JPWO2014106944A1 - 合金材料の研磨方法及び合金材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
平均粒子径が78nmの表面修飾されていないコロイダルシリカを水で希釈し、さらに酸化剤を加えることにより、組成1〜4の研磨用組成物を調製した。組成5の研磨用組成物は酸化剤を加えずに調製した。各研磨用組成物について、コロイダルシリカの濃度と平均粒子径、酸化剤の種類と濃度、並びにpHを表2に示す。
各研磨用組成物を用いた研磨の前後に合金の重量を測定した。研磨前後の重量の差から研磨速度を算出した。その結果を下記表3の「研磨速度」の欄に示す。
研磨後の合金材料の研磨面における表面粗さを示す「Ra」を、JIS B0601:2001に記載の方法に基づき、表面形状測定機(商品名:ZYGO New View 5000 5032、Zygo社製)を用い、測定範囲を1.4mm×1.1mmに設定して測定した。「Ra」は、粗さ曲線の高さ方向の振幅の平均を示すパラメータであって、一定視野内での合金材料表面の高さの算術平均を示す。測定結果を下記表3の「表面粗さRa」の欄に示す。
半透明のプラスチックボトルに各例で使用する研磨用組成物を充填し、25℃の雰囲気下で7日間保存した。その後、研磨用組成物が入ったプラスチックボトルの外観より、内容物の変化の有無を目視で確認した。変化がなければ保管安定性が良好(○)であると評価し、沈殿又は凝集等の何らかの変化があった場合には保管安定性が不良(×)であると評価した。結果を下記表3の「安定性」の欄に示す。
Claims (10)
- 主成分及び前記主成分とはビッカース硬度(HV)が5以上異なる副成分の元素を0.5質量%以上含む合金材料の研磨方法であって、
砥粒及びオキソ酸系酸化剤を含有する研磨用組成物を使用して前記合金材料の表面を研磨することを特徴とする合金材料の研磨方法。 - 前記合金材料の主成分がアルミニウム、チタン、鉄、ニッケル、及び銅から選ばれる少なくとも1種である請求項1に記載の合金材料の研磨方法。
- 前記合金材料の主成分がアルミニウムであり、副成分の元素が、ケイ素、マグネシウム、鉄、銅、及び亜鉛から選ばれる少なくとも1種である請求項1又は2に記載の合金材料の研磨方法。
- 前記オキソ酸系酸化剤が硝酸、亜硝酸、次亜塩素酸、シュウ酸、及びそれらの塩から選ばれる少なくとも1種である請求項1〜3のいずれか1項に記載の合金材料の研磨方法。
- 前記オキソ酸系酸化剤が硝酸及びその塩から選ばれる少なくとも一種である請求項1〜3のいずれか1項に記載の合金材料の研磨方法。
- 前記砥粒がコロイダルシリカである請求項1〜5のいずれか1項に記載の合金材料の研磨方法。
- 前記研磨用組成物を使用して前記合金材料を研磨する前に、予備研磨用組成物を用いて前記合金材料を予備研磨する工程を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の合金材料の研磨方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の合金材料の研磨方法を用いて合金材料を研磨する工程を含む、合金材料の製造方法。
- 請求項8に記載の製造方法を用いて製造される合金材料。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の合金材料の研磨方法に用いられる研磨用組成物であって、
砥粒及びオキソ酸系酸化剤を含有することを特徴とする研磨用組成物。
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