JPWO2011138967A1 - 導電性摺動膜、導電性摺動膜が形成された部材、及びその製造方法 - Google Patents
導電性摺動膜、導電性摺動膜が形成された部材、及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011138967A1 JPWO2011138967A1 JP2012513835A JP2012513835A JPWO2011138967A1 JP WO2011138967 A1 JPWO2011138967 A1 JP WO2011138967A1 JP 2012513835 A JP2012513835 A JP 2012513835A JP 2012513835 A JP2012513835 A JP 2012513835A JP WO2011138967 A1 JPWO2011138967 A1 JP WO2011138967A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- sliding film
- conductive sliding
- metal
- mount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0605—Carbon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
- C23C14/325—Electric arc evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/548—Controlling the composition
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B17/00—Details of cameras or camera bodies; Accessories therefor
- G03B17/02—Bodies
- G03B17/12—Bodies with means for supporting objectives, supplementary lenses, filters, masks, or turrets
- G03B17/14—Bodies with means for supporting objectives, supplementary lenses, filters, masks, or turrets interchangeably
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/20—Conductive material dispersed in non-conductive organic material
- H01B1/22—Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/20—Conductive material dispersed in non-conductive organic material
- H01B1/24—Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising carbon-silicon compounds, carbon or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/29—Mixtures
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24025—Superposed movable attached layers or components
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Structure And Mechanism Of Cameras (AREA)
Abstract
Description
本発明に用いられるテトラヘドラルアモルファスカーボンについて説明する。図2にsp3結合からなる炭素(sp3−C)、sp2結合からなる炭素(sp2−C)、Hの三成分(三元)系からなる炭素−水素組成状態図を示す。図において、三角形の各辺に付記した数値は、下辺が水素Hの組成比、右辺はsp3−Cの組成比(濃度)、左辺はsp2−Cの組成比(濃度)である。また、図中のPECVDはメタンを原料とするプラズマCVD法、IPはベンゼンを原料としたイオンプレーティング法を意味し、それらの方法で製造された炭素−水素組成が図中に四角で示されている。
テトラヘドラルアモルファスカーボンにドープする金属として、摺動膜の耐摩耗性、摺動性及び導電性、特に導電性という観点からすれば、Ti、Ni、Cr、Al、Mg、Cu、Fe、Ag、Au、Pt等が挙げられる。このうち、Ti、Cr、Ni、Feが好ましい。金属の摺動膜中の含有量(ドープ量)は、摺動膜の耐摩耗性、摺動性及び導電性を適度に維持するためには、1〜33at%、特に1〜20at%が望ましい。含有量が1at%未満であると導電性が不十分であり、摺動膜の電気抵抗が高くなる。含有量が20at%を超えると、摺動膜の硬度が低下して耐摩耗性が悪化する傾向にある。
