JPWO2011125543A1 - 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ - Google Patents

誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ Download PDF

Info

Publication number
JPWO2011125543A1
JPWO2011125543A1 JP2012509437A JP2012509437A JPWO2011125543A1 JP WO2011125543 A1 JPWO2011125543 A1 JP WO2011125543A1 JP 2012509437 A JP2012509437 A JP 2012509437A JP 2012509437 A JP2012509437 A JP 2012509437A JP WO2011125543 A1 JPWO2011125543 A1 JP WO2011125543A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
dielectric
batio
component
powder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012509437A
Other languages
English (en)
Inventor
朋美 古賀
朋美 古賀
伴野 晃一
晃一 伴野
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2010085775 priority Critical
Priority to JP2010085775 priority
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Priority to PCT/JP2011/057353 priority patent/WO2011125543A1/ja
Publication of JPWO2011125543A1 publication Critical patent/JPWO2011125543A1/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G23/00Compounds of titanium
    • C01G23/003Titanates
    • C01G23/006Alkaline earth titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/465Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
    • C04B35/468Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates
    • C04B35/4682Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates based on BaTiO3 perovskite phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • C04B35/49Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/6261Milling
    • C04B35/6262Milling of calcined, sintered clinker or ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62685Treating the starting powders individually or as mixtures characterised by the order of addition of constituents or additives
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/628Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
    • C04B35/62802Powder coating materials
    • C04B35/62805Oxide ceramics
    • C04B35/62813Alumina or aluminates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/628Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
    • C04B35/62802Powder coating materials
    • C04B35/62805Oxide ceramics
    • C04B35/62815Rare earth metal oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/628Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
    • C04B35/62802Powder coating materials
    • C04B35/62805Oxide ceramics
    • C04B35/62818Refractory metal oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/628Coating the powders or the macroscopic reinforcing agents
    • C04B35/62802Powder coating materials
    • C04B35/62805Oxide ceramics
    • C04B35/62826Iron group metal oxides
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1218Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1218Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
    • H01G4/1227Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/30Three-dimensional structures
    • C01P2002/34Three-dimensional structures perovskite-type (ABO3)
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/50Solid solutions
    • C01P2002/52Solid solutions containing elements as dopants
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/50Solid solutions
    • C01P2002/52Solid solutions containing elements as dopants
    • C01P2002/54Solid solutions containing elements as dopants one element only
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00Particle morphology
    • C01P2004/60Particles characterised by their size
    • C01P2004/64Nanometer sized, i.e. from 1-100 nanometer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00Particle morphology
    • C01P2004/80Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases
    • C01P2004/82Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases two phases having the same anion, e.g. both oxidic phases
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2004/00Particle morphology
    • C01P2004/80Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases
    • C01P2004/82Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases two phases having the same anion, e.g. both oxidic phases
    • C01P2004/84Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases two phases having the same anion, e.g. both oxidic phases one phase coated with the other
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/40Electric properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2006/00Physical properties of inorganic compounds
    • C01P2006/42Magnetic properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3215Barium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3232Titanium oxides or titanates, e.g. rutile or anatase
    • C04B2235/3234Titanates, not containing zirconia
    • C04B2235/3236Alkaline earth titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3239Vanadium oxides, vanadates or oxide forming salts thereof, e.g. magnesium vanadate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3241Chromium oxides, chromates, or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3248Zirconates or hafnates, e.g. zircon
    • C04B2235/3249Zirconates or hafnates, e.g. zircon containing also titanium oxide or titanates, e.g. lead zirconate titanate (PZT)
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3251Niobium oxides, niobates, tantalum oxides, tantalates, or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3256Molybdenum oxides, molybdates or oxide forming salts thereof, e.g. cadmium molybdate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3262Manganese oxides, manganates, rhenium oxides or oxide-forming salts thereof, e.g. MnO
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3272Iron oxides or oxide forming salts thereof, e.g. hematite, magnetite
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3275Cobalt oxides, cobaltates or cobaltites or oxide forming salts thereof, e.g. bismuth cobaltate, zinc cobaltite
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3279Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3281Copper oxides, cuprates or oxide-forming salts thereof, e.g. CuO or Cu2O
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418Silicon oxide, silicic acids, or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5418Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5418Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5454Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof nanometer sized, i.e. below 100 nm
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5463Particle size distributions
    • C04B2235/5472Bimodal, multi-modal or multi-fraction
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/652Reduction treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6582Hydrogen containing atmosphere
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6583Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures
    • C04B2235/6584Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures at an oxygen percentage below that of air
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6588Water vapor containing atmospheres
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • C04B2235/85Intergranular or grain boundary phases
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2982Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
    • Y10T428/2991Coated
    • Y10T428/2993Silicic or refractory material containing [e.g., tungsten oxide, glass, cement, etc.]

