JPWO2014020962A1 - ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 - Google Patents
ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2014020962A1 JPWO2014020962A1 JP2013541139A JP2013541139A JPWO2014020962A1 JP WO2014020962 A1 JPWO2014020962 A1 JP WO2014020962A1 JP 2013541139 A JP2013541139 A JP 2013541139A JP 2013541139 A JP2013541139 A JP 2013541139A JP WO2014020962 A1 JPWO2014020962 A1 JP WO2014020962A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitive adhesive
- adhesive layer
- pressure
- dicing sheet
- mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J133/00—Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/30—Adhesives in the form of films or foils characterised by the adhesive composition
- C09J7/38—Pressure-sensitive adhesives [PSA]
- C09J7/381—Pressure-sensitive adhesives [PSA] based on macromolecular compounds obtained by reactions involving only carbon-to-carbon unsaturated bonds
- C09J7/385—Acrylic polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2203/00—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
- C09J2203/326—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J4/00—Adhesives based on organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond ; adhesives, based on monomers of macromolecular compounds of groups C09J183/00 - C09J183/16
- C09J4/06—Organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond in combination with a macromolecular compound other than an unsaturated polymer of groups C09J159/00 - C09J187/00
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Dicing (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Description
したがって、本発明に係るダイシングシートを用いることにより、粘着剤凝集物の付着に基づく不具合が生じにくいデバイスチップを生産性高く製造することができる。
図1に示されるように、本発明の一実施形態に係るダイシングシート1は、基材2と、基材2の少なくとも一方の面に積層された粘着剤層3とを備える。
本実施形態に係るダイシングシート1の基材2は、ダイシング工程の後に行われるエキスパンド工程などにおいて破断しない限り、その構成材料は特に限定されず、通常は樹脂系の材料を主材とするフィルムから構成される。そのフィルムの具体例として、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体フィルム、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体フィルム等のエチレン系共重合フィルム;低密度ポリエチレン(LDPE)フィルム、直鎖低密度ポリエチレン(LLDPE)フィルム、高密度ポリエチレン(HDPE)フィルム等のポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、エチレン−ノルボルネン共重合体フィルム、ノルボルネン樹脂フィルム等のポリオレフィン系フィルム;ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム等のポリ塩化ビニル系フィルム;ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル系フィルム;ポリウレタンフィルム;ポリイミドフィルム;ポリスチレンフィルム;ポリカーボネートフィルム;フッ素樹脂フィルムなどが挙げられる。またこれらの架橋フィルム、アイオノマーフィルムのような変性フィルムも用いられる。上記の基材2はこれらの1種からなるフィルムでもよいし、さらにこれらを2種類以上組み合わせた積層フィルムであってもよい。なお、本明細書における「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語についても同様である。
