JPWO2012127685A1

JPWO2012127685A1 - 音叉型振動子

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Publication number: JPWO2012127685A1
Application number: JP2013505751A
Authority: JP
Inventors: 元久保田; 伊東　雅之; 雅之伊東; 正一岸
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2011-03-24
Filing date: 2011-03-24
Publication date: 2014-07-24
Anticipated expiration: 2031-03-24
Also published as: US20140021829A1; US8723391B2; JP5605501B2; WO2012127685A1

Abstract

パッケージサイズ換算での振動腕の長さがより長い音叉型振動子を提供する。音叉型振動子１１は、矩形柱状の内部空間６２を有するパッケージ６０と、基部２１、２本の振動腕２２及び基部２１から斜めに延出した第１、第２固定腕２３を有する音叉型振動片２０とを備える。音叉型振動子１１の音叉型振動片２０は、パッケージ６０内に斜めに収容されて各固定腕２３の先端部分でパッケージ６０と固定されている。

Description

本発明は、音叉型振動子に関する。

携帯電話、時計等に使用されている音叉型振動子としては、３２１５サイズの音叉型振動子（パッケージサイズが、3.2mm×1.5mmである音叉型振動子；以下同様）と、２０１２サイズの音叉型振動子とが、市販されている。

一般的な３２１５サイズの音叉型振動子は、図１に示した音叉型振動片、すなわち、基部８１から平行に２本の振動腕８２が延びた音叉型振動片を、その長さ方向をパッケージの長さ方向と一致させた姿勢でパッケージ内に収容したものとなっている。

また、２０１２サイズの音叉型振動子には、通常、図２に示した音叉型振動片、すなわち、各振動腕８２の外側に固定腕８３が追加されている音叉型振動片が用いられている。そして、２０１２サイズの音叉型振動子は、当該音叉型振動片を、その長さ方向をパッケージの長さ方向と一致させた姿勢でパッケージ内に収容し、当該音叉型振動片の各固定腕８３をパッケージの内底面に固定したものとなっている。

特開平１１−２３２８５号公報特開２００４−２９７１９８号公報特開２００６−３０８４９８号公報特開２００８−０２２４１３号公報

音叉型振動子が使用される機器には、小型なものが多い。そのため、小型の音叉型振動子が望まれているのであるが、振動腕が短いと、発振安定度が高い（ＣＩ(Crystal Impedance)値が小さい）音叉型振動子を得ることが困難である。

図３に示されるように、音叉型振動片をパッケージ６０内に斜めに収容するようにしておけば、各振動腕８２の長さをより長く出来る。その場合、各振動腕８２の先端とパッケージ６０の内壁面間の距離が短くならざるを得ない。基部８１でパッケージに固定した音叉型振動片は、基部８１を中心に振動し得る。そのため、音叉型振動片をパッケージ６０内に斜めに収容しただけでは、外力が加わった際に、各振動腕８２の先端がパッケージ６０内面と接触しやすくなり、所定の周波数を得られなくなってしまう。

そこで、開示の技術の課題は、パッケージに収容される音叉型振動片の振動腕の長さがより長く、且つ、耐衝撃性に優れた音叉型振動子を提供することにある。

上記課題を解決するために、開示の技術の一態様の音叉型振動子は、矩形柱状の内部空間を有するパッケージと、基部、基部から平行に延出した２本の振動腕、及び、２本の振動腕をそれらの間に挟むように基部から斜めに延出した第１固定腕及び第２固定腕を有し、基部から２本の振動腕の延出方向の先端までの長さが内部空間の底面の各辺よりも長い音叉型振動片とを、備える。また、開示の技術の一態様の音叉型振動子の音叉型振動片は、パッケージの内部空間内に、延出方向を内部空間の底面の対角線方向に沿わせた形で収容されており、音叉型振動片の第１固定腕の先端部分と第２固定腕の先端部分とが内部空間の底面に対して固定されている。

