JPWO2011142089A1 - フレキシブル半導体装置およびその製造方法ならびに画像表示装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 531
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 113
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 201
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 201
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 191
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 191
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 142
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 137
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 136
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 36
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 19
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 18
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 claims description 18
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 15
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 13
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 10
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 9
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 596
- 239000010408 film Substances 0.000 description 332
- 239000000463 material Substances 0.000 description 112
- 230000008569 process Effects 0.000 description 49
- 230000006870 function Effects 0.000 description 40
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 39
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 31
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 25
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 19
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 19
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 15
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 15
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 10
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 9
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000010893 electron trap Methods 0.000 description 8
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 6
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 6
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 238000009279 wet oxidation reaction Methods 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 4
- 230000005524 hole trap Effects 0.000 description 4
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 4
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 4
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000003184 C60 fullerene group Chemical group 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003363 ZnMgO Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000000412 dendrimer Substances 0.000 description 2
- 229920000736 dendritic polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CVLHDNLPWKYNNR-UHFFFAOYSA-N pentasilolane Chemical compound [SiH2]1[SiH2][SiH2][SiH2][SiH2]1 CVLHDNLPWKYNNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 150000004033 porphyrin derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程(A)、
金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程(B)、
絶縁層の上に、支持基板を形成する工程(C)、
金属箔の一部をエッチングして、金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程(D)、
ソース電極およびドレイン電極をバンク部材として用いて、ソース電極およびドレイン電極の間に位置する間隙に半導体層を形成する工程(E)、
半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように、絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程(F)
を含んで成り、工程(F)では、樹脂フィルム層の一部を、ソース電極およびドレイン電極の間の間隙へと嵌合させる、フレキシブル半導体装置の製造方法が提供される。
ゲート電極、
ゲート電極上に設けられ、ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、
絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
ソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、かかる間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極がバンク部材となっており、
半導体層が間隙に収まるように形成されており、
半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が絶縁層の上に形成され、その樹脂フィルム層には間隙に嵌合した突起部が設けられている。
フレキシブル半導体装置;および
フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
フレキシブル半導体装置のソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極がバンク部材となっており、
間隙にはフレキシブル半導体装置の半導体層が形成され、フレキシブル半導体装置の樹脂フィルム層には間隙に嵌合した突起部が設けられていることを特徴としている。
図1(a)及び(b)を参照しながら、本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置100について説明する。図1(a)は、本発明のフレキシブル半導体装置100の構成を模式的に示す斜視図である。また、図1(b)は、フレキシブル半導体装置100のソース30sと、チャネル22(20)と、ドレイン30dとの関係を示す図である。
