JPWO2014087879A1 - リンク式搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
Description
更に、直動軸を用いてアーム機構全体を上下動させるためには駆動機構の動力を非常に大きくする必要があり、小型化の要請に反する。
以下、本発明の実施の形態1に係るリンク式搬送ロボットについて、図1〜図4を参照して説明する。
次に、本発明の実施の形態2に係るリンク式搬送ロボットについて説明する。この実施の形態2では、1個の平行リンク機構に2個のハンド部を搭載した。
次に、本発明の実施の形態3に係るリンク式搬送ロボットについて説明する。この実施の形態3は、本発明のリンク式搬送ロボットに伸縮型の搬送アームを搭載すると共に、このリンク式搬送ロボットを小型半導体製造装置に搭載した例である。
110,510,910a,919b 支持部材
111,511,911 第1回転軸
112,512,912 第2回転軸
113,513a,513b,917 駆動ベルト
120,520,920 搬送アーム
121,521,700 アーム本体
122 レール
123,523,701 主動プーリ
124,524,702 従動プーリ
125,525a,525b,703 アームベルト
123,526a,526b,921 ハンド部
130,530,930 第1リンク部材
140,540,940 第2リンク部材
Claims (7)
- ワークを保持するハンド部と、
該ハンド部を直線移動自在に保持する搬送アームと、
位置が固定された支持部材と、
一方の端部が前記支持部材に回動自在に連結され且つ他方の端部が前記搬送アームに回動自在に連結された第1及び第2のリンク部材と、
前記第1のリンク部材と前記支持部材との連結部から伝達された動力を用いて、前記ハンド部を前記搬送アームに対して直線移動させるアーム駆動部と、
前記第1又は第2のリンク部材を前記支持部材に対して回転駆動することにより前記搬送アームを移動させるリンク駆動部と、
を備えることを特徴とするリンク式搬送ロボット。 - 前記リンク駆動部が前記搬送アームを移動させるときに、前記アーム駆動部が該搬送アームの水平移動成分を打ち消す方向に前記ハンド部を相対移動させることにより、該ハンド部が垂直移動するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載のリンク式搬送ロボット。
- 前記搬送アームは、複数段のアーム部材が相対移動することによって伸縮するように構成された伸縮型搬送アームであることを特徴とする請求項1又は2に記載のリンク式搬送ロボット。
- 前記搬送アームは、
アーム本体の一方の端部付近に回転自在に支持されて、前記アーム駆動部によって駆動される主動プーリと、
前記アーム本体の他方の端部付近に回転自在に支持された従動プーリと、
該主動プーリと該従動プーリとの間に巻回されたアームベルトと、
を備え、
前記アーム駆動部は、前記支持部材及び前記第1のリンク部材を貫通する第1の回転軸を有し、
該第1の回転軸の回転駆動力を前記主動プーリに伝達することによって前記アームベルトを回動させ、該アームベルトの回動力を用いて前記ハンド部を直線移動させる、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のリンク式搬送ロボット。 - 前記主動プーリは、同一回転軸に沿って複数個設けられ、
前記従動プーリは、同一回転軸に沿って複数個設けられ、
前記第1の回転軸は、複数の同心回転軸を備え、
対応する該主動プーリ及び該従動プーリにそれぞれアームベルトが巻回され、
該アームベルトのそれぞれに対応させて、複数の前記ハンド部が設けられ、
該第1の回転軸が備える各同心回転軸から、回転駆動力を、対応する前記主動プーリの同心回転軸に伝達することによって、前記アームベルトをそれぞれ回動させ、それぞれの該アームベルトの回動力を用いて、対応する前記ハンド部を直線移動させる、
ことを特徴とする請求項4に記載のリンク式搬送ロボット。 - 前記リンク駆動部は、前記支持部材を貫通して前記第2のリンク部材に固定された第2の回転軸を有し、
該第2の回転軸を回転させることによって、該第2のリンク部材を回転駆動する、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載のリンク式搬送ロボット。 - 前記リンク駆動部は、前記第1の回転軸と同心の回転軸である第2の回転軸を有し、
該第2の回転軸は、前記第1のリンク部材に固定され、
該第2の回転軸を回転させることによって、該第1のリンク部材を回転駆動する、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載のリンク式搬送ロボット。
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