KR20050077687A - 다층 박막 캐패시터 제조방법 및 그 제조장치 - Google Patents
다층 박막 캐패시터 제조방법 및 그 제조장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050077687A KR20050077687A KR1020040006349A KR20040006349A KR20050077687A KR 20050077687 A KR20050077687 A KR 20050077687A KR 1020040006349 A KR1020040006349 A KR 1020040006349A KR 20040006349 A KR20040006349 A KR 20040006349A KR 20050077687 A KR20050077687 A KR 20050077687A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- mask
- substrate
- thin film
- film capacitor
- deposition
- Prior art date
Links
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47C—CHAIRS; SOFAS; BEDS
- A47C7/00—Parts, details, or accessories of chairs or stools
- A47C7/36—Support for the head or the back
- A47C7/40—Support for the head or the back for the back
- A47C7/44—Support for the head or the back for the back with elastically-mounted back-rest or backrest-seat unit in the base frame
- A47C7/441—Support for the head or the back for the back with elastically-mounted back-rest or backrest-seat unit in the base frame with adjustable elasticity
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47C—CHAIRS; SOFAS; BEDS
- A47C7/00—Parts, details, or accessories of chairs or stools
- A47C7/02—Seat parts
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47C—CHAIRS; SOFAS; BEDS
- A47C7/00—Parts, details, or accessories of chairs or stools
- A47C7/36—Support for the head or the back
- A47C7/38—Support for the head or the back for the head
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60N—SEATS SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLES; VEHICLE PASSENGER ACCOMMODATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B60N2/00—Seats specially adapted for vehicles; Arrangement or mounting of seats in vehicles
- B60N2/02—Seats specially adapted for vehicles; Arrangement or mounting of seats in vehicles the seat or part thereof being movable, e.g. adjustable
- B60N2/04—Seats specially adapted for vehicles; Arrangement or mounting of seats in vehicles the seat or part thereof being movable, e.g. adjustable the whole seat being movable
- B60N2/16—Seats specially adapted for vehicles; Arrangement or mounting of seats in vehicles the seat or part thereof being movable, e.g. adjustable the whole seat being movable height-adjustable
Abstract
Description
Claims (16)
- 다층 박막 캐패시터 제조방법에 있어서 ; 1개의 마스크를 X축과 Z축으로 마스크와 기판의 간격과 거리이동을 행하면서 진공증착으로 제조되는 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 다층 박막 캐패시터 제조방법에 있어서 ; 기판 표면에 열분해형 이형제층을 형성하는 단계와, 이형제층 위에 한 쌍의 단자를 복수개로 배열 형성하는 단계의 준비공정과, 도전체 및 유전체 증착시료를 교대로 증발시키고 마스크를 상하 및 좌우로 이동시켜 상기 한 쌍의 단자 사이에 도전층과 유전층을 교대로 증착시켜 다층 박막 캐패시터를 완성하는 단계의 본 공정과, 이형제층을 탈이형시켜 완성된 다층 박막 캐패시터를 기판으로부터 분리시키는 마무리공정으로 된 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 청구항 2에 있어서 ; 도전층과 유전층을 진공증착할 때 X축 이동수단과 Z축 이동수단을 갖는 마스크 및/또는 기판 사이의 간격을 조절하여 증착면적을 조절하도록 하되 유전층의 평면적이 도전층의 평면적보다 조금 크게 형성하여 도전층 사이의 자연스런 절연이 이루어지도록 함을 특징으로 하는 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서 ; 기판과 마스크와 마스크 이동수단이 설치되는 카세트는 트레이 구조 또는 카세트 구조로 하여 기판과 마스크의 위치를 증착실 외부에서 정밀하게 조정한 후 진공증착 로드록 시스템으로 작업되도록 함을 특징으로 하는 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서 ; 이형제층이 도포 건조된 기판과 X축과 Z축 이동수단을 구비한 마스크와 도전층 증착시료 및 유전층 증착시료를 증착실에 투입하는 단계와, 증착실를 진공시키는 단계와, 마스크와 기판의 이격거리를 조정하고 마스크를 X축으로 이동시켜 홀수열(또는 짝수열) 도전층이 일측 단자에 증착되게 하고ㆍ짝수열(또는 홀수열) 도전층이 타측 단자에 증착되게하고ㆍ이웃하는 도전층 끼리 절연이 유지되도록 유전층을 형성하는 단계와, 증발수단으로 유전층 시료와 도전층 시료를 교대로 증발시켜 다층 박막 캐패시터를 형성하는 단계와, 증착실의 진공을 해제하는 단계와, 증착실로부터 기판을 끄집어내어 분리하는 단계로 된 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서 ; 준비공정은, 기판 표면에 열분해형 이형제를 도포 및 건조시켜 이형제층을 형성하는 단계(S1), X축 이동수단 및 Z축 이동수단 및 콜리메이트판을 구비한 마스크와 기판이 함께 조립된 카세트와 단자형성에 필요한 도전성 증착시료를 증착실에 투입하는 단계(S2), 마스크와 기판의 핀츠를 맞추는 단계(S3), 증착실을 진공시키는 단계(S4), 증발수단으로 시료를 증발시켜 한 쌍으로 구성되는 복수의 단자를 증착 형성하는 단계(S5), 증착실의 진공을 해제하는 단계(S6), 카세트를 증착실로부터 끄집어내는 배출단계(S7), 카세트로부터 기판을 분리하는 단계(S8)로 된 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서 ; 기판과 마스크는 이동수단에 의해 증착실 내외부로 출입할 수 있는 카세트임을 특징으로 하는 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서 ; 유전체 마스크와 도전체 마스크로 유전층과 도전층의 증착실내에서의 마스크 교환방식으로 다층 박막 캐패시터를 제조하도록 함을 특징으로 하는 다층 박막 캐패시터 제조방법.