本発明の実施形態に従う摺動膜は、抵抗値が102〜10−4[Ωcm]、特に10−2〜10−4[Ωcm]、さらには10−3〜10−4[Ωcm]の範囲の値を達成している。このため、例えば、オートフォーカスなどのレンズの自動制御可能なカメラのマウントにこの摺動膜を用いることにより、レンズ部とカメラボディとの間での電気信号の通信を摺動膜を介して行うことができる。また、このようなカメラのマウントに用いる場合には、ユーザによってはレンズ部やストロボなどをカメラボディから頻繁に着脱することがあり、このような着脱を繰り返すことにより、マウントの摺動部に設けられた摺動膜が剥がれることがある。しかし、そのような剥がれが生じると、前述の摺動膜を通じたレンズ部とカメラボディとの導通ができなくなってしまう。それゆえ、摺動膜の耐摩耗性や硬度も必要である。また、レンズ部をカメラボディから着脱するのはユーザの手作業であるために、摺動膜を介したレンズ部とカメラボディとの間の着脱はスムーズに行われる必要があり、このため摺動膜の動摩擦を低下することも必要である。このように、カメラのマウントに使用される摺動部には、i)低い電気抵抗値、ii)適度な硬さ(耐摩耗性)及びiii)低い動摩擦係数が同時に要求されている。しかし、電気抵抗値を下げるためには金属ドープ量を増やすと、硬度が低下して膜が剥がれやすくなる。一方、硬度をあまり高くすると、動摩擦係数も高くなり、摺動性が低下する。このため、カメラのマウントの摺動膜には、上記3つの特性をバランスよく満たす必要がある。
基材上に導電性摺動膜を形成する成膜方法の一例として、FCVA(Filtered Cathodic Vacuum Arc)法及びその方法を実施する成膜装置1の概要構造を図3を参照しながら説明する。
本実施形態によれば、上記のような摺動膜を有する部材もまた提供される。本実施形態の摺動膜は、摺動膜の有する高い耐摩耗性、良好な摺動性及び導電性(低い電気抵抗)という観点から様々な用途の部材または部品に使用することができるが、特に、他の部材に相対して摺動する部材や、他の部材に相対して摺動しながら他の部材に接続または結合する部材に好適である。また、相対して摺動し合う一対の部材やまたは相対して摺動しながら互いに接続または結合する部材セットやキットにも好適である。特に、レンズユニットがカメラボディから着脱可能なカメラのレンズユニット側のマウント部材及び/またはカメラボディ側のマウント部材に好適である。それらのマウント部材について図4及び5(a)及び(b)を参照しながら簡単に説明する。カメラ40は、互いに着脱可能なカメラボディ41と交換レンズ42を有する。カメラボディ41と交換レンズ42とはそれぞれバヨネット式マウント(以下、適宜「マウント」という)を備える。交換レンズ42の雄マウント52には爪部53が突出して設けられる。カメラボディ41の雌マウント51には、雄マウント52の爪部53が挿入される挿入部54と、爪部53が係止される係止部55とが設けられている。爪部53及び係止部55の一方又は双方には、弾性部材等を利用した係止機構(不図示)が設けられている。
以下に、本発明の導電性摺動膜及びそれを用いた部材の製造方法を記載するが、本発明はそれらの実施例に限定されるものではない。
図3に示すようなFCVA成膜装置1を用いて導電性摺動膜を形成した実施例を以下に示す。本実施例では、金属元素を含むターゲット11としてTiを2.15[at%]含有した焼結グラファイトターゲットを用い、基材表面にta-C:Ti膜(チタンドープテトラヘドラルアモルファスカーボン膜)を作製した。なお、焼結グラファイトターゲットは脱水処理したものを用いた。後述するように、ta-C:Ti膜の薄膜抵抗率、硬度及び弾性率、膜の組成、摩擦係数及び耐摩耗性などを個別に評価するため、基材の種類を使い分けた以外は同じ条件で複数回に分けてta-C:Ti膜を形成した。具体的には、基材は、薄膜抵抗率を測定するためにSiO2ガラス基板を用い、耐摩耗性を評価するときに真鍮のカメラマウント部材を用い、それ以外はSi基板を用いた。
金属元素を含むターゲット11としてTiを2.15[at%]含有した焼結グラファイトターゲットを脱水処理せずに用い、FCVA成膜装置1の運転条件を図7に示した値に変更した以外は、実施例1と同様にして成膜した。基材上に成膜速度0.12[nm/s]で、膜厚365[nm]の膜が形成された。
金属元素を含むターゲット11としてTiを含有していない焼結グラファイトターゲットを用い、FCVA成膜装置1の運転条件(バイアス電圧)を図7に示した条件に変更した以外は、実施例1と同様にして膜厚300nmの膜を成膜した。
ベンゼン蒸気(C6H6)を原料としてイオンプレーティング法により、400度に加熱した基板上にアモルファスカーボン膜を膜厚300nmとなるように成膜した。後述するように、硬度及び弾性率、膜の組成、並びに摩擦係数などをそれぞれ評価するため、実施例1と同様に基材の種類を使い分けた以外は、同じ条件で複数回に分けて成膜した。
基板の温度を200℃に変更した以外は、比較例2と同様にしてイオンプレーティング装置を用いて成膜した。Si基板上に形成した膜について、ラザフォード後方散乱法により測定し、膜中に含まれている炭素が75.2at%、水素が24.8at%であった。X線光電子分光により膜中に含まれている炭素のsp2−C結合とsp3−C結合の割合について分析したところ、図7の表中に示すように、sp2−C結合は炭素の結合全体(sp2−C+sp3−C)に対して83at%であり、さらに水素を24.8%含有するので、比較例3で得られた膜は、水素化アモルファスカーボン(a−C:H)であることが分かる。
メタンガス(CH4)を原料とするプラズマCVD法により、100℃に加熱した基板上に炭素膜を膜厚300nmとなるように成膜した。後述するように、硬度及び弾性率、膜の組成、並びに摩擦係数などをそれぞれ評価するため、実施例1と同様に基材の種類を使い分けた以外は、同じ条件で複数回に分けて成膜した。
薄膜抵抗率(体積抵抗率)は、SiO2ガラス基板上に形成したta-C:Ti膜等の膜を四端子法により測定した。測定値を図8の表に示す。実施例1〜9で得られた膜の薄膜抵抗率は、いずれも1×10−4 〜1×10−3