また、上記課題を解決するために、開示の技術の他の態様の音叉型振動子は、パッケージと、パッケージ内に収容された音叉型振動片であって、基部、基部から平行に延出した、それぞれ、基部から特定方向に延出した後、音叉型振動片のパッケージへの搭載面から離れる方向に曲がってから特定方向とは逆方向に延びるＵ字形状を有する２本の振動腕、及び、２本の振動腕をそれらの間に挟むように基部から延出した２本の固定腕を有する音叉型振動片とを、備える。

上記構成を採用しておけば、パッケージに収容される音叉型振動片の振動腕の長さがより長く発振安定度が高い、且つ、耐衝撃性に優れた音叉型振動子を提供することが出来る。

図１は、既存の音叉型振動片の斜視図である。図２は、既存の音叉型振動片の斜視図である。図３は、基部と２本の振動腕とからなる音叉型振動片をパッケージ内に斜めに配置した際に生ずる問題の説明図である。図４は、第１実施形態に係る音叉型振動子の概略構成図である。図５は、第１実施形態に係る音叉型振動子に用いられている音叉型振動片の上面図である。図６は、励振電極の配置例を説明するための断面図である。図７は、励振電極の他の配置例を説明するための断面図である。図８は、第１実施形態に係る音叉型振動子に関する作用効果の説明図である。図９は、第２実施形態に係る音叉型振動子の概略構成図である。図１０は、第３実施形態に係る音叉型振動子に用いた音叉型振動片の斜視図である。図１１Ａは、第３実施形態に係る音叉型振動片の製造手順例の説明図である。図１１Ｂは、第３実施形態に係る音叉型振動片の製造手順例の説明図である。図１１Ｃは、第３実施形態に係る音叉型振動片の製造手順例の説明図である。図１１Ｄは、第３実施形態に係る音叉型振動片の製造手順例の説明図である。図１１Ｅは、第３実施形態に係る音叉型振動片の製造手順例の説明図である。図１１Ｆは、第３実施形態に係る音叉型振動片の製造手順例の説明図である。図１１Ｇは、第３実施形態に係る音叉型振動片の製造手順例の説明図である。図１２は、第４実施形態に係る音叉型振動子に用いた音叉型振動片の斜視図である。

以下、発明者らが開発した４タイプの音叉型振動子（以下、第１〜第４実施形態に係る音叉型振動子と表記する）について、図面を参照して詳細に説明する。

《第１実施形態》
図４に、第１実施形態に係る音叉型振動子１１の概略構成を示す。なお、この図４及び以下で説明に用いる各図は、音叉型振動子１１等の各部を認識しやすい大きさとするために、各部の縮尺を適宜変更したものとなっている。

図４に示してあるように、第１実施形態に係る音叉型振動子１１は、パッケージ６０の内部空間６２内に音叉型振動片２０を収容した表面実装型の音叉型振動子である。

パッケージ６０は、箱状部材６１と、当該箱状部材６１の蓋として機能する部材（図示略；以下、蓋部と表記する）とを主要構成要素とした、音叉型振動片２０のケースである。

パッケージ６０の箱状部材６１は、蓋部で封止されることにより矩形柱状の内部空間６２となる凹部を有している。箱状部材６１の下面（図４の紙面の奥行き方向が下）には、音叉型振動子１１の駆動回路を接続するための第１実装用端子６３₁及び第２実装用端子６３₂が設けられている。また、箱状部材６１の凹部の底面（パッケージ６０の内部空間６２の底面）には、第１実装用端子６３₁、第２実装用端子６３₂と、それぞれ、スルーホール等にて電気的に接続された第１搭載端子６４₁、第２搭載端子６４₂が設けられている。