- 진공증착이 이루어지는 증착실와, 증착실의 내부 바닥에 위치하는 증착시료용기와, 주사빔으로 증착시료를 증발시키는 증발수단과, 증착실의 상부에 위치하는 기판과, 기판의 상부에 위치하는 발열수단과, 기판의 하부에 위치하는 마스크와, 마스크와 증착시료용기 사이에 위치하는 콜리메이트판과, 증착에 필요한 진공을 달성하는 진공펌프와, 증착실에 설치되는 게이트밸브와, 전체적인 제어를 수행하는 제어수단으로 구성하여서 된 다층 박막 캐패시터 제조장치.
- 청구항 9에 있어서 ; 카세트(51)는, 프레임(74) 상부에 기판(24) 예열수단(75)을 설치하고, 예열수단(75)의 하부에 기판(24)과 제1 마스크(20) 또는 제2 마스크(30)와, 콜리메이트판(76)을 교환할 수 있게 차례로 설치하고, 제1 마스크(20) 또는 제2 마스크(30)를 X축(좌우)으로 이동시키는 X축 이동수단(77)과, 제1 마스크(20) 또는 제2 마스크(30)를 Z축(상하)으로 이동시키는 복수의 Z축 이동수단(78)으로 구성하여서 된 다층 박막 캐패시터 제조장치.
- 청구항 9에 있어서 ; 카세트(51)는, 프레임(74) 상부에 기판(24) 예열수단(75)을 설치하고, 예열수단(75)의 하부에 기판(24)과 제1 마스크(20) 또는 제2 마스크(30)와, 콜리메이트판(76)을 교환할 수 있게 차례로 설치하고, 기판(24)을 X축(좌우)으로 이동시키는 X축 이동수단(77)과, 기판(24)을 Z축(상하)으로 이동시키는 복수의 Z축 이동수단(78)으로 구성하여서 된 다층 박막 캐패시터 제조장치.
- 청구항 9 내지 청구항 11중 어느 한 항에 있어서 ; 제1 마스크(20)는 판상의 마스크(21)에 한 쌍의 슬릿(22)(23)을 좌우로 복수개 형성하여서 된 다층 박막 캐패시터 제조장치.
- 청구항 9 내지 청구항 11중 어느 한 항에 있어서 ; 제2 마스크(30)는, 판상의 마스크(31)에 복수 개의 슬릿(32)을 형성하여서 된 다층 박막 캐패시터 제조장치.
- 청구항 9 내지 청구항 11중 어느 한 항에 있어서 ; 제2 마스크(30)에 보강부재(31b)(31c)와 테두리 프레임(31a)을 설치하여 보강하도록 함을 특징으로 하는 다층 박막 캐패시터 제조장치.
- 청구항 9 내지 청구항 11중 어느 한 항에 있어서 ; 마스크의 상부면 양측에 10㎛ 전후 두께의 금속편(13c)을 접합하여서 된 다층 박막 캐패시터 제조장치.