Abstract

積層セラミックコンデンサの誘電体層として用いた場合に、寿命特性に優れた積層セラミックコンデンサを得ることが可能な誘電体セラミックおよびそれを用いて誘電体層を形成した信頼性(寿命特性)に優れた積層セラミックコンデンサを提供する。BaTiO3系のセラミック粒子の焼結体からなり、セラミック粒子は、表層部であるシェル部と、シェル部の内側のコア部とを備え、副成分として、R(Rは、希土類元素であって、Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,ErおよびYからなる群より選ばれる少なくとも1種)、および、M(Mは、Mg,Mn,Ni,Co,Fe,Cr,Cu,Al,Mo,WおよびVからなる群より選ばれる少なくとも1種以上)を含み、RおよびMは、セラミック粒子20のシェル部21に存在するとともに、シェル部21に含まれるRおよびMの濃度が、粒界25からコア部22に向かって高くなるように構成する。

Description

本発明は誘電体セラミックおよびそれを用いたコンデンサに関し、詳しくは、BaTiO3系の誘電体セラミックおよびそれを誘電体層の構成材料として用いた積層セラミックコンデンサに関する。

近年、電子機器の小型・軽量化にともない、小型で、大容量を取得することが可能な積層セラミックコンデンサが広く用いられている。この積層セラミックコンデンサは、例えば、図1に示すように、セラミック積層体(積層セラミック素子)10の内部に配設された内部電極12が、誘電体層であるセラミック層(誘電体セラミック層)11を介して積層され、かつ、セラミック積層体10の両端面には、交互に逆側の端面に露出した内部電極12と導通するように一対の外部電極13a,13bが配設された構造を有している。

そして、このような積層セラミックコンデンサにおいては、誘電体層として、 高い誘電率を有するBaTiO3系セラミック材料が一般的に用いられている。

さらに、BaTiO3系セラミック材料として、温度特性や絶縁性、信頼性(寿命特性)などの特性を向上させる目的で、種々の副成分、例えば、希土類元素やMgなどを添加したものが用いられている。

また、温度特性や信頼性(寿命特性)を制御可能に保ちつつ、両立させるために、セラミック粒子(結晶粒子)の表層部に副成分の大部分が固溶し、結晶粒子の内部には殆ど副成分が固溶していない、いわゆるコア・シェル構造とよばれる結晶構造とすることも行われている。

たとえば、特許文献1には、誘電体層が、コア部とコア部を囲繞するシェル部とからなるセラミック粒子の焼結体から構成されているとともに、セラミック粒子のシェル部にはMn,V,Cr,Co,Fe,Ni,CuおよびMoから選択された1種又は2種以上のアクセプタ型元素、Mgおよび希土類元素(Ho,Sc,Y,Gd,Dy,Er,Yb,Tb,Tm,Lu)が含まれており、シェル部に含まれている上記アクセプタ型元素の濃度がコア・シェル境界から粒界側に向かって高くなるようにした積層セラミックコンデンサが提案されている(特許文献1参照)。

しかしながら、誘電体層に特許文献1に示されているようなセラミック誘電体を用いた積層セラミックコンデンサの場合、例えば、高温や高電界強度の環境下で使用すると、信頼性(寿命特性)が低下するという問題点がある。そのため、さらに寿命特性に優れた積層セラミックコンデンサを構成することが可能な誘電体材料の開発が望まれているのが実情である。

特開2001−230149号公報

本発明は、上記課題を解決するものであり、積層セラミックコンデンサの誘電体層として用いた場合に、寿命特性に優れた積層セラミックコンデンサを得ることが可能な誘電体セラミックおよびそれを用いて誘電体層を形成した信頼性(寿命特性)に優れた積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の誘電体セラミックは、
BaTiO3系のセラミック粒子を主相粒子とする焼結体からなり、
前記セラミック粒子は、表層部であるシェル部と、シェル部の内側のコア部とを備え、
副成分として、R(Rは、希土類元素であって、Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,ErおよびYからなる群より選ばれる少なくとも1種)、および、M(Mは、Mg,Mn,Ni,Co,Fe,Cr,Cu,Al,Mo,WおよびVからなる群より選ばれる少なくとも1種以上)を含み、
前記Rおよび前記Mは、前記セラミック粒子の前記シェル部に存在し、
前記シェル部に含まれる前記Rおよび前記Mの濃度が、粒界から前記コア部に向かって高くなっていること
を特徴としている。