[Ωcm]であった。金属元素がドープされていないta-C膜(比較例1)は、薄膜抵抗率が1×108[Ωcm]オーダーの高い値であった。このことから、金属あるいは金属炭化物を含有させたグラファイトターゲットを原料とし、FCVA法により成膜することによって、良好な導電性を有するta-C:M膜が形成されることが理解される。
硬度及び弾性率は、Si基板上に形成したta-C:Ti膜をナノインデンテーション(nanoindentation)法により複数のサンプリング位置で測定した。測定された実施例1〜9及び比較例1〜4の膜の硬度及び弾性率を図8の表に示した。実施例1〜8の膜の硬度が11〜13[GPa]の範囲にあり、弾性率が120〜153[GPa]の範囲にあることが分かる。なお、参考のため、従来用いられてきた真鍮を基材とする金属クロム膜の硬度はおよそ8[GPa]程度である。従って、本発明の態様の製造方法により作製されたta-C:Ti膜は、従来の金属クロム膜よりかなり高く、実施例1〜8の膜では1.5倍程度の高い硬度を有することが確認された。
次に、Si基板上に形成された実施例1〜9及び比較例1〜4の膜について摩耗特性を、ボールオンディスク法により測定した。測定にはアルミナボールを使用し、荷重200[gf]、回転半径2[mm]、回転数100[rpm]とした。実施例1〜9及び比較例1〜4の膜について、動摩擦係数の時間に対す得る平均値を求め、図8の表中に示した。この測定結果から、実施例1〜9の膜はいずれも動摩擦係数が0.08(0.1未満)であり、実施例のta-C:Ti膜が、ta-C膜より更に低い摩擦係数であること、すなわち良好な摺動性を有していることがわかる。なお、図10のグラフに、実施例9及び比較例1の膜について動摩擦係数の測定結果を示す。図10のグラフにおいて、横軸は時間、縦軸は動摩擦係数である。比較例2から4で得られた膜については、SUS420J2ボールを用いて上記と同様にして動摩擦係数の平均値を求めた。比較のために実施例6の膜について、アルミナボールに加え、SUS304ボール及びSUS420J2ボールを用いて上記と同様にして動摩擦係数の平均値を求めたところ、それぞれ0.07及び0.065であった(SUS420J2ボールを用いて得られる動摩擦係数はアルミナボールを用いて得られる動摩擦係数よりも小さい)。図2の状態図には、比較例1〜4で得られた膜及び種々の組成のテトラヘドラルアモルファスカーボン膜の動摩擦係数の範囲について表されている。水素を含まないアモルファスカーボン(a−Cまたはta−C)は水素化アモルファスカーボン(a−C:H)よりも動摩擦係数が小さく、水素を含まないアモルファスカーボンの中でも、テトラヘドラルアモルファスカーボンの動摩擦係数が小さく、sp3−C結合の割合が増えると動摩擦係数が小さくなることが分かる。
Si基板上に形成された実施例1〜9及び比較例1〜4の膜について、ボールオンディスク法により摺動耐久性を測定した。SUS420J2ボールを使用し、荷重1000[gf]、回転半径2[mm]、回転数100[rpm]の条件下、膜剥離に至る時間を計測した。結果を図8の表に示す。FCVA法を用いて製造した実施例1〜8及び比較例1の摺動膜については20000秒以上であったが、別の方法を用いて製造した比較例2〜4の膜は、1300秒未満であり、特に、比較例3及び4の水素化アモルファスカーボン膜の摺動耐久性は劣っていた。
実施例及び比較例で得られた膜について内部応力を測定した。内部応力は、触針式表面形状測定器を用いて成膜前後の基板の曲率半径をそれぞれ計測し、基板のヤング率等から算出した。結果を図8の表に示す。表中、内部応力の符号が負になっているのは、応力が圧縮応力であることを示す。実施例1〜8で得られたta-C:Ti膜は比較例1で得られたta-C膜と比較して圧縮応力が小さいので、機械的な耐久性が要求される用途により適している。
実施例及び比較例で得られた膜について、耐熱性を昇温脱離法により評価した。実施例および比較例1ではテトラヘドラルアモルファスカーボンの構造に起因して耐熱性が850℃と高かったのに対して、比較例2〜4はそれぞれ、700℃未満、400℃未満、300℃未満であった。
FCVA装置の運転条件を図11の表に示したような値にした以外は、実施例1と同様にして異なるTi/C原子比率のta-C:Ti膜を形成した。得られた膜のTi/C原子比率を図11の表に示す。なお、Tiの膜中の原子比(at%)も併せて表記した。また、得られたta-C:Ti膜の体積抵抗率、硬度及び動摩擦係数について実施例1〜9と同様にして測定し、結果を図11の表に示す。なお、参考のため、実施例6及び9で得られた膜の各物性についても図11の表に示した。
次にカメラのバヨネットの摺動膜としての性能を以下のようにして評価した。実施例6、9及び10〜14におけるFCVA装置の運転条件で、ta-C::Ti膜を真鍮製のレンズ側のマウント及びカメラボディ側のマウント上に、それぞれ膜厚2ミクロンで摺動膜を成膜した。また、比較例として、真鍮製のレンズ側のマウント及びカメラボディ側のマウント上に六価クロムメッキ法により金属Cr膜を膜厚4ミクロンで成膜したものを用意した(比較例5)。これらをカメラボディ及びレンズユニット(交換レンズ)に取り付けて着脱を繰り返す実機テストを行い、皮膜が完全に剥離して基材が露出するまでの着脱回数を計数した。結果を図11の表中に示す。この結果から、比較例5の従来の金属Cr膜と比較して、実施例のta-C:Ti膜は、遥かに高い耐摩耗性を有していることが確認できる。特に、硬度が10〜30GPaであり且つ動摩擦係数が0.15未満であると、レンズユニットのカメラボディに対する着脱が5000回を超える耐久性を有することが分かる(実施例6、10〜12)。カメラのレンズユニットとボディユニットとは電導性が必要であるので、導電率を上げる(抵抗率を下げる)には金属元素のドープ量を増やせばよい。しかし、図11の表から分かるように、Tiのドープ量が増すと体積抵抗率は低下するが、硬度が低下して動摩擦係数が増加する。このため、導電率、硬度及び動摩擦係数を適度にバランスする必要があることが分かる。このような特性が要求されているカメラのマウント用の摺動膜としては、ドープする金属がTiの場合には、Tiの含有量が25at%以下にすることで、好適な導電率を維持しつつ耐摩耗性に優れることが分かる。
