JP6117506B2 - テラヘルツ波測定装置及び方法 - Google Patents
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Description
まず、本実施の形態に係るテラヘルツ波測定装置の概要について説明する。
図1に示すように、第1の実施の形態に係るテラヘルツ波測定装置10は、試料50が配置される基板12、テラヘルツ波を透過する透過部(開口)が周期的に配列された導電性周期構造体14、テラヘルツ波を導電性周期構造体14との界面で全反射させるための導波体16、及び基板12と導電性周期構造体14と導波体16とを密着固定させるためのトルクレンチ18を含んで構成されている。
次に、第2の実施の形態に係るテラヘルツ波測定装置について説明する。なお、第2の実施の形態のテラヘルツ波測定装置において、第1の実施の形態に係るテラヘルツ波測定装置10と同一の部分については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
第1の実施の形態に係るテラヘルツ波測定装置10に関する実施例1について説明する。
第2の実施の形態に係るテラヘルツ波測定装置210に関する実施例2について説明する。
12、12b、12c 基板
12a マイクロTAS
14 導電性周期構造体
16 導波体
18 トルクレンチ
Claims (8)
- テラヘルツ波を透過可能で、かつ試料が配置される基板と、
少なくとも表面が導電性の材料で構成され、前記試料が配置される位置と離間して配置され、かつテラヘルツ波を透過する複数の透過部が所定周期で配列された導電性周期構造体と、
入射されたテラヘルツ波を全反射する全反射面を前記導電性周期構造体との界面に備え、入射されたテラヘルツ波を前記全反射面方向に導波する導波体と、を含み、
前記基板と前記導波体との間に前記導電性周期構造体を狭持し、前記基板と前記導電性周期構造体、及び前記導電性周期構造体と前記導波体との各々を密着させ、
前記全反射面での全反射により前記導波体から射出されたテラへルツ波が、所定の周波数帯域で特徴的な吸収を示すように、前記試料が配置される位置と前記導電性周期構造体との距離、及び前記基板の物性の少なくとも一つの大きさを定めた
テラヘルツ波測定装置。 - 前記基板の前記試料が配置される面と反対の面側に、前記導電性周期構造体を配置した請求項1記載のテラヘルツ波測定装置。
- 前記基板と前記導電性周期構造体とを密着して配置した請求項1または請求項2記載のテラヘルツ波測定装置。
- 前記基板を、前記試料が配置される流路を有するマイクロTASとして構成した請求項1〜請求項3のいずれか1項記載のテラヘルツ波測定装置。
- 前記導電性周期構造体をワイヤーグリッド構造またはメタルメッシュ構造とした請求項1〜請求項4のいずれか1項記載のテラヘルツ波測定装置。
- 前記導波体をプリズムとした請求項1〜請求項5のいずれか1項記載のテラヘルツ波測定装置。
- 前記基板をガラスまたはプラスチックとした請求項1〜請求項6のいずれか1項記載のテラヘルツ波測定装置。
- 請求項1〜請求項7のいずれか1項記載のテラヘルツ波測定装置を用いて、測定対象物質と特異的に結合する結合体を含む基準試料に対するテラヘルツ波の振幅スペクトル及び位相スペクトルの少なくとも一方である基準スペクトルを測定し、
前記テラヘルツ波測定装置を用いて、前記基準試料に前記測定対象物質を加えた対象試料、または測定対象物質の含有が未知の対象試料に対するテラヘルツ波の振幅スペクトル及び位相スペクトルの少なくとも一方である対象スペクトルを測定し、
前記基準スペクトル及び前記対象スペクトルの各々における特徴的な吸収を示す周波数帯域、及び該周波数帯域における信号強度の少なくとも一方に基づいて、前記測定対象物質の検出、同定、または特性の解析を行う
テラヘルツ波測定方法。
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WO2011027642A1 (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-10 | 株式会社村田製作所 | 被測定物の特性を測定する方法、および平板状の周期的構造体 |
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GB201011459D0 (en) * | 2010-07-07 | 2010-08-25 | Melys Diagnostics Ltd | Optical element, assembly and method for determining analyte concentration |
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