エチレン系共重合フィルムは共重合比を変えることなどによりその機械特性を広範な範囲で制御することが容易である。このため、エチレン系共重合フィルムを備える基材2は本実施形態に係るダイシングシート1の基材として求められる機械特性を満たしやすい。また、エチレン系共重合フィルムは粘着剤層3に対する密着性が比較的高いため、ダイシングシートとして使用した際に基材2と粘着剤層3との界面での剥離が生じにくい。
本実施形態に係るダイシングシート1が備える粘着剤層3は、次に説明するアクリル系重合体(A)およびエネルギー線重合性化合物(B)、さらに必要に応じ貯蔵弾性率調整剤(C)や架橋剤(D)などを含有する粘着剤組成物から形成されたものである。
本実施形態に係る粘着剤層3を形成するための粘着剤組成物はアクリル系重合体(A)を含有する。この粘着剤組成物から形成された粘着剤層3において、アクリル系重合体(A)は少なくともその一部が後述する架橋剤(D)と架橋反応を行って架橋物として含有される場合もある。
本実施形態に係る粘着剤層3を形成するための粘着剤組成物が含有するエネルギー線重合性化合物(B)は、エネルギー線重合性基を有し、紫外線、電子線等のエネルギー線の照射を受けて重合反応することができる限り、具体的な構成は特に限定されない。エネルギー線重合性化合物(B)が重合することによって粘着剤層3の粘着性が低下して、ピックアップ工程の作業性が向上する。
本実施形態に係る粘着剤層3を形成するための粘着剤組成物は、貯蔵弾性率調整剤(C)を含有してもよい。貯蔵弾性率調整剤(C)は、重量平均分子量が4,000以下であって、粘着剤層3のエネルギー線照射前の23℃における貯蔵弾性率(本明細書において「照射前貯蔵弾性率」ともいう。)を低下させることができる限り、その組成は特に限定されない。1種類の化合物から構成されていてもよいし、複数種類の化合物から構成されていてもよい。粘着剤層3の照射前貯蔵弾性率をより安定的に低下させる観点から、貯蔵弾性率調整剤(C)の重量平均分子量は2500以下であることが好ましく、2000以下であることが特に好ましい。貯蔵弾性率調整剤(C)の重量平均分子量の下限は特に限定されないが、過度に低い場合には揮発しやすくなり、上記の粘着性組成物の組成安定性を低下させることが懸念される。したがって、貯蔵弾性率調整剤(C)の重量平均分子量は300以上であることが好ましく、500以上であることがより好ましく、700以上であることが特に好ましい。重量平均分子量は、GPC装置(HLC-8220、東ソー製)、カラム(TSK−GEL GMHXL、東ソー製)を用いて測定することができる。
本実施形態に係る粘着剤層3を形成するための粘着剤組成物は、前述のように、アクリル系重合体(A)と反応しうる架橋剤(D)を含有してもよい。この場合には、本実施形態に係る粘着剤層3は、アクリル系重合体(A)と架橋剤(D)との架橋反応により得られた架橋物を含有する。
本実施形態に係るダイシングシート1が備える粘着剤層3を形成するための粘着剤組成物は、上記の成分に加えて、光重合開始剤、染料や顔料などの着色材料、難燃剤、フィラー等の各種添加剤を含有してもよい。
i)照射前貯蔵弾性率
本実施形態に係るダイシングシート1が備える粘着剤層3は、エネルギー線を照射する前の23℃における貯蔵弾性率(照射前貯蔵弾性率)が0.12MPa以下である。照射前貯蔵弾性率がこの範囲を満たすことによって、デバイス関連非平坦面部材の非平坦面が被着面であっても粘着剤層3は容易に濡れ広がり、優れた粘着性を有する粘着剤層3が得られる。粘着剤層3の粘着性をより安定的に高める観点から、照射前貯蔵弾性率は0.09MPa以下であることが好ましく、0.06MPa以下であることがより好ましい。
本明細書において、照射前保持力とは、JIS Z0237:2009(ISO 29862−29864 2007)に準拠して測定された、エネルギー線照射前の粘着剤層3の保持力を意味する。保持力の程度は、試験片が試験板からはがれ落ちるまでの時間、すなわち保持時間により評価され、その測定方法および算出方法は、上記の規格に規定されるとおりである。
本実施形態に係るダイシングシート1が備える粘着剤層3の厚さは25μm以下である。粘着剤層3が薄くなるにつれ、デバイス関連部材をダイシングする際に形成される粘着剤凝着物の量が少なくなる傾向がある。それゆえ、粘着剤凝着物がデバイスチップなどに付着したことに起因する不具合が生じにくい。ダイシングシートの厚さの下限は特に限定されないが、過度に薄い場合には粘着剤層3の粘着性のばらつきが大きくなるといった問題が生じることが懸念されるため、粘着剤層3の厚さは2μm以上とすることが好ましく、5μm以上とすることがより好ましい。
本実施形態に係るダイシングシート1は、被着体であるデバイス関連部材に粘着剤層3を貼付するまでの間粘着剤層3を保護する目的で、粘着剤層3の基材被着面に対向する側と反対側の面に、剥離シートの剥離面が貼合されていてもよい。剥離シートの構成は任意であり、プラスチックフィルムを剥離剤等により剥離処理したものが例示される。プラスチックフィルムの具体例として、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステルフィルム、およびポリプロピレンやポリエチレンなどのポリオレフィンフィルムが挙げられる。剥離剤としては、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル系などを用いることができるが、これらの中で、安価で安定した性能が得られるシリコーン系が好ましい。剥離シートの厚さについて特に制限はないが、通常20μm以上250μm以下程度である。