10 アークプラズマ生成部
11 ターゲット
20 フィルタ部
21 ダブルベンド電磁石コイル
23 ダクト
25 イオンスキャン用コイル
30 成膜チャンバ部
31 ホルダ
32,33 基材
40 カメラ
41 カメラボディ
42 交換レンズ
50 導電性摺動膜
51 雌マウント
52 雄マウント
Claims (16)
- 相対摺動する部材の表面に施される導電性摺動膜であって、
前記導電性摺動膜は、金属がドープされたテトラヘドラルアモルファスカーボンから形成されており、該導電性摺動膜の抵抗率が102〜10−4[Ωcm]の範囲にある導電性摺動膜。 - 前記導電性摺動膜の表面硬度が10〜30[GPa]の範囲にある請求項1に記載の導電性摺動膜。
- 前記金属がチタンであり、当該チタンの含有率が1〜25[at%]である請求項2に記載の導電性摺動膜。
- 前記チタンの含有率が1〜20[at%]である請求項3に記載の導電性摺動膜。
- 抵抗率が10−2〜10−4[Ωcm]の範囲にあり、表面硬度が10〜30[GPa]の範囲にあり、且つ動摩擦係数が0.15未満である請求項1に記載の導電性摺動膜。
- フィルタードカソーディックバキュームアーク法により形成された請求項1に記載の導電性摺動膜。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の導電性摺動膜が表面に施された部材。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の導電性摺動膜が、他の部材の接続面と相対摺動して接続される接続面に形成された部材。
- 前記部材は、金属材料により形成された基材の表面に前記導電性摺動膜が形成されてなる請求項7に記載の部材。
- 前記部材は、相対摺動して接続する第1接続部材及び第2接続部材の少なくとも一方であり、
前記第1接続部材の接続面と前記第2接続部材の接続面とが相対摺動して係合接続されたときに、前記第1接続部材と前記第2接続部材とが機械的に接続されるとともに、電気的に接続される請求項7に記載の部材。 - カメラボディに対してレンズユニットが着脱交換可能に構成されたカメラシステムに用いられるボディ側及び/またはレンズ側のマウント部材であって、
基材と、
前記基材上に形成された導電性摺動膜とを有し、
該導電性摺動膜は、金属がドープされたテトラヘドラルアモルファスカーボンから形成され且つ、10−2〜10−4[Ωcm]の抵抗率、10〜30[GPa]の表面硬度、及び0.15未満の動摩擦係数を有するカメラ用マウント部材。 - 前記金属がチタンであり、当該チタンの含有率が1〜33[at%]である請求項11に記載のマウント部材。
- 請求項11または12に記載のマウント部材が設けられたカメラボディ。
- 請求項11または12に記載のマウント部材が設けられたレンズユニット。
- 相対摺動する部材を真空チャンバ内に設置し、
金属または金属炭化物を含有させたグラファイトターゲットを原料とし、
フィルタードカソーディックバキュームアーク法により、前記部材の表面に、導電率が102〜10−4[Ωcm]の範囲にあり、表面硬度が10〜30[GPa]の範囲にある金属ドープテトラヘドラルドープアモルファスカーボンの導電性摺動膜を形成する導電性摺動膜の製造方法。 - 前記グラファイトターゲットが水素を実質的に含まない請求項15に記載の導電性摺動膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012513835A JP5842814B2 (ja) | 2010-05-07 | 2011-05-06 | カメラ用マウント部材 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010106928 | 2010-05-07 | ||
JP2010106928 | 2010-05-07 | ||
JP2012513835A JP5842814B2 (ja) | 2010-05-07 | 2011-05-06 | カメラ用マウント部材 |
PCT/JP2011/060609 WO2011138967A1 (ja) | 2010-05-07 | 2011-05-06 | 導電性摺動膜、導電性摺動膜が形成された部材、及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011138967A1 true JPWO2011138967A1 (ja) | 2013-07-22 |
JP5842814B2 JP5842814B2 (ja) | 2016-01-13 |
Family
ID=44903818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012513835A Expired - Fee Related JP5842814B2 (ja) | 2010-05-07 | 2011-05-06 | カメラ用マウント部材 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130058640A1 (ja) |
