JPWO2013047688A1 - 静電レンズおよびそれを用いた荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 対象物
3 電子銃
4 静電レンズ
5 ステージ
6 基板
7 絶縁スペーサー
8 積層体
9 枠体
10 絶縁板
11 電極
12 配線
13 接続端
14 平板
14a 第1平板
14b 第2平板
14c 第3平板
14d 第4平板
15 接続部材
16 外部端子
17 外部回路
18 固定部材
E 電子線
T1 第1スルーホール
T2 第2スルーホール
P1 第1貫通孔
P2 第2貫通孔
P3 第3貫通孔
C1 第1凹部
C2 第2凹部
R 直角部
D 窪み部
P 突出部
Claims (11)
- 電子線がそれぞれ通過する複数のスルーホールが形成された絶縁板と、前記複数のスルーホールそれぞれの内壁に形成された複数の電極と、前記絶縁板上に形成され、前記電極それぞれに電気的に接続した複数の配線とを有する基板を備え、
前記複数の電極は、電気的に互いに独立していることを特徴とする静電レンズ。 - 請求項1に記載の静電レンズにおいて、
前記基板は、複数積層されて積層体を構成しており、
該積層体を平面視にて取り囲む枠体をさらに備えていることを特徴とする静電レンズ。 - 請求項2に記載の静電レンズにおいて、
前記枠体は、互いに接続した第1平板および第2平板を有するとともに、該第1平板と該第2平板との接続部において、前記第2平板の一主面に垂直をなす端面が、前記第1平板の一主面の一部に当接しており、
前記積層体は、第1側面が前記第1平板の前記一主面に当接し、前記第1側面に垂直な第2側面が前記第2平板の前記一主面に当接していることを特徴とする静電レンズ。 - 請求項3に記載の静電レンズにおいて、
前記枠体に対して、前記第1平板の両主面間を厚み方向に貫通するとともに前記第2平板の端面に接続したネジ部材をさらに有することを特徴とする静電レンズ。 - 請求項4に記載の静電レンズにおいて、
前記第2平板の両主面間の厚みは、前記第1平板の前記両主面間の厚みよりも大きいことを特徴とする静電レンズ。 - 請求項2に記載の静電レンズにおいて、
前記積層体は、隣接する前記基板同士の間に配された絶縁スペーサーを有することを特徴とする静電レンズ。 - 請求項1に記載の静電レンズにおいて、
前記絶縁板は、平面視にて1組の長辺および1組の短辺を有する長方形状であり、
前記複数のスルーホールは、前記長辺に沿って2列に配列していることを特徴とする静電レンズ。 - 請求項7に記載の静電レンズにおいて、
前記複数の配線は、該配線が電気的に接続した前記電極に隣接する前記長辺側に位置する端面に引き回されていることを特徴とする静電レンズ。 - 請求項1に記載の静電レンズにおいて、
前記絶縁板は、平面視にて1組の長辺および1組の短辺を有する長方形状であり、
前記複数のスルーホールは、前記長辺に沿って1列に配列していることを特徴とする静電レンズ。 - 請求項9に記載の静電レンズにおいて、
前記複数の配線は、前記絶縁板の一方の前記長辺側に位置する端面に引き回されていることを特徴とする静電レンズ。 - 請求項1に記載の静電レンズと、該静電レンズの前記スルーホールを通過する電子線を放出する電子銃とを備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
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