本発明におけるようなバンク部材は、光硬化による別の電極形成の“マスク”として用いることができる。具体的には、金属箔のエッチングにより得られた「間隙を有するソース・ドレイン電極」をマスクとして用いて光照射を実施し、それによって、光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させてゲート電極を形成することができる。これは、従来技術におけるフレキシブル半導体装置の設計では「トランジスタの寄生容量の影響を考慮する必要があり、かかる寄生容量を一定かつ最小にすることが望まれている」といった事情があるので、その事情にとって特に有利となる。以下マスク態様の本発明について詳述する。
金属箔を用意する工程(A)’、
金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程(B)’、
金属箔の一部をエッチングして、かかる金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程(C)’、
絶縁層の主面のうち半導体層が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程(D)’、ならびに
ソース電極およびドレイン電極をマスクとして用いて、かかるソース電極およびドレイン電極が形成された側から光を照射し、それによって、光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてゲート電極を形成する工程(E)’
を含んで成ることを特徴とする。
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
ソース電極およびドレイン電極の間の間隙には半導体層が形成されており、
絶縁層の主面のうち、ソース電極およびドレイン電極が形成された側と反対側の主面にゲート電極が形成されており、
ソース電極の一方の端面(又は端部)とゲート電極の一方の端面(又は端部)とが相互に整合して位置していると共に、ドレイン電極の一方の端面(又は端部)とゲート電極の他方の端面(又は端部)とが相互に整合して位置している。
金属箔を用意する工程(A)”、
金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程(B)”、
絶縁層の主面のうちゲート電極が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程(C)”、
金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からゲート電極を形成する工程(D)”、および
ゲート電極をマスクとして用いて、ゲート電極が形成された側から光を照射し、それによって、光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてソース電極およびドレイン電極を形成する工程(E)”
を含んで成る。
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
ソース電極およびドレイン電極の間の間隙には半導体層が形成されており、
絶縁層の主面のうち、ソース電極およびドレイン電極が形成された側と反対側の主面にゲート電極が形成されており、
ソース電極の一方の端面とゲート電極の一方の端面とが相互に整合して位置していると共に、ドレイン電極の一方の端面とゲート電極の他方の端面とが相互に整合して位置している(より具体的には「ソース電極・ドレイン電極がゲート電極と自己整合的に一致するように形成されている」)。
図13を参照して、本発明に係るフレキシブル半導体装置100を画像表示装置に搭載する態様について説明する(ちなみに、フレキシブル半導体装置100’を画像表示装置に搭載する態様であっても同様である)。図13に示した回路90は、画像表示装置(ここでは有機ELディスプレイ)に搭載される駆動回路であり、ここでは画像表示装置の一画素の構成を表している。この例の画像表示装置の各画素は、2つのトランジスタ(100A、100B)と、1つのコンデンサ85との組み合わせの回路から構成されている。この駆動回路には、スイッチ用トランジスタ(以下、「Sw−Tr」と称する)100Aと、駆動用トランジスタ(以下、「Dr−Tr」と称する)100Bとが含まれており、両方のトランジスタ(100A、100B)とも、本発明のフレキシブル半導体装置100から構成されている。なお、フレキシブル半導体装置100の構造体の一部に、コンデンサ85を形成することも可能である。その場合、本実施形態の絶縁層10を、コンデンサ85の誘電体層として利用してもよい。
次に、画素表示装置の製造方法について説明する。具体的には、図20を参照して本態様のOLEDの製造方法について説明する。
本発明のフレキシブル半導体装置100は、“フレキシブル”であるために、ロール・ツー・ロール方式によって作製することが可能である。図22は、本実施形態のフレキシブル半導体装置100がロール・ツー・ロール工法で作製される態様を表している。
上述したことであるが、本発明に従えば、半導体層の改質を容易かつ効果的に行うことができる。特に半導体層20を酸化物半導体から構成した場合の改質を行うことができる。例えば、ZnOなどの結晶性の酸化物半導体では、スパッタなどで成膜した直後には結晶層の中に多く非晶質層が含まれており、それによって、半導体デバイスとしての特性を示さない場合が多い。しかしながら、本発明では、図3(a)または図7(a)に示した状態、すなわち、間隙50に半導体材料(ここでは、酸化物半導体)が充填された状態は、フレキシブルな状態でありながら、ソース・ドレイン電極30(30s・30d)と絶縁層10と半導体層20とから構成された構造であるので(すなわち、残りは、支持基板72であるので)、アニール工程や、レーザ照射工程を大きな制約なく実行することができる。そのような工程を実行することで、ZnOなどの酸化物半導体の結晶性を向上させて、その結果、半導体特性を改善することができる。
なお、総括的に述べると、上述した本発明は、以下の態様を包含している:
第1の態様:フレキシブル半導体装置であって、
ゲート電極、
前記ゲート電極上に設けられ、ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
前記絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙に半導体層が形成されており、
前記絶縁層の上には、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が形成され、該樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられているフレキシブル半導体装置。
第2の態様:前記第1の態様において、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、前記間隙を挟んで対向する端面が傾斜面を成していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第3の態様:前記第1または第2の態様において、前記樹脂フィルム層の前記突起部と、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙とが、相補的な形状を有していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第4の態様:前記第1〜3の態様のいずれかにおいて、前記半導体層が、シリコンを含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第5の態様:前記第1〜3の態様のいずれかにおいて、前記半導体層が酸化物半導体を含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第6の態様:前記第5の態様において、前記酸化物半導体がZnOまたはInGaZnOであることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第7の態様:前記第1〜6の態様のいずれかにおいて、前記ゲート絶縁膜が無機材料から形成されていることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第8の態様:前記第1〜6の態様のいずれかにおいて、前記金属箔が弁金属を含んで成り、前記ゲート絶縁膜が前記弁金属の陽極酸化膜であることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第9の態様:前記第1〜8の態様のいずれかのフレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置であって、
前記フレキシブル半導体装置;および
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