ダイシングシート1の製造方法は、前述の粘着剤組成物から形成される粘着剤層3を基材2の一の面に積層できれば、詳細な方法は特に限定されない。一例を挙げれば、前述の粘着剤組成物、および所望によりさらに溶媒を含有する塗工用組成物を調製し、基材2の一の面上に、ダイコーター、カーテンコーター、スプレーコーター、スリットコーター、ナイフコーター等によりその塗工用組成物を塗布して塗膜を形成し、当該一の面上の塗膜を乾燥させることにより、粘着剤層3を形成することができる。塗工用組成物は、塗布を行うことが可能であればその性状は特に限定されず、粘着剤層3を形成するための成分を溶質として含有する場合もあれば、分散質として含有する場合もある。
本実施形態に係るダイシングシート1を用いて半導体パッケージからモールドチップを製造する場合を具体例として、デバイス関連部材からデバイスチップを製造する方法を以下に説明する。
(1)塗工用組成物の調製
次の組成を有する溶液状態の塗工用組成物(溶媒:トルエン)を調製した。
i)アクリル系重合体(A)として、90質量部のブチルアクリレートと10質量部のアクリル酸とを共重合して得た共重合体(重量平均分子量:80万、ガラス転移温度Tg:−45℃)を固形分として100質量部、
ii)エネルギー線重合性化合物(B)として10官能ウレタンアクリレート(重量平均分子量1740)を含むUV硬化性成分(日本合成化学社製:UV−5806、光重合開始剤を含む。)を固形分として100重量部、および
iii)架橋剤(D)としてトリメチロールプロパントリレンジイソシアネート(TDI−TMP)を含有する架橋剤成分(日本ポリウレタン社製:コロネートL)を固形分として5質量部。
得られた塗工用組成物が含有する成分のうち、貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分はUV硬化性成分であり、その含有量はアクリル系重合体(A)100質量部に対して100質量部であった。
厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート製基材フィルムの一方の主面上にシリコーン系の剥離剤層が形成されてなる剥離シート(リンテック社製:SP−PET381031)を用意した。この剥離シートの剥離面上に、前述の塗工用組成物を、ナイフコーターにて、最終的に得られる粘着剤層の厚さが10μmとなるように塗布した。得られた塗膜を剥離シートごと100℃の環境下に1分間経過させることにより塗膜を乾燥させて、剥離シートと粘着剤層(厚さ:10μm)とからなる積層体を得た。粘着剤層の厚さは定圧厚さ測定器(テクロック社製:PG−02)を用いて測定した。
厚さ140μmのエチレン−メタクリル酸共重合体(EMAA)フィルム(25%ひずみ時引張応力:10.8N/10mm、最大引張応力:25.5MPa、破断伸度:525%)からなる基材の一方の面を基材被着面として、その面に、上記の積層体の粘着剤層側の面を貼付して、図1に示されるような基材と粘着剤層とからなるダイシングシートを、粘着剤層側の面に剥離シートがさらに積層された状態で得た。
次の組成を有する溶液状態の塗工用組成物(溶媒:トルエン)を調製した。
i)アクリル系重合体(A)として、97.5質量部のブチルアクリレートと2質量部のアクリル酸と0.5質量部の2−ヒドロキシエチルアクリレートとを共重合して得た共重合体(重量平均分子量:80万、ガラス転移温度Tg:−53℃)を固形分として100質量部、
ii)エネルギー線重合性化合物(B)として3〜4官能ウレタンアクリレート(重量平均分子量:5000)を含むUV硬化性成分(大日本精化工業社製:EXL810TL、光重合開始剤を含む。)を固形分として200量部、
iii)粘着付与樹脂として、重合ロジンエステル(C1)(重量平均分子量:900)を4質量部、水添ロジンエステル(C2)(重量平均分子量:900)を25質量部および炭化水素樹脂(C3)(重量平均分子量:1200)を24質量部の混合物からなる粘着付与樹脂成分を、固形分として100質量部、ならびに
iv)架橋剤(D)としてTDI−TMPを含有する架橋剤成分(日本ポリウレタン社製:コロネートL)を固形分として5質量部。
得られた塗工用組成物が含有する成分のうち、貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分は粘着付与樹脂成分であり、その含有量はアクリル系重合体(A)100質量部に対して100質量部であった。
以下、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例2において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を300質量部とし、架橋剤成分の含有量を7.5質量部とした以外は、実施例2と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。なお、実施例3に係る塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量はアクリル系重合体(A)100質量部に対して100質量部であった。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を120質量部に変更することにより、塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して120質量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を75質量部に変更することにより、塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して75質量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、粘着剤層の厚さを10μmから20μmに変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、粘着剤層の厚さを10μmから25μmに変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を110質量部に変