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173313A JP5195092B2 (ja) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008173313A JP5195092B2 (ja) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010014870A JP2010014870A (ja) | 2010-01-21 |
JP5195092B2 true JP5195092B2 (ja) | 2013-05-08 |
Family
ID=41701050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008173313A Expired - Fee Related JP5195092B2 (ja) | 2008-07-02 | 2008-07-02 | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5195092B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9170486B2 (en) | 2014-03-27 | 2015-10-27 | Cheil Industries Inc. | Method of manufacturing black column spacer, black column spacer, and color filter |
US10048528B2 (en) | 2014-11-19 | 2018-08-14 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Liquid crystal display |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR101809657B1 (ko) | 2011-09-22 | 2017-12-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US8792077B2 (en) | 2012-04-16 | 2014-07-29 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Color filter, manufacturing method thereof, and liquid crystal panel with the same |
CN102636904B (zh) * | 2012-04-16 | 2015-07-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光片、彩色滤光片的制作方法及液晶面板 |
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KR102001839B1 (ko) | 2013-02-15 | 2019-07-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 기판, 이를 제조하기 위한 마스크 및 이의 제조 방법 |
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2008
- 2008-07-02 JP JP2008173313A patent/JP5195092B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2010014870A (ja) | 2010-01-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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