EP (1) | EP2568059B1 (ja) |
JP (1) | JP5842814B2 (ja) |
KR (1) | KR20130069621A (ja) |
CN (1) | CN102884221B (ja) |
BR (1) | BR112012028564A2 (ja) |
WO (1) | WO2011138967A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150044079A1 (en) * | 2012-03-30 | 2015-02-12 | Kayaba Industry Co., Ltd. | Sliding members and piston pump/motor |
WO2014055491A1 (en) * | 2012-10-03 | 2014-04-10 | Corning Incorporated | Surface-modified glass substrate |
US9352073B2 (en) | 2013-01-22 | 2016-05-31 | Niko Corporation | Functional film |
US9057955B2 (en) * | 2013-01-22 | 2015-06-16 | Nikon Corporation | Functional film, liquid immersion member, method of manufacturing liquid immersion member, exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP2014152373A (ja) * | 2013-02-12 | 2014-08-25 | Kayaba Ind Co Ltd | 摺動部材 |
JP5979302B2 (ja) * | 2013-02-28 | 2016-08-24 | 株式会社ニコン | 摺動膜、摺動膜が形成された部材、及びその製造方法 |
JP2016101658A (ja) * | 2013-03-06 | 2016-06-02 | 株式会社ニコン | 金属光沢を有する装飾膜を備えた複合部材 |
TWI503174B (zh) * | 2013-12-26 | 2015-10-11 | Univ Far East | The process of making the powder by arc |
US9984915B2 (en) * | 2014-05-30 | 2018-05-29 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor wafer and method for processing a semiconductor wafer |
EP2963145B1 (en) * | 2014-06-30 | 2018-01-31 | IHI Hauzer Techno Coating B.V. | Coating and method for its deposition to operate in boundary lubrication conditions and at elevated temperatures |
FR3030490B1 (fr) | 2014-12-23 | 2019-12-20 | Saint-Gobain Glass France | Vitrage comprenant une couche de protection superieure a base de carbone hydrogene |
JP2016164307A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-08 | キヤノン株式会社 | 摺動用部材およびそれを有する摺動装置およびそれを有する電子写真方式の画像形成装置 |
CN111455331B (zh) * | 2019-01-20 | 2022-03-04 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种金属掺杂非晶碳薄膜材料、其制备方法与应用 |
CN110387524B (zh) * | 2019-07-25 | 2021-07-20 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 一种掺硅碳薄膜的固液超滑方法 |
JP2021123571A (ja) * | 2020-02-07 | 2021-08-30 | 株式会社ニコン | アモルファスカーボン膜を有する部材、及びその製造方法 |
JP7457638B2 (ja) * | 2020-12-03 | 2024-03-28 | 日本コーティングセンター株式会社 | 摺接部材、導電性高硬度保護被膜及び摺接部材の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06212429A (ja) * | 1992-07-02 | 1994-08-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質炭素膜 |
JPH08136991A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-05-31 | Nikon Corp | 交換レンズ式カメラシステムおよび交換レンズ式カメラ |
JP2002544380A (ja) * | 1999-05-10 | 2002-12-24 | ナンヤン テクノロジカル ユニバーシティ | 複合コーティング |