音叉型振動片２０は、一般的な音叉型振動片と同様の手順（方法）で水晶片を加工することにより製造された水晶振動体である。

図４に示してあるように、この音叉型振動片２０は、基部２１と、基部２１から平行に延出した２本の振動腕２２₁、２２₂とを備えている。また、音叉型振動片２０は、当該２本の振動腕２２₁、２２₂をそれらの間に挟むように基部２１から斜めに延出した第１固定腕２３₁及び第２固定腕２３₂も備えている。

以下、説明の便宜上、振動腕２２₁又は振動腕２２₂のことを、振動腕２２と表記し、各振動腕２２の延出方向のことを、前後方向と表記する。また、音叉型振動片２０の、基部２１と２本の振動腕２２とからなる部分を、本体部と表記し、パッケージ６０の内部空間６２の底面のことを、搭載面と表記する。さらに、第１固定腕２３₁又は第２固定腕２３₂のことを、固定腕２３と表記し、第１実装用端子６３₁等についても、同様に表記することにする。

図４に示してあるように、音叉型振動片２０は、前後方向の長さが、搭載面の長辺よりも長いが故に、前後方向を搭載面の対角線方向に沿わせた形（前後方向を搭載面の対角線とほぼ平行にした形）でしか、内部空間６２内に、収容できないものとなっている。

また、音叉型振動片２０の各固定腕２３の形状は、音叉型振動片２０の重心を通り前後方向に直交する平面７２が、各固定腕２３の先端部分を横切ることなるように定められている。各固定腕２３の形状は、両固定腕２３の先端部分間の間隔が最も広くなるように（各固定腕２３の先端部分がパッケージ６０の内壁近傍に位置するように）も定められている。

さらに、第２固定腕２３₂は、２本の振動腕２２の中心に位置する平面７１で第１固定腕２３₁を反転させた形状を有している。そして、本体部も平面７１に関して面対称な形状を有している。そのため、音叉型振動片２０全体の形状も、平面７１に関して面対称なものとなっている。

図５に示したように、音叉型振動片２０の各振動腕２２の各面には、２種の（２系統の）励振電極２５₁、２５₂が設けられている。また、音叉型振動片２０の第１固定腕２３₁の下面の先端部分（以下、第１先端部と表記する）には、励振電極２５₁と電気的に接続された第１端子２６₁が設けられている。そして、音叉型振動片２０の第２固定腕２３₂の下面の先端部分（以下、第２先端部と表記する）には、励振電極２５₂と電気的に接続された第２端子２６₂が設けられている。

なお、各励振電極２５（２５₁、２５₂）の形状は、基本的には、２本の振動腕２２に屈曲振動を起こさせることが出来るものでありさえすれば良い。従って、各励振電極２５の形状（各振動腕２２の各面上への配置法）は、図６に模式的に示したようなものであっても良い。ただし、図７に模式的に示したように、各励振電極２５の特定の面に溝を形成し、形成した溝内に励振電極２５を設けるようにしておいた方が良い。何故ならば、そのようにしておけば、音叉型振動子１１のＣＩ(Crystal Impedance)値を低下させることが出来るので、音叉型振動子１１の発振安定度が向上することになるからである。

図４に戻って、音叉型振動子１１の説明を続ける。

上記した第１搭載端子６４₁、第２搭載端子６４₂は、音叉型振動片２０をパッケージ６０の内部空間６２内に収容した場合に第１端子２６₁、第２端子２６₂（図５参照）と向かい合う部分に、それぞれ、設けられている。

そして、音叉型振動子１１は、音叉型振動片２０の第１先端部、第２先端部を、それぞれ、パッケージ６０の第１搭載端子６４₁、第２搭載端子６４₂上に、導電性接着剤６８によって固定したものとなっている。なお、第１先端部とは、既に説明（定義）したように、第１固定腕２３₁の第１端子２６₁が設けられている部分（第１固定腕２３₁の下面の先端部分）のことである。また、第２先端部とは、第２固定腕２３₂の第２端子２６₂が設けられている部分（第２固定腕２３₂の下面の先端部分）のことである。