- 청구항 9 내지 청구항 11중 어느 한 항에 있어서 ; 단자(6)(7)와 제1 유전층(8)은 프린팅으로 형성함을 특징으로 하는 다층 박막 캐패시터 제조장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040006349A KR100584078B1 (ko) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | 다층 박막 캐패시터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040006349A KR100584078B1 (ko) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | 다층 박막 캐패시터 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050077687A true KR20050077687A (ko) | 2005-08-03 |
KR100584078B1 KR100584078B1 (ko) | 2006-05-29 |
Family
ID=37265101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040006349A KR100584078B1 (ko) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | 다층 박막 캐패시터 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100584078B1 (ko) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100817174B1 (ko) * | 2005-06-21 | 2008-03-27 | 세향산업 주식회사 | 다층박막 캐패시터와 그 제조방법 및 장치 |
KR101004694B1 (ko) * | 2007-06-22 | 2011-01-04 | 세향산업 주식회사 | 진공증착방식 적층형 전자부품과 그 제조장치 및 방법 |
KR101038697B1 (ko) * | 2009-07-16 | 2011-06-02 | 김형태 | 적층증착 콘덴서 제조장치 |
KR101068047B1 (ko) * | 2009-07-16 | 2011-09-28 | 김형태 | 적층증착 콘덴서 제조방법 |
KR101133327B1 (ko) * | 2010-04-09 | 2012-04-05 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 커패시터의 제조방법 |
KR101138548B1 (ko) * | 2010-10-07 | 2012-05-21 | 삼성전기주식회사 | 슈퍼 캐패시터 모듈 |
KR101522666B1 (ko) * | 2013-12-16 | 2015-05-26 | 한국과학기술연구원 | 적층세라믹캐패시터 및 그 제조방법 |
-
2004
- 2004-01-30 KR KR1020040006349A patent/KR100584078B1/ko active IP Right Grant
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100817174B1 (ko) * | 2005-06-21 | 2008-03-27 | 세향산업 주식회사 | 다층박막 캐패시터와 그 제조방법 및 장치 |
KR101004694B1 (ko) * | 2007-06-22 | 2011-01-04 | 세향산업 주식회사 | 진공증착방식 적층형 전자부품과 그 제조장치 및 방법 |
KR101038697B1 (ko) * | 2009-07-16 | 2011-06-02 | 김형태 | 적층증착 콘덴서 제조장치 |
KR101068047B1 (ko) * | 2009-07-16 | 2011-09-28 | 김형태 | 적층증착 콘덴서 제조방법 |
KR101133327B1 (ko) * | 2010-04-09 | 2012-04-05 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 커패시터의 제조방법 |
KR101138548B1 (ko) * | 2010-10-07 | 2012-05-21 | 삼성전기주식회사 | 슈퍼 캐패시터 모듈 |
KR101522666B1 (ko) * | 2013-12-16 | 2015-05-26 | 한국과학기술연구원 | 적층세라믹캐패시터 및 그 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100584078B1 (ko) | 2006-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100817174B1 (ko) | 다층박막 캐패시터와 그 제조방법 및 장치 | |
TWI301311B (en) | Method and apparatus for dechucking a substrate | |
TWI404814B (zh) | 用於施加介電質作業中之鈣鈦礦物質(perovskite)與其他複合陶瓷膜的沈積法 | |
KR102050860B1 (ko) | 유기 발광 다이오드 제조용 섀도 마스크 | |
US20170011858A1 (en) | Thin film capacitors | |
WO2006076237A2 (en) | Shadow mask deposition system and pixel structures formed therewith | |
US8348503B2 (en) | System for active array temperature sensing and cooling | |
KR100584078B1 (ko) | 다층 박막 캐패시터 제조방법 | |
CN102024564A (zh) | 积层薄膜电容的制造方法及产品 | |
US7042136B2 (en) | Piezoelectric thin-film element and a manufacturing method thereof | |
US20130314842A1 (en) | Thin film condenser for high-density packaging, method for manufacturing the same, and high-density package substrate including the same | |
KR102505832B1 (ko) | 흡착장치, 위치 조정 방법, 및 성막 방법 | |
CN112424972A (zh) | 掩模的制造方法、掩模及框架一体型掩模 | |
JP2021529257A (ja) | テーパ形状の開口が2回の電鋳法により形成され内部応力が低減されたシャドウマスク | |
JP2010177659A (ja) | セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
JP2010177660A (ja) | セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
KR20200006351A (ko) | 마스크의 제조 방법 | |
KR20200034455A (ko) | 정전척 시스템, 성막 장치, 피흡착체 분리방법, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조방법 | |
WO1999030336A1 (en) | A method and apparatus for the production of multilayer electrical components | |
KR20230138930A (ko) | 세라믹 기판, 세라믹 기판의 제조 방법, 정전 척, 기판 고정 장치, 및 반도체 장치용 패키지 | |
JP3339005B2 (ja) | 有機焦電圧電体の製造方法およびその製造装置 | |
KR20200034614A (ko) | 정전척 시스템, 성막 장치, 피흡착체 분리방법, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조방법 | |
KR20200034240A (ko) | 정전척 시스템, 성막장치, 흡착 및 분리방법, 성막방법 및 전자 디바이스의 제조방법 | |
JP2010177658A (ja) | セラミックコンデンサの製造方法 | |
JPWO2007069333A1 (ja) | フラットパネルディスプレイの製造方法およびフラットパネルディスプレイ用のパネル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130513 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140514 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150420 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160329 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170327 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180628 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190329 Year of fee payment: 14 |