JPWO2012169602A1 - 透明導電膜付き基板 - Google Patents
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Abstract
高いヘイズ率と光反射防止性能を、両立して有する透明導電膜付き基板を提供する。基板の上に、酸化チタンを主成分とする層と、厚さが10〜30nmの酸化ケイ素を主成分とする層と、酸化スズからなる不連続な山部と、酸化ケイ素を主成分とする層および山部を覆う酸化スズ層と、酸化ケイ素を主成分とする層および山部と酸化スズ層との間に設けられる酸化スズ層とは異なる組成の酸化物からなる酸化物層とを有することにより、前記課題を解決する。
Description
本発明は、透明導電膜付き基板に関し、詳しくは、太陽電池等に用いられた際に、光の利用効率を向上することができる透明導電膜付き基板に関する。
太陽電池などに、ガラス基板の表面に、透明でかつ導電性を有する膜を形成(成膜)してなる基板(透明導電膜付き基板)が利用されている。
太陽電池で、高い光の利用効率で発電を行うためには、多量の光を効率よく太陽電池(光電変換素子)に入射させる必要がある。
そのため、太陽電池に利用される透明導電膜付き基板には、高い透明性および導電性に加え、透過光の散乱性が高いこと、すなわち、いわゆるヘイズ率(Haze、ヘーズ率)が高いことが要求される。透明導電膜付き基板のヘイズ率を高くすることで、太陽電池の光電変換層内での光路長を長くすることができ、その結果、光電変換層における光の吸収効率を高くして、光電変換効率を向上できる。
そのため、太陽電池に利用される透明導電膜付き基板には、高い透明性および導電性に加え、透過光の散乱性が高いこと、すなわち、いわゆるヘイズ率(Haze、ヘーズ率)が高いことが要求される。透明導電膜付き基板のヘイズ率を高くすることで、太陽電池の光電変換層内での光路長を長くすることができ、その結果、光電変換層における光の吸収効率を高くして、光電変換効率を向上できる。
このような目的を達成するために、透明導電膜付き基板の透明導電膜の表面を、凹凸を有する構造(すなわち、テクスチャ構造)とすることが行なわれている。
例えば、特許文献1には、ガラス基板の上に、第1の酸化部からなる底面径が0.2〜2μmの不連続な山部(いわゆる、小山部)と、第2の酸化物からなる山部を覆って形成される微細な凹凸を有する連続層と、を有する透明導電性酸化物膜を形成してなる透明導電膜付き基板が記載されている。
この透明導電膜付き基板は、透明導電性酸化物膜が、山部による大きな凹凸と、連続層が有する微細な凹凸との、2重のテクスチャ構造を有する構成を有する。そのため、この透明導電膜付き基板によれば、複雑な光の散乱によって高いヘイズ率を実現でき、太陽電池における光の利用効率を向上できる。
例えば、特許文献1には、ガラス基板の上に、第1の酸化部からなる底面径が0.2〜2μmの不連続な山部(いわゆる、小山部)と、第2の酸化物からなる山部を覆って形成される微細な凹凸を有する連続層と、を有する透明導電性酸化物膜を形成してなる透明導電膜付き基板が記載されている。
この透明導電膜付き基板は、透明導電性酸化物膜が、山部による大きな凹凸と、連続層が有する微細な凹凸との、2重のテクスチャ構造を有する構成を有する。そのため、この透明導電膜付き基板によれば、複雑な光の散乱によって高いヘイズ率を実現でき、太陽電池における光の利用効率を向上できる。
特許文献1に記載されるような、大きな凹凸と微細な凹凸との二重のテクスチャ構造を有する透明導電膜付き基板では、高いヘイズ率を付与して、光の利用効率が高い太陽電池を実現することができる。
しかしながら、特許文献1に記載されるような、二重のテクスチャ構造を有する透明導電膜付き基板では、へイズ率は、凹凸の密度に左右され、特に、長波長域でのヘイズ率は、大きな凹凸の密度に左右される。
従って、二重のテクスチャ構造を有する透明導電膜付き基板では、広い波長帯域で高いヘイズ率を得るためには、大きな凹凸を好適に形成できる必要がある。
従って、二重のテクスチャ構造を有する透明導電膜付き基板では、広い波長帯域で高いヘイズ率を得るためには、大きな凹凸を好適に形成できる必要がある。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決することにあり、二重のテクスチャ構造を有する透明導電膜付き基板において、凹凸、特に大きな凹凸の形成密度を好適に向上して、広い波長帯域で高い光散乱性、つまり高いヘイズ率も確保することができ、太陽電池等に利用した際に、光の利用効率を大幅に向上することができる透明導電膜付き基板を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明の透明導電膜付き基板は、アルカリを含有するガラスからなる基板と、前記基板の上に形成される、酸化チタンを主成分とする酸化チタン層と、前記酸化チタン層の上に形成される厚さが15〜40nmの酸化ケイ素を主成分とする酸化ケイ素層と、前記酸化ケイ素層の上に0.3〜2個/μm2の密度で形成される、底面径が0.2〜2μmの酸化スズ山部と、前記酸化ケイ素層および前記酸化スズ山部の上に形成される、表面に凹凸を有する酸化スズ層と、前記酸化ケイ素層および前記酸化スズ山部と前記酸化スズ層との間に形成される、前記酸化スズ山部および前記酸化スズ層とは異なる酸化物からなる中間酸化物層とを有することを特徴とする透明導電膜付き基板を提供する。
このような本発明の透明導電膜付き基板において、前記酸化チタン層の厚さが8〜12nmであるのが好ましい。
また、前記酸化チタン層の厚さが10〜12nmであり、前記密度が1.0〜2個/μm2であるのがより好ましい。また、前記透明導電膜付き基板の波長800nmにおけるヘイズ率が、30%以上であるのが好ましい。また、前記中間酸化物層は、酸化ケイ素を主成分とする層であるのが好ましい。また、前記中間酸化物層の厚さは、2〜40nmであるのが好ましい。また、前記酸化ケイ素層と前記中間酸化物層との合計の厚さは、20〜50nmであるのが好ましい。また、表面に凹凸を有する前記酸化スズ層の凸部の高さが、0.05〜0.2μmであり、隣接する凸部のピッチが、0.1〜0.3μmであるのが好ましい。
上記した数値範囲を示す「〜」とは、その前後に記載された数値を下限値および上限値として含む意味で使用され、特段の定めがない限り、以下本明細書において「〜」は、同様の意味をもって使用される。
また、前記酸化チタン層の厚さが10〜12nmであり、前記密度が1.0〜2個/μm2であるのがより好ましい。また、前記透明導電膜付き基板の波長800nmにおけるヘイズ率が、30%以上であるのが好ましい。また、前記中間酸化物層は、酸化ケイ素を主成分とする層であるのが好ましい。また、前記中間酸化物層の厚さは、2〜40nmであるのが好ましい。また、前記酸化ケイ素層と前記中間酸化物層との合計の厚さは、20〜50nmであるのが好ましい。また、表面に凹凸を有する前記酸化スズ層の凸部の高さが、0.05〜0.2μmであり、隣接する凸部のピッチが、0.1〜0.3μmであるのが好ましい。
上記した数値範囲を示す「〜」とは、その前後に記載された数値を下限値および上限値として含む意味で使用され、特段の定めがない限り、以下本明細書において「〜」は、同様の意味をもって使用される。