以上、説明したように、第１実施形態に係る音叉型振動子１１には、パッケージサイズ換算での振動腕の長さがより長い構成が採用されている。従って、第１実施形態に係る音叉型振動子１１は、従来よりも小型な、従来と同程度の発振安定度を有する音叉型振動子や、従来と同程度のサイズの、発振安定度が従来より高い（ＣＩ値が従来より低い）音叉型振動子となっていることになる。

更に、音叉型振動片２０の固定が、２本の振動腕２２をそれらの間に挟むように基部２１から斜めに延出した２つの固定腕２３の先端部分で行われるようにしておけば、外力が加わったときに、音叉型振動片２０が基部２１を中心に振動してしまうことを防止できる。また、両固定腕２３の２つの固定箇所の中心上に音叉型振動片２０の重心が位置し、固定箇所間の間隔が最も広くなるようにしておけば、図８に模式的に示したように、外力が加わった際の、振動腕２２先端の変位量を特に小さくすることが出来る。

従って、上記構成を採用しておけば、振動腕の長さが従来と同程度の、従来よりも小型な音叉型振動子を、音叉型振動片を斜めに配置していることに因る不具合が生じない形で実現できることになる。

また、上記構成を採用しておけば、従来と同サイズの、振動腕が長い分、ＣＩ値が低い（発振安定度が高い）音叉型振動子も実現できる。具体的には、既存の３２１５サイズの音叉型振動子には、通常、振動腕の長さがおよそ２ｍｍの音叉型振動片が使用されている。上記構成を採用しておけば、振動腕の長さがおよそ２．９ｍｍの３２１５サイズの音叉型振動片、すなわち、０．９ｍｍ分、ＣＩ値が低い３２１５サイズの音叉型振動子を実現できる。

また、既存の２０１２サイズの音叉型振動子には、通常、振動腕の長さがおよそ１．５ｍｍの音叉型振動片が使用されている。上記構成を採用しておけば、振動腕の長さがおよそ１．７３ｍｍの２０１２サイズの音叉型振動片、すなわち、０．２３ｍｍ分、ＣＩ値が低い２０１２サイズの音叉型振動子を実現できることになる。

最後に、音叉型振動子１１の設計手順例を簡単に説明しておくことにする。

音叉型振動子１１の設計は、さまざまな手順で行うことが出来る。例えば、パッケージ６０の形状が確定している場合、以下の第１手順で音叉型振動片２０を設計することが出来る。

まず、その内部に音叉型振動片２０が納まることが望ましい矩形領域のサイズ（各辺の長さ）を求める処理を行う。より具体的には、音叉型振動片２０のパッケージ６０底面への取り付け誤差、外力が加わったときに許容する振動腕２２の振動量等に応じた分だけ、搭載面よりも小さな矩形領域（以下、要収容領域と表記する）を特定してそのサイズを求める処理を行う。

次いで、製造する本体部（２本の振動腕２２と基部２１とからなる部分）の幅（通常、２００〜３００μｍ程度）を定める。そして、算出済みの要収容領域のサイズに基づき、当該要収容領域に内接する、定めた幅を有する最も長い長方形のサイズと当該長方形の要収容領域に対する傾きとを求める。

次いで、得られた傾き（定めた幅を有する最も長い長方形の要収容領域に対する傾き）も考慮して、得られたサイズから、本体部を成す各構成要素（基部２１、振動腕２２）の形状を決定する。なお、この際、決定される形状は、主として、基部２１の形状（基部２１の前後方向の長さ）である。また、基部２１等の形状決定時に上記長方形の矩形領域に対する傾きを考慮するのは、固定腕２３の幅が同じであっても当該傾きが変われば、固定腕２３・本体部間の境界部分の長さ（換言すれば、基部２１の最短長）が変わるためである。

そして、基部２１等の形状の決定後に、上記長方形の要収容領域に対する傾き等に基づき、上記条件を満たすように各固定腕２３の形状（長さ及び振動腕２２に対する傾き）を定めれば、音叉型振動片２０を設計できることになる。