更することにより、塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して110質量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、基材を構成するフィルムの種類を、エチレン系共重合フィルムの一種であるEMAAフィルムから、ポリオレフィン系フィルムの一種であるポリプロピレンフィルム(厚さ:140μm、25%ひずみ時引張応力:17N/10mm、最大引張応力:30MPa、破断伸度:600%)に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有される架橋剤成分を、架橋剤(D)として1,3-ビス(N,N-ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサンを含有する架橋剤成分(三菱ガス化学製:TETRAD−C、固形分濃度:100質量%)に変更し、その含有量を固形分としてアクリル系重合体(A)100質量部に対して0.07質量部とした以外は実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の種類を実施例2に係る塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分(含有量:アクリル系重合体(A)100質量部に対して100質量部)に変更して、塗工用組成物が貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分を含有しないようにするとともに、粘着剤層の厚さを10μmから30μmに変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
比較例1において、粘着剤層の厚さを30μmから10μmに変更した以外は、比較例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を150質量部に変更することにより、塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して150質量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分を、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(重量平均分子量:704)を含む成分(ダイセル・サイテック社製:EBECRYL40)に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例2において、架橋剤成分の含有量を2.5質量部に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、粘着剤層の厚さを10μmから30μmに変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
比較例2において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して200質量部とした以外は、比較例2と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を140質量部に変更することにより、塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して140質量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
・アクリル系重合体(A)
「重合体1」:実施例1などにおいて使用した成分
「重合体2」:実施例2などにおいて使用した成分
・UV硬化性成分
「UV1」:実施例1などにおいて使用した成分
「UV2」:実施例2などにおいて使用した成分
「UV3」:比較例4において使用した成分
・架橋剤成分
「L1」:実施例1などにおいて使用した成分
「L2」:実施例10において使用した成分
また、表1における各成分の含有量の欄の数値はアクリル系重合体(A)100質量部あたりの質量部数を意味する。なお、実施例および比較例に係るダイシングシートの粘着剤層の厚さを表2に示す。
厚さ38μmのポリエチレンテレフタレート製基材フィルムの一方の主面上に厚さ0.1μmのシリコーン系の剥離剤層が形成されてなる剥離シート(リンテック社製:SP−PET382120)を用意した。実施例および比較例において調製した塗工用組成物のそれぞれを、上記の剥離シートの剥離面上に、ナイフコーターにて、最終的に得られる粘着剤層の厚さが40μmとなるように塗布した。得られた塗膜を剥離シートごと100℃の環境下に1分間経過させることにより塗膜を乾燥させて、各塗工用組成物から形成された粘着剤層(厚さ:40μm)と剥離シートとからなる積層体を複数準備した。これらの積層体を用いて、各塗工用組成物から形成された粘着剤層を厚さ800μmとなるまで貼り合せ、得られた粘着剤層の積層体を直径10mmの円形に打ち抜いて、各塗工用組成物から形成された粘着剤層の粘弾性を測定するための試料を得た。粘弾性測定装置(ティー・エイ・インスツルメント社製:ARES)により、上記の試料に周波数1Hzのひずみを与え、−50〜150℃の貯蔵弾性率を測定し、23℃における貯蔵弾性率の値を照射前貯蔵弾性率として得た。測定結果を表2に示す。
実施例および比較例にて作製したダイシングシートのそれぞれの照射前保持力の測定試験をJIS Z0237:2009に準拠して行った。保持時間の測定結果および測定試験後の位置ずれ発生の有無(試験時間中に落下した場合はその旨を示した。)を表2に示す。