上記構成を有する本発明の透明導電膜付き基板は、大きな凹凸と表面の微細凹凸とを有する二重のテクスチャ構造を有する透明導電膜付き基板において、大きな凹凸である酸化スズ山部を好適に形成することを可能にして、可視光域から近赤外光域までの広い波長帯域に亘って高いヘイズ率(光散乱性)も確保することができる。
本発明によれば、ヘイズ率の高い透明導電膜付き基板、特に800nmにおいてもヘイズ率が30%以上の特性を有する透明導電膜付き基板を得ることができる。 そのため、本発明の透明導電膜付き基板は、例えば、太陽電池に利用することにより、広い波長帯域の光を太陽電池(光電変換素子)に入射して、長い光路長で利用することができ、高い光の利用効率で発電を行うことができる。
本発明によれば、ヘイズ率の高い透明導電膜付き基板、特に800nmにおいてもヘイズ率が30%以上の特性を有する透明導電膜付き基板を得ることができる。 そのため、本発明の透明導電膜付き基板は、例えば、太陽電池に利用することにより、広い波長帯域の光を太陽電池(光電変換素子)に入射して、長い光路長で利用することができ、高い光の利用効率で発電を行うことができる。
以下、本発明の透明導電膜付き基板について、添付の図面に示される好適実施例を基に、詳細に説明する。
図1に、本発明の透明導電膜付き基板の一例を概念的に示す。
図示例の透明導電膜付き基板10(以下、導電膜付き基板10ともいう)は、基板12と、酸化チタンを主成分とする層である酸化チタン層14と、酸化ケイ素を主成分とする層である酸化ケイ素層16と、酸化スズ山部18と、中間酸化物層20と、酸化スズ層24とを有する。
図示例の透明導電膜付き基板10(以下、導電膜付き基板10ともいう)は、基板12と、酸化チタンを主成分とする層である酸化チタン層14と、酸化ケイ素を主成分とする層である酸化ケイ素層16と、酸化スズ山部18と、中間酸化物層20と、酸化スズ層24とを有する。
基板12は、導電膜付き基板10の基板となるもので、ナトリウムやカリウム等のアルカリ成分を含有するガラス(以下、このガラスをアルカリ含有ガラスとも称する。)からなるガラス板である。かかるアルカリ成分を含有するガラスとは、Na2Oを3から15質量%含有するガラスをいう。本発明において、基板12は、透明なアルカリ含有ガラスであれば、各種のガラスが利用可能である。具体的には、ソーダライムガラス、PD200ガラス(旭硝子社製)などが例示される。
基板12の厚さには、特に限定は無く、導電膜付き基板10の大きさや用途、要求される強度等に応じて、適宜、決定すればよいが、0.2〜6mmが好ましい。
基板12には、十分な強度と高い光透過性とが要求されるが、基板12が薄すぎると、十分な強度を発現できず、逆に、厚すぎると、光透過性の点で不利である。これに対し、基板12の厚さを、上記範囲とすることにより、強度と光透過性とを好適に両立することができる。
また、基板12は、300〜800nmの波長領域において、80%以上の平均光透過率を有するものであるのが好ましい。
基板12には、十分な強度と高い光透過性とが要求されるが、基板12が薄すぎると、十分な強度を発現できず、逆に、厚すぎると、光透過性の点で不利である。これに対し、基板12の厚さを、上記範囲とすることにより、強度と光透過性とを好適に両立することができる。
また、基板12は、300〜800nmの波長領域において、80%以上の平均光透過率を有するものであるのが好ましい。
なお、本発明の導電膜付き基板10において、基板12は平板であるのに限定はされず、例えば、曲面状であってもよく、異形状であってもよい。
本発明の導電膜付き基板10において、基板12の表面には、酸化チタン層14が形成される。
酸化チタン層14は、前述のように酸化チタン(TiO2)を主成分とする層(膜)である。従って、酸化チタン層14は、実質的に酸化チタンのみからなる層でもよく、酸化チタン以外の成分を微量含有していてもよい。ここにおいて、酸化チタンを主成分とする層とは、酸化チタンを50mol%以上含有する層をいう。
酸化チタン層14は、アルカリ含有ガラスである基板12に含まれるナトリウム等のアルカリ成分が、酸化スズ山部18の形成時に成膜面である酸化ケイ素層16の表面に至ることを補助する作用を有するものである。後に詳述するが、この酸化ケイ素層16を有することにより、アルカリ成分の作用によって酸化スズ山部18の形成密度を高くして、広い波長帯域に亘って、高い光散乱性(すなわち、高いヘイズ率)を得ることができる。
酸化チタン層14は、アルカリ含有ガラスである基板12に含まれるナトリウム等のアルカリ成分が、酸化スズ山部18の形成時に成膜面である酸化ケイ素層16の表面に至ることを補助する作用を有するものである。後に詳述するが、この酸化ケイ素層16を有することにより、アルカリ成分の作用によって酸化スズ山部18の形成密度を高くして、広い波長帯域に亘って、高い光散乱性(すなわち、高いヘイズ率)を得ることができる。
ここで、周知のように、酸化チタン層14は、隣接する基板12および酸化ケイ素層16に比して、屈折率が高い。この屈折率の差を利用して、反射防止性能を向上することも知られている。
例えば、国際公開第2004−102677号公報には、酸化スズ層の表面に微細な凹凸を設けると共に、酸化スズ層と基板との間に、酸化チタン層および酸化ケイ素層を設けた、透明導電膜付き基板が記載されている。この透明導電付き基板によれば、低屈折率のガラス基板、高屈折率の酸化チタン層、低屈折率の酸化ケイ素層、および、高屈折率の酸化スズ層を有する構成により、高い光反射防止性を発現して、入射した光を反射することなく、かつ、好適に散乱させて太陽電池に入射させることができ、例えば太陽電池における光の利用効率を向上できる。
本発明においても、同様に、酸化チタン層14を有することにより、後述する酸化ケイ素層16との組み合わせで、導電膜付き基板10の光反射防止性能も、向上することができる。
例えば、国際公開第2004−102677号公報には、酸化スズ層の表面に微細な凹凸を設けると共に、酸化スズ層と基板との間に、酸化チタン層および酸化ケイ素層を設けた、透明導電膜付き基板が記載されている。この透明導電付き基板によれば、低屈折率のガラス基板、高屈折率の酸化チタン層、低屈折率の酸化ケイ素層、および、高屈折率の酸化スズ層を有する構成により、高い光反射防止性を発現して、入射した光を反射することなく、かつ、好適に散乱させて太陽電池に入射させることができ、例えば太陽電池における光の利用効率を向上できる。
本発明においても、同様に、酸化チタン層14を有することにより、後述する酸化ケイ素層16との組み合わせで、導電膜付き基板10の光反射防止性能も、向上することができる。
酸化チタン層14の形成方法には、特に限定はなく、公知の形成方法(成膜方法)が、全て利用可能である。一例として、気化したテトライソプロポキシチタンあるいはさらに窒素ガスを用いる大気圧(常圧)CVDによる方法が例示される。
また、酸化チタン層14は、フロート法によるガラス板の製造工程における、フロートバスでの大気圧CVD(バスCVD)や徐冷炉での大気圧CVD(レアCVD)など、ガラス板の製造工程でオンライン(on-Line)で形成するものであってもよい。あるいは、ガラス板の製造した後に、切断されたガラス板の表面に、ベルトコンベア炉等を用いてオフライン(off-Line)で形成するものであってもよい。