また、パッケージ６０の形状が確定している場合、以下の第２手順で音叉型振動片２０を設計することも出来る。なお、以下の第２手順で設計される音叉型振動片２０は、上記手順で設計される音叉型振動片２０よりも振動腕２２の長さが若干（僅かに）短いものとなる。

まず、第１手順による音叉型振動片２０の設計時と同様に、要収容領域（パッケージ６０の内部空間６２の底面よりも、取り付け誤差等に応じた分だけ小さな矩形領域）のサイズを求めると共に、本体部の幅を定める。

次いで、要収容領域のサイズに基づき、当該要収容領域に内接する、各長辺が当該要収容領域の対角線と平行な、定めた幅を有する長方形のサイズを求める。その後、要収容領域の対角線の傾きも考慮して、当該サイズから、本体部を成す各構成要素の形状を決定する。そして、当該傾き等に基づき、各固定腕２３の形状を定めることによって、音叉型振動片２０を設計する。

さらに、以下の第３手順によっても、音叉型振動子１１を設計できる。

まず、音叉型振動片２０の本体部の形状を決定する。次いで、その本体部を収容できる最小サイズ（取り付け誤差等を考慮に入れたもの）の内部空間６２を有するパッケージ６０を設計する。なお、この際、設計されるパッケージ６０は、本体部が内部空間６２内に斜めに収容されるものである。

そして、パッケージ６０が設計できた場合には、パッケージ６０内に収容した場合の本体部のパッケージ６０に対する傾き等から、上記したものと同様の手順で各固定腕２３の形状を決定することにより、音叉型振動片２０を設計する。

なお、パッケージ６０は、端子位置（第１端子２６₁と第１搭載端子６４₁の位置等）を一致させるという観点からは、音叉型振動片２０の形状を決定した後に、各搭載端子６４の位置を決定して製造することが望ましいものである。ただし、音叉型振動片２０の形状を、平面７２が各固定腕２３の先端部分を横切り、両固定腕２３の先端部分間の間隔が最も広くなるように定める場合、音叉型振動片２０の収容角度が多少変わっても各固定腕２３の先端部分の位置は殆ど変わらない。そのため、音叉型振動片２０の形状を確定させる前に、パッケージ６０を製造しておくことも出来る。また、特定形状（仕様）の音叉型振動片２０用に製造したパッケージ６０を、他形状の音叉型振動片２０と組み合わせて音叉型振動子１１を製造する（組み立てる）ことも出来る。

《第２実施形態》
図９に、第２実施形態に係る音叉型振動子１２の概略構成を示す。

この音叉型振動子１２のパッケージ６０は、音叉型振動子１１のパッケージ６０を正方形状（正四角柱状）のものに変形したパッケージである。

また、音叉型振動子１２の音叉型振動片３０は、音叉型振動子１１の音叉型振動片２０（図４）を、正方形状の搭載面への配置に適するように変形したもの（搭載面を正方形状であるとして、上記した第２手順により設計したもの）である。

従って、この第２実施形態に係る音叉型振動子１２も、従来よりも小型な、従来と同程度の発振安定度を有する音叉型振動子や、従来と同程度のサイズの、発振安定度が従来より高い音叉型振動子となっていると言うことが出来る。

《第３実施形態》
図１０に、第３実施形態に係る音叉型振動子に用いた音叉型振動片４０の構成を示す。なお、以下の説明において、前、後、左、右、上、下とは、この図１０に示してある方向のことである。

図１０に示してあるように、第３実施形態に係る音叉型振動子に用いた音叉型振動片４０は、基部４１と、基部４１から平行に延出した２本の振動腕４２₁、４２₂とを有している。また、音叉型振動片４０は、基部４１から右方向に延出した後に前方向に延出した（曲がった）形状の第１固定腕４３₁、基部４１から左方向に延出した後に前方向に延出した形状の第２固定腕４３₂も有している。