半導体基板の代わりのガラスエポキシ板(ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させ、硬化させたもの)上に、半導体パッケージ用樹脂(京セラケミカル製:KE−G1250)を下記条件にてトランスファー成型して、サイズ:50mm×50mm、厚さ:600μmの封止樹脂を形成し、デバイス関連部材としての半導体パッケージを模した部材(以下、「試験部材」という。)を得た。
<トランスファー成型条件>
封止装置:アピックヤマダ社製、MPC−06M Trial Press
注入樹脂温度:180℃
樹脂注入圧:6.9MPa
樹脂注入時間:120秒
得られた試験部材の封止樹脂側の面の算術平均粗さRaは2μmであった。
<ダイシング条件>
・ダイシング装置 :DISCO社製 DFD−651
・ブレード :DISCO社製 ZBT−5074(Z111OLS3)
・刃の厚さ :0.17mm
・刃先出し量 :3.3mm
・ブレード回転数 :30000rpm
・切削速度 :50mm/分
・基材切り込み深さ:50μm
・切削水量 :1.0L/分
・切削水温度 :20℃
5:20個以下
4:21−40個
3:41−60個
2:61−80個
1:81個以上
評価結果を表2に示す。
試験例3と同様の操作を行い、サイズ:50mm×50mm、厚さ:600μmの封止樹脂を備える試験部材を作製した。得られた試験部材の封止樹脂側の面の算術平均粗さはRa:2μmであった。
試験部材の封止樹脂側の面に、実施例および比較例にて作製したダイシングシートのそれぞれをテープマウンター(リンテック社製:Adwill RAD−2500m/12)を用いて貼付し、得られた試験部材とダイシングシートとの積層体における試験部材側の面の周縁部(ダイシングシートの粘着剤層側の面が表出している部分)に、ダイシング用リングフレーム(ディスコ社製:2−6−1)を付着させた。次いで、ダイシングピッチを5mmから1mmに変更するとともに切削速度を100mm/分、ブレード回転数を50000rpmに変更した以外は試験例3と同一の条件で試験部材をダイシングして、1mm角のデバイスチップを模したチップ状部材(個数:2500)を得た。
ダイシング後、ダイシングシートから飛散した半導体部品の個数を目視にて数えた。測定結果を表2に示す。
試験例4の条件でダイシングを行うことにより得られた、複数のデバイスチップが付着するダイシングシートに対して、基材側から紫外線照射(照度:230mW/cm2、光量:190mJ/cm2)を行った後、エキスパンド装置(JCM社製:SE−100)を用いて、ダイシングシートの周縁部をリングフレームごと5mm/sの速さで10mm引き落とし、ダイシングシートのエキスパンドを行った。
エキスパンドされた状態で1時間放置した後、ダイシングシートにおけるリングフレームに貼付している部分(周縁部)にずれが発生しているか否かについて目視にて確認し、以下の基準により評価した。
良:ずれは確認されなかった
否:ずれが認められた
評価結果を表2に示す。
2…基材
3…粘着剤層
実施例1において、塗工用組成物に含有される架橋剤成分を、架橋剤(D)として1,3-ビス(N,N-ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサンを含有する架橋剤成分(三菱ガス化学製:TETRAD−C、固形分濃度:100質量%)に変更し、その含有量を固形分としてアクリル系重合体(A)100質量部に対して0.07質量部とした以外は実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
〔実施例11〕
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の種類を実施例2に係る塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分(含有量:アクリル系重合体(A)100質量部に対して100質量部)に変更して、塗工用組成物が貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分を含有しないようにした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を150質量部に変更することにより、塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して150質量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分を、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(重量平均分子量:704)を含む成分(ダイセル・サイテック社製:EBECRYL40)に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例2において、架橋剤成分の含有量を2.5質量部に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、粘着剤層の厚さを10μmから30μmに変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例11において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して200質量部とした以外は、実施例11と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
実施例1において、塗工用組成物に含有されるUV硬化性成分の含有量を140質量部に変更することにより、塗工用組成物が含有する成分のうち貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する成分の含有量をアクリル系重合体(A)100質量部に対して140質量部とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、ダイシングシートを得た。
Claims (7)
- 基材と、前記基材の少なくとも一方の面に積層された粘着剤層とを備えたダイシングシートであって、
前記粘着剤層は、アクリル系重合体(A)およびエネルギー線重合性化合物(B)を含有する粘着剤組成物から形成されたものであって、
前記粘着剤層の厚さが25μm以下、
前記粘着剤層はエネルギー線照射前の23℃における貯蔵弾性率が0.12MPa以下、かつ 前記粘着剤層のエネルギー線照射前の保持力の測定試験をJIS Z0237:2009に準拠して行ったときに測定される保持時間が15000秒以上であること
を特徴とするダイシングシート。 - 前記粘着剤組成物は、重量平均分子量4,000以下の貯蔵弾性率調整剤(C)を、前記アクリル系重合体(A)100質量部に対して50質量部以上含有する請求項1に記載のダイシングシート。
- 前記エネルギー線重合性化合物(B)の少なくとも一部は前記貯蔵弾性率調整剤(C)としての性質を有する請求項1または2のいずれか一項に記載のダイシングシート。
- 前記粘着剤組成物は、前記アクリル系重合体(A)と架橋反応しうる架橋剤(D)を、前記アクリル系重合体(A)100質量部に対して0.02質量部以上含有する請求項1から3のいずれか一項に記載のダイシングシート。
- 前記基材は、エチレン系共重合フィルムおよびポリオレフィン系フィルムの少なくとも一方を備える請求項1から4のいずれか一項に記載のダイシングシート。
- 前記粘着剤層の前記基材と反対側の面は、デバイス関連部材の面に貼付されるものである請求項1から5のいずれか一項に記載のダイシングシート。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載されるダイシングシートの前記粘着剤層側の面を、デバイス関連部材の面に貼付し、前記ダイシングシート上の前記デバイス関連部材を切断して個片化し、複数のデバイスチップを得る、デバイスチップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013541139A JP5414953B1 (ja) | 2012-08-03 | 2013-05-02 | ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012172653 | 2012-08-03 | ||
JP2012172653 | 2012-08-03 | ||
PCT/JP2013/062772 WO2014020962A1 (ja) | 2012-08-03 | 2013-05-02 | ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 |
JP2013541139A JP5414953B1 (ja) | 2012-08-03 | 2013-05-02 | ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5414953B1 JP5414953B1 (ja) | 2014-02-12 |
JPWO2014020962A1 true JPWO2014020962A1 (ja) | 2016-07-21 |
Family
ID=50027656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013541139A Active JP5414953B1 (ja) | 2012-08-03 | 2013-05-02 | ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5414953B1 (ja) |
CN (1) | CN104508801B (ja) |
MY (1) | MY172228A (ja) |
PH (1) | PH12015500230A1 (ja) |
TW (1) | TWI564363B (ja) |
WO (1) | WO2014020962A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015141555A1 (ja) * | 2014-03-17 | 2015-09-24 | リンテック株式会社 | ダイシングシートおよび当該ダイシングシートを用いるチップの製造方法 |
JP6522617B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2019-05-29 | リンテック株式会社 | ダイシングシート、ダイシングシートの製造方法、およびモールドチップの製造方法 |
EP3433876B1 (de) * | 2016-03-24 | 2023-09-13 | Siltectra GmbH | Ein splitting-verfahren |
JP2018019022A (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 日東電工株式会社 | ダイシングテープ一体型半導体裏面用フィルム、及び、半導体装置の製造方法 |
JPWO2020195744A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | ||
JP2020164786A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 住友ベークライト株式会社 | 粘着テープ |
CN110465888B (zh) * | 2019-09-17 | 2021-01-15 | 泉州运城制版有限公司 | 一种版辊研磨机砂轮的安装方法 |
JP7276555B1 (ja) | 2021-11-08 | 2023-05-18 | 大日本印刷株式会社 | 半導体加工用粘着テープ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4369584B2 (ja) * | 2000-01-21 | 2009-11-25 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハ保持保護用粘着シート |
