JP7295211B2 - イオンガイドの製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (17)
- イオン光学デバイスの構成要素を製造する方法であって、前記構成要素が、位置合わせされた第1および第2の電極セットを含み、前記方法が、
第1の材料のフレーム部分に取り付けられた第1の電極セットを含む、部分的に機械加工された第1の電極セットを提供するために、前記第1の材料を機械加工するステップと、
第2の材料のフレーム部分に取り付けられた第2の電極セットを含む、部分的に機械加工された第2の電極セットを提供するために、前記第2の材料を機械加工するステップと、
前記部分的に機械加工された第1および第2の電極セットを位置合わせすることにより、前記イオン光学デバイスの前記構成要素を組み立てるステップと、
前記部分的に機械加工された第1および第2の電極セットを位置合わせした後、
前記第1の電極セットを前記第1の材料の前記フレーム部分から分離するように、前記部分的に機械加工された第1の電極セットをさらに機械加工するステップと、
前記第2の電極セットを前記第2の材料の前記フレーム部分から分離するように、前記部分的に機械加工された第2の電極セットをさらに機械加工するステップと、を含む、方法。 - 前記さらに機械加工するステップが、同時に実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記機械加工するステップが、ワイヤ侵食、フォーム侵食、化学エッチング、ウォータージェット切断、および熱切断のうちの1つによって実行される、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記さらに機械加工するステップが、ワイヤ侵食、フォーム侵食、化学エッチング、ウォータージェット切断、および熱切断のうちの1つによって実行される、請求項1~3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の電極セットが、第1の電極を含み、および/または前記第2の電極セットが、第2の電極を含む、請求項1~4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の電極セットが第1の複数の電極を含み、および/または前記第2の電極セットが第2の複数の電極を含む、請求項1~4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の材料を機械加工するステップおよび/または前記第2の材料を機械加工するステップが、前記さらに機械加工するステップに続いて、セグメント化された電極セットを提供するために成形特徴を機械加工で形成することを含む、請求項1~5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の材料を機械加工するステップおよび/または前記第2の材料を機械加工するステップが、前記さらに機械加工するステップに続いて、成形された電極セットを提供するために特徴を機械加工で形成することを含む、請求項1~7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1および第2の材料が同じ材料である、請求項1~8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記イオン光学デバイスの前記構成要素が、イオンガイドまたはイオンデフレクタである、請求項1~9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記構成要素がイオンガイドであり、前記イオンガイドがY字型多重極である、請求項10に記載の方法。
- 前記部分的に機械加工された第1および第2の電極セットが、ダボおよび/またはガイドピンを使用して位置合わせされる、請求項1~11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ダボおよび/またはガイドピン用のガイド穴が、前記機械加工するステップ中に提供される、請求項12に記載の方法。
- 前記さらに機械加工するステップが、前記構成要素を外部ホルダに位置合わせするための外部位置合わせ特徴を機械加工で形成することを含む、請求項1~13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記構成要素を組み立てるステップの前に、
前記第1の電極セットが、プリント回路基板(PCB)に接着され、および/または
前記第2の電極セットが、PCBに接着される、請求項1~14のいずれか一項に記載の方法。 - ワイヤ侵食用のワイヤが、前記機械加工の切断が行われる切断方向を有し、前記ワイヤが、前記切断方向に対して垂直な平面に対して15度以下の角度にある、請求項3または4に従属する際の請求項1~15のいずれか一項に記載の方法。
- 前記角度が、0度である、請求項16に記載の方法。
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