音叉型振動片４０が有する各振動腕４２（４２₁、４２₂）は、基部４１から前方に向かって延出した後、上方に曲がってから後方に向かって延出したＵ字（コの字）形状を有している。また、各振動腕４２の外周側の３面（図１０における最上面と最下面とそれらを繋ぐ面）には、溝（図１０には、一部の溝のみを図示してある）が形成されている。なお、この音叉型振動片４０は、例えば、各振動腕４２の幅（左右方向の長さ）が８０μｍ、各振動腕４２の溝の幅及び深さが４０μｍ、２本の振動腕４２間の間隔が５０〜１００μｍとなるように製造されるものである。

各振動腕４２の各面には、２種の励振電極４５₁、４５₂が設けられている。なお、図１０及び以下で説明に用いる図１１Ｅ等において、励振電極４５₁と励振電極４５₂とに異なる模様を付してあるのは、各励振電極４５の構成材料が異なることを示すためではなく、各励振電極４５の配置（繋がり方）をわかりやすくするためである。

音叉型振動片４０の第１固定腕４３₁の下面の先端部分には、励振電極４５₁と電気的に接続された第１端子４６₁が設けられている。また、音叉型振動片４０の第２固定腕４３₂の下面の先端部分には、励振電極４５₂と電気的に接続された第２端子４６₂が設けられている。

音叉型振動片４０は、以上、説明した構成を有するものとなっている。そして、第３実施形態に係る音叉型振動子は、この音叉型振動片４０を、パッケージ内に、音叉型振動片４０の前後方向をパッケージの長さ方向と一致させた姿勢で収容したものとなっている。

要するに、第４実施形態に係る音叉型振動子に採用されている音叉型振動片４０は、各振動腕４２を長くするために、各振動腕４２を折り曲げた（各振動腕４２の形状をＵ字状にした）ものとなっている。

そして、振動腕４２が長い方が、ＣＩ値が小さくなる。従って、この音叉型振動片４０を用いておけば、例えば、振動腕４２の長さがおよそ４．０ｍｍ（従来の倍）であるが故に、その分、ＣＩ値が小さい（発振安定度が高い）３２１５サイズの音叉型振動片を実現できることになる。また、振動腕４２の長さがおよそ３．０ｍｍであるが故に、その分、ＣＩ値が小さい２０１２サイズの音叉型振動片を実現できることにもなる。

また、音叉型振動片４０は、振動腕４２の長さを従来の音叉型振動片（図１、図２）と同じ長さにした場合、前後方向の長さが従来の音叉型振動片のおよそ半分となるものとなっている。

従って、この実施形態に係る音叉型振動子に採用されている構成は、従来よりも小型の音叉型振動子を製造できるものとなっていることにもなる。

上記したように、音叉型振動片４０の形状は、通常の音叉型振動片よりも複雑なものとなっている。そのため、ここで、図１１Ａ〜図１１Ｇを用いて、音叉型振動片４０の製造手順例を簡単に説明しておくことにする。

音叉型振動片４０の製造時には、まず、製造する音叉型振動片４０と各方向のサイズがほぼ同サイズの水晶片（図１１Ａ）を用意する。そして、その水晶片を上方（又は下方）からエッチングすることにより、図１１Ｂに示した形状の部材を得る。次いで、当該部材の左右の部分を加工（研磨等）することにより、第１固定腕４３₁及び第２固定腕４３₂を形成する（図１１Ｃ）。

その後、固定腕４３を形成した部材の中央部分を上方からエッチングすることにより、図１１Ｄに示した形状の部材を得る。そして、当該部材を側面方向（左右方向）からエッチングすることにより、溝が形成されていない振動腕４２₁、４２₂を形成する（図１１Ｅ）。

