JPWO2012098758A1 - 検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながら、金属薄膜層202表面における被検出物質の特性を検出するためには、光源204を含む光学系を駆動して、入射光210Aが金属薄膜層202に導入される角度θを変更し、その反射光210Bを検出器206にて適切にモニターする必要があるため、光学系の配置が複雑となり、検出装置が大型化するという問題がある。
しかしながら、表面プラズモン共鳴を利用するSPRセンサーでは、測定の安定性と感度に課題を有し、より安定性が高く、高感度の検出装置の提供が求められているのが現状である。
しかしながら、前記SPRセンサーと前記光導波モードセンサーとは、光学的なセットアップが似ているものの、SPR励起条件と光導波モード励起条件が全く異なるため、前記SPRセンサーにおけるSPR励起条件と、前記光導波モードセンサーにおける光導波モード励起条件との差異を補完する必要がある。
<1> シリカガラス基板上にシリコン層と酸化シリコン層とがこの順で配される検出板と、前記検出板の前記シリカガラス基板側に光学的に密着される光学プリズムと、前記光学プリズムを介して前記検出板に光を照射し、前記光学プリズムに対して光の入射角が固定されて配される光照射手段と、前記検出板から反射される反射光の強度を検出する光検出手段とを有し、前記反射光の特性変化を検出することにより、前記検出板の前記酸化シリコン層の表面近傍における誘電率の変化を検出する検出装置であって、前記光学プリズムは、前記光照射手段から照射される光が入射される入射面と、前記検出板に密着される密着面とのなす角の角度が43°以下であることを特徴とする検出装置。
<2> 光照射手段が、密着面の面内方向に対して平行に光を照射する前記<1>に記載の検出装置。
<3> シリコン層が、単結晶シリコンにより形成される前記<1>及び<2>のいずれかに記載の検出装置。
<4> シリコン層と酸化シリコン層との界面における界面粗さが、RMS換算で0.5nm以下である前記<1>から<3>のいずれかに記載の検出装置。
<5> 光照射手段が、光源と、前記光源から照射される光をコリメート光とするコリメータと、前記コリメート光を偏光してs偏光とする偏光板とを有し、光学プリズムを介して前記s偏光を検出板に照射する前記<1>から<4>のいずれかに記載の検出装置。
<6> 光検出手段が、少なくとも反射光を分光して検出する分光器を有する前記<1>から<5>のいずれかに記載の検出装置。
<7> 光学プリズムが、密着面に対して入射面と同一角度をなす出射面を有する前記<1>から<6>のいずれかに記載の検出装置。
<8> 光学プリズムが、シリカガラス基板と同じ屈折率のシリカガラスで形成される前記<1>から<7>のいずれかに記載の検出装置。
<9> 光学プリズムと検出板とが一体的に形成される前記<1>から<8>のいずれかに記載の検出装置。
<10> 酸化シリコン層表面近傍における、物質の吸着、離脱、接近、及び変質のいずれかの状態を誘電率の変化として検出する前記<1>から<9>のいずれかに記載の検出装置。
本発明の検出装置は、検出板と、光学プリズムと、光照射手段と、光検出手段とを有する。
前記検出板は、シリカガラス基板上にシリコン層と酸化シリコン層とがこの順で配されてなる。
前記シリコン層の形成材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、単結晶シリコン、アモルファスシリコン、ポリシリコンなど、シリコンを主たる構成物質とした材料が挙げられるが、中でも、光学的及び構造的均一性の観点から、単結晶シリコンが好ましい。
前記酸化シリコン層としては、光導波路層として機能するものであれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、熱酸化シリコン(SiO2)、シリカガラスなどシリコンの酸化物が挙げられる。
前記シリコン層の厚さとしては、光導波モードを励起することができれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、近紫外域から近赤外域の間の波長領域で光導波モードを励起することができる観点から、10nm〜1μmであることが好ましく、更に製造が容易である観点から、その上限としては500nm以下がより好ましい。
前記酸化シリコン層の厚さとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、光導波路として機能させ、また、製造が容易である観点から、200nm〜800nmが好ましい。
また、前記酸化シリコン層の表面にナノ孔を形成することによって、検出感度を向上させることができる。
前記光学プリズムは、前記検出板の前記シリカガラス基板側に光学的に密着されてなる。
前記光学プリズムの形成材料としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記検出板との界面における光の反射や屈折を抑える観点から、前記シリカガラス基板と同じ屈折率のシリカガラスで形成されることが好ましい。
したがって、前記光学プリズムの形状としては、前記角度を有する限り特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、図5に示すような任意の形状とすることができる。また、前記角の先端としては、研磨の関係上、丸まっていてもよい。
前記光学プリズムの好ましい態様としては、図6に示すような断面視台形のプリズム及び二等辺三角形のプリズムが挙げられる。これらの光学プリズムにおいては、前記検出板との密着面に対し、前記光照射手段から照射される光が入射される入射面と同一角度(図6における角度α)をなす出射面を有するので、前記光学プリズムを中心として、光照射手段と光検出手段とを対称的に光学配置することができ、検出装置をより小型でかつ簡便な配置設計にすることができる。
また、前記検出板と前記光学プリズムとは、より簡便に光学的な連続性が得られる観点から、一体的に形成されていてもよい。
この場合、前記検出板のシリカガラス基板部分を研磨して、プリズム形状にして用いても同様の効果を得ることができる。
前記光照射手段は、前記光学プリズムを介して前記検出板に光を照射し、前記光学プリズムに対して光の入射角が固定されて配される。
前記光源としては、波長分解型の測定を行う観点から、白色ランプやLEDやLDなどが好ましい。また、前記s偏光板に代えてp偏光板を用いることができるが、前記s偏光板を用いる方が高い感度を得ることができる。
なお、前記光照射手段のこのほかの部材として、前記光源から照射される光をコリメータに導くための光ファイバーなどの光学部材を配することができる。
前記光検出手段は、前記検出板から反射される反射光の強度を検出する機能を有する。本発明の検出装置は、前記反射光の特性変化を検出することにより、前記検出板の前記酸化シリコン層の表面近傍における誘電率の変化を検出する。
前記光検出器としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、CCDアレイ、フォトダイオードアレイ、フォトマルチプライアなど、前記光学プリズムから出射される反射光の強度を測定する装置が挙げられ、前記分光器から取得される波長ごとの反射光強度から特定波長帯域における反射光の強度または反射スペクトルを検出可能とする。
ここで、光学プリズム5は、偏光板4を通じて光が入射される入射面と、検出板6に密着される密着面とのなす角の角度(図中のα)が43°以下に設定される。このように角度を設定することで、従来のSPRセンサーにおけるSPR励起条件と、光導波モードセンサーにおける光導波モード励起条件との差異を補完して、小型で高感度の検出装置を実現することができる。
また、検出装置100は、プリズム105の光入射面Aを介して検出板106に照射された光を検出板で反射させプリズム105の光出射面Bから出射させた後、集光レンズ107及び光ファイバ102Bを介して、CCDアレイ付きの分光器108に導き、光検出器109によりスペクトルが観測されるように作製した。
まず、検出板106を弱アルカリ水溶液に10時間浸漬後乾燥し、次いで0.2質量%の3−アミノプロピルトリエトキシシランのエタノール溶液に10時間浸漬し、酸化シリコン層106cの表面に反応活性なアミノ基を修飾した。
エタノールでリンスし乾燥させた後、0.1mMのスルホスクシンイミジル−N−(D−ビオチニル)−6−アミノヘキサネート(スクシンイミド基含有化合物)を含む1/15Mリン酸緩衝液に浸した。そのまま5時間放置し、アミノ基とスクシンイミド基含有化合物のスクシンイミド基とを反応させ、酸化シリコン層106cの表面にビオチニル基を導入した。こうすることによって、ビオチニル基へのストレプトアビジンの特異吸着を観測できるようになる。
その後、1/15Mリン酸緩衝液を取り除き、次に液セル内にストレプトアビジンを0.5μM含有する1/15Mリン酸緩衝液を注入し、再度反射スペクトルを観測した。この観測結果を図10中の破線で示す。
該図10から確認されるように、ストレプトアビジンを含有する溶液の注入によって、ビオチン110とストレプトアビジン111の吸着反応が生じて、反射スペクトル中に見られるディップの位置が長波長側へシフトする。
図11、図12に示す通り、計算で用いた条件では、検出板106を構成するシリコン層の厚さや、励起波長帯域が異なるにも拘わらず、いずれの場合も、プリズムの角αが小さいほうが、シフト量が大きい、つまり感度が高いことが分かる。
ただし、プリズムの角αの角度が30°より小さくなると、入射光が検出板106の表面で全反射条件を満たさなくなる、つまり、検出板106表面への光の入射角が臨界角より小さくなってしまう場合がある。検出板106に用いられている各材料の屈折率に波長依存性があるため、ここで一意的に、検出板表面への光の入射角が臨界角より小さくなってしまうようなプリズムの角αの角度を定められないが、光の入射角が臨界角より小さくなると、光導波モードは励起されないことに留意する必要がある。
2A、2B、102A、102B、302A、302B 光ファイバ
3、103、304 コリメータレンズ
4、104、205、305、404 偏光板
5、105、203、303、402 光学プリズム
6、106、401 検出板
6a、106a シリカガラス基板
6b、16b、106b シリコン層
6c、16c、106c 酸化シリコン層
7、107、308 集光レンズ
8、108、309A 分光器
9、109、206、309、405 光検出器
16a 光学プリズム状のシリカガラス基板
110 ビオチン
111 ストレプトアビジン
50、100 検出装置
200、300 SPRセンサー
400 光導波モードセンサー
201、306 ガラス基板
202、307 金属薄膜層
210A、310A、410A 入射光
210B、310B、410B 出射光
401a 透明基板
401b 反射膜層
401c 透明光導波路層
Claims (10)
- シリカガラス基板上にシリコン層と酸化シリコン層とがこの順で配される検出板と、前記検出板の前記シリカガラス基板側に光学的に密着される光学プリズムと、前記光学プリズムを介して前記検出板に光を照射し、前記光学プリズムに対して光の入射角が固定されて配される光照射手段と、前記検出板から反射される反射光の強度を検出する光検出手段とを有し、前記反射光の特性変化を検出することにより、前記検出板の前記酸化シリコン層の表面近傍における誘電率の変化を検出する検出装置であって、
前記光学プリズムは、前記光照射手段から照射される光が入射される入射面と、前記検出板に密着される密着面とのなす角の角度が43°以下であることを特徴とする検出装置。 - 光照射手段が、密着面の面内方向に対して平行に光を照射する請求項1に記載の検出装置。
- シリコン層が、単結晶シリコンにより形成される請求項1及び2のいずれかに記載の検出装置。
- シリコン層と酸化シリコン層との界面における界面粗さが、RMS換算で0.5nm以下である請求項1から3のいずれかに記載の検出装置。
- 光照射手段が、光源と、前記光源から照射される光をコリメート光とするコリメータと、前記コリメート光を偏光してs偏光とする偏光板とを有し、光学プリズムを介して前記s偏光を検出板に照射する請求項1から4のいずれかに記載の検出装置。
- 光検出手段が、少なくとも反射光を分光して検出する分光器を有する請求項1から5のいずれかに記載の検出装置。
- 光学プリズムが、密着面に対して入射面と同一角度をなす出射面を有する請求項1から6のいずれかに記載の検出装置。
- 光学プリズムが、シリカガラス基板と同じ屈折率のシリカガラスで形成される請求項1から7のいずれかに記載の検出装置。
- 光学プリズムと検出板とが一体的に形成される請求項1から8のいずれかに記載の検出装置。
- 酸化シリコン層表面近傍における、物質の吸着、離脱、接近、及び変質のいずれかの状態を誘電率の変化として検出する請求項1から9のいずれかに記載の検出装置。
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