JP4781633B2 (ja) * | 2004-03-29 | 2011-09-28 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
WO2007105611A1 (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 保持治具、半導体ウエハの研削方法、半導体ウエハの保護構造及びこれを用いた半導体ウエハの研削方法、並びに半導体チップの製造方法 |
JP4991348B2 (ja) * | 2006-04-06 | 2012-08-01 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
JP4991350B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2012-08-01 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
JP2012069586A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Nitto Denko Corp | ダイシング・ダイボンドフィルム、ダイシング・ダイボンドフィルムの製造方法、及び、半導体装置の製造方法 |
-
2013
- 2013-05-02 MY MYPI2015700132A patent/MY172228A/en unknown
- 2013-05-02 CN CN201380040183.3A patent/CN104508801B/zh active Active
- 2013-05-02 WO PCT/JP2013/062772 patent/WO2014020962A1/ja active Application Filing
- 2013-05-02 JP JP2013541139A patent/JP5414953B1/ja active Active
- 2013-05-14 TW TW102116980A patent/TWI564363B/zh active
-
2015
- 2015-02-02 PH PH12015500230A patent/PH12015500230A1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PH12015500230B1 (en) | 2015-04-06 |
MY172228A (en) | 2019-11-18 |
CN104508801B (zh) | 2017-11-10 |
JP5414953B1 (ja) | 2014-02-12 |
TW201408750A (zh) | 2014-03-01 |
PH12015500230A1 (en) | 2015-04-06 |
CN104508801A (zh) | 2015-04-08 |
WO2014020962A1 (ja) | 2014-02-06 |
TWI564363B (zh) | 2017-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5414953B1 (ja) | ダイシングシートおよびデバイスチップの製造方法 | |
JP6139515B2 (ja) | ダイシングシート | |
JP5128575B2 (ja) | ステルスダイシング用粘着シート及び半導体装置の製造方法 | |
JP6744930B2 (ja) | ダイシングシートおよび当該ダイシングシートを用いるチップの製造方法 | |
JP6081094B2 (ja) | ダイシングシート | |
JP6424205B2 (ja) | 半導体関連部材加工用シートおよび当該シートを用いるチップの製造方法 | |
JP6317744B2 (ja) | ダイシングシート | |
WO2014155756A1 (ja) | 粘着シートおよび保護膜形成用複合シートならびに保護膜付きチップの製造方法 | |
TWI683881B (zh) | 切割片與半導體晶片之製造方法 | |
JP6091955B2 (ja) | 粘着シートおよび保護膜形成用複合シートならびに保護膜付きチップの製造方法 | |
JPWO2015133420A6 (ja) | 半導体関連部材加工用シートおよび当該シートを用いるチップの製造方法 | |
JPWO2015141555A6 (ja) | ダイシングシートおよび当該ダイシングシートを用いるチップの製造方法 | |
JP6561115B2 (ja) | ダイシングシート、ダイシングシートの製造方法、およびモールドチップの製造方法 | |
JP2013199562A (ja) | ワーク加工用シート基材およびワーク加工用シート | |
JPWO2016017265A1 (ja) | ダイシングシート、ダイシングシートの製造方法、およびモールドチップの製造方法 | |
JP6561114B2 (ja) | ダイシングシート、ダイシングシートの製造方法、およびモールドチップの製造方法 | |
JP6087122B2 (ja) | ダイシングシート | |
JP6190134B2 (ja) | ダイシングシート用基材フィルム、ダイシングシート、ダイシングシート用基材フィルムの製造方法およびチップ状部材の製造方法 | |
WO2017038914A1 (ja) | 粘着シート |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5414953 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |