JPWO2012165501A1 - 低放射率積層体、および複層ガラス - Google Patents
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Abstract
Description
チタン、ニオブ、タンタル、ジルコニウム、ケイ素、タングステン、モリブデンは、第1の透明酸化物層31中、例えば、酸化チタン(TiO2)、酸化ニオブ(Nb2O5)、酸化タンタル(Ta2O5)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化ケイ素(SiO2)、酸化タングステン(WO3)、酸化モリブデン(MoO3)として、またはこれらの複合酸化物として含有される。
上記した数値範囲を示す「〜」とは、その前後に記載された数値を下限値および上限値として含む意味で使用され、特段の定めがない限り、以下本明細書において「〜」は、同様の意味をもって使用される。
亜鉛の酸化物を含有するものとすることで、その結晶化等により、その上に形成される低放射率金属層33を均質にするとともに緻密なものとすることができる。下地酸化物層32には、亜鉛以外の酸化物構成元素を含有させることができる。亜鉛以外の酸化物構成元素としては、例えば、スズ、アルミニウム、クロム、チタン、シリコン、ホウ素、マグネシウム、ガリウムが挙げられ、これらは1種または2種以上を含有させることができる。下地酸化物層32に亜鉛以外の酸化物構成元素を含有させることで、第1の透明酸化物層31との密着性を向上させるとともに、可視光透過率や近赤外光透過率を向上させることができる。
チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、モリブデンは、酸化防止バリア層34中、例えば、TiOx(1<x<2)、Nb2Ox(4<x<5)、Ta2Ox(4<x<5)、ZrOx(1<x<2)、SiOx(1<x<2)、WOx(2<x<3)、MoOx(2<x<3)、またはこれらの複合酸化物として含有される。
低放射率積層体1としては、図1に示した第1の実施形態の低放射率積層体1のように酸化防止バリア層34と第2の透明酸化物層35とを有するものに限られず、例えば、図2のように酸化防止バリア層34を有せずに、第2の透明酸化物層35のみを有するものであってもよい。なお、この場合、第2の透明酸化物層35が本発明にいうところの第2のチタン酸化物含有層とされる。この第2の透明酸化物層35は、第1の実施形態の低放射率積層体1における酸化防止バリア層34と同様の組成とすることができる。
図3は、複層ガラス10の一例を示したものである。複層ガラス10は、低放射率積層体1に対向してガラス基板等からなる透明対向基板11が配置されたものであり、低放射率積層体1と透明対向基板11との間には中間層12が形成されるようにスペーサ13が配置されている。なお、低放射率積層体1は、透明対向基板11に対して室内側に配置され、また図1、2に示した薄膜積層部3が、中間層12側に位置し、透明対向基板11に対向するように配置される。
図4は、透明基体としてのガラス基板(100mm×100mm×3mm(板厚))に、チタンの酸化物(TiO2)からなる透明酸化物層(TiO2層、厚さ20nm)、亜鉛およびアルミニウムの酸化物からなる透明酸化物層(AlZn酸化物層(1))、銀からなる低放射率金属層(Ag層、厚さ14nm)、亜鉛およびアルミニウムからなる酸化防止バリア層(AlZn合金層、厚さ1.15nm)、亜鉛およびアルミニウムの酸化物からなる透明酸化物層(AlZn酸化物層(2)、厚さ48nm)を順次形成したものについて、前記TiO2層を、チタンターゲット(Tiターゲット)を用いて成膜した場合と、チタンの酸化物からなるターゲット(TiOxターゲット(x=1.9))を用いて成膜した場合との表面抵抗値(Rs)を示したものである。なお、AlZn酸化物層(1)の厚さを変更し、表面抵抗値が最少となる最適膜厚を探して比較した。以下に、各層の形成方法を示す。
放電ガスとしてアルゴンと酸素とを、600sccm:400sccmの流量比で真空槽内に導入し、Tiターゲットを用いて反応性ACマグネトロンスパッタによりTiO2層を形成した。スパッタターゲットは長さ1778mmのチューブ型であり、スパッタ電力として40kW印加した。このとき、真空槽内の圧力は4×10−3mbarであった。
放電ガスとしてアルゴンと酸素とを、600sccm:40sccmの流量比で真空槽内に導入し、TiOxターゲット(x=1.9)を用いてACマグネトロンスパッタによりTiO2層を形成した。スパッタターゲットは長さ1778mmのチューブ型であり、スパッタ電力として48kW印加した。このとき、真空槽内の圧力は3.9×10−3mbarであった。
放電ガスとしてアルゴンと酸素とを、1000sccm:900sccmの流量比で真空槽内に導入し、2質量%のアルミニウムを含有する亜鉛合金からなるターゲット(AlZn合金ターゲット)を用いて反応性ACマグネトロンスパッタによりAlZn酸化物層を形成した。スパッタターゲットは長さ1778mmのチューブ型であり、スパッタ電力として30kW印加した。このとき、真空槽内の圧力は7.0×10−3mbarであった。
放電ガスとしてアルゴンを1000sccmで真空槽内に導入し、銀ターゲット(Agターゲット)を用いてACマグネトロンスパッタによりAg層を形成した。スパッタターゲットの面積は100×1700mm2であり、スパッタ電力として3kW印加した。このとき、真空槽内の圧力は5.0×10−3mbarであった。
放電ガスとしてアルゴンを1000sccmで真空槽内に導入し、2質量%のアルミニウムを含有する亜鉛合金からなるターゲット(AlZn合金ターゲット)を用いてACマグネトロンスパッタによりAlZn合金層を形成した。スパッタターゲットは長さ1778mmのチューブ型であり、スパッタ電力として1kW印加した。このとき、真空槽内の圧力は4.5×10−3mbarであった。
放電ガスとしてアルゴンと酸素とを、30sccm:70sccmの流量比で真空槽内に導入し、上記したTiターゲットを用いて反応性DCマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットは70×200mm2であり、スパッタ電力として500W印加した。このとき、真空槽内の圧力は0.4Paであった。TiO2層の厚さは20nmとした。
放電ガスとしてアルゴンと酸素とを、98sccm:2sccmの流量比で真空槽内に導入し、上記したTiOxターゲット(x=1.9)を用いてDCマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットは70×200mm2であり、スパッタ電力として500W印加した。このとき、真空槽内の圧力は0.4Paであった。TiO2層の厚さは20nmとした。
放電ガスとしてアルゴンと酸素とを、30sccm:70sccmの流量比で真空槽内に導入し、上記したAlZn合金ターゲットを用いて反応性DCマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットのサイズは70×200mm2であり、スパッタ電力として500W印加した。このとき、真空槽内の圧力は0.4Paであった。AlZn酸化物層の厚さは8nmとした。
放電ガスとしてアルゴンを真空槽内に50sccm導入し、上記したAgターゲットを用いてDCマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットのサイズは70×200mm2であり、スパッタ電力として100W印加した。このとき、真空槽内の圧力は0.4Paであった。Ag層の厚さは表2に示すように変更した。
放電ガスとしてアルゴンを真空槽内に100sccm導入し、上記したAlZn合金ターゲットを用いてDCマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットのサイズは70×200mm2であり、スパッタ電力として15W印加した。このとき、真空槽内の圧力は0.4Paであった。AlZn合金層の厚さは0.7nmとした。
放電ガスとしてアルゴンを真空槽内に100sccm導入し、上記したTiOxターゲット(x=1.9)を用いてDCマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットのサイズは70×200mm2であり、スパッタ電力として50W印加した。このとき、真空槽内の圧力は0.4Paであった。TiOx層の厚さは5nmとした。
放電ガスとしてアルゴンと酸素とを、30sccm:70sccmの流量比で真空槽内に導入し、上記したSnZn合金ターゲットを用いて反応性DCマグネトロンスパッタにより形成した。スパッタターゲットのサイズは70×200mm2であり、スパッタ電力として500W印加した。このとき、真空槽内の圧力は0.4Paであった。SnZn酸化物層の厚さは48nmとした。
なお、2011年5月30日に出願された日本特許出願2011−119910号の明細書、特許請求の範囲、図面および要約書の全内容をここに引用し、本発明の開示として取り入れるものである。
Claims (9)
- 表面抵抗値が3.3Ω/□以下、かつ複層ガラスとしたときの日射取得率が0.60以上であることを特徴とする低放射率積層体。
- 透明基体上に、チタンの酸化物を含有する第1のチタン酸化物含有層、銀を主成分とする低放射率金属層、およびチタンの酸化物を含有する第2のチタン酸化物含有層を少なくともこの順に成膜してなる薄膜積層部を有することを特徴とする請求項1に記載の低放射率積層体。
- 前記第1のチタン酸化物含有層および前記第2のチタン酸化物含有層がターゲット材料を用いたスパッタ法により成膜されたものであって、前記第1のチタン酸化物含有層は、前記第2のチタン酸化物含有層の成膜に用いられたターゲット材料の酸化度よりも低い酸化度を有するターゲット材料を用いて成膜された層であることを特徴とする請求項2に記載の低放射率積層体。
- 前記第1のチタン酸化物含有層は、チタンを含有する金属ターゲットを用いて成膜されたものであり、前記第2のチタン酸化物含有層は、チタンの酸化物を含有する還元性酸化物ターゲットを用いて成膜されたものであることを特徴とする請求項2、または3に記載の低放射率積層体。
- 前記第1のチタン酸化物含有層は、TiO2を主成分として含有し、前記第2のチタン酸化物含有層は、TiOxを主成分として含有し、xが、1<x<2の範囲であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の低放射率積層体。
- 前記第1のチタン酸化物含有層に下地酸化物層を成膜し、その上に銀を主成分とする低放射率金属層を成膜してなることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の低放射率積層体。
- 前記薄膜積層部の全膜応力が23Pa・m以上の圧縮応力を有することを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載の低放射率積層体。
- 複層ガラスとしたときの可視光透過率が70%以上であることを特徴とする請求項2乃至7のいずれか1項に記載の低放射率積層体。
- 低放射率積層体と、前記低放射率積層体に対向して配置された透明対向基板とを有する複層ガラスであって、
前記低放射率積層体が請求項1乃至8のいずれか1項に記載の低放射率積層体であることを特徴とする複層ガラス。
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