また、酸化チタン層14は、フロート法によるガラス板の製造工程における、フロートバスでの大気圧CVD(バスCVD)や徐冷炉での大気圧CVD(レアCVD)など、ガラス板の製造工程でオンライン(on-Line)で形成するものであってもよい。あるいは、ガラス板の製造した後に、切断されたガラス板の表面に、ベルトコンベア炉等を用いてオフライン(off-Line)で形成するものであってもよい。
なお、オンラインでの形成およびオフラインでの形成の、いずれも利用可能であるのは、後述する、酸化ケイ素層16、酸化スズ山部18、中間酸化物層20、および、酸化スズ層24も同様である。
また、酸化チタン層14、酸化ケイ素層16および酸化スズ山部18をオンラインで形成し、中間酸化物層20および酸化スズ層24をオフラインで形成するなど、オンラインとオフラインとを併用して、本発明の導電膜付き基板10を作製してもよい。
また、酸化チタン層14、酸化ケイ素層16および酸化スズ山部18をオンラインで形成し、中間酸化物層20および酸化スズ層24をオフラインで形成するなど、オンラインとオフラインとを併用して、本発明の導電膜付き基板10を作製してもよい。
導電膜付き基板10において、酸化チタン層14の表面には、酸化ケイ素層16が形成される。
酸化ケイ素層16は、前述のように、酸化ケイ素(SiO2)を主成分とする、膜厚が15〜40nmの層(膜)である。従って、酸化ケイ素層16は、実質的に酸化ケイ素のみからなる層でもよく、酸化ケイ素以外の成分を微量含有していてもよい。ここにおいて、酸化ケイ素を主成分とする層とは、酸化ケイ素を50mol%以上含有する層をいう。酸化ケイ素層16は、主に、アルカリ含有ガラスである基板12から析出したナトリウム等のアルカリ成分が、後述する酸化スズ層20に混入して導電性を低下するのを防ぐ、アルカリバリア層としての作用を有する。
また、前述のように、酸化ケイ素層16は、隣接する酸化チタン層14との組み合わせで、導電膜付き基板10における光反射防止性能も発現する。
また、前述のように、酸化ケイ素層16は、隣接する酸化チタン層14との組み合わせで、導電膜付き基板10における光反射防止性能も発現する。
酸化ケイ素層16の形成方法には、特に限定はなく、公知の形成方法が、全て利用可能である。一例として、シランガスおよび窒素ガスの混合ガスと、酸素ガスとを用いる大気圧CVDによる方法が例示される。また、酸化ケイ素層16も、オンラインで形成しても、オフラインで形成してもよいのは、前述のとおりである。
酸化ケイ素層16の表面には、酸化スズ山部18(以下、山部18とも称する)が形成される。
山部18は、主成分が酸化スズからなるものであってもよいし、必要に応じて、酸化スズに、後述する酸化スズ層24と同様のフッ素等のドーパンドをドーピングしてなるものでもよい。山部18は、酸化ケイ素層16の表面に点在して形成される半球状あるいは略半球状(以下、半球状および略半球状を含め、半球状と称する。)の部位である。後述する山部18の底面径とは、山部18が半球状であればその直径を意味し、略半球状の場合は、略半球状の底面部の面積と同じ面積を持つ円の直径を意味する。また、山部18の高さは、半球状の場合はその半径と同じで、略半球状の場合は、略半球状の体積と同じ体積を持つ半球状の半径を意味する。
また、山部18と隣にある山部18とは接しておらず、間隔を持って不連続に形成される。なお、山部18に、フッ素等をドーピングする際には、その濃度は、酸化スズに対して0.01mol%以下であるのが好ましく、0.005mol%以下であるのが、より好ましい。主成分が酸化スズとは、酸化スズのモル比率が50%以上をいう。山部18は好ましくはモル比率で90%以上が好ましい。
山部18は、主成分が酸化スズからなるものであってもよいし、必要に応じて、酸化スズに、後述する酸化スズ層24と同様のフッ素等のドーパンドをドーピングしてなるものでもよい。山部18は、酸化ケイ素層16の表面に点在して形成される半球状あるいは略半球状(以下、半球状および略半球状を含め、半球状と称する。)の部位である。後述する山部18の底面径とは、山部18が半球状であればその直径を意味し、略半球状の場合は、略半球状の底面部の面積と同じ面積を持つ円の直径を意味する。また、山部18の高さは、半球状の場合はその半径と同じで、略半球状の場合は、略半球状の体積と同じ体積を持つ半球状の半径を意味する。
また、山部18と隣にある山部18とは接しておらず、間隔を持って不連続に形成される。なお、山部18に、フッ素等をドーピングする際には、その濃度は、酸化スズに対して0.01mol%以下であるのが好ましく、0.005mol%以下であるのが、より好ましい。主成分が酸化スズとは、酸化スズのモル比率が50%以上をいう。山部18は好ましくはモル比率で90%以上が好ましい。
山部18は、酸化ケイ素層16の表面に、0.3〜2個/μm2の密度で形成される、底面径(直径)Dcが0.2〜2μmの半球状である。
本発明において、1μm2当たりの山部18の個数は、山部18の頂点(最高部)の数で計数する。また、後に詳述するが、山部18の頂点の数と、酸化スズ層24の島部24aの頂点の数および位置は、基本的に、一致する。
酸化スズ山部の密度の測定法は、酸化スズ山部まで形成されたサンプルを作成し、日立ハイテク製走査型電子顕微鏡(SEM)SU−70を用いて表面観察を行った。測定条件は観察範囲が横3.6μm×縦2.6μmの範囲において、面積1μm2当たりの山部に存在する頂点の数を数え、測定箇所を変え3か所で測定した値を平均して求めた。
本発明において、1μm2当たりの山部18の個数は、山部18の頂点(最高部)の数で計数する。また、後に詳述するが、山部18の頂点の数と、酸化スズ層24の島部24aの頂点の数および位置は、基本的に、一致する。
酸化スズ山部の密度の測定法は、酸化スズ山部まで形成されたサンプルを作成し、日立ハイテク製走査型電子顕微鏡(SEM)SU−70を用いて表面観察を行った。測定条件は観察範囲が横3.6μm×縦2.6μmの範囲において、面積1μm2当たりの山部に存在する頂点の数を数え、測定箇所を変え3か所で測定した値を平均して求めた。
山部18の形成方法には、特に限定はなく、公知の不連続の酸化スズからなる膜の形成方法が、全て利用可能である。また、山部18も、オンラインで形成しても、オフラインで形成してもよいのは、前述のとおりである。
ここで、山部18の形成方法としては、原料ガスとして四塩化スズおよび水蒸気を用い、さらに、塩化水素ガス(あるいはさらに窒素ガス等の不活性ガス)を併用して、大気圧CVDによって形成する方法が、好ましい形成方法として例示される。この塩化水素ガスの導入量を調整することにより、山部16の形成密度をコントロールできる。また、山部18の底面径Dcは、この大気圧CVDで山部18を形成する際における、四塩化スズの導入量で、コントロールできる。
なお、酸化スズにフッ素等をドーピングしてなる山部18を形成する際には、原料ガスと共に、フッ化水素ガス等を導入して大気圧CVDで山部18を形成すればよい。
なお、酸化スズにフッ素等をドーピングしてなる山部18を形成する際には、原料ガスと共に、フッ化水素ガス等を導入して大気圧CVDで山部18を形成すればよい。
以上の、酸化チタン層14、酸化ケイ素層16、および、山部18に関しては、後に詳述する。
導電膜付き基板10には、酸化ケイ素層16および山部18を覆って、中間酸化物層20が形成される。すなわち、酸化ケイ素層16および山部18と、後述する酸化スズ層24の間に、中間酸化物層20が形成される。
中間酸化物層20は、山部18および酸化スズ層24と、異なる酸化物からなる層である。具体的には、酸化ケイ素を主成分とする層が好適に例示される。酸化ケイ素を主成分とする層には酸化ケイ素以外に、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化インジュウム(In2O3)および酸化チタン(TiO2)からなる群より選択される少なくとも1種を含む透明酸化物層が挙げられる。
ここにおいて、酸化ケイ素を主成分とする層とは酸化ケイ素を50mol%以上含有する層をいう。
この中間酸化物層20は、酸化スズからなる山部18と、同じく酸化スズからなる酸化スズ層24(あるいは,酸化スズにドーパントをドーピングした酸化スズ層24)とを分離するための層である。言い換えれば、中間酸化物層20は、同じ材料で形成される山部18と酸化スズ層24との、連続性を断ち切る隔離の為の層である。
この中間酸化物層20を有することにより、後述する酸化スズ層24の表面の微細な凹凸を、適正に形成することができる。
加えて、中間酸化物層20を有することにより、前述の酸化チタン層14と酸化ケイ素16とにより発現する光反射防止性能を、より向上することもできる。
ここにおいて、酸化ケイ素を主成分とする層とは酸化ケイ素を50mol%以上含有する層をいう。
この中間酸化物層20は、酸化スズからなる山部18と、同じく酸化スズからなる酸化スズ層24(あるいは,酸化スズにドーパントをドーピングした酸化スズ層24)とを分離するための層である。言い換えれば、中間酸化物層20は、同じ材料で形成される山部18と酸化スズ層24との、連続性を断ち切る隔離の為の層である。
この中間酸化物層20を有することにより、後述する酸化スズ層24の表面の微細な凹凸を、適正に形成することができる。
加えて、中間酸化物層20を有することにより、前述の酸化チタン層14と酸化ケイ素16とにより発現する光反射防止性能を、より向上することもできる。
中間酸化物層20の厚さには、特に限定は無い。しかしながら、中間酸化物層20が厚過ぎると、導電膜付き基板10の光透過性が低くなる等の不都合を生じる場合が有る。
逆に、中間酸化物層20が薄過ぎると、山部18と酸化スズ層24との分離機能を十分に発現できない等の不都合を生じる場合が有る。また、中間酸化物層20の厚さは不適性であると、逆に本発明の導電膜付き基板10の光反射防止性能が低下する場合も有る。
以上の点を考慮すると、中間酸化物層20の厚さは、2〜40nmが好ましく、特に、10〜30nmが好ましい。
逆に、中間酸化物層20が薄過ぎると、山部18と酸化スズ層24との分離機能を十分に発現できない等の不都合を生じる場合が有る。また、中間酸化物層20の厚さは不適性であると、逆に本発明の導電膜付き基板10の光反射防止性能が低下する場合も有る。
以上の点を考慮すると、中間酸化物層20の厚さは、2〜40nmが好ましく、特に、10〜30nmが好ましい。
中間酸化物層20の形成方法には、特に限定はなく、中間酸化物層20の形成材料に応じた、公知の形成方法が、全て利用可能である。一例として、前記酸化ケイ素層16と同様に、シランガスおよび窒素ガスの混合ガスと、酸素ガスとを用いた大気圧CVDによる方法が例示される。
また、中間酸化物層20も、オンラインで形成しても、オフラインで形成してもよいのは、前述のとおりである。
また、中間酸化物層20も、オンラインで形成しても、オフラインで形成してもよいのは、前述のとおりである。
中間酸化物層20の表面には、酸化スズ層24が形成される。
酸化スズ層24は、導電膜付き基板10において、透明導電膜として作用するものであり、実質的に酸化スズ(SnO2)からなる層、もしくは、実質的に酸化スズにフッ素等のドーパントをドーピングしてなる物質からなる層である。
また、酸化スズ層24は、表面に、微細な凹凸を全面的に有する。
酸化スズ層24は、導電膜付き基板10において、透明導電膜として作用するものであり、実質的に酸化スズ(SnO2)からなる層、もしくは、実質的に酸化スズにフッ素等のドーパントをドーピングしてなる物質からなる層である。
また、酸化スズ層24は、表面に、微細な凹凸を全面的に有する。
酸化スズ層24にドーピングされるドーパントには、特に限定は無く、半導体等に利用される公知のドーパントが、各種、利用可能である。具体的には、フッ素等のハロゲン元素やアンチモンが例示され、特に、ハロゲン元素は好適であり、中でも特に、フッ素が好適である。
また、ドーパントの含有量にも、特に限定は無いが、酸化スズに対して0.01〜4mol%が好ましく、特に、0.1〜1mol%が好ましい。
また、ドーパントの含有量にも、特に限定は無いが、酸化スズに対して0.01〜4mol%が好ましく、特に、0.1〜1mol%が好ましい。
酸化スズ層24の導電電子密度には、特に限定は無く、導電膜付き基板10の用途に応じて、適宜、ドーパントの量等で調整すればよい。例えば、太陽電池基板として用いる場合には、酸化スズ層24の導電電子密度は、5×1019〜4×1020cm-3が好ましく、1×1020〜2×1020cm-3がより好ましい。
この範囲であれば、膜の光吸収量が少なく、高透明で、かつ活性水素種に対して高い耐久性があるので、薄膜シリコン系太陽電池を形成する際に一般に用いられる水素プラズマ照射によっても、透明性は損なわれない。
この範囲であれば、膜の光吸収量が少なく、高透明で、かつ活性水素種に対して高い耐久性があるので、薄膜シリコン系太陽電池を形成する際に一般に用いられる水素プラズマ照射によっても、透明性は損なわれない。
このような微細な凹凸を表面に有する酸化スズ層24の形成方法にも、特に限定はなく、公知の方法が、全て利用可能である。また、酸化スズ層24も、オンラインで形成しても、オフラインで形成してもよいのは、前述のとおりである。
ここで、酸化スズ層24の形成方法としては、原料ガスとして四塩化スズおよび水蒸気を用いて、大気圧CVDによって形成する方法が、好ましい形成方法として例示される。
また、酸化スズ層24にドーパントをドーピングする際には、ドーパントとなる物質のガスを、原料ガスと共に供給すればよい。例えば、フッ素等のハロゲン元素をドーピングする際には、HF、HCl、HBr、HI等のハロゲン化水素ガスを、供給すればよい。
また、酸化スズ層24の表面の微細な凹凸は、一例として、酸化スズ層24の膜厚などで、コントロールすることができる。
また、酸化スズ層24にドーパントをドーピングする際には、ドーパントとなる物質のガスを、原料ガスと共に供給すればよい。例えば、フッ素等のハロゲン元素をドーピングする際には、HF、HCl、HBr、HI等のハロゲン化水素ガスを、供給すればよい。
また、酸化スズ層24の表面の微細な凹凸は、一例として、酸化スズ層24の膜厚などで、コントロールすることができる。
前述のように、本発明の導電膜付き基板10は、酸化ケイ素層16の上に、凸状に点在する山部18を有し、その上に中間酸化物層20を有するものであり、酸化スズ層24は、この中間酸化物層20の上に形成される。また、酸化スズ層24は、表面に、全面的に微細な凹凸を有する。
従って、酸化スズ層24は、山部18に起因する大きな凹凸と、酸化スズ層24自身の表面に有する、前記大きな凹凸よりも微細な凹凸との、サイズが大きく異なる2種の凹凸、すなわち、2重のテクスチャ構造を有する。そのため、本発明の導電膜付き基板10によれば、大きな凹凸と微細な凹凸とによる複雑な光の散乱によって、高ヘイズ率を実現でき、太陽電池等に利用した場合、光の利用効率を、大幅に向上できる。
従って、酸化スズ層24は、山部18に起因する大きな凹凸と、酸化スズ層24自身の表面に有する、前記大きな凹凸よりも微細な凹凸との、サイズが大きく異なる2種の凹凸、すなわち、2重のテクスチャ構造を有する。そのため、本発明の導電膜付き基板10によれば、大きな凹凸と微細な凹凸とによる複雑な光の散乱によって、高ヘイズ率を実現でき、太陽電池等に利用した場合、光の利用効率を、大幅に向上できる。
ここで、大きな凹凸と微細な凹凸による、2重のテクスチャ構成を有する酸化スズ層24において、広い波長帯域に亘って優れた光散乱効果を得るためには、山部18の密度が重要である。
すなわち、山部18を高密度にすることにより、400nm付近の可視光の波長域のみならず、800nm程度の長波長域(近赤外域)の光の散乱性を向上でき、広い波長帯域に亘って、優れた光散乱効果が得られる。特に、800nm程度の長波長域のおける導電膜付き基板のヘイズ率を、30%以上とすることができる。
すなわち、山部18を高密度にすることにより、400nm付近の可視光の波長域のみならず、800nm程度の長波長域(近赤外域)の光の散乱性を向上でき、広い波長帯域に亘って、優れた光散乱効果が得られる。特に、800nm程度の長波長域のおける導電膜付き基板のヘイズ率を、30%以上とすることができる。
前述のように、山部18の形成時に、塩化水素ガスを併用することにより、山部18の形成密度をコントロールすることができる。具体的には、山部18の形成時に供給する塩化水素の量が多い程、山部18の密度は低くなる。
一方で、山部18の密度は、山部18の形成面である酸化ケイ素層16の表面に存在するナトリウム等のアルカリ成分の量によって変動する。具体的には、酸化ケイ素層16の表面に存在するアルカリ成分の量が多い程、山部18の密度は高くなる。
ところが、前述のように、酸化ケイ素層16は、アルカリ含有ガラスからなる基板12から析出したアルカリ成分が、酸化スズ層24に混入することを抑制するためのアルカリバリア層としても作用する。
ところが、前述のように、酸化ケイ素層16は、アルカリ含有ガラスからなる基板12から析出したアルカリ成分が、酸化スズ層24に混入することを抑制するためのアルカリバリア層としても作用する。
ここで、本発明者の検討によれば、酸化チタン層14の上に酸化ケイ素層16を有することにより、酸化ケイ素層16によるアルカリバリア効果が、より軽減される。
すなわち、酸化チタン層14の上に酸化ケイ素層16を形成することにより、酸化ケイ素層16が微細な凹凸を有する構成となり、アルカリ成分を含有するガラスからなる基板12から析出したアルカリ成分が酸化ケイ素層16の上に抜け易くなる。その結果、酸化ケイ素層16の最上表面層のアルカリ成分がわずかに増加し、山部18の形成密度を向上できる。
すなわち、酸化チタン層14の上に酸化ケイ素層16を形成することにより、酸化ケイ素層16が微細な凹凸を有する構成となり、アルカリ成分を含有するガラスからなる基板12から析出したアルカリ成分が酸化ケイ素層16の上に抜け易くなる。その結果、酸化ケイ素層16の最上表面層のアルカリ成分がわずかに増加し、山部18の形成密度を向上できる。
図2に、ソーダライムガラス製の基板12の上に、酸化チタン層14および酸化ケイ素層16をこの順に形成した際における、酸化ケイ素層14の表面における『ナトリウムイオン/ケイ素イオン』の比(×106)の一例を、また同上の基板12の上に、酸化ケイ素層16を形成した際における、酸化ケイ素層16の表面における『ナトリウムイオン/ケイ素イオン』の比(×106)の一例を、示す。
図2において、aは、基板の上に厚さ30nmの酸化ケイ素層を形成した例である。また、bは、基板の上に厚さ11nmの酸化チタン層を形成し、酸化チタン層の上に30nmの酸化ケイ素層を形成した例である。
図2において、aを基準として見た場合、aと同じ厚さの酸化ケイ素層16を有し、かつ、下層に酸化チタン層14を有するbは、酸化ケイ素層16の厚さは同じであるにも関わらず、酸化ケイ素層16の表面におけるナトリウムの量が多くなっている。
図2において、aを基準として見た場合、aと同じ厚さの酸化ケイ素層16を有し、かつ、下層に酸化チタン層14を有するbは、酸化ケイ素層16の厚さは同じであるにも関わらず、酸化ケイ素層16の表面におけるナトリウムの量が多くなっている。
さらに、このようなaおよびbに示される例において、酸化ケイ素層16の上に、酸化スズからなる山部18を形成した結果、aにおける山部の密度は0.9個/μm2で、bにおける山部の密度は、1.3個/μm2で、同じ厚さの酸化ケイ素層16を有するにも関わらず、酸化チタン層14を有するbの方が、酸化チタン層を有さないaよりも、形成される山部の密度は高い。
なお、aとbにおける山部は、原料ガスとして四塩化スズと水蒸気とを用い、かつ、原料ガスに加えて塩化水素ガスを供給した大気圧CVDで形成したものであり、両者とも、形成条件(成膜条件)は、全て同一である。
なお、aとbにおける山部は、原料ガスとして四塩化スズと水蒸気とを用い、かつ、原料ガスに加えて塩化水素ガスを供給した大気圧CVDで形成したものであり、両者とも、形成条件(成膜条件)は、全て同一である。
すなわち、酸化ケイ素層16の下層に酸化チタン層14を有する構成とすることにより、山部18を形成する際における形成面、すなわち酸化ケイ素層16の表面に存在するアルカリ成分の量を多くして、高密度な山部18を形成可能にできる。
本発明は、このような知見を得ることによって成されたものであり、酸化チタン層14と、酸化チタン層14の表面に形成された厚さが15〜40nmの酸化ケイ素層16とを有する。このような構成を有するにより、十分なアルカリバリア作用を確保しつつ、山部18を形成する際に、酸化ケイ素層16の表面に必要にして十分な量のアルカリ成分を供給して、山部18を好適に形成することを可能にしている。
また、本発明においては、山部18の密度を、0.3〜2個/μm2とすることにより、可視光のみならず800nm程度の近赤外領域の光まで高い光散乱性を実現すると共に、光反射防止性に悪影響を与えることも防止している。
また、本発明においては、山部18の密度を、0.3〜2個/μm2とすることにより、可視光のみならず800nm程度の近赤外領域の光まで高い光散乱性を実現すると共に、光反射防止性に悪影響を与えることも防止している。
すなわち、本発明の導電膜付き基板10によれば、山部18を有することによる大きな酸化スズ層24の凹凸と、酸化スズ層24表面の微細な凹凸とを有する二重テクスチャ構造を有する導電膜付き基板10において、山部18の形成密度を好適に向上できる。これにより、二重テクスチャ構造を有することによる可視光域における高い光散乱性に加え、高い形成密度で山部18を有することによる、800nm付近の近赤外領域での高い光散乱性も発現することができる。
そのため、本発明によれば、広い波長帯域に亘って高い光散乱性を得ることができ、太陽電池等に利用した際に、非常に高い光の利用効率が得られる導電膜付き基板10を実現できる。従って、本発明の導電膜付き基板10を、例えば、400nm付近に高い感度を有するアモルファスシリコンによる光電変換層と、800nm付近に高い感度を有する微結晶シリコンによる光電変換層とを積層した、いわゆるタンデム型の太陽電池等に利用することにより、太陽電池の性能を十分に発揮して、高い発電効率を実現できる。
また、本発明の導電膜付き基板10は、前述のように、酸化チタン層14、酸化ケイ素層16および中間酸化物層20を有することにより、高い光反射防止性能を有するので、この点でも、太陽電池等に利用した際に、光の利用効率を向上できる。
そのため、本発明によれば、広い波長帯域に亘って高い光散乱性を得ることができ、太陽電池等に利用した際に、非常に高い光の利用効率が得られる導電膜付き基板10を実現できる。従って、本発明の導電膜付き基板10を、例えば、400nm付近に高い感度を有するアモルファスシリコンによる光電変換層と、800nm付近に高い感度を有する微結晶シリコンによる光電変換層とを積層した、いわゆるタンデム型の太陽電池等に利用することにより、太陽電池の性能を十分に発揮して、高い発電効率を実現できる。
また、本発明の導電膜付き基板10は、前述のように、酸化チタン層14、酸化ケイ素層16および中間酸化物層20を有することにより、高い光反射防止性能を有するので、この点でも、太陽電池等に利用した際に、光の利用効率を向上できる。
前述のように、本発明の導電膜付き基板10において、酸化チタン層14の膜厚には、特に限定は無い。ここで、酸化チタン層14の膜厚が薄すぎると、酸化チタン層14を形成する効果を十分に発現できず、目的とする山部18の形成性を得ることができない場合がある。逆に、酸化チタン層14の膜厚が厚すぎると、短波長側での光吸収が増加して太陽電池等に利用した際の光の利用効率が低下する、光反射防止性能に悪影響を与える、山部18の形成時に十分にアルカリを供給することができない等の不都合を生じる可能性が有る。
以上の点を考慮すると、酸化チタン層14の膜厚は、8〜12nmが好ましく、特に、9〜11nmが好ましい。
以上の点を考慮すると、酸化チタン層14の膜厚は、8〜12nmが好ましく、特に、9〜11nmが好ましい。
酸化ケイ素層16の膜厚は、15〜40nmであることが好ましい。
酸化ケイ素層16の膜厚が15nm未満では、酸化ケイ素層16を有する効果を十分に得ることができず、アルカリバリア性能が低すぎて、基板12から析出したアルカリ成分が酸化スズ層24に多量に混入して導電性を低下してしまう、光反射防止性が悪化する等の不都合が生じる。
逆に、酸化ケイ素層16の膜厚が40nmを超えると、山部18の形成時に十分にアルカリを供給することができず、目的とする山部密度を得るのが困難になってしまう、光反射防止性が悪化する等の不都合が生じる。
以上の点を考慮すると、酸化ケイ素層16の膜厚は20〜35nmが好ましい。
酸化ケイ素層16の膜厚が15nm未満では、酸化ケイ素層16を有する効果を十分に得ることができず、アルカリバリア性能が低すぎて、基板12から析出したアルカリ成分が酸化スズ層24に多量に混入して導電性を低下してしまう、光反射防止性が悪化する等の不都合が生じる。
逆に、酸化ケイ素層16の膜厚が40nmを超えると、山部18の形成時に十分にアルカリを供給することができず、目的とする山部密度を得るのが困難になってしまう、光反射防止性が悪化する等の不都合が生じる。
以上の点を考慮すると、酸化ケイ素層16の膜厚は20〜35nmが好ましい。
前述のように、本発明の導電膜付き基板10の酸化スズ層24は、山部18に起因する大きな凹凸を有し、また、表面に酸化スズ層24自身の微細な凹凸を有する。
以下の説明では、便宜的に、山部18による酸化スズ層24の大きな凸部を島部24a、この島部24a以外の領域、すなわち、酸化スズ層24の酸化ケイ素層16上の領域を平坦部24bとする。
以下の説明では、便宜的に、山部18による酸化スズ層24の大きな凸部を島部24a、この島部24a以外の領域、すなわち、酸化スズ層24の酸化ケイ素層16上の領域を平坦部24bとする。
山部18は、底面径Dcが0.2〜2μmの半球状で、酸化ケイ素層16の表面に0.3〜2個/μm2の密度で形成される。
山部18の形成密度が0.3個/μm2未満では、十分な光の散乱性が得られない等の不都合が生じる。
逆に、山部18の形成密度が2個/μm2を超えると、酸化スズ層24の表面の微細な凹凸構造が不均一になり易い等の不都合が生じる。
以上の点を考慮すると、山部18の形成密度は、0.7〜2個/μm2が好ましく、特に、0.7〜1.5個/μm2が好ましい。
なお、山部16の形成密度は、四塩化スズと水蒸気を原料ガスとして用いる大気圧CVDによる山部16の形成において、塩化水素ガスを併用し、この塩化水素ガスの導入量を調整することにより、コントロールできるのは、前述のとおりである。
山部18の形成密度が0.3個/μm2未満では、十分な光の散乱性が得られない等の不都合が生じる。
逆に、山部18の形成密度が2個/μm2を超えると、酸化スズ層24の表面の微細な凹凸構造が不均一になり易い等の不都合が生じる。
以上の点を考慮すると、山部18の形成密度は、0.7〜2個/μm2が好ましく、特に、0.7〜1.5個/μm2が好ましい。
なお、山部16の形成密度は、四塩化スズと水蒸気を原料ガスとして用いる大気圧CVDによる山部16の形成において、塩化水素ガスを併用し、この塩化水素ガスの導入量を調整することにより、コントロールできるのは、前述のとおりである。
また、山部18の底面径Dcが0.2nm未満では、特に長波長側で十分な光散乱性が得えられない等の不都合が生じる。
逆に、底面径Dcが2μmを超えると、光散乱が生じる波長と、アモルファスシリコンあるいは微結晶シリコンによる光電変換層での光吸収が大きい波長とのずれが大きくなり、十分な光散乱性が得えられない等の不都合が生じる。
以上の点を考慮すると、山部18の底面径Dcは、0.2〜1μmがより好ましく、特に、0.4〜0.7μmが好ましい。
逆に、底面径Dcが2μmを超えると、光散乱が生じる波長と、アモルファスシリコンあるいは微結晶シリコンによる光電変換層での光吸収が大きい波長とのずれが大きくなり、十分な光散乱性が得えられない等の不都合が生じる。
以上の点を考慮すると、山部18の底面径Dcは、0.2〜1μmがより好ましく、特に、0.4〜0.7μmが好ましい。
なお、本発明において、山部18は、基本的に半球状である。従って、山部18の底面の形状(すなわち、酸化ケイ素層16の表面の山部18の形状)は円ないし略円である。しかしながら、山部18の底面の形状が楕円形状等の円形以外である場合も有り得るので、その場合には、山部18の底面に内接する最小の円を設定して、この円の直径を底面径Dcとすればよい。
なお、山部18は、基本的に半球状であるので、山部18の高さは、Dc/2となる。したがって、山部18の高さの好ましい範囲は、0.1〜1μmである。
この点に関しては、後述する島部24aについても、同様である。
なお、山部18は、基本的に半球状であるので、山部18の高さは、Dc/2となる。したがって、山部18の高さの好ましい範囲は、0.1〜1μmである。
この点に関しては、後述する島部24aについても、同様である。
酸化スズ層24の厚さHaには、特に限定はなく、導電膜付き基板10の用途や要求される性能等に応じて、適宜、設定すればよい。ここで酸化スズ層24の厚さHaとは、中間酸化物層20と酸化スズの界面から酸化スズ表面の凹凸の凸部までの範囲をいう。
本発明者の検討によれば、厚さHaは0.5〜1μmが好ましく、特に、0.5〜0.7μmが好ましい。なお、酸化スズ層24の厚さHaは、基本的に、全面的に同程度であり、従って、島部24aと平坦部24bとの厚さは、同程度である。
本発明者の検討によれば、厚さHaは0.5〜1μmが好ましく、特に、0.5〜0.7μmが好ましい。なお、酸化スズ層24の厚さHaは、基本的に、全面的に同程度であり、従って、島部24aと平坦部24bとの厚さは、同程度である。
酸化ケイ素層16と中間酸化物層20は、平坦部24bの性能に大きな影響を与える。そのため、酸化ケイ素層16の膜厚と中間酸化物層20の膜厚(すなわち、山部18を介さない部分の酸化ケイ素層16の膜厚と中間酸化物層20の膜厚)は、その合計が20〜50nmであることが好ましく、25〜45nmであることが特に好ましい。
酸化ケイ素層16と中間酸化物層20との合計膜厚が20nm未満では、平坦部24bでのアルカリバリア性能が不十分となり、酸化スズ層24の導電性が低下する可能性がある。逆に、この合計膜厚が50nm超となると、平坦部24bでの光散乱防止性能が低下する可能性がある。
酸化ケイ素層16と中間酸化物層20との合計膜厚が20nm未満では、平坦部24bでのアルカリバリア性能が不十分となり、酸化スズ層24の導電性が低下する可能性がある。逆に、この合計膜厚が50nm超となると、平坦部24bでの光散乱防止性能が低下する可能性がある。
島部24aの底面径Daには、特に限定は無いが、1〜3μmが好ましく、1〜2μmがより好ましい。
また、島部24aの間隔Waにも、特に限定は無いが、0〜2.0μmが好ましく、さらに、1.2μm以下、特に0.4μm以下で、かつ、0.1μm以上であるのが、より好ましい。すなわち、島部24aの山部は、いずれも不連続であるのが、より好ましい。なお、島部24aは、不連続である部分と連続している部分があってよく、島部24aの間隔Waが0〜2.0μmであるということは、平坦部24bがないところがあってもよいということである。
本発明の導電膜付き基板10においては、このような構成を有することにより、特に長波長域で光を強く散乱することが可能になる等の点で好ましい結果を得ることができる。
また、島部24aの間隔Waにも、特に限定は無いが、0〜2.0μmが好ましく、さらに、1.2μm以下、特に0.4μm以下で、かつ、0.1μm以上であるのが、より好ましい。すなわち、島部24aの山部は、いずれも不連続であるのが、より好ましい。なお、島部24aは、不連続である部分と連続している部分があってよく、島部24aの間隔Waが0〜2.0μmであるということは、平坦部24bがないところがあってもよいということである。
本発明の導電膜付き基板10においては、このような構成を有することにより、特に長波長域で光を強く散乱することが可能になる等の点で好ましい結果を得ることができる。
なお、酸化スズ層24は、基本的に、全面的にほぼ同じ厚さで、かつ、中間酸化物層20の表面(すなわち、酸化ケイ素層16および山部18の表面に形成された中間酸化物層20の表面)に沿って形成される。従って、島部24aの頂点と山部18の頂点は、ほぼ一致し、島部24aのピッチおよび密度は、山部18とほぼ一致する。
酸化スズ層24は、表面に微細な凹凸を有する。図3に、図1の部分拡大図を示す。
酸化スズ層24の表面の微細な凹凸の形状や、凸部の高さ等にも、特に限定は無い。
酸化スズ層24の表面の微細な凹凸の形状や、凸部の高さ等にも、特に限定は無い。
しかしながら、本発明の導電膜付き基板10の酸化スズ層24において、微細な凹凸における凸部の高さHbは、山部18の高さより小さく、0.05〜0.2μmが好ましく、0.1〜0.2μmがより好ましい。ここで、凸部の高さHbとは、1つの凸部が隣接する複数の凸部となす凹部(谷部)との高低差のうち、最大の値をいう。
また、この微細凹凸の凸部のピッチ(隣接凸部の頂点と頂点の距離)Pbは、0.1〜0.3μmが好ましく、0.1〜0.2μmがより好ましい。
また、この微細凹凸の凸部の底面径Dbは、0.1〜0.3μmが好ましく、0.15〜0.3μmがより好ましい。
さらに、この微細凹凸の凸部は、高さHb/底面径Dbの比が0.7〜1.2であるのが好ましく、特に0.7〜1.0であるのが好ましい。
また、この微細凹凸の凸部のピッチ(隣接凸部の頂点と頂点の距離)Pbは、0.1〜0.3μmが好ましく、0.1〜0.2μmがより好ましい。
また、この微細凹凸の凸部の底面径Dbは、0.1〜0.3μmが好ましく、0.15〜0.3μmがより好ましい。
さらに、この微細凹凸の凸部は、高さHb/底面径Dbの比が0.7〜1.2であるのが好ましく、特に0.7〜1.0であるのが好ましい。
酸化スズ層24の表面の微細な凹凸を、このような構成とすることにより、短波長の光を強く散乱することができ、全体として、広い波長領域の光を有効に散乱することが可能になる。すなわち、大きな凹凸である島部24aによって長波長の光を散乱し、表面の微細な凹凸によって、短波長の光を散乱することができる。
以上、本発明の透明導電膜付き基板について詳細に説明したが、本発明は、上述の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行なってもよいのは、もちろんである。
以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明の透明導電膜付き基板について、より詳細に説明する。なお、本発明は、この実施例に限定はされない。
[実施例1]
基板12として、330×300mmのサイズで、厚さ1.1mmのソーダライムガラス板を用意した。
この基板12をベルトコンベア炉で1m/minの速度で搬送しつつ、酸化チタン層14、酸化ケイ素層16、山部18、中間酸化物層20、および、酸化スズ層24を、順次、形成して、図1に示すような導電膜付き基板10を作製した。
基板12として、330×300mmのサイズで、厚さ1.1mmのソーダライムガラス板を用意した。
この基板12をベルトコンベア炉で1m/minの速度で搬送しつつ、酸化チタン層14、酸化ケイ素層16、山部18、中間酸化物層20、および、酸化スズ層24を、順次、形成して、図1に示すような導電膜付き基板10を作製した。
酸化チタン層14は、基板12の温度を510℃として、原料ガスとしてテトライソプロポキシチタンガス(供給量3L(リットル)/min)を用いる、大気圧CVDによって成膜した。厚さは、10nmであった。
酸化ケイ素層16は、基板12の温度を540℃として、原料ガスとしてシランガス(供給量2L/min)および酸素ガス(供給量40L/min)を用いる、大気圧CVDによって酸化チタン層14面に成膜した。厚さは、30nmであった。
酸化ケイ素層16は、基板12の温度を540℃として、原料ガスとしてシランガス(供給量2L/min)および酸素ガス(供給量40L/min)を用いる、大気圧CVDによって酸化チタン層14面に成膜した。厚さは、30nmであった。
山部18は、基板12の温度を540℃として、原料ガスとして四塩化スズガス(45℃に加熱して供給 供給量1.72L/min)および水蒸気(供給量6L/min)を用い、かつ、塩化水素ガス(供給量0.4L/min)を供給する、大気圧CVDによって酸化ケイ素膜14の表面に点在するように形成した。
中間酸化物層20は、基板12の温度を540℃として、原料ガスとしてシランガス(供給量1L/min)および酸素ガス(供給量10L/min)を用いる、大気圧CVDによって前記山部18および当該山部18が形成されていない酸化ケイ素層14面に成膜した。この中間酸化物層20は、酸化ケイ素層からなり、その厚さは、15nmであった。
さらに、酸化スズ層24は、基板12の温度を540℃として、原料ガスとして四塩化スズガス(55℃に加熱して供給 供給量4.9L/min)および水蒸気(供給量3L/min)を用い、かつ、フッ化水素ガス(供給量0.9L/min)を供給する、大気圧CVDによって中間酸化物層20を覆うように成膜した。
さらに、酸化スズ層24は、基板12の温度を540℃として、原料ガスとして四塩化スズガス(55℃に加熱して供給 供給量4.9L/min)および水蒸気(供給量3L/min)を用い、かつ、フッ化水素ガス(供給量0.9L/min)を供給する、大気圧CVDによって中間酸化物層20を覆うように成膜した。
作製した導電膜付き基板10をSEM(走査型電子顕微鏡)によって横3.6μm×縦2.6μmの範囲を観察して、確認したところ、山部18の底面径は、全て0.2〜2μmの範囲に入っており、密度は、1.3個/μm2であった。また、酸化スズ層24は、山部18に応じた大きな凹凸(島部24aおよび平坦部24b)を有し、かつ、表面には微細な凹凸が形成されていた。
作製した導電膜付き基板10について、スガ試験機製のHZ−2を用いて、C光源ヘイズ率を測定し、800nmのヘイズ率は島津製作所製UV3100PC分光光度計を用い、正透過率と積分球透過率を測定し、必要な波長におけるHz(%)=[(積分球透過率−正透過率)/積分球透過率)]×100で算出した。その結果、C光源のヘイズ率は63%、800nmのヘイズ率は30%であった。
また、作製した導電膜付き基板10について、島津製作所製UV3100PC分光光度計を用い反射率を測定したところ、400〜1000nmの平均値で5%であった。結果を表1に示す。
作製した導電膜付き基板10について、スガ試験機製のHZ−2を用いて、C光源ヘイズ率を測定し、800nmのヘイズ率は島津製作所製UV3100PC分光光度計を用い、正透過率と積分球透過率を測定し、必要な波長におけるHz(%)=[(積分球透過率−正透過率)/積分球透過率)]×100で算出した。その結果、C光源のヘイズ率は63%、800nmのヘイズ率は30%であった。
また、作製した導電膜付き基板10について、島津製作所製UV3100PC分光光度計を用い反射率を測定したところ、400〜1000nmの平均値で5%であった。結果を表1に示す。
[実施例2]
実施例1において、酸化チタン層14の成膜条件として、原料ガスのテトライソプロポキシチタンガスの供給量3.6L(リットル)/min)とし、酸化チタン層の厚さを12nmの膜を成膜した以外は、同じ条件で成膜を行った。結果を表1に示す。
実施例1において、酸化チタン層14の成膜条件として、原料ガスのテトライソプロポキシチタンガスの供給量3.6L(リットル)/min)とし、酸化チタン層の厚さを12nmの膜を成膜した以外は、同じ条件で成膜を行った。結果を表1に示す。
[比較例1]
酸化チタン層14を形成しない以外は、実施例1と同様にして、透明導電膜付き基板を作製した。
実施例1と同様に、SEMで確認したところ、山部18の底面径は全て0.2〜2μmの範囲に入っており、密度は、0.9個/μm2であった。また、酸化スズ層24は、実施例1と同様に、大きな凹凸および表面の微細な凹凸を有していた。
さらに、実施例1と同様にヘイズ率および反射率を測定したところ、C光源のヘイズ率は61%、800nmのヘイズ率は22%であり、さらに、反射率は8%であった。結果を表1に示す。
酸化チタン層14を形成しない以外は、実施例1と同様にして、透明導電膜付き基板を作製した。
実施例1と同様に、SEMで確認したところ、山部18の底面径は全て0.2〜2μmの範囲に入っており、密度は、0.9個/μm2であった。また、酸化スズ層24は、実施例1と同様に、大きな凹凸および表面の微細な凹凸を有していた。
さらに、実施例1と同様にヘイズ率および反射率を測定したところ、C光源のヘイズ率は61%、800nmのヘイズ率は22%であり、さらに、反射率は8%であった。結果を表1に示す。
以上の結果より、本発明の実施例1、2に係る導電膜付き基板は、波長800nmでのヘイズ率を30%以上にすることができており、また、400-1000nmの波長範囲での平均反射率を6%以下とすることができている。
本発明によれば、可視光域から近赤外光域までの広い波長帯域に亘って高い光散乱性も確保することができる透明導電膜付き基板を提供することができ、かかる透明導電膜付き基板は、例えば、太陽電池用の導電性基板等として、好適に利用可能である。
なお、2011年6月8日に出願された日本特許出願2011−128312号の明細書、特許請求の範囲、図面および要約書の全内容をここに引用し、本発明の開示として取り入れるものである。
なお、2011年6月8日に出願された日本特許出願2011−128312号の明細書、特許請求の範囲、図面および要約書の全内容をここに引用し、本発明の開示として取り入れるものである。
10 (透明)導電膜付き基板
12 基板
14 酸化チタン層
16 酸化ケイ素層
18 山部
20 中間酸化物層
24 酸化スズ層
24a 島部
24b 平坦部
12 基板
14 酸化チタン層
16 酸化ケイ素層
18 山部
20 中間酸化物層
24 酸化スズ層
24a 島部
24b 平坦部
Claims (8)
- アルカリを含有するガラスからなる基板と、
前記基板の上に形成される、酸化チタンを主成分とする酸化チタン層と、
前記酸化チタン層の上に形成される厚さが15〜40nmの酸化ケイ素を主成分とする酸化ケイ素層と、
前記酸化ケイ素層の上に酸化スズ山部があり、前記酸化スズ山部は0.3〜2個/μm2の密度で形成され、前記酸化スズ山部の底面の底面径が0.2〜2μmであり、
前記酸化ケイ素層および前記酸化スズ山部の上に形成される、前記酸化スズ山部の高さより小さい高さである表面に凹凸を有する酸化スズ層と、
前記酸化ケイ素層および前記酸化スズ山部と前記酸化スズ層との間に形成される、前記酸化スズ山部および前記酸化スズ層とは異なる酸化物からなる中間酸化物層とを有することを特徴とする透明導電膜付き基板。 - 前記酸化チタン層の厚さが8〜12nmである請求項1に記載の透明導電膜付き基板。
- 前記酸化チタン層の厚さが10〜12nmであり、前記密度が1.0〜2個/μm2である請求項1または2に記載の透明導電膜付き基板。
- 前記透明導電膜付き基板の波長800nmにおけるヘイズ率が、30%以上である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の透明導電膜付き基板。
- 前記中間酸化物層は、酸化ケイ素を主成分とする層である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の透明導電膜付き基板。
- 前記中間酸化物層の厚さが、2〜40nmである請求項1乃至5のいずれか1項に記載の透明導電膜付き基板。
- 前記酸化ケイ素層と前記中間酸化物層との合計の厚さが、20〜50nmである請求項1乃至6のいずれか1項に記載の透明導電膜付き基板。
- 前記表面に凹凸を有する前記酸化スズ層の凸部の高さが、0.05〜0.2μmであり、隣接する凸部のピッチが、0.1〜0.3μmである請求項1乃至7のいずれか1項に記載の透明導電膜付き基板。
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