次いで、図１１Ｅに示した部材の各面に、スパッタリング等により電極（励振電極４５の一部）を形成（図１１Ｆ）してから、エッチングにより各振動腕４２の外周側の３面に溝を形成する（図１１Ｇ）。

そして、形成した溝内や各固定腕４３の下面の先端部分に電極（励振電極４５の一部、第１端子４６₁、第２端子４６₂）を形成することにより、音叉型振動片４０（図１０）を製造する。

《第４実施形態》
図１２に、第４実施形態に係る音叉型振動子に用いた音叉型振動片５０の構成を示す。なお、この図１２も、図１０等と同様に、各励振電極５５の配置をわかりやすくするために、励振電極５５₁と励振電極５５₂とに異なる模様を付したものとなっている。

図１２に示してあるように、第４実施形態に係る音叉型振動子に用いた音叉型振動片５０は、基部５１と、基部５１から平行に延出した２本の振動腕５２₁、５２₂とを有している。また、音叉型振動片５０は、２本の振動腕５２（５２₁、５２₂）を挟むように基部５１から斜めに延出した第１固定腕５３₁及び第２固定腕５３₂も有している。

各振動腕５２の外周側の３面（図１１における最上面と最下面とそれらを繋ぐ面）には、溝（図１１には、一部の溝のみを図示してある）が形成されており、各振動腕５２の各面には、２種の励振電極５５₁、５５₂が設けられている。

音叉型振動片５０の第１固定腕５３₁の下面の先端部分には、励振電極５５₁と電気的に接続された第１端子５６₁が設けられている。第２固定腕５３₂の下面の先端部分には、励振電極５５₂と電気的に接続された第２端子５６₂が設けられている。

そして、本実施形態に係る音叉型振動子は、この音叉型振動片５０を、第１実施形態に係る音叉型振動子１１のパッケージ６０（図４）と同様の構成を有するパッケージ内に、音叉型振動片２０と同様の収容・固定法で収容・固定したものとなっている。

以上の説明から明らかなように、この第４実施形態に係る音叉型振動子は、第１実施形態に係る音叉型振動子２０が有する作用効果と、第３実施形態に係る音叉型振動子が有する作用効果とを合わせ持つものとなっている。

従って、本実施形態に係る音叉型振動子の構成を採用しておけば、従来と同程度のサイズの、発振安定度が極めて高い音叉型振動子、従来よりもかなり小さなサイズの、従来の同程度の発振安定度を有する音叉型振動子等を実現できることになる。

《変形形態》
上記した各実施形態に係る音叉型振動子に対しては、各種の変形を行うことが出来る。例えば、第１、第２、第４実施形態に係る音叉型振動子を、第１、第２固定腕の長さや基部からの突出角度（振動腕との間の角度）が異なっている音叉型振動片を備えたものに変形することが出来る。ただし、外力が加わった際の振動量を低減できるようにするために、『音叉型振動片の重心を通り振動腕の延出方向と直交する平面が、第１固定腕の先端部分及び第２固定腕の先端部分を横切る』ようにしておくことが望ましい。なお、そのような条件を満たす音叉型振動子としては、音叉型振動片２０の第１固定腕２１₁、第２固定腕２１₂を、それぞれ、図４における右上隅、左上隅まで延ばしたものを例示できる。

第１、第２、第４実施形態に係る音叉型振動子を、固定腕の先端部分に第１、第２端子が設けられていない音叉型振動片を備えたもの（音叉型振動片の固定は固定腕の先端部分で行われるが、電気的な接続は他の箇所で行われるもの）に変形することも出来る。また、音叉型振動片の構成材料が水晶ではなくても良いことなどは、当然のことである。

１１、１２音叉型振動子
２０、３０、４０、５０音叉型振動片
２１、４１、５１基部
２２₁、２２₂、４２₁、４２₂、５２₁、５２₂ 振動腕
２３₁、４３₁、５３₁ 第１固定腕
２３₂、４３₂、５３₂ 第２固定腕
２５₁、２５₂、４５₁、４５₂、５５₁、５５₂ 励振電極
２６₁、４６₁、５６₁ 第１端子
２６₂、４６₂、５６₂ 第２端子
６０パッケージ
６１箱状部材
６２内部空間
６３₁ 第１実装用端子
６３₂ 第２実装用端子
６４₁ 第１搭載端子
６４₂ 第２搭載端子
６８導電性接着剤
７１、７２平面

Claims

矩形柱状の内部空間を有するパッケージと、
基部、前記基部から平行に延出した２本の振動腕、及び、前記２本の振動腕をそれらの間に挟むように前記基部から斜めに延出した第１固定腕及び第２固定腕を有し、前記基部から前記２本の振動腕の延出方向の先端までの長さが前記内部空間の底面の各辺よりも長い音叉型振動片と、
を備え、
前記音叉型振動片が、前記パッケージの前記内部空間内に、前記延出方向を前記内部空間の前記底面の対角線方向に沿わせた形で収容され、
前記音叉型振動片の前記第１固定腕の先端部分と前記第２固定腕の先端部分とが前記内部空間の前記底面に対して固定されている
ことを特徴とする音叉型振動子。
前記音叉型振動片は、
前記２本の振動腕に設けられた第１励振電極及び第２励振電極と、
前記第１固定腕の先端部分の下面に設けられた、前記第１励振電極と電気的に接続された第１端子と、
前記第２固定腕の先端部分の下面に設けられた、前記第２励振電極と電気的に接続された第２端子と、
を有し、
前記パッケージは、
前記パッケージの外面に設けられた第１実装用端子及び第２実装用端子と、
前記底面の、前記音叉型振動片を前記内部空間内に収容した場合に前記第１端子と向かい合う部分に設けられた、前記第１実装用端子と電気的に接続された第１搭載端子と、
前記底面の、前記音叉型振動片を前記内部空間内に収容した場合に前記第２端子と向かい合う部分に設けられた、前記第２実装用端子と電気的に接続された第２搭載端子と、
を有し、
前記第１固定腕の先端部分の下面、前記第２固定腕の先端部分の下面が、導電性接着剤により、それぞれ、前記パッケージの前記第１搭載端子、前記第２搭載端子に固定されている
ことを特徴とする請求項１に記載の音叉型振動子。
前記音叉型振動片が、
前記音叉型振動片の重心を通り前記延出方向と直交する平面が、前記第１固定腕の前記先端部分及び前記第２固定腕の前記先端部分を横切る形状を有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の音叉型振動子。
前記音叉型振動片が、
前記２本の振動腕間の中心に位置する平面に関して面対称な形状を有する
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の音叉型振動子。
前記音叉型振動片の各振動腕の１つの面に溝が形成されており、
前記音叉型振動片の各振動腕の溝の内面に励振用の電極が設けられている
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の音叉型振動子。
パッケージと、
前記パッケージ内に収容された音叉型振動片であって、基部、前記基部から平行に延出した２本の振動腕、及び、前記２本の振動腕をそれらの間に挟むように前記基部から延出した２本の固定腕を有する音叉型振動片と、
を備え、
前記音叉型振動片の各振動腕が、前記基部から特定方向に延出した後、前記音叉型振動片の前記パッケージへの搭載面から離れる方向に曲がってから前記特定方向とは逆方向に延びるＵ字形状を有する
ことを特徴とする音叉型振動子。
前記音叉型振動片は、各固定腕が前記基部から斜めに延出した形状であって、前記２本の振動腕の延出方向の長さが前記パッケージの内部空間の底面の各辺よりも長い形状を有し、
前記音叉型振動片が、前記パッケージの前記内部空間内に、前記延出方向を前記内部空間の前記底面の対角線方向に沿わせた形で収容され、
前記音叉型振動片の各固定腕の先端部分が前記内部空間の前記底面に対して固定されている
ことを特徴とする請求項６に記載の音叉型振動子。