本発明の誘電体セラミックにおいては、ペロブスカイト型化合物としてのBaTiO3を構成するBaの一部が、Ca,Srで置換されていてもよく、また、Tiの一部がZrで置換されていてもよい。すなわち、Baの一部がCa,Srで置換され、かつ、Tiの一部がZrで置換されていてもよく、また、BaとTiのいずれか一方だけが上述の成分で置換されていてもよい。

また、本発明の積層セラミックコンデンサは、複数の誘電体層と複数の内部電極とが一体的に積層された構造を有する積層セラミックコンデンサであって、
前記誘電体層が、請求項1または2記載の誘電体セラミックから形成されていることを
を特徴としている。

本発明の誘電体セラミックは、BaTiO3系のセラミック粒子を主相粒子とする焼結体からなり、セラミック粒子は、表層部であるシェル部と、シェル部の内側のコア部とを備え、副成分として、R(Rは、希土類元素であって、Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,ErおよびYからなる群より選ばれる少なくとも1種)、および、M(Mは、Mg,Mn,Ni,Co,Fe,Cr,Cu,Al,Mo,WおよびVからなる群より選ばれる少なくとも1種以上)を含む誘電体セラミックであって、RおよびMが、セラミック粒子の表層部に存在し、シェル部に含まれるRおよびMの濃度が、粒界からコア部に向かって高くなるようにしているので、本発明の誘電体セラミックを用いて誘電体層を形成することにより、高温や高電界強度の環境下でも、良好な信頼性(寿命特性)を確保することが可能な積層セラミックコンデンサを提供することができる。
なお、本発明において、「シェル部に含まれるRおよびMの濃度が、粒界からコア部に向かって高くなる」とは、RおよびMのシェル部における濃度が全体として上昇傾向にあることを意味するものであって、粒界からコア部に向かう過程において、部分的にRおよびMの濃度が低下する部分がある場合を排除するものではない。
また、本発明においては、シェル部に含まれるRとMの両方において、粒界から5nm内部に入った位置の濃度に対して20%以上濃度の高い点(高濃度点)が、コア部とシェル部との境界付近に存在することが好ましい。

また、本発明においては、Baの一部をCa,Srで置換したり、Tiの一部をZrで置換したりすることにより、特性を制御して、所望の特性を備えた誘電体セラミックを実現することが可能になる。
なお、Baの一部のCa,Srによる置換と、Tiの一部のZrによる置換は、いずれか一方について行ってもよく、また、BaのとTiの両方について行ってもよい。

また、本発明の積層セラミックコンデンサは、誘電体層が、本発明の誘電体セラミックから形成されているので、高温や高電界強度の環境のもとでも、良好な信頼性(寿命特性)を実現することができる。

本発明の実施例にかかる積層セラミックコンデンサの構成を示す断面図である。 本発明の実施例にかかる積層セラミックコンデンサの誘電体層を形成するセラミック粒子中の副成分の濃度分布を説明する図である。 表1の試料番号9の試料(本発明の要件を備えた試料)の誘電体セラミック層の顕微鏡写真である。 図3に示したポイント1〜15の各ポイントにおけるR成分であるGdと、M成分であるMgの濃度を示す図である。 本発明の要件を備えていない比較例にかかる積層セラミックコンデンサの誘電体層を形成するセラミック粒子中の副成分の濃度分布を説明する図である。

以下に本発明の実施例を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。

(A)誘電体セラミック原料の作製
まず、主成分原料として、平均粒径200nmのBaTiO3粉末(BaTiO3粉末A)を準備した。このBaTiO3粉末Aに対し、表1に記載のM成分の酸化物粉末、および表1に記載のR成分の酸化物粉末を添加し、純水中でボールミルにより12時間混合し、乾燥した。

なお、表1中のM成分の量は、M成分およびR成分の添加後のBaTiO3(全体)100モル部に対して1.5モル部(好ましい範囲は0.5〜5モル部)であり、また、R成分の量は、M成分およびR成分の添加後のBaTiO3(全体)100モル部に対して、10モル部(好ましい範囲は1〜15モル部)である。

それから、この混合粉末を1000℃で仮焼した後、得られた仮焼体を1次粒子にまで解砕することにより、仮焼済みの原料粉末を得た。なお、この仮焼済みの原料粉末の1次粒子の粒径は、上記主成分原料として用いた平均粒径200nmのBaTiO3粉末の平均粒径(200nm)に近似するものである。

次に、上述のようにして得た仮焼済みