JPWO2012056774A1 - 透明導電性フィルム、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
透明導電性フィルム、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2012056774A1 JPWO2012056774A1 JP2012540711A JP2012540711A JPWO2012056774A1 JP WO2012056774 A1 JPWO2012056774 A1 JP WO2012056774A1 JP 2012540711 A JP2012540711 A JP 2012540711A JP 2012540711 A JP2012540711 A JP 2012540711A JP WO2012056774 A1 JPWO2012056774 A1 JP WO2012056774A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- conductive
- electronic device
- conductive film
- transparent conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 39
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 63
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 63
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 56
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 53
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims abstract description 41
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000006259 organic additive Substances 0.000 claims abstract description 32
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims abstract description 21
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 claims abstract description 11
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 24
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 21
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 21
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims description 12
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims description 12
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 9
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 8
- 239000000010 aprotic solvent Substances 0.000 claims description 8
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims description 8
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 8
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 8
- 150000004040 pyrrolidinones Chemical class 0.000 claims description 6
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 149
- 239000010408 film Substances 0.000 description 81
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 40
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 20
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 15
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 13
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 11
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 8
- 239000002585 base Substances 0.000 description 8
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 8
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 7
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 7
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920000144 PEDOT:PSS Polymers 0.000 description 5
- MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N [60]pcbm Chemical compound C123C(C4=C5C6=C7C8=C9C%10=C%11C%12=C%13C%14=C%15C%16=C%17C%18=C(C=%19C=%20C%18=C%18C%16=C%13C%13=C%11C9=C9C7=C(C=%20C9=C%13%18)C(C7=%19)=C96)C6=C%11C%17=C%15C%13=C%15C%14=C%12C%12=C%10C%10=C85)=C9C7=C6C2=C%11C%13=C2C%15=C%12C%10=C4C23C1(CCCC(=O)OC)C1=CC=CC=C1 MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 5
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 229960002796 polystyrene sulfonate Drugs 0.000 description 5
- 239000011970 polystyrene sulfonate Substances 0.000 description 5
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 4
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 4
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 4
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 1H-pyrrole Natural products C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical group NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N N-methylaniline Chemical compound CNC1=CC=CC=C1 AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 235000019437 butane-1,3-diol Nutrition 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002605 large molecules Chemical class 0.000 description 3
- 229940085991 phosphate ion Drugs 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- OXHNLMTVIGZXSG-UHFFFAOYSA-N 1-Methylpyrrole Chemical compound CN1C=CC=C1 OXHNLMTVIGZXSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 2-Methyl-2-[(1-oxo-2-propenyl)amino]-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C XHZPRMZZQOIPDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MLPVBIWIRCKMJV-UHFFFAOYSA-N 2-ethylaniline Chemical compound CCC1=CC=CC=C1N MLPVBIWIRCKMJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZVFQEOPUXVPSLB-UHFFFAOYSA-N 3-(4-tert-butylphenyl)-4-phenyl-5-(4-phenylphenyl)-1,2,4-triazole Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C(N1C=2C=CC=CC=2)=NN=C1C1=CC=C(C=2C=CC=CC=2)C=C1 ZVFQEOPUXVPSLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JJYPMNFTHPTTDI-UHFFFAOYSA-N 3-methylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N)=C1 JJYPMNFTHPTTDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920010524 Syndiotactic polystyrene Polymers 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 229920000109 alkoxy-substituted poly(p-phenylene vinylene) Polymers 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 2
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- CMDXMIHZUJPRHG-UHFFFAOYSA-N ethenyl decanoate Chemical compound CCCCCCCCCC(=O)OC=C CMDXMIHZUJPRHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical class [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZQXSMRAEXCEDJD-UHFFFAOYSA-N n-ethenylformamide Chemical compound C=CNC=O ZQXSMRAEXCEDJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N naphthalenetetracarboxylic dianhydride Chemical compound C1=CC(C(=O)OC2=O)=C3C2=CC=C2C(=O)OC(=O)C1=C32 YTVNOVQHSGMMOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N pigment red 224 Chemical compound C=12C3=CC=C(C(OC4=O)=O)C2=C4C=CC=1C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C4=CC=C3C1=C42 CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 2
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- HDTRYLNUVZCQOY-UHFFFAOYSA-N α-D-glucopyranosyl-α-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OC1C(O)C(O)C(O)C(CO)O1 HDTRYLNUVZCQOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HOVAGTYPODGVJG-UVSYOFPXSA-N (3s,5r)-2-(hydroxymethyl)-6-methoxyoxane-3,4,5-triol Chemical compound COC1OC(CO)[C@@H](O)C(O)[C@H]1O HOVAGTYPODGVJG-UVSYOFPXSA-N 0.000 description 1
- XLYMOEINVGRTEX-ONEGZZNKSA-N (e)-4-ethoxy-4-oxobut-2-enoic acid Chemical compound CCOC(=O)\C=C\C(O)=O XLYMOEINVGRTEX-ONEGZZNKSA-N 0.000 description 1
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940015975 1,2-hexanediol Drugs 0.000 description 1
- 229940058015 1,3-butylene glycol Drugs 0.000 description 1
- ACDNBLAZDSHCDN-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethylhexyl)pyrrolidin-2-one Chemical compound CCCCC(CC)CN1CCCC1=O ACDNBLAZDSHCDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWUPRIKMZACLJO-UHFFFAOYSA-N 1-(2-hydroxypropyl)pyrrolidin-2-one Chemical compound CC(O)CN1CCCC1=O BWUPRIKMZACLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QKGBRANQIWBMED-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methoxyethyl)pyrrolidin-2-one Chemical compound COCCN1CCCC1=O QKGBRANQIWBMED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRKJCXAFYOSNTD-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methoxypropyl)pyrrolidin-2-one Chemical compound COC(C)CN1CCCC1=O GRKJCXAFYOSNTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKZJJXFFNOSPHJ-UHFFFAOYSA-N 1-(2-phenylethyl)pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1CCC1=CC=CC=C1 GKZJJXFFNOSPHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 1-Ethyl-2-pyrrolidinone Chemical compound CCN1CCCC1=O ZFPGARUNNKGOBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULHFFAFDSSHFDA-UHFFFAOYSA-N 1-amino-2-ethoxybenzene Chemical compound CCOC1=CC=CC=C1N ULHFFAFDSSHFDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVUQCTGSDJLWCE-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1CC1=CC=CC=C1 LVUQCTGSDJLWCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BNXZHVUCNYMNOS-UHFFFAOYSA-N 1-butylpyrrolidin-2-one Chemical compound CCCCN1CCCC1=O BNXZHVUCNYMNOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZCMOJQQLBXBKI-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxy-2-methylpropane Chemical compound CC(C)COC=C OZCMOJQQLBXBKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAYAKLSFVAPMEL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxydodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC=C LAYAKLSFVAPMEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxypropane Chemical compound CCCOC=C OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWTNDWQIWRFKQC-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypyrrole Chemical compound CCON1C=CC=C1 IWTNDWQIWRFKQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPUAYOJTHRDUTK-UHFFFAOYSA-N 1-ethylpyrrole Chemical compound CCN1C=CC=C1 VPUAYOJTHRDUTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKYCNPJFMLCRMY-UHFFFAOYSA-N 1-heptylpyrrolidin-2-one Chemical compound CCCCCCCN1CCCC1=O OKYCNPJFMLCRMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAWUFGWWCWMUNU-UHFFFAOYSA-N 1-hexylpyrrolidin-2-one Chemical compound CCCCCCN1CCCC1=O BAWUFGWWCWMUNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJRJVHIITWLOHD-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypyrrole Chemical compound CON1C=CC=C1 OJRJVHIITWLOHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001637 1-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C(*)=C([H])C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 1
- NNFAFRAQHBRBCQ-UHFFFAOYSA-N 1-pentylpyrrolidin-2-one Chemical compound CCCCCN1CCCC1=O NNFAFRAQHBRBCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMVIVASFFKKFQK-UHFFFAOYSA-N 1-phenylpyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1C1=CC=CC=C1 JMVIVASFFKKFQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHELJWBGTIKZQW-UHFFFAOYSA-N 1-propan-2-ylpyrrolidin-2-one Chemical compound CC(C)N1CCCC1=O GHELJWBGTIKZQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCALJVULAGICIX-UHFFFAOYSA-N 1-propylpyrrolidin-2-one Chemical compound CCCN1CCCC1=O DCALJVULAGICIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWEGMIWEEQEYGQ-UHFFFAOYSA-N 100676-05-9 Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC1C(O)C(O)C(O)C(OC2C(OC(O)C(O)C2O)CO)O1 OWEGMIWEEQEYGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMCHBSMFKQYNKA-UHFFFAOYSA-N 2-aminobenzenesulfonic acid Chemical compound NC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O ZMCHBSMFKQYNKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUZRCMMVHXRSGT-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropane-1-sulfonic acid;prop-2-enamide Chemical compound NC(=O)C=C.CC(C)CS(O)(=O)=O AUZRCMMVHXRSGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWCXRVFSIAWFMA-UHFFFAOYSA-N 2-morpholin-4-ium-2-ylacetate Chemical compound OC(=O)CC1CNCCO1 TWCXRVFSIAWFMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- QENGPZGAWFQWCZ-UHFFFAOYSA-N 3-Methylthiophene Chemical compound CC=1C=CSC=1 QENGPZGAWFQWCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEAYXGHOGPUYPB-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxy-1h-pyrrole Chemical compound CCOC=1C=CNC=1 KEAYXGHOGPUYPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WEZAHYDFZNTGKE-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxyaniline Chemical compound CCOC1=CC=CC(N)=C1 WEZAHYDFZNTGKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RDEGOEYUQCUBPE-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxythiophene Chemical compound CCOC=1C=CSC=1 RDEGOEYUQCUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RLLBWIDEGAIFPI-UHFFFAOYSA-N 3-ethyl-1h-pyrrole Chemical compound CCC=1C=CNC=1 RLLBWIDEGAIFPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMKPQMFZCBTTAT-UHFFFAOYSA-N 3-ethylaniline Chemical compound CCC1=CC=CC(N)=C1 AMKPQMFZCBTTAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVISAADMACUNND-UHFFFAOYSA-N 3-ethylthiophene Chemical compound [CH2]CC=1C=CSC=1 PVISAADMACUNND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTODBDQJLMYYKQ-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-1h-pyrrole Chemical compound COC=1C=CNC=1 OTODBDQJLMYYKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFSKGCVUDQRZSD-UHFFFAOYSA-N 3-methoxythiophene Chemical compound COC=1C=CSC=1 RFSKGCVUDQRZSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPFCZYUVICHKDS-UHFFFAOYSA-N 3-methylbutane-1,3-diol Chemical compound CC(C)(O)CCO XPFCZYUVICHKDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQNMSKCVXVXEJT-UHFFFAOYSA-N 7,14,25,32-tetrazaundecacyclo[21.13.2.22,5.03,19.04,16.06,14.08,13.020,37.024,32.026,31.034,38]tetraconta-1(36),2,4,6,8,10,12,16,18,20(37),21,23(38),24,26,28,30,34,39-octadecaene-15,33-dione 7,14,25,32-tetrazaundecacyclo[21.13.2.22,5.03,19.04,16.06,14.08,13.020,37.025,33.026,31.034,38]tetraconta-1(37),2,4,6,8,10,12,16,18,20,22,26,28,30,32,34(38),35,39-octadecaene-15,24-dione Chemical compound O=c1c2ccc3c4ccc5c6nc7ccccc7n6c(=O)c6ccc(c7ccc(c8nc9ccccc9n18)c2c37)c4c56.O=c1c2ccc3c4ccc5c6c(ccc(c7ccc(c8nc9ccccc9n18)c2c37)c46)c1nc2ccccc2n1c5=O XQNMSKCVXVXEJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWEOQOXTVHGIFQ-UHFFFAOYSA-N 8-anilinonaphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C=12C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=CC=CC=1NC1=CC=CC=C1 FWEOQOXTVHGIFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001479434 Agfa Species 0.000 description 1
- OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N Allyl chloride Chemical compound ClCC=C OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-KVTDHHQDSA-N D-Mannitol Chemical compound OC[C@@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-KVTDHHQDSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N Di-Et ester-Fumaric acid Natural products CCOC(=O)C=CC(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N Diethyl maleate Chemical compound CCOC(=O)\C=C/C(=O)OCC IEPRKVQEAMIZSS-WAYWQWQTSA-N 0.000 description 1
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004386 Erythritol Substances 0.000 description 1
- UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N Erythritol Natural products OCC(O)C(O)CO UNXHWFMMPAWVPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- HETCEOQFVDFGSY-UHFFFAOYSA-N Isopropenyl acetate Chemical compound CC(=C)OC(C)=O HETCEOQFVDFGSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUBGYTABKSRVRQ-PICCSMPSSA-N Maltose Natural products O[C@@H]1[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@@H]1O[C@@H]1[C@@H](CO)OC(O)[C@H](O)[C@H]1O GUBGYTABKSRVRQ-PICCSMPSSA-N 0.000 description 1
- 229930195725 Mannitol Natural products 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000792 Monel Inorganic materials 0.000 description 1
- WPPOGHDFAVQKLN-UHFFFAOYSA-N N-Octyl-2-pyrrolidone Chemical compound CCCCCCCCN1CCCC1=O WPPOGHDFAVQKLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N N-phenyl amine Natural products NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 1
- ZMZDMBWJUHKJPS-UHFFFAOYSA-M Thiocyanate anion Chemical compound [S-]C#N ZMZDMBWJUHKJPS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDTRYLNUVZCQOY-WSWWMNSNSA-N Trehalose Natural products O[C@@H]1[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O[C@@H]1O[C@@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 HDTRYLNUVZCQOY-WSWWMNSNSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVXBFESIOXBWNM-UHFFFAOYSA-N Xylitol Natural products OCCC(O)C(O)C(O)CCO TVXBFESIOXBWNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- HDTRYLNUVZCQOY-LIZSDCNHSA-N alpha,alpha-trehalose Chemical compound O[C@@H]1[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@@H]1O[C@@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O1 HDTRYLNUVZCQOY-LIZSDCNHSA-N 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002490 anilino group Chemical group [H]N(*)C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N beta-D-glucose Chemical compound OC[C@H]1O[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-VFUOTHLCSA-N 0.000 description 1
- GUBGYTABKSRVRQ-QUYVBRFLSA-N beta-maltose Chemical compound OC[C@H]1O[C@H](O[C@H]2[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)O[C@@H]2CO)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O GUBGYTABKSRVRQ-QUYVBRFLSA-N 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N boranylidynenickel Chemical compound [Ni]#B QDWJUBJKEHXSMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001639 boron compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 229940006460 bromide ion Drugs 0.000 description 1
- BMRWNKZVCUKKSR-UHFFFAOYSA-N butane-1,2-diol Chemical compound CCC(O)CO BMRWNKZVCUKKSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWBTYPJTUOEWEK-UHFFFAOYSA-N butane-2,3-diol Chemical compound CC(O)C(C)O OWBTYPJTUOEWEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N butyl pbd Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C1=NN=C(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)O1 XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006297 carbonyl amino group Chemical group [H]N([*:2])C([*:1])=O 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000021615 conjugation Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229920001795 coordination polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000113 differential scanning calorimetry Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229940105990 diglycerin Drugs 0.000 description 1
- GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N diglycerol Chemical compound OCC(O)COCC(O)CO GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- LDCRTTXIJACKKU-ONEGZZNKSA-N dimethyl fumarate Chemical compound COC(=O)\C=C\C(=O)OC LDCRTTXIJACKKU-ONEGZZNKSA-N 0.000 description 1
- 229960004419 dimethyl fumarate Drugs 0.000 description 1
- LDCRTTXIJACKKU-ARJAWSKDSA-N dimethyl maleate Chemical compound COC(=O)\C=C/C(=O)OC LDCRTTXIJACKKU-ARJAWSKDSA-N 0.000 description 1
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940071161 dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- 238000000469 dry deposition Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N erythritol Chemical compound OC[C@H](O)[C@H](O)CO UNXHWFMMPAWVPI-ZXZARUISSA-N 0.000 description 1
- 235000019414 erythritol Nutrition 0.000 description 1
- 229940009714 erythritol Drugs 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- SYUMXPWSEWPWJC-UHFFFAOYSA-N ethene;1-ethenylpyrrolidin-2-one Chemical group C=C.C=CN1CCCC1=O SYUMXPWSEWPWJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCUBDDIKWLELPD-UHFFFAOYSA-N ethenyl 2,2-dimethylpropanoate Chemical compound CC(C)(C)C(=O)OC=C YCUBDDIKWLELPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GLVVKKSPKXTQRB-UHFFFAOYSA-N ethenyl dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)OC=C GLVVKKSPKXTQRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GFJVXXWOPWLRNU-UHFFFAOYSA-N ethenyl formate Chemical compound C=COC=O GFJVXXWOPWLRNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFSIMBWBBOJPJG-UHFFFAOYSA-N ethenyl octadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC=C AFSIMBWBBOJPJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical compound FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- XLYMOEINVGRTEX-UHFFFAOYSA-N fumaric acid monoethyl ester Natural products CCOC(=O)C=CC(O)=O XLYMOEINVGRTEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHKSXSQHXQEMOK-UHFFFAOYSA-N hexane-1,2-diol Chemical compound CCCCC(O)CO FHKSXSQHXQEMOK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000001165 hydrophobic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-M iodide Chemical compound [I-] XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940006461 iodide ion Drugs 0.000 description 1
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- NCBZRJODKRCREW-UHFFFAOYSA-N m-anisidine Chemical compound COC1=CC=CC(N)=C1 NCBZRJODKRCREW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000845 maltitol Substances 0.000 description 1
- 235000010449 maltitol Nutrition 0.000 description 1
- VQHSOMBJVWLPSR-WUJBLJFYSA-N maltitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]([C@H](O)CO)O[C@H]1O[C@H](CO)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H]1O VQHSOMBJVWLPSR-WUJBLJFYSA-N 0.000 description 1
- 229940035436 maltitol Drugs 0.000 description 1
- 239000000594 mannitol Substances 0.000 description 1
- 235000010355 mannitol Nutrition 0.000 description 1
- HEBKCHPVOIAQTA-UHFFFAOYSA-N meso ribitol Natural products OCC(O)C(O)C(O)CO HEBKCHPVOIAQTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HOVAGTYPODGVJG-UHFFFAOYSA-N methyl beta-galactoside Natural products COC1OC(CO)C(O)C(O)C1O HOVAGTYPODGVJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940074369 monoethyl fumarate Drugs 0.000 description 1
- FGGAOQTXQHKQOW-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=CC=C1 FGGAOQTXQHKQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- PZYDAVFRVJXFHS-UHFFFAOYSA-N n-cyclohexyl-2-pyrrolidone Chemical compound O=C1CCCN1C1CCCCC1 PZYDAVFRVJXFHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDZOGLJOFWFVOZ-UHFFFAOYSA-N n-propylaniline Chemical compound CCCNC1=CC=CC=C1 CDZOGLJOFWFVOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N o-anisidine Chemical compound COC1=CC=CC=C1N VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 150000007978 oxazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N oxidophosphanium Chemical class [PH3]=O MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M pent-4-enoate Chemical compound [O-]C(=O)CCC=C HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCVRQHFDJLLWFE-UHFFFAOYSA-N pentane-1,2-diol Chemical compound CCCC(O)CO WCVRQHFDJLLWFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M perchlorate Chemical compound [O-]Cl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000005041 phenanthrolines Chemical class 0.000 description 1
- CMPQUABWPXYYSH-UHFFFAOYSA-N phenyl phosphate Chemical compound OP(O)(=O)OC1=CC=CC=C1 CMPQUABWPXYYSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000552 poly[2-methoxy-5-(2'-ethyl-hexyloxy)-p-phenylenevinylene] polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 150000004033 porphyrin derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000003755 preservative agent Substances 0.000 description 1
- QYUMESOEHIJKHV-UHFFFAOYSA-M prop-2-enamide;trimethyl(propyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].NC(=O)C=C.CCC[N+](C)(C)C QYUMESOEHIJKHV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UIIIBRHUICCMAI-UHFFFAOYSA-N prop-2-ene-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC=C UIIIBRHUICCMAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000168 pyrrolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- DQJCHOQLCLEDLL-UHFFFAOYSA-N tricyclazole Chemical compound CC1=CC=CC2=C1N1C=NN=C1S2 DQJCHOQLCLEDLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N vinyl benzoate Chemical compound C=COC(=O)C1=CC=CC=C1 KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- NLVXSWCKKBEXTG-UHFFFAOYSA-N vinylsulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C=C NLVXSWCKKBEXTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
- 239000000811 xylitol Substances 0.000 description 1
- 235000010447 xylitol Nutrition 0.000 description 1
- HEBKCHPVOIAQTA-SCDXWVJYSA-N xylitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO HEBKCHPVOIAQTA-SCDXWVJYSA-N 0.000 description 1
- 229960002675 xylitol Drugs 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/80—Constructional details
- H10K30/81—Electrodes
- H10K30/82—Transparent electrodes, e.g. indium tin oxide [ITO] electrodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
- B32B7/02—Physical, chemical or physicochemical properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/042—Coating with two or more layers, where at least one layer of a composition contains a polymer binder
- C08J7/0423—Coating with two or more layers, where at least one layer of a composition contains a polymer binder with at least one layer of inorganic material and at least one layer of a composition containing a polymer binder
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/0427—Coating with only one layer of a composition containing a polymer binder
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/043—Improving the adhesiveness of the coatings per se, e.g. forming primers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/044—Forming conductive coatings; Forming coatings having anti-static properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J11/00—Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
- C09J11/08—Macromolecular additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/30—Adhesives in the form of films or foils characterised by the adhesive composition
- C09J7/38—Pressure-sensitive adhesives [PSA]
- C09J7/381—Pressure-sensitive adhesives [PSA] based on macromolecular compounds obtained by reactions involving only carbon-to-carbon unsaturated bonds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J9/00—Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
- C09J9/02—Electrically-conducting adhesives
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
- H01B5/14—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form comprising conductive layers or films on insulating-supports
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0274—Optical details, e.g. printed circuits comprising integral optical means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2323/00—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers
- C08J2323/02—Characterised by the use of homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Derivatives of such polymers not modified by chemical after treatment
- C08J2323/04—Homopolymers or copolymers of ethene
- C08J2323/06—Polyethene
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2203/00—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
- C09J2203/322—Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for the production of solar panels
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/30—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier
- C09J2301/314—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier the adhesive layer and/or the carrier being conductive
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2429/00—Presence of polyvinyl alcohol
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2433/00—Presence of (meth)acrylic polymer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2479/00—Presence of polyamine or polyimide
- C09J2479/02—Presence of polyamine or polyimide polyamine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2481/00—Presence of sulfur containing polymers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
Description
例えば、電子太陽電池に代表される有機光電変換あるいは電光変換デバイスは、通常、透明導電膜よりなる電極に材料を積層して作製される。透明導電膜としては金属薄膜、金属酸化物薄膜、導電性窒化物薄膜等の各種導電膜が検討されているが、現在は主に光透過性と導電性との両立が可能で耐久性にも優れるため金属酸化物薄膜が主流である。
中でも特に錫をドープした酸化インジウム(ITO)は、光透過性と導電性とのバランスが良く、広く使用されている(特許文献1等参照)。しかしながら、透明電極の大面積化に伴い、更なる低抵抗化が求められており、ITOでは導電性としてまだ不十分である。
一方、PET等の透明基材に金属製の微細なメッシュあるいはグリッドを形成させたシートがある(特許文献2等参照)。これらのシートは透光性および導電性がメッシュの設計(ピッチ、線幅で決まる開口率)次第で制御できるので、透明電極としての利用可能性がある。例えば、透明な基材シートの少なくとも一方の面に導電性金属メッシュ層とポリチオフェンのような導電性高分子化合物からなる透明導電性層を有する透明導電性フィルムが開示されている(特許文献3等参照)。
ところで、従来から電子デバイスは、有機素子材料からなる層を積層する場合には、真空蒸着法およびそれに類するドライプロセスあるいは塗布に代表されるウェットプロセスや、粘接着層を介したラミネートプロセスにより製造されてきた(特許文献4等参照)。
このようなラミネートプロセスにおいては、接着性を有する透明電極膜および透明導電フィルムが望まれているが、従来の透明導電性フィルムでは、透明性、接着性及び表面抵抗率のバランスが課題となっている。
そこで、導電性接着剤組成物中の導電性成分として、ポリチオフェンやその誘導体のような導電性有機高分子化合物を使用することが提案されており、より具体的には、導電性有機高分子化合物を含む粘接着層を介したラミネートプロセス(特許文献5等参照)により電子デバイスを製造することが提案されている。
しかしながら、導電性有機高分子化合物を含む粘接着層を介したラミネートプロセスは、界面の清浄性、均一性が重要な素子用途では利用が限られていた。また、粘接着層の導電性が低く、ラミネート界面でのキャリア注入効率が低下したり、界面の接着力が低かったりする等、電子デバイスの性能が低下するという問題があった。
すなわち、本発明は、下記
(1)透明基材の少なくとも一方の面に設けられた導電性金属メッシュ層の開口部に、接着性の導電層を有する透明導電性フィルムにおいて、導電層が、(A)水溶性ビニル重合体、(B)有機添加剤及び(C)導電性有機高分子化合物を含む導電性接着剤組成物からなり、
(B)有機添加剤は、水溶性多価アルコール、水溶性ピロリドン類または親水性の非プロトン性溶媒から選ばれる少なくとも一種であり、(C)導電性有機高分子化合物は、ポリアニリン類、ポリピロール類またはポリチオフェン類及びそれらの誘導体から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする透明導電性フィルム、
(2)(A)水溶性ビニル重合体のガラス転移温度をT1、(B)有機添加剤の融点をT2、有機添加剤の0.101MPa(760mmHg)における沸点をT3としたときに、T2<T1<T3の関係を満たす上記(1)に記載の透明導電性フィルム、
(3)(A)水溶性ビニル重合体が、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、またはアクリル酸重合体である上記(1)に記載の透明導電性フィルム、
(4)上記(1)に記載の透明導電性フィルムを有することを特徴とする電子デバイス、
(5)上記(1)に記載の透明導電性フィルムと、光電変換層と、陰極層をこの順に配置してなる上記(4)に記載の電子デバイス、および
(6)上記(4)に記載の電子デバイスの製造方法であって、陰極層上に前記光電変換層を形成させ、前記導電性接着剤組成物が軟化する温度以上で、透明導電性フィルムの導電層と光電変換層表面を貼り合わせることを特徴とする電子デバイスの製造方法を提供する。
<透明導電性フィルム>
本発明の透明導電性フィルムは、透明基材の少なくとも一方の面に設けられた導電性金属メッシュ層の開口部に、導電層を有する透明導電性フィルムであって、前記導電層が特定の導電性接着剤組成物からなるものである。
本発明の透明導電性フィルムの構成材料について図1を用いて説明する。図1において1が導電層、2が導電性金属メッシュ層、3が透明基材、7が透明導電性フィルム、9が導電性金属メッシュ層の開口部である。
本発明の透明導電性フィルムは、透明基材3の少なくとも一方の面に、導電性金属メッシュ層2が設けられ、前記導電性金属メッシュ層2の開口部に、導電層1が充填されて形成されている。
透明基材としては、透明性の観点から、全光線透過率が70%以上のものが好ましく、このような透明基材としては、一般的には、柔軟性の観点からプラスチックフィルムが好ましい。
プラスチックフィルムの種類としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、テトラアセチルセルロース、シンジオタクチックポリスチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエステルスルホン、ポリエーテルイミド、環状ポリオレフィン等からなるプラスチックフィルムが挙げられる。中でも機械的強度、耐久性等に優れたものが好ましい。
透明基材の厚さは、機械強度、耐久性、及び透明性のバランスの観点から、3μm〜5mmが好ましく、より好ましくは5μm〜1mmであり、特に好ましくは10μm〜300μmである。
本発明の透明導電性フィルムにおいて、導電性金属メッシュ層2は透明基材3の少なくとも一方の面に設けられている。
導電性金属メッシュ層2としては、プラズマディスプレイの電磁波シールド膜のような金属グリッドパターンによる微細メッシュ構造の層が挙げられる。
導電性金属メッシュ層2の厚さは、20nm〜100μmであることが好ましく、特に30〜200nmであることが好ましい。
厚さを20nm以上とすることにより、導電性が向上することとなり、100μm以下とすることにより、透明導電性フィルム全体の厚みを薄くすることができ、所望の全光線透過率を維持することができる。
開口部9の開口率としては、透明性の観点から80%以上であることが好ましく、より好ましくは90%以上であり、さらに好ましくは95%以上である。
開口部のピッチは、1〜3000μmが好ましく、より好ましく1〜1500μmである。開口部のピッチが1μm以下の場合、透明性が低下する場合があり、3000μm以上の場合、導電性が向上する効果が得られにくい。導電性金属メッシュ層2の線幅は、100nm〜1000μmが好ましく、1μ〜100μmがより好ましい。線幅が1000μmを超えると、透明性が低下する場合があり、100nm未満だと、導電性が向上する効果が得られにくくなる可能性がある。
合金としては、ステンレス、ニッケル-クロム、インコネル(商品名)、青銅、リン青銅、黄銅、ジュラルミン、白銅、インバール、モネル、ニッケルリン合金などの金属リン化合物、ニッケルボロンなどの金属ホウ素化合物、窒化チタンなどの窒化物など適宜選択可能である。とりわけ、銅および銅を主体とする合金や、ニッケルやニッケルを主体とする合金、コバルトやコバルトを主体とする合金、クロムやクロムを主体とする合金、アルミニウム及びアルミニウムを主体とする合金は、導電性に優れ、加工性も良好なので、好ましく用いられる。
導電性金属メッシュ層2は、金属や合金からなる単層であってもよく、少なくとも2種類以上の金属や合金からなる層を積層した多層構造であってもよい。
透明基材3上に前記導電性金属メッシュ層2を設ける方法としては、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等のPVD(物理気相蒸着)、もしくは熱CVD、原子層蒸着(ALD)等のCVD(化学気相蒸着)などのドライプロセス、またはディップコーティング、スピンコーティング、スプレーコーティング、グラビアコーティング、ダイコーティング、ドクターブレード等の各種コーティングや電気化学的ディポジションなどのウェットプロセス、フォトリソグラフィー法、銀塩法、インクジェット法やスクリーン印刷法が挙げられ、導電性金属メッシュ層2の材料に応じて適宜選択される。
また、透明導電性フィルムの導電性を向上させる目的で、導電性金属メッシュ層2と透明基材3の間に、透明導電層を設けてもよい。
このような透明導電層としては、導電性の金属酸化物等を使用することができる。
導電性の金属酸化物としては、例えば、スズドープ酸化インジウム(ITO)、酸化イリジウム(IrO2)、酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、フッ素ドープ酸化スズ(FTO)、酸化インジウム−酸化亜鉛(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)、酸化モリブデン(MoO3)、酸化チタン(TiO2)等が挙げられる。これらの導電性の金属酸化物は、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等のPVD(物理気相蒸着)、もしくは熱CVD、原子層蒸着(ALD)等のCVD(化学気相蒸着)などのドライプロセス等の公知の方法により形成することができる。このような透明導電層の厚さは、透明性と導電性の点から、通常10〜1000nm、好ましくは10〜500nm、特に30〜300nmであることが好ましい。
本発明の透明導電性フィルムは、透明基材3の少なくとも一方の面に設けられた導電性金属メッシュ層2の開口部9に、導電層1を有する。
導電層1は、導電性接着剤組成物からなるものである。
導電性接着剤組成物は、(A)水溶性ビニル重合体、(B)有機添加剤及び(C)導電性有機高分子化合物を含み、(B)有機添加剤は、水溶性多価アルコール、水溶性ピロリドン類または親水性の非プロトン性溶媒から選ばれる少なくとも一種であり、(C)導電性有機高分子化合物は、ポリアニリン類、ポリピロール類またはポリチオフェン類及びそれらの誘導体から選ばれる少なくとも1種である。
<成分(A)>
成分(A)の一方の水溶性ビニル重合体は、導電性接着剤組成物からなる導電層に接着性を付与するためのものである。水溶性ビニル重合体は温水可溶性ビニル重合体も含む。
水溶性ポリビニル重合体のガラス転移温度(Tg)は、成膜性、接着性、取り扱いの点から、−50〜150℃の範囲が好ましく、20〜140℃であることが好ましく、より好ましくは30〜130℃、さらに好ましくは、40〜120℃である。
水溶性ポリビニル重合体は、重合体中に−CH2-CH(R)−の構造単位を有するものである。この構造単位を重合体中に少なくとも30モル%以上有していれば、特に限定されない。水溶性ポリビニル重合体は、この構造単位を含む単独重合体であってもよく、共重合体であってもよい。これらのなかでもRが水酸基、カルボキシル基、ピロリドン基、アクリルアミド基のいずれかであるものが好ましい。
Rが水酸基であるものは、−CH2−CH(OH)−の構造単位を有するものであり、水酸基を有する水溶性ビニル重合体の具体例としては、例えば、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルアルコール−エチレン共重合体、ポリビニルアルコール−(N−ビニルホルムアミド)共重合体、ポリビニルアルコール−酢酸ビニル共重合体等が挙げられる。
水酸基を有する水溶性ポリビニル重合体重合体は、部分的にケン化されてなるものでもよく、完全にケン化されたものであってもよい。
ケン化度は、20〜100モル%が好ましく、より好ましくは35〜100モル%、さらに好ましくは40〜100モル%である。ケン化度が20モル%未満の場合には、溶解性が低下する。
重合体中にカルボキシル基を有するものは、−CH2−CH(COOH)−の構造単位を有するものである。カルボキシル基を有する水溶性ポリビニル重合体の具体例としては、例えば、ポリアクリル酸(PAA)等が挙げられる。
Rがピロリドン基である水溶性ビニル重合体は−CH2−CH(NC4O)−の構造単位を有するものであり、具体例としては、例えば、ポリビニルピロリドン(PVP)、N−ビニル−2−ピロリドン−エチレン共重合体、N−ビニル−2−ピロリドン−酢酸ビニル共重合体等が挙げられる。
Rがアクリルアミド基である水溶性ビニル重合体は、−CH2−CH(CONH2)−の構造単位を有するものであり、具体例としては、例えば、ポリアクリルアミド等が挙げられる。
水溶性ビニル重合体は、種々の機能を付与することを目的として疎水基やカチオン性基、スルホン酸基を含むアニオン性基、チオール基、カルボニル基、シラノール基などの官能基を上記構造単位以外に含有しても良い。
これら水溶性ポリビニル重合体の中でも、成膜性、接着性、取り扱いの点から、後述する電子デバイスの製造が容易に出来るという点から、Rが水酸基、ピロリドン基、カルボキシル基のいずれかであるものが好ましく、PVA、PVPまたはPAAが好ましい。これらの中でも、得られる導電層の導電性と接着性の点から、Rがカルボキシル基であるPAAであることがさらに好ましい。
水溶性ポリビニル重合体の重量平均分子量(Mw)は、通常500〜50万であり、500〜30万であることが好ましく、1,000〜20万であることがより好ましく、3,000〜15万であることがさらに好ましい。
水溶性ビニル重合体の重量平均分子量Mwがこの範囲であれば、本発明の透明導電性フィルムや電子デバイスにおいて十分な成膜性及び接着性が発現する。
なお、前記重量平均分子量Mwはゲルパーミエイションクロマトグラフィー(GPC)で測定された標準ポリスチレン換算の数値である。
共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体としては、例えば、
蟻酸ビニル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酢酸イソプロペニル、バレリン酸ビニル、カプリン酸ビニル、カプリン酸ビニル、ラウリン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、安息香酸ビニル、バーサティック酸ビニル、ピバリン酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル単量体;エチレン、プロピレン、ブチレン等のオレフィン類;スチレン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル類;メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸モノエチル、無水マレイン酸、無水イタコン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸単量体;(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n-ブチル、(メタ)アクリル酸2-エチルヘキシル、フマル酸ジメチル、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチル、イタコン酸ジイソプロピル等のエチレン性不飽和カルボン酸アルキルエステル単量体;メチルビニルエーテル、n-プロピルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、ドデシルビニルエーテル等のビニルエーテル単量体;(メタ)アクリロニトリル等のエチレン性不飽和ニトリル単量体;塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン等のハロゲン化ビニル単量体またはビニリデン単量体;酢酸アリル、塩化アリル等のアリル化合物;エチレンスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸等のスルホン酸基含有単量体;3-(メタ)アクリルアミドプロピルトリメチルアンモニウムクロライド等の第四級アンモニウム基含有単量体;ビニルトリメトキシシラン、N-ビニルホルムアミド、メタアクリルアミド等が挙げられ、これらの1種または2種以上を使用することができる。
次に、成分(B)の有機添加剤について説明する。
本発明において、成分(B)の有機添加剤は水溶性多価アルコール、水溶性ピロリドン類および親水性の非プロトン性溶媒から選ばれる少なくとも一種であることを特徴としている。
成分(B)の有機添加剤は、導電性の向上を目的として添加される。詳細は不明であるが、このような有機添加剤を添加することで、後述する成分(C)の導電性有機高分子化合物の配向性が向上するため、導電性が向上する。
成分(B)の有機添加剤としては、1.101MPa(760mmHg)における沸点が100℃以上のものが好ましい。沸点が100℃を下回ると導電性接着剤組成物の混合過程、保存中や後述する電子デバイスを製造する際の種々の加熱過程において有機添加剤が揮発・飛散してその配合比率が低下するため導電性を向上させる効果が低下するので好ましくない。
より好ましい沸点は120〜300℃、さらに好ましくは140〜300℃の範囲である。
成分(B)の有機添加剤の一つである水溶性ピロリドン類としては、N-メチルピロリドン、N-エチルピロリドン、N-プロピルピロリドン、N-イソプロピルピロリドン、N-ブチルピロリドン、N-t-ブチルピロリドン、N-ペンチルピロリドン、N-ヘキシルピロリドン、N-ヘプチルピロリドン、N-シクロヘキシルピロリドン、N-オクチルピロリドン、N-(2−エチルヘキシル)ピロリドン、N-フェニルピロリドン、N-ベンジルピロリドン、フェネチルピロリドン、2−メトキシエチルピロリドン、2−メトキシプロピルピロリドン、2−ヒドロキシプロピルピロリドン、ビニルピロリドン、2−ピロリドン等が挙げられ、これらの1種または2種以上を用いてもよい。
本発明において、成分(B)有機添加剤の一つとして、非プロトン性溶媒が添加されている。本発明においては、非プロトン性溶媒は、導電性接着剤組成物中で、揮発・飛散せずに配合されているものである。このような成分(B)の有機添加剤の一つである親水性の非プロトン性溶媒としては、ジメチルスルホキシドおよびN,N-ジメチルホルムアミドが挙げられる。
すなわち、成分(A)の水溶性ポリビニル重合体のガラス転移温度(Tg)をT1、成分(B)の有機添加剤の融点をT2、有機添加剤の0.101MPa(760mmHg)における沸点をT3としたときに、T2<T1<T3を満たす組み合わせである。
ここで、成分(A)の水溶性ビニル重合体のガラス転移温度T1は、〔示差走査熱量測定(DSC)測定器〕で測定された値である。
成分(A)との間でT2<T1<T3の関係を満たす水溶性多価アルコールの具体例としては、例えば、グリセリン〔融点T2:18℃、沸点T3:290℃〕、エチレングリコール〔融点T2:-11.5℃、沸点T3:197℃〕、ジエチレングリコール〔融点T2:−6.5℃、沸点T3:245℃〕、プロピレングリコール〔融点T2:−59℃、沸点T3:188.2℃〕、ジプロピレングリコール〔融点T2:-40℃、沸点T3:232℃〕、1,3−ブタンジオール〔融点T2:-50℃、沸点T3:207.5℃〕、1,4−ブタンジオール〔融点T2:19℃、沸点T3:235℃〕等が挙げられる。中でも、導電性の向上という観点からグリセリン、1,4-ブタンジオールが好ましい。
T2<T1<T3の関係を満たすような成分(B)の水溶性ピロリドン誘導体としては、N-メチルピロリドン〔融点T2:−24℃、沸点T3:202℃〕、ビニルピロリドン〔融点T2:13.5℃、沸点T3:214.5℃〕、2−ピロリドン〔融点T2:24.6℃、沸点T3:245℃〕等が挙げられる。
T2<T1<T3の関係を満たすような成分(B)の親水性の非プロトン性溶媒としては、ジメチルスルホキシド(DMSO)〔融点T2:19℃、沸点T3:189℃〕、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)〔融点T2:−61℃、沸点T3:153℃〕等が挙げられる。
次に、成分(C)の導電性有機高分子化合物について説明する。
本発明において、成分(C)の導電性有機高分子化合物はポリアニリン類、ポリピロール類またはポリチオフェン類、及びそれらの誘導体から選ばれる少なくとも1種であることを特徴としている。
ポリアニリン類、ポリピロール類またはポリチオフェン類、及びそれらの誘導体は、π電子共役により導電性を有する導電性高分子である。
ポリアニリン類は、アニリンの2位または3位あるいはN位を炭素数1〜18のアルキル基、アルコキシ基、アリール基、スルホン酸基等で置換した化合物の高分子量体であり、例えば、ポリ2−メチルアニリン、ポリ3−メチルアニリン、ポリ2−エチルアニリン、ポリ3−エチルアニリン、ポリ2−メトキシアニリン、ポリ3−メトキシアニリン、ポリ2−エトキシアニリン、ポリ3−エトキシアニリン、ポリN−メチルアニリン、ポリN−プロピルアニリン、ポリN−フェニル−1−ナフチルアニリン、ポリ8−アニリノ−1−ナフタレンスルホン酸、ポリ2−アミノベンゼンスルホン酸、ポリ7−アニリノ−4−ヒドロキシ−2−ナフタレンスルホン酸等が挙げられる。
ポリアニリン類の誘導体としては、前記ポリアニリン類のドーパント体等が挙げられる。ドーパントとしては、塩化物イオン、臭化物イオン、ヨウ化物イオンなどのハロゲン化物イオン;過塩素酸イオン;テトラフルオロ硼酸イオン;六フッ化ヒ酸イオン;硫酸イオン;硝酸イオン;チオシアン酸イオン;六フッ化ケイ酸イオン;燐酸イオン、フェニル燐酸イオン、六フッ化燐酸イオンなどの燐酸系イオン;トリフルオロ酢酸イオン;トシレートイオン、エチルベンゼンスルホン酸イオン、ドデシルベンゼンスルホン酸イオンなどのアルキルベンゼンスルホン酸イオン;メチルスルホン酸イオン、エチルスルホン酸イオンなどのアルキルスルホン酸イオン;または、ポリアクリル酸イオン、ポリビニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸イオン(PSS)、ポリ(2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸)イオンなどの高分子イオン;挙げられ、これらは単独でもまたは2種以上組み合わせて用いてもよい。
これらの中でも、高い導電性を容易に調整でき、かつ、水溶液にした場合に、容易に分散するために有用な親水骨格を有することから、ドーパントとしては、ポリアクリル酸イオン、ポリビニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸イオン(PSS)、ポリ(2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸)イオンなどの高分子イオンが好ましく、ポリスチレンスルホン酸イオン(PSS)がより好ましい。
ポリピロール類の誘導体としては、前記ポリピロール類のドーパント体等が挙げられる。ドーパントとしては、前述のポリアニリン類のドーパント体として例示したものが使用できる。
ポリチオフェン類の誘導体としては、前記ポリチオフェン類のドーパント体等が挙げられる。ドーパントとしては、前述のポリアニリン類のドーパント体として例示したものが使用できる。
これらの中でも、導電性有機高分子化合物としては、極めて少量で高い導電性を容易に調整でき、かつ、水溶液にした場合に、容易に分散するために有用な親水骨格を有することから、ポリ(3,4−エチレンオキサイドチオフェン)と、ドーパントとして、ポリスチレンスルホン酸イオンの混合物(以下、「PEDOT:PSS」と記載することがある)等が好ましい。
成分(A)、(B)および(C)の総量を100質量部とした時、成分(A)は1〜60質量部、好ましくは、5〜50質量部、より好ましくは10〜40質量部である。成分(B)は0.1〜90質量部、好ましくは10〜70質量部、より好ましくは20〜65質量部である。成分(C)は0.1〜90質量部、好ましくは、0.5〜75質量部、より好ましくは5〜55質量部である。
成分(A)が1質量部未満の場合は、接着性が発現しなくなり、逆に60質量部を超える場合は、透明性及び導電性が低くなるので好ましくない。
成分(B)が0.1質量部未満の場合は、導電性が低くなり、逆に90質量部を超える場合は接着性が低下するので好ましくない。
成分(C)が0.1質量部未満の場合は導電性が低くなり、逆に90質量部を超える場合は接着性が発現しなくなるので好ましくない。
さらに、本発明において、導電性接着剤組成物中には前記成分(A)、(B)、(C)および溶媒以外にも必要に応じて、粘着付与剤、可塑剤、増粘剤、濡れ剤、消泡剤、造膜助剤、防腐剤、防錆剤、凍結溶融安定剤、顔料、着色剤、充填剤、金属粉末、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤等を適宜添加することができる。
なかでも、前記導電性接着剤組成物を、精製水等の適当な溶剤に溶解又は分散してなる溶液(塗工液)を、上記各種コーティングにより、透明基材3上に設けられた前記導電性金属メッシュ層2の開口部に塗布し、得られた塗膜を乾燥させ、所望により、導電性接着剤組成物中の有機添加剤が揮発しない程度で加熱することより形成することにより導電層1を形成することが好ましい。このような方法によれば、容易に前記導電性金属メッシュ層2の開口部9に、導電層1を形成させることができる。
導電層1の全光線透過率は、80%以上、可能な限り100%に近いことが好ましい。全光線透過率が80%以上であれば、太陽電池等種々の電子デバイスに用いた場合に、透明性が十分であり、好適に用いられる。
図1に示すように、透明基材3の一方の面に、導電性金属メッシュ層2と導電層1を有し、導電性金属メッシュ層2の開口部9に、導電層1が充填されて形成されていることが好ましい。
また、導電層1は、導電性金属メッシュ層2の開口部に充填されて形成されていればよく、導電性金属メッシュ層2の上部が隠れるように形成されていてもよい(図3の7参照)。
すなわち、本発明の透明導電性フィルム7は、透明基材3の少なくとも一方の面に、導電性金属メッシュ層2と導電層1を有し、導電性金属メッシュ層2の開口部9に、導電層1が充填されて形成されていることで、導電性が向上する。
このように、本発明の透明導電性フィルムは、透明性が高く、表面抵抗率が低いため、透明性と導電性のバランスに優れており、また、それ自体が優れた接着性を有しているため、ラミネートプロセスによる電子デバイスの製造が可能である。
以下、本発明の電子デバイスについて説明する。
本発明の電子デバイスは、前述の透明導電性フィルムを有しているものである。
電子デバイスとしては、有機トランジスタ、有機メモリー、有機EL等の有機デバイス;液晶ディスプレイ;電子ペーパー;薄膜トランジスタ;エレクトロクロミック;電気化学発光デバイス;タッチパネル;ディスプレイ;太陽電池;熱電変換デバイス;圧電変換デバイス;蓄電デバイス;等が挙げられる。
図2は、本発明の透明導電性フィルムを有する電子デバイスの一例である。図2において1が導電層、2が導電性金属メッシュ層、3が透明基材、4は光電変換層、5は電極、6は基材、7は透明導電性フィルム、8は電子デバイスである。
光電変換層は光電効果を受ける層であり、単層からなっていても良いし、複数層からなっていても良い。単層の場合には、光電変換層は、通常、真性半導体層(i型半導体)から形成される。
光電変換層は、光電変換を行う層であり、原料の低コスト化、柔軟性、形成の容易性、吸光係数の高さ、軽量化、耐衝撃性等の観点から有機半導体であることが好ましい。
また、複数層の場合、(p型半導体層/n型半導体層)の積層、または、(p型半導体層/真性半導体層/n型半導体層)等である。
光電変換層の厚さは、単層または複数層の場合で異なるが導電性、励起子拡散距離という観点から、一般的には、30nm〜2μmであることが好ましく、特に40nm〜300nmであることが好ましい。
(1)真性半導体
真性半導体の材料としては、例えば、フラーレン、フラーレン誘導体、半導体性を有するカーボンナノチューブ(CNT)およびCNT化合物の少なくとも1種類からなる第1の材料と、ポリフェニレンビニレン(PPV)の誘導体またはポリチオフェン系高分子材料からなる第2の材料とを、得られる半導体が真性半導体となるように混合した混合物を使用することができる。
フラーレン誘導体としては、例えば、[6,6]−フェニル−C61−酪酸メチル(PCBM)等を用いることができ、また、フラーレンの二量体、またはアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属等を導入したフラーレン化合物なども用いることができる。また、CNTとしては、フラーレンまたは金属内包フラーレンを内包したカーボンナノチューブ等を用いることができる。さらに、CNTの側壁や先端に、種々の分子を付加したCNT化合物等も用いることができる。
ポリフェニレンビニレンの誘導体としては、ポリ[2−メトキシ,5−(2’−エチル−ヘキシロキシ)−p−フェニレン−ビニレン](MEH−PPV)等を用いることができ、ポリチオフェン系高分子材料としては、ポリ−3−ヘキシルチオフェン(P3HT)などのポリ(3−アルキルチオフェン),ジオクチルフルオレンエン−ビチオフェン共重合体(F8T2)、等を用いることができる。
特に好ましい真性半導体としては、PCBMとP3HTとを質量比で1:0.3〜1:4で混合した混合物が挙げられる。
p型半導体の材料としては、例えば、ポリ-3-ヘキシルチオフェン(P3HT)等のポリアルキルチオフェンおよびその誘導体;ポリフェニレンおよびその誘導体、ポリ[2−メトキシ−5−(2′−エチル−ヘキシロキシ)−p−フェニレン-ビニレン](MEH−PPV)等のポリフェニレンビニレンおよびその誘導体、ポリシランおよびその誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ポリアルキルチオフェンおよびその誘導体、有機金属ポリマー等が挙げられる。中でもポリアルキルチオフェンおよびその誘導体が好ましい。また、それら有機材料の混合物であってもよい。導電性高分子としては、ポリ(3,4)−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネート(PEDOT:PSS)を好ましく使用することができる。
n型半導体の材料としては、特に限定されず、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(NTCDA)、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(PTCDA)、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボキシリックビスベンズイミダゾール(PTCBI)、N,N′-ジオクチル-3,4,9,10−ナフチルテトラカルボキシジイミド(PTCDI-C8H)、2−(4−ビフェニリル)-5-(4-t-ブチルフェニル)-1,3,4-オキサジアゾール(PBD)、2,5-ジ(1-ナフチル)-1,3,4-オキサジアゾール(BND)等のオキサアゾール誘導体、3−(4−ビフェニリル)-4-フェニル-5-(4-t-ブチルフェニル)-1,2,4-トリアゾール(TAZ)等のトリゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、ホスフィンオキサイド誘導体、フラーレン化合物、カーボンナノチューブ(CNT)、CNTの側壁や先端に種々の分子を付加したCNT化合物、ポリ-p-フェニレンビニレン系重合体にシアノ基を導入した誘導体(CN-PPV)等が挙げられる。
これらの中でも、安定でキャリア移動度の高いn型半導体であることから特にフラーレン化合物が好ましい。
フラーレン化合物としては、例えば、[6,6]−フェニル−C61−酪酸メチル(PCBM)等を用いることができる。また、フラーレンの二量体、またはアルカリ金属もしくはアルカリ土類金属を導入したフラーレン化合物等が挙げられる。これらの中でも優れた電子受容性を有する観点からPCBMが好ましい。
なお、これらのn型半導体は、単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。
電極の材料としては、仕事関数が比較的小さいものが好ましい。例えば、白金、金、アルミニウム、イリジウム、クロム、酸化亜鉛等の金属、金属酸化物もしくは合金の他、カーボンナノチューブ、またはカーボンナノチューブと上記金属、金属酸化物もしくは合金との複合体が挙げられる。
電極の厚さは、20nm〜1μmであることが好ましく、特に30〜200nmであることが好ましい。
電極5を形成する方法としては、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等のPVD(物理気相蒸着)、もしくは熱CVD、原子層蒸着(ALD)等のCVD(化学気相蒸着)などのドライプロセス、またはディップコーティング、スピンコーティング、スプレーコーティング、バーコーティング、グラビアコーティング、ダイコーティング、ドクターブレード等の各種コーティングや電気化学的ディポジションなどのウェットプロセスが挙げられ、電極5の材料に応じて適宜選択される。
<基材層>
基材層6としては、一般的にガラス(板)またはプラスチックフィルムが挙げられ、電子デバイスの用途に応じて適宜される。プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、テトラアセチルセルロース、シンジオタクチックポリスチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエステルスルホン、ポリエーテルイミド、環状ポリオレフィン等のフィルムが挙げられ、機械的強度、耐久性等に優れたものが好ましい。これらの中でも、透明性が高いものが好ましい。
基材層6の厚さは、機械強度及び透明性のバランスの観点から、3μm〜5mmが好ましく、より好ましくは5μm〜1mmであり、特に好ましくは10μm〜300μmである。
本発明の電子デバイスの製造方法は、透明導電性フィルムの導電層と光電変換層表面とを貼りあわせることを特徴とするものである。すなわち、前記導電性接着剤組成物が軟化する温度以上で、透明導電性フィルムの導電層と、前記光電変換層表面を貼り合わせることを特徴とする。
以下、図3を用いて本発明の電子デバイスの製造方法について説明する。図3において、下向きの矢印は光電変換層4と導電層1を、導電性接着剤組成物が軟化する温度以上で圧着して貼り合わせて、電子デバイスとすることを表わしている。
前記導電性接着剤組成物が軟化する温度は、水溶性ビニル重合体のガラス転移温度(Tg)以上の温度である。製造しやすいという点から、具体的には60〜140℃程度である。
本発明の電子デバイスの製造方法によれば、透明導電性フィルムの導電層1表面と光電変換層4表面を貼り合わせるため、ラミネートプロセスにより容易に電子デバイスを製造することができる。
また、この方法によれば、基材層6上に電極5を形成し、この電極5上に光電変換層4を形成させているため、光変換層4上に電極5を形成させる工程が存在しない。
したがって、電極5が不均一になったり、電極5の形成時のエネルギーによって光電変換層4がダメージを受けることがなく、電子デバイスの性能が低下することがない。
[導電性接着剤組成物の調製]
成分(A)の水溶性ビニル重合体として、ポリビニルアルコール〔シグマアルドリッチ社製、製品名「ポリビニルアルコール」、重量平均分子量9100、Tg(T1):50℃、表1中ではPVAと記載〕50質量部を使用した。成分(B)の有機添加剤として、グリセリン〔シグマアルドリッチ社製、製品名「グリセリン」、融点(T2):18℃、沸点(T3):290℃〕50質量部を使用した。成分(C)の導電性有機高分子化合物として、ポリチオフェン類の誘導体である、ポリ(3,4−エチレンオキサイドチオフェン)(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合物(PEDOT:PSS)(H.C.Starck社製、製品名「CleviousP VP.AI4083」、有効成分1質量%(溶剤:精製水)、表1中ではポリチオフェン類と記載〕10,000質量部を使用した。
前記成分(A)、(B)および(C)に精製水200質量部を添加して、導電性接着剤組成物の塗工液(有効成分:1.9質量%)を調製した。
透明基材〔東洋紡績社製、製品名「コスモシャインA4100」〕の一方の面に、1×10-3Pa以下の減圧下、銅を蒸着法で製膜することにより、厚さ100nmの銅層を形成した。次いで、レジスト処理とエッチング処理を行ない、導電性金属メッシュ層(開口部ピッチ:1200μm/線幅20μm、全光線透過率89%、表面抵抗率2Ω/□)を作製した。
次いで、導電性金属メッシュ層の開口部に、上記のように調製した導電性接着剤組成物の塗工液を、マイヤーバー(20ミル)を用いて塗布し、120℃の乾燥機で10分間乾燥させた。
このようにして、導電性金属メッシュ層の開口部に導電性接着剤組成物からなる導電層(厚さ500nm)を有する透明導電性フィルムを作製した。
次いで、上記で得られた電極上にポリ−3−ヘキシルチオフェン(P3HT)と[6,6]−フェニル−C61−酪酸メチル(PCBM)とを質量比1:0.8で混合した混合物のクロロベンゼン溶液(濃度:2質量%)を、スピンキャスト法により塗布し、120℃で10分間乾燥して、厚さ100nmの光電変換層を形成させた。
光電変換層表面と、透明導電性フィルムの導電層表面とをロールラミネーター〔ロイヤルソブリン社製、製品名「RSL−328S」〕のローラーの温度を120℃に加熱し圧着して貼り合わせることにより電子デバイスを得た。
表1に示されている配合比(質量部、以下同様)で調製された導電性接着剤組成物を用いた以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(A)のPVAの量を25質量部とし、成分(B)の有機添加剤として、グリセリンの替わりにN-メチルピロリドン〔和光純薬工業株式会社製、T2:融点−24℃、T3:沸点202℃〕80質量部を使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(A)の水溶性ビニル重合体をとして、PVAの替わりにポリビニルピロリドン〔シグマアルドリッチ社製、Tg(T1):80℃、表1中ではPVPと記載〕を50質量部使用し、成分(B)の有機添加剤として、グリセリンの量を100質量部とした以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(B)の有機添加剤として、グリセリンの替わりにN-メチルピロリドン〔和光純薬工業株式会社製、T2:融点−24℃、T3:沸点202℃〕を100質量部使用した以外は実施例5と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(B)の有機添加剤として、グリセリンの替わりにジメチルスルフォオキサイド〔和光純薬工業株式会社製、表1中の記載はDMSO、T2:融点19℃、T3:沸点189℃〕を100質量部使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(B)の有機添加剤として、グリセリンの替わりにジメチルフォルムアミド〔和光純薬工業株式会社製、表1中の記載はDMF、T2:融点−61℃、T3:沸点153℃〕を100質量部使用した以外は実施例1と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(C)の導電性有機高分子化合物であるポリチオフェン類の誘導体を、PEDOT:PSS〔日本アグファマテリアルズ製、製品名「S305」〕に変えて、実施例1と同様にして透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(C)の導電性有機高分子化合物として、ポリチオフェン類の誘導体の替わりに、ポリアニリン〔シグマアリドリッチ社製、表1中ではポリアニリン類と記載〕を100質量部、成分(B)のグリセリンの量を100質量部に変える以外は実施例1と同様にして透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(C)の導電性有機高分子化合物として、ポリチオフェン類の誘導体の替わりに、ポリピロール〔シグマアリドリッチ社製、有効成分1質量%表1中ではポリピロール類と記載〕を10,000質量部、成分(B)のグリセリンの量を100質量部に変える以外は実施例1と同様にして透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(A)、(B)または(C)を、表1に示されている配合比で調製された導電性接着剤組成物を用いて実施例1と同様にして、比較用の透明導電性フィルムおよび同電子デバイスを作製した。
導電性接着剤組成物からなる導電層を設けない以外は、実施例1と同様にして、比較用の透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。すなわち、導電性金属メッシュ層のみを比較用の透明導電性フィルムとして電子デバイスを作製した。
<比較例7〜10>
成分(A)、(B)または(C)を、表1に示されている配合比で調製された導電性接着剤組成物を用いて、導電性金属メッシュ層を形成していない透明基材に直接、導電層を形成し、実施例1と同様にして比較用の透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
各例で用いられた導電性接着剤組成物における各成分の配合比および得られた透明導電性フィルムおよび電子デバイスの特性を表1に示す。
表1において、成分(A)、(B)、(C)の配合量はいずれも有効成分の質量部を示す。カッコ内の数値は成分(A)、(B)、(C)の合計を100とした時の各成分の質量部または質量%を表わす。実施例5、6は成分(A)の水溶性ビニル重合体としてPVPを用いた例である。
[導電性接着剤組成物の調製]
成分(A)として、アクリル酸重合体〔シグマアルドリッチ製、″ポリアクリル酸″、重量平均分子量10万、Tg102℃、有効成分40質量%、表2中ではPAAと記載〕113質量部、成分(B)の有機添加剤として、グリセリン〔シグマアルドリッチ社製、製品名「グリセリン」、融点(T2):18℃、沸点(T3):290℃〕90質量部を使用した。成分(C)の導電性有機高分子化合物として、ポリチオフェン類の誘導体である、ポリ(3,4−エチレンオキサイドチオフェン)(PEDOT)とポリスチレンスルホン酸(PSS)の混合物(PEDOT:PSS)〔H.C.Starck社製、製品名「CleviousP VP.AI4083」、有効成分1質量%(溶剤:精製水)、表2中ではポリチオフェン類と記載〕1500質量部を使用した。
前記成分(A)、(B)および(C)に精製水200質量部を添加して導電性接着剤組成物の塗工液(有効成分:7.9質量%)を調製した。
実施例1と同じ方法で、透明導電性フィルムおよび電子デバイスの作製を行った。
表2に示されている成分(A)、(B)および(C)の配合比(質量部、以下同様)で調製された導電性接着剤組成物を用いた以外は実施例12と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
表2に示されている成分(A)、(B)および(C)の配合比(有効成分の質量部、以下同様)で調製された導電性接着剤組成物を用いた以外は実施例12と同様にして、透明導電性フィルムおよび電子デバイスを作製した。
成分(A)、(B)または(C)を、表2に示されている配合比で調製された導電性接着剤組成物を用いて実施例12と同様にして、比較用の透明導電性フィルムおよび同電子デバイスを作製した。
(1)導電層及び導電性金属メッシュ層の厚み
導電性接着剤組成物からなる導電層及び導電性金属メッシュ層の厚みは、触針式表面形状測定装置(Veeco社製、製品名「Dektak 150」)により測定した。
(2)表面抵抗率
表面抵抗測定装置〔三菱化学社製、製品名「ロレスタGP MCP−T600」〕により、四端子法で表面抵抗率を測定した。実施例においては、透明導電性フィルムの導電層及び金属メッシュ層を備えた面を測定した。比較例4、14においては、導電性金属メッシュ層(銅層)表面を測定した。比較例7〜10、17〜20においては、導電層表面を測定した。
(3)全光線透過率
光線透過率測定装置〔日本電色工業社製、製品名「NDH−5000」〕を用いてJIS K7631−1に準じて、透明導電性フィルムの全光線透過率を測定した。
(4)貼り合わせ評価(接着性)
実施例および比較例で得られた透明導電性フィルム(5×5cm)を、ラミネーター〔ロイヤルソブリン社製、製品名「RSL-328J」〕を用いて、温度120℃でガラス板(25mm×25mm、厚み1mm)に貼り合わせた。その後、常温まで冷却後、透明導電性フィルムを垂直にし、接着しているか否かを調べた。
○:ガラス板が落ちずに接着している。
×:接着せずにガラス板が剥離した。
(5)電子デバイスの評価
実施例および比較例で得られた電子デバイスを、ソースメジャーユニット〔ワコム電創社製〕を用いて電流電圧特性を測定し、整流曲線を観察した。
○:整流性有
×:整流性無(貼り合せ不良により電子デバイスとして機能しない)
(6)接着力
表2に記載されている接着力は、実施例12〜19および比較例11〜20で得られた導電性接着剤組成物の塗工液をポリエチレンテレフタレートフィルム〔東洋紡績社製、製品名「コスモシャインA4100」、厚み100μm〕上に塗工し、100℃で10分間乾燥させ、膜厚(500)nmの導電性接着剤組成物からなる導電層を形成させ、測定用サンプルを作製した。
得られた測定用サンプルを、を用いてJIS Z0237(2009)に準じて、23℃50%RH(相対湿度)環境下で25mm×300mmにカットした測定用サンプルをラミネーター〔ロイヤルソブリン社製、製品名「RSL-328J」〕を用いて、温度100℃で被着体(ガラス板、800mm×1500mm、厚み3mm)に貼り合わせた。貼付後24時間後の粘着力を180°引き剥がし法によって、引っ張り速度300mm/分にて測定した。
(7)ガラス転移温度
成分(A)の水溶性ビニル重合体のガラス転移温度T1は、JIS K 7121に準拠し、入力補償示差走査熱量測定装置[パーキンエルマー社製、装置名「Pyrisl DSG」]を用いて、−80℃から250℃の温度範囲で、捕外ガラス転移開始温度を測定して求めた。
(1)成分(B)を使用せず、成分(A)と(C)を使用した比較例1、2においては、表面抵抗率が高く、得られた電子デバイスは整流性が見られず、デバイスとして機能しなかった。
(2)成分(C)のみを含む比較例3においては、接着性が悪かった。また、得られた電子デバイスは、貼り合せ不良によりデバイスとして機能しなかった。
(3)導電層を有さない比較例4においては、接着性が全くなく、電子デバイスが作成できなかった。
(4)成分(A)のみを含む比較例5においては、表面抵抗率が高く、得られた電子デバイスは整流性が見られず、デバイスとして機能しなかった。
(5)成分(B)のみを含む比較例6においては、成膜性が悪く、導電層を形成することが出来ず、接着性も全くなかった。
(6)導電性金属メッシュ層を設けない比較例7〜10においては、表面抵抗率が高かった、また、得られた電子デバイスは整流性が見られず、デバイスとして機能しなかった。
一方、実施例1〜11は、表面抵抗率が低く、透明性も高く、かつ接着性も良好であった。また、得られた電子デバイスも整流性があったことからデバイスとしても有効であることがわかった。
(1)成分(B)を使用せず、成分(A)と(C)を使用した比較例11、12においては、導電層の表面抵抗率が高く、得られた電子デバイスは整流性が見られず、デバイスとして機能しなかった。
(2)成分(C)のみを含む比較例13においては、接着力が低く、測定できなかった。また、得られた電子デバイスは、貼り合せ不良によりデバイスとして機能しなかった。
(3)導電層を有さない比較例14においては、接着力が全くなく、電子デバイスが作成できなかった。
(4)成分(A)のみを含む比較例15においては、導電層の表面抵抗率が高く、得られた電子デバイスは整流性が見られず、デバイスとして機能しなかった。
(5)成分(B)のみを含む比較例16においては、成膜性が悪く、導電層を形成することが出来ず、接着性も全くなかった。
(6)導電性金属メッシュ層を設けない比較例17〜20においては、表面抵抗率が高かった、また、得られた電子デバイスは整流性が見られず、デバイスとして機能しなかった。
一方、成分(A)、(B)および(C)を使用した実施例12〜19では、導電層の表面抵抗率が低く、透明性も高く、かつ接着性も良好であった。また、得られた電子デバイスも整流性があったことからデバイスとしても有効であることがわかった。
2:導電性金属メッシュ層
3:透明基材
4:光電変換層
5:電極
6:基材層
7:透明導電性フィルム
8:電子デバイス
9:導電性金属メッシュ層の開口部
Claims (6)
- 透明基材の少なくとも一方の面に設けられた導電性金属メッシュ層の開口部に、接着性の導電層を有する透明導電性フィルムにおいて、導電層が、(A)水溶性ビニル重合体、(B)有機添加剤及び(C)導電性有機高分子化合物を含む導電性接着剤組成物からなり、
(B)有機添加剤は、水溶性多価アルコール、水溶性ピロリドン類または親水性の非プロトン性溶媒から選ばれる少なくとも一種であり、(C)導電性有機高分子化合物は、ポリアニリン類、ポリピロール類またはポリチオフェン類及びそれらの誘導体から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする透明導電性フィルム。 - (A)水溶性ビニル重合体のガラス転移温度をT1、(B)有機添加剤の融点をT2、有機添加剤の0.101MPa(760mmHg)における沸点をT3としたときに、T2<T1<T3の関係を満たす請求項1に記載の透明導電性フィルム。
- (A)水溶性ビニル重合体が、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、またはアクリル酸重合体である請求項1に記載の透明導電性フィルム。
- 請求項1に記載の透明導電性フィルムを有することを特徴とする電子デバイス。
- 請求項1に記載の透明導電性フィルムと、光電変換層と、陰極層をこの順に配置してなる請求項4に記載の電子デバイス。
- 請求項4に記載の電子デバイスの製造方法であって、陰極層上に前記光電変換層を形成させ、前記導電性接着剤組成物が軟化する温度以上で、透明導電性フィルムの導電層と光電変換層表面を貼り合わせることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012540711A JP5760003B2 (ja) | 2010-10-29 | 2011-07-20 | 透明導電性フィルム、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010244348 | 2010-10-29 | ||
JP2010244348 | 2010-10-29 | ||
JP2012540711A JP5760003B2 (ja) | 2010-10-29 | 2011-07-20 | 透明導電性フィルム、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 |
PCT/JP2011/066495 WO2012056774A1 (ja) | 2010-10-29 | 2011-07-20 | 透明導電性フィルム、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012056774A1 true JPWO2012056774A1 (ja) | 2014-03-20 |
JP5760003B2 JP5760003B2 (ja) | 2015-08-05 |
Family
ID=45993507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012540711A Active JP5760003B2 (ja) | 2010-10-29 | 2011-07-20 | 透明導電性フィルム、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9401490B2 (ja) |
EP (1) | EP2634778B1 (ja) |
JP (1) | JP5760003B2 (ja) |
KR (1) | KR101824756B1 (ja) |
CN (1) | CN103229251B (ja) |
TW (1) | TWI504721B (ja) |
WO (1) | WO2012056774A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10108304B2 (en) * | 2014-03-28 | 2018-10-23 | Fujifilm Corporation | Conductive film, conductive film manufacturing method, and touch panel |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101311772B1 (ko) * | 2012-05-25 | 2013-10-14 | 고려대학교 산학협력단 | 투명 전극 및 투명 전극 형성 방법 |
TWI483409B (zh) * | 2012-09-12 | 2015-05-01 | Ever Energy Co Ltd | 太陽能電池及其製作方法 |
CN103971788B (zh) * | 2013-02-04 | 2016-08-31 | 深圳欧菲光科技股份有限公司 | 透明导电体及其制备方法 |
FR3005206A1 (fr) * | 2013-04-24 | 2014-10-31 | Rhodia Operations | Procede de preparation de revetements photovoltaiques organiques de morphologie controlee |
WO2014174053A1 (fr) * | 2013-04-24 | 2014-10-30 | Rhodia Operations | Procede de preparation de revetements photovoltaiques organiques de morphologie controlee |
KR101541517B1 (ko) * | 2014-03-26 | 2015-08-03 | 부산대학교 산학협력단 | 단결정 구리를 이용한 나노 망사 다층 구조의 투명전극 및 그 제조방법 |
TWI599311B (zh) * | 2014-06-05 | 2017-09-11 | 國立清華大學 | 透明抗電磁波薄膜 |
CN105448674B (zh) * | 2014-06-11 | 2018-12-21 | 清华大学 | N型半导体层以及n型薄膜晶体管的制备方法 |
CN105321592B (zh) * | 2014-08-01 | 2017-03-22 | 广东阿格蕾雅光电材料有限公司 | 碳纳米管‑高分子层状复合透明柔性电极及其制备方法 |
JP5872004B1 (ja) * | 2014-08-27 | 2016-03-01 | 信越ポリマー株式会社 | 帯電防止フィルムの製造方法 |
CN104576692B (zh) * | 2014-11-24 | 2018-01-30 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 导电柔性基板及其制作方法与oled显示装置及其制作方法 |
KR102456121B1 (ko) * | 2015-12-15 | 2022-10-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 광 제어 장치, 그를 포함한 투명표시장치, 및 그의 제조방법 |
KR20170116624A (ko) * | 2016-04-11 | 2017-10-20 | 주식회사 잉크테크 | 전도성 접착제 조성물 및 이를 이용한 구조물의 접착 방법 |
KR102391675B1 (ko) * | 2016-09-30 | 2022-04-29 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 점착제 조성물, 점착제층, 점착제층을 구비한 편광 필름, 액정 패널, 및, 화상 표시 장치 |
JP7418944B2 (ja) | 2017-09-11 | 2024-01-22 | 日東電工株式会社 | 導電性組成物および生体センサ |
WO2020102392A1 (en) * | 2018-11-13 | 2020-05-22 | Chasm Advanced Materials, Inc. | Transparent conductive circuit |
EP3920239B1 (en) * | 2019-02-01 | 2023-10-11 | Zeon Corporation | Conductive film and production method thereof, electrode and solar cell |
JP7537693B2 (ja) * | 2019-03-08 | 2024-08-21 | 日東電工株式会社 | 電極及び生体センサ |
JP7479124B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2024-05-08 | Toppanホールディングス株式会社 | 電磁波抑制シート及びその製造方法 |
DE102019005455A1 (de) * | 2019-08-02 | 2021-02-04 | Giesecke+Devrient Currency Technology Gmbh | Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Vorrichtung |
CN110903603B (zh) * | 2019-12-05 | 2023-09-08 | 陕西生益科技有限公司 | 一种树脂组合物及其应用 |
CN115315488B (zh) * | 2020-03-30 | 2023-12-08 | 日东电工株式会社 | 导电性组合物、生物电极及生物传感器 |
CN111916249B (zh) * | 2020-06-30 | 2022-05-20 | 嘉兴中科枫林生物技术有限公司 | 高性能柔性电子功能基础材料 |
CN114843007B (zh) * | 2021-02-02 | 2023-05-16 | 湖南文理学院 | 胶束刻蚀制备聚(3,4-二氧乙烯噻吩)纳米图案的方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4089997A (en) * | 1974-05-14 | 1978-05-16 | Agfa-Gevaert N.V. | Process of applying antistatic coating compositions to polyester films |
US4166744A (en) * | 1975-07-07 | 1979-09-04 | Smith David F | Adhesive cements especially adapted to surgical use |
JP3997573B2 (ja) * | 1997-01-28 | 2007-10-24 | 三菱電機株式会社 | リチウムイオン二次電池およびその製造方法 |
EP0967678A4 (en) * | 1997-12-22 | 2005-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | LITHIUM ION SECONDARY BATTERY, AND ITS MANUFACTURE |
KR100390578B1 (ko) | 1998-12-17 | 2003-12-18 | 제일모직주식회사 | 고굴절율 전도성 고분자 박막 투명 필름 코팅액 조성물 |
US6291763B1 (en) * | 1999-04-06 | 2001-09-18 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Photoelectric conversion device and photo cell |
TWI234885B (en) * | 2002-03-26 | 2005-06-21 | Fujikura Ltd | Electroconductive glass and photovoltaic cell using the same |
JP2006352073A (ja) | 2005-05-20 | 2006-12-28 | Fujifilm Holdings Corp | 導電性パターン材料、透光性導電性膜、透光性電磁波シールド膜、光学フィルター、透明導電性シート、エレクトロルミネッセンス素子、及び平面光源システム |
AU2006265941A1 (en) | 2005-06-30 | 2007-01-11 | The Regents Of The University Of California | Electrically conducting polymer glue, devices made therewith and methods of manufacture |
TWI395230B (zh) * | 2005-09-29 | 2013-05-01 | Shinetsu Polymer Co | 觸控面板用透明導電膜及其製造方法,以及觸控面板 |
JP5259189B2 (ja) | 2005-10-03 | 2013-08-07 | シャープ株式会社 | シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法 |
KR100764362B1 (ko) * | 2005-11-01 | 2007-10-08 | 삼성전자주식회사 | 태양전지용 투명 전극, 그의 제조방법 및 그를 포함하는반도체 전극 |
TW200724634A (en) * | 2005-12-21 | 2007-07-01 | Daxon Technology Inc | Adhesive composition, pre-treatment method for supporting sheet, and polarizer made using the same |
JP5084170B2 (ja) | 2006-05-09 | 2012-11-28 | グンゼ株式会社 | 色素増感太陽電池用透明電極基板の製造方法 |
JP2008149681A (ja) | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Fujifilm Corp | 透光性導電性材料 |
JP2008288102A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Fujifilm Corp | 透明導電性フイルム、透明導電性フイルムの製造方法、透明電極フイルム、色素増感太陽電池、エレクトロルミネッセンス素子及び電子ペーパー |
WO2009054273A1 (ja) * | 2007-10-26 | 2009-04-30 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 透明導電性フィルム及びその製造方法 |
JP2009140788A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Konica Minolta Holdings Inc | 導電材料、それを用いたインクジェットインク及び透明導電性フィルム |
JP5651910B2 (ja) | 2007-12-13 | 2015-01-14 | コニカミノルタ株式会社 | 透明導電膜、及び透明導電膜の製造方法 |
JP2009259479A (ja) | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Fujifilm Corp | 発光システム |
US8323744B2 (en) * | 2009-01-09 | 2012-12-04 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Systems, methods, devices and arrangements for nanowire meshes |
WO2010082428A1 (ja) | 2009-01-19 | 2010-07-22 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明電極、その製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP5584991B2 (ja) * | 2009-04-02 | 2014-09-10 | コニカミノルタ株式会社 | 透明電極、透明電極の製造方法、および有機エレクトロルミネッセンス素子 |
-
2011
- 2011-07-20 EP EP11835915.7A patent/EP2634778B1/en active Active
- 2011-07-20 KR KR1020137010181A patent/KR101824756B1/ko active IP Right Grant
- 2011-07-20 WO PCT/JP2011/066495 patent/WO2012056774A1/ja active Application Filing
- 2011-07-20 JP JP2012540711A patent/JP5760003B2/ja active Active
- 2011-07-20 US US13/881,952 patent/US9401490B2/en active Active
- 2011-07-20 CN CN201180049913.7A patent/CN103229251B/zh active Active
- 2011-10-26 TW TW100138771A patent/TWI504721B/zh active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10108304B2 (en) * | 2014-03-28 | 2018-10-23 | Fujifilm Corporation | Conductive film, conductive film manufacturing method, and touch panel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9401490B2 (en) | 2016-07-26 |
TW201224108A (en) | 2012-06-16 |
EP2634778B1 (en) | 2019-04-24 |
KR20140031162A (ko) | 2014-03-12 |
US20130284244A1 (en) | 2013-10-31 |
EP2634778A4 (en) | 2014-05-14 |
CN103229251A (zh) | 2013-07-31 |
WO2012056774A1 (ja) | 2012-05-03 |
CN103229251B (zh) | 2016-05-18 |
KR101824756B1 (ko) | 2018-02-01 |
EP2634778A1 (en) | 2013-09-04 |
JP5760003B2 (ja) | 2015-08-05 |
TWI504721B (zh) | 2015-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5760003B2 (ja) | 透明導電性フィルム、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 | |
JP5690833B2 (ja) | 電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 | |
Chen et al. | Solution-processed copper nanowire flexible transparent electrodes with PEDOT: PSS as binder, protector and oxide-layer scavenger for polymer solar cells | |
TWI499602B (zh) | 有機電子裝置、組合物及方法 | |
WO2012093530A1 (ja) | 透明導電性積層体および有機薄膜デバイス | |
US9966548B2 (en) | Conductive polymer ink composition and organic solar cell including the same | |
JP2006310729A (ja) | 有機薄膜太陽電池 | |
JP5954412B2 (ja) | 複合材料、アクチュエータおよびそれらの製造方法 | |
WO2012053373A1 (ja) | 導電性粘着剤組成物、電子デバイス及び電子デバイスの製造方法 | |
JP6050632B2 (ja) | 導電性組成物、及び電気デバイス | |
WO2012078517A1 (en) | Inks for solar cell inverted structures | |
JP2006278582A (ja) | 有機薄膜太陽電池 | |
JP2006278583A (ja) | 有機薄膜太陽電池 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150526 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150608 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5760003 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |