JPWO2013084761A1 - 貼り合せ装置および貼り合せ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
20…チャンバ
30…減圧機構
40…開閉機構
50…ステージ
60…加圧円板
70…昇降機構
74…円板磁石(着脱機構)
80…保持機構
83…移動機構
100…圧力調整機構
180…吸引機構
W1…第1円板
W2…第2円板
Claims (15)
- 第1円板および第2円板があらかじめ中心合わせがなされると共に、前記第1円板の上面または前記第2円板の下面に接着剤が均一塗布されており、前記第1円板および前記第2円板を上下方向に加圧することにより、前記第1円板上に接着剤層を介して前記第2円板が貼り合された円板積層体を作製する貼り合せ装置であって、
気密性を有する処理室と、
前記処理室内に配置され、前記第1円板を支持するステージと、
前記処理室内の前記ステージの上方に対向配置され、前記第1円板および前記第2円板に対して中心合わせがなされた加圧円板と、
前記加圧円板を昇降可能に支持する昇降機構と、
前記第2円板を、前記ステージの上方、かつ、前記加圧円板の下方に離脱可能に保持する保持機構と、
を有し、
前記加圧円板の直径寸法は、前記第2円板の直径寸法よりも小さく、かつ、円板積層体の半径方向の厚みプロファイルに見られる凹凸形状モードの最適化が図られた寸法に設定されている、貼り合せ装置。 - 前記保持機構は、前記第2円板の側面の一箇所に当接する1本の可動ピンと、前記第2円板の側面の複数箇所に当接する複数本の不動ピンと、前記可動ピンを前記第2円板の半径方向に往復移動させる移動機構と、を備える、請求項1に記載の貼り合せ装置。
- 前記可動ピンは前記第2円板の側面の一箇所に設けられた角度合わせ用ノッチに係合される、請求項2に記載の貼り合せ装置。
- 前記保持機構は、前記加圧円板に前記第2円板の上面を吸着させる吸引機構を備える、請求項1に記載の貼り合せ装置。
- 前記処理室内を減圧する減圧機構を有し、前記吸引機構により達成される真空度が、前記減圧機構により達成される真空チャンバ内の真空度よりも小さくなるように、前記真空チャンバ内の圧力を調整する圧力調整機構をさらに備える、請求項4に記載の貼り合せ装置。
- 前記昇降機構は、前記加圧円板の中心を位置決めして着脱自在に支持する着脱機構を備える、請求項1〜5のいずれかに記載の貼り合せ装置。
- ステージ上に支持された、接着剤が上面に均一に塗布された第1円板の上方に、中心合わせがなされた第2円板が対向保持され、前記第1円板および前記第2円板と中心合わせがなされた加圧円板により前記第2円板の上面を均等な力で加圧して前記第1円板および前記第2円板を貼り合せて円板積層体を作製する貼り合せ方法において、
前記加圧円板の直径寸法が、前記第2円板の直径寸法よりも小さく、かつ、円板積層体の半径方向の厚みプロファイルに見られる凹凸形状モードの最適化が図られた寸法に設定された、貼り合せ方法。 - 前記加圧円板による加圧処理を高真空下で行う、請求項7に記載の貼り合せ方法。
- 前記第2円板の直径寸法は、前記第1円板の直径寸法より大きい、請求項7に記載の貼り合せ方法。
- 前記第2円板の直径寸法は、前記第1円板の直径寸法より大きい、請求項8に記載の貼り合せ方法。
- 前記円板積層体のロット毎に、対応する直径寸法を有する前記加圧円板に交換する、請求項8に記載の貼り合せ方法。
- 前記円板積層体のロット毎に、対応する直径寸法を有する前記加圧円板に交換する、請求項9に記載の貼り合せ方法。
- 前記円板積層体のロット毎に、対応する直径寸法を有する前記加圧円板に交換する、請求項10に記載の貼り合せ方法。
- 前記第1円板がシリコンウェーハであり、前記第2円板がガラス製の支持体である、請求項11に記載の貼り合せ方法。
- 前記接着剤が光硬化性樹脂または熱硬化性樹脂である、請求項14に記載の貼り合せ方法。
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