前記フレキシブル半導体装置のソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙には前記フレキシブル半導体装置の半導体層が形成されており、前記フレキシブル半導体装置の樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられていることを特徴とする、画像表示装置。
第10の態様:前記第9の態様において、
前記画像表示部が、
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている画素電極;
前記画素電極上に形成されている発光層;および
前記発光層上に形成されている透明電極層
を有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第11の態様:前記第10の態様において、前記発光層が、画素規制部によって仕切られた領域に形成されていることを特徴とする画像表示装置。
第12の態様:前記第10の態様において、前記透明電極層上にカラーフィルターを有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第13の態様:フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程(A)、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程(B)、
前記絶縁層の上に、支持基板を形成する工程(C)、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程(D)、
前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用いて、該ソース電極および該ドレイン電極の間に位置する間隙に半導体層を形成する工程(E)、および
前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程(F)
を含んで成り、
前記工程(F)では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙へと嵌合させる、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第14の態様:前記第13の態様において、前記工程(D)では、金属箔に対してフォトリソとウェットエッチングとを実施して、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち前記間隙を挟んで対向する端面を傾斜面とすることを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第15の態様:前記第13または14の態様において、前記工程(F)をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第16の態様:前記第13〜15の態様のいずれかにおいて、前記支持基板を除去した後、前記絶縁層のうち前記ゲート絶縁膜となる部位の表面にゲート電極を形成することを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第17の態様:前記第13〜16の態様のいずれかにおいて、前記支持基板としてセラミック基材または金属基材を用いることを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第18の態様:前記第13〜17の態様のいずれかにおいて、前記工程(B)ではゾルゲル法によって前記ゲート絶縁膜を形成することを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第19の態様:前記第17の態様において、前記工程(B)の後、前記ゲート絶縁膜に加熱処理を施すことを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第20の態様:前記第17または19の態様において、前記工程(E)の後、前記半導体層に加熱処理を施すことを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第21の態様:前記第13〜15の態様のいずれかにおいて、前記支持基板として金属基材を用い、前記工程(F)の後、前記金属基材をパターニングすることによってゲート電極を形成することを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第22の態様:フレキシブル半導体装置であって、
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
前記絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の間隙には半導体層が形成されており、
前記絶縁層の主面のうち、前記ソース電極および前記ドレイン電極が形成された側と反対側の主面にゲート電極が形成されており、
前記ソース電極の一方の端面と前記ゲート電極の一方の端面とが相互に整合して位置していると共に、前記ドレイン電極の一方の端面と前記ゲート電極の他方の端面とが相互に整合して位置している、フレキシブル半導体装置。
第23の態様:前記第22の態様において、前記ソース電極および前記ドレイン電極の双方の前記端面に対して前記ゲート電極の前記端面が自己整合的に一致するように形成されていることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第24の態様:前記第22の態様において、前記ソース電極の前記一方の端面と前記絶縁層との接点Aと、前記ゲート電極の前記一方の端面と前記絶縁層との接点Bとが相互に対向していると共に、
前記ドレイン電極の前記一方の端面と前記絶縁層との接点Cと、前記ゲート電極の前記他方の端面と前記絶縁層との接点Dとが相互に対向していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第25の態様:前記第22〜24の態様のいずれかにおいて、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、前記間隙を挟んで対向する端面が傾斜面を成していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第26の態様:前記第22〜25の態様のいずれかにおいて、前記絶縁層の上には、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が形成されており
前記樹脂フィルム層の突起部と、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙とが、相補的な形状を有していることを特徴とする、フレキシブル半導体装置。
第27の態様:前記第22〜26の態様のいずれかにおいて、前記半導体層がシリコンを含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第28の態様:前記第22〜26の態様のいずれかにおいて、前記半導体層が酸化物半導体を含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第29の態様:前記第28の態様において、前記酸化物半導体がZnOまたはInGaZnOであることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第30の態様:前記第22〜29の態様のいずれかにおいて、前記ゲート絶縁膜が無機材料から形成されていることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第31の態様:前記第22〜29の態様のいずれかにおいて、前記金属箔が弁金属を含んで成り、前記ゲート絶縁膜が前記弁金属の陽極酸化膜であることを特徴とする、フレキシブル半導体装置。
第32の態様:前記第22〜31の態様のいずれかのフレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置であって、
前記フレキシブル半導体装置;および
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
前記フレキシブル半導体装置では、ソース電極の一方の端面とゲート電極の一方の端面とが相互に整合して位置していると共に、前記ドレイン電極の一方の端面と前記ゲート電極の他方の端面とが相互に整合して位置していることを特徴とする、画像表示装置。
第33の態様:前記第32の態様において、
前記画像表示部が、
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている画素電極;
前記画素電極上に形成されている発光層;および
前記発光層上に形成されている透明電極層
を有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第34の態様:前記第33の態様において、前記発光層が、画素規制部によって仕切られた領域に形成されていることを特徴とする画像表示装置。
第35の態様:前記第33の態様において、前記透明電極層上にカラーフィルターを有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第36の態様:フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程(A)’、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程(B)’、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程(C)’、
前記絶縁層の主面のうち半導体層が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程(D)’、ならびに
前記ソース電極および前記ドレイン電極をマスクとして用いて、前記ソース電極および前記ドレイン電極が形成された側から光を照射し、それによって、前記光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてゲート電極を形成する工程(E)’
を含んで成る、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第37の態様:前記第36の態様において、前記工程(C)’の後では、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の間隙に収まるように前記絶縁層の主面上に半導体層を形成し、
前記工程(E)’においては、前記照射された光が前記半導体層を透過することによって、前記光硬化性導電性ペースト層の一部が硬化することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第38の態様:前記第37の態様において、前記半導体層の形成においては、前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用いて、該ソース電極および該ドレイン電極の間の間隙に半導体材料を供することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第39の態様:前記第36〜38の態様のいずれかにおいて、前記工程(C)’では、金属箔に対してフォトリソとウェットエッチングとを実施して、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、相互に対向する端面を傾斜面とすることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第40の態様:前記第37の態様に従属する前記第38または39の態様において、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程を更に含んで成ることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第41の態様:前記第40の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の間隙へと嵌合させることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第42の態様:前記第40または41の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第43の態様:前記第36〜42の態様のいずれかにおいて、前記工程(B)’では、ゾルゲル法によって前記ゲート絶縁膜を形成することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第44の態様:前記第36〜43の態様のいずれかにおいて、前記工程(B)’の後、前記ゲート絶縁膜に加熱処理を施すことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第45の態様:前記第37の態様に従属する前記第38〜44の態様のいずれかにおいて、前記絶縁層の上に支持基板を形成する工程を含んでなり、前記半導体層に加熱処理を施すことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第46の態様:フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程(A)”、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程(B)”、
前記絶縁層の主面のうちゲート電極が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程(C)”、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からゲート電極を形成する工程(D)”
および
前記ゲート電極をマスクとして用いて、前記ゲート電極が形成された側から光を照射し、それによって、前記光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてソース電極およびドレイン電極を形成する工程(E)”
を含んで成る、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第47の態様:前記第46の態様において、前記工程(E)”の後では、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の間隙に収まるように前記絶縁膜の主面上に半導体層を形成し、
前記半導体層の形成においては、前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用い、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の間隙に半導体材料を供することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第48の態様:前記第47の態様において、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程を更に含んで成ることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第49の態様:前記第48の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙へと嵌合させることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第50の態様:前記第48または49の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第51の態様:前記第1〜8または22〜31の態様のいずれか1つのフレキシブル半導体装置を備えた画像表示装置の製造方法であって、
(I)画素電極を備えた前記フレキシブル半導体装置を供する工程;および
(II)前記フレキシブル半導体装置上に、複数の画素より構成されている画像表示部を形成する工程
を含んで成る、画像表示装置の製造方法。
第52の態様:前記第51の態様において、前記工程(II)では、複数の画素規制部を形成し、該複数の画素規制部によって仕切られた領域の前記画素電極上に前記画素を形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
第53の態様:前記第51の態様において、前記工程(II)において、前記画素電極を覆うように前記画素電極上に発光層を形成し、該発光層上にカラーフィルターを形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
以上、本発明の好適な実施形態を中心に説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の改変がなされ得ることを当業者は容易に理解されよう。
10g ゲート絶縁膜
11 導電性ペースト
12 ゲート電極
13 ゲート電極の端面
20 半導体層
22 チャネル領域
30s ソース電極
30d ドレイン電極
31s ソース電極の端面
31d ドレイン電極の端面
50 間隙(間隙部)
60 樹脂フィルム
62 照射光
63 照射光
65 突起部(嵌合部)
70 金属箔
72 支持基板
73 支持基板
74 樹脂フィルム
80 表示部
82 ビア
84 配線
85 コンデンサ
90 駆動回路
92 データライン
94 選択ライン
100 フレキシブル半導体装置
110 フィルム積層体(積層構造体)
150 画素電極
160 画素規制部
160’画素規制部の前駆体層
165 画素規制部の形成に用いるフォトマスク
170 発光層
180 透明電極層
190 カラーフィルター
200 積層構造体
210 ローラ
212 補助ローラ
215 矢印
220 ローラ
230 ローラ
300 画像表示装置
300’ 画像表示装置
Claims (18)
- フレキシブル半導体装置であって、
ゲート電極、
前記ゲート電極上に設けられ、ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
前記絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙に半導体層が形成されており、
前記絶縁層の上には、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が形成され、該樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられている、フレキシブル半導体装置。 - 前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、前記間隙を挟んで対向する端面が傾斜面を成していることを特徴とする、請求項1に記載のフレキシブル半導体装置。
- 前記樹脂フィルム層の前記突起部と、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙とが、相補的な形状を有していることを特徴とする、請求項1に記載のフレキシブル半導体装置。
- 前記半導体層が、シリコンを含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のフレキシブル半導体装置。
- 前記半導体層が、酸化物半導体を含んで成ることを特徴とする、請求項1に記載のフレキシブル半導体装置。
- 前記酸化物半導体がZnOまたはInGaZnOであることを特徴とする、請求項5に記載のフレキシブル半導体装置。
- 前記ゲート絶縁膜が無機材料から形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のフレキシブル半導体装置。
- 前記金属箔が弁金属を含んで成り、
前記ゲート絶縁膜が、前記弁金属の陽極酸化膜であることを特徴とする、請求項1に記載のフレキシブル半導体装置。 - 請求項1に記載のフレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置であって、
前記フレキシブル半導体装置;および
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
前記フレキシブル半導体装置のソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙には前記フレキシブル半導体装置の半導体層が形成され、前記フレキシブル半導体装置の樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられていることを特徴とする、画像表示装置。 - フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程(A)、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程(B)、
前記絶縁層の上に、支持基板を形成する工程(C)、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程(D)、
前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用いて、該ソース電極および該ドレイン電極の間に位置する間隙に半導体層を形成する工程(E)、および
前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程(F)
を含んで成り、
前記工程(F)では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙へと嵌合させる、フレキシブル半導体装置の製造方法。 - 前記工程(D)では、金属箔に対してフォトリソとウェットエッチングとを実施して、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち前記間隙を挟んで対向する端面を傾斜面とすることを特徴とする、請求項10に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
- 前記工程(F)をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とする、請求項10に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
- 前記支持基板を除去した後、前記絶縁層のうち前記ゲート絶縁膜となる部位の表面に、ゲート電極を形成することを特徴とする、請求項10に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
- 前記支持基板として、セラミック基材または金属基材を用いることを特徴とする、請求項10に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
- 前記工程(B)では、ゾルゲル法によって前記ゲート絶縁膜を形成することを特徴とする、請求項10に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
- 前記工程(B)の後、前記ゲート絶縁膜に加熱処理を施すことを特徴とする、請求項14に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
- 前記工程(E)の後、前記半導体層に加熱処理を施すことを特徴とする、請求項14に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
- 前記支持基板として金属基材を用い、
前記工程(F)の後、前記金属基材をパターニングすることによって、ゲート電極を形成することを特徴とする、請求項10に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010112319 | 2010-05-14 | ||
JP2010112319 | 2010-05-14 | ||
JP2010112317 | 2010-05-14 | ||
JP2010112317 | 2010-05-14 | ||
PCT/JP2011/002368 WO2011142089A1 (ja) | 2010-05-14 | 2011-04-22 | フレキシブル半導体装置およびその製造方法ならびに画像表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011142089A1 true JPWO2011142089A1 (ja) | 2013-07-22 |
Family
ID=44914149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012514699A Pending JPWO2011142089A1 (ja) | 2010-05-14 | 2011-04-22 | フレキシブル半導体装置およびその製造方法ならびに画像表示装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120280229A1 (ja) |
EP (1) | EP2571043A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2011142089A1 (ja) |
CN (1) | CN102598231A (ja) |
WO (1) | WO2011142089A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8969867B2 (en) * | 2012-01-18 | 2015-03-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2014154714A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 有機電界発光素子、表示装置および有機電界発光素子の製造方法 |
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- 2011-04-22 CN CN2011800043514A patent/CN102598231A/zh active Pending
- 2011-04-22 WO PCT/JP2011/002368 patent/WO2011142089A1/ja active Application Filing
- 2011-04-22 US US13/520,003 patent/US20120280229A1/en not_active Abandoned
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CN102598231A (zh) | 2012-07-18 |
WO2011142089A1 (ja) | 2011-11-17 |
US20120280229A1 (en) | 2012-11-08 |
EP2571043A1 (en) | 2013-03-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A711 | Notification of change in applicant |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
A02 | Decision of refusal |
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