JP2006225686A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Nikon Corp | 金属体、レンズマウント、及び金属の表面処理方法 |
JP2009504919A (ja) * | 2005-08-18 | 2009-02-05 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 四面体炭素膜を備える層状構造体により被覆した基板 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003231203A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-08-19 | Toshiba Corp | 炭素膜被覆部材 |
US7106939B2 (en) * | 2001-09-19 | 2006-09-12 | 3M Innovative Properties Company | Optical and optoelectronic articles |
JP2007101656A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Fujifilm Corp | 電子機器システムおよび電子機器 |
JP4696823B2 (ja) * | 2005-10-06 | 2011-06-08 | トヨタ自動車株式会社 | 金属複合ダイヤモンドライクカーボン(dlc)皮膜、その形成方法、及び摺動部材 |
GB2459604B (en) * | 2007-02-26 | 2011-07-06 | Wisconsin Alumni Res Found | Surface plasmon resonance compatible carbon thin films |
JP5273337B2 (ja) | 2007-06-01 | 2013-08-28 | 神奈川県 | 低摩擦摺動部材 |
US8363149B2 (en) * | 2008-09-10 | 2013-01-29 | Panasonic Corporation | Lens barrel and imaging device |
-
2011
- 2011-05-06 EP EP11777486.9A patent/EP2568059B1/en not_active Not-in-force
- 2011-05-06 BR BR112012028564A patent/BR112012028564A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2011-05-06 CN CN201180023017.3A patent/CN102884221B/zh active Active
- 2011-05-06 KR KR1020127029092A patent/KR20130069621A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-05-06 JP JP2012513835A patent/JP5842814B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-06 WO PCT/JP2011/060609 patent/WO2011138967A1/ja active Application Filing
-
2012
- 2012-11-01 US US13/666,523 patent/US20130058640A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06212429A (ja) * | 1992-07-02 | 1994-08-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質炭素膜 |
JPH08136991A (ja) * | 1994-11-02 | 1996-05-31 | Nikon Corp | 交換レンズ式カメラシステムおよび交換レンズ式カメラ |
JP2002544380A (ja) * | 1999-05-10 | 2002-12-24 | ナンヤン テクノロジカル ユニバーシティ | 複合コーティング |
JP2006225686A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Nikon Corp | 金属体、レンズマウント、及び金属の表面処理方法 |
JP2009504919A (ja) * | 2005-08-18 | 2009-02-05 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 四面体炭素膜を備える層状構造体により被覆した基板 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
B.K TAY, ET AL.: "On the properties of nanocomposite amorphous carbon films prepared by off-plane double bend filtered", THIN SOLID FILMS, vol. Volumes 420-421, JPN6015029106, 2002, pages 177 - 184, ISSN: 0003118893 * |
P. ZHANGA,ET AL.: "Surface energy of metal containing amorphous carbon films deposited by filtered cathodic vacuum arc", DIAMOND AND RELATED MATERIALS, vol. 13, JPN6015029108, 2004, pages 459 - 464, XP004498789, ISSN: 0003176045, DOI: 10.1016/j.diamond.2003.11.083 * |
YU-HUNG LIN,ET AL.: "Annealing effect on the structural, mechanical and electrical properties of titanium-doped diamond-l", THIN SOLID FILMS, vol. 518, JPN6015029109, 2009, pages 1503 - 1507, ISSN: 0003176046 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130069621A (ko) | 2013-06-26 |
EP2568059B1 (en) | 2016-07-06 |
CN102884221B (zh) | 2015-07-22 |
CN102884221A (zh) | 2013-01-16 |
BR112012028564A2 (pt) | 2016-08-02 |
EP2568059A4 (en) | 2014-01-22 |
WO2011138967A1 (ja) | 2011-11-10 |
US20130058640A1 (en) | 2013-03-07 |
JP5842814B2 (ja) | 2016-01-13 |
EP2568059A1 (en) | 2013-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5842814B2 (ja) | カメラ用マウント部材 | |
US9481846B2 (en) | Sliding film, member on which sliding film is formed, and manufacturing method therefor | |
US7816011B2 (en) | Structural material of diamond like carbon composite layers | |
WO2005103326A1 (ja) | 炭素膜 | |
US20130143063A1 (en) | Device housing and method for making same | |
CN114196914B (zh) | 一种碳化物高熵陶瓷材料、碳化物陶瓷层及其制备方法和应用 | |
Akhavan et al. | External magnetic field guiding in HiPIMS to control sp3 fraction of tetrahedral amorphous carbon films | |
US20120107606A1 (en) | Article made of aluminum or aluminum alloy and method for manufacturing | |
JP5729478B2 (ja) | 複合プラスチック部材及びその製造方法 | |
JPH01132779A (ja) | 硬質炭素膜被覆を施した金属基体 | |
CN106929800B (zh) | 一种类金刚石复合薄膜及其制备方法 | |
Chang et al. | Mechanical properties and oxidation behavior of ZrNx thin films fabricated through high-power impulse magnetron sputtering deposition | |
JP2009099327A (ja) | 透明導電膜およびその製造方法 | |
WO2014136861A1 (ja) | 金属光沢を有する装飾膜を備えた複合部材 | |
CA2868976C (en) | Method of manufacturing eyeglass lens | |
JP2007158030A (ja) | 希土類系永久磁石およびその製造方法 | |
JP2009093068A (ja) | 耐擦傷性物品の製造方法 | |
TWI314920B (en) | Core insert for molding glass system and method of manufacture it | |
US20190169735A1 (en) | Carbon-based Nano-thin Film for Enhancing Surface Abrasion Resistance on Sapphire Thin Film | |
JP5762101B2 (ja) | 光学素子成形用型の製造方法および光学素子成形用型 | |
WO2004108802A1 (en) | Cellular phone case and method of manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150721 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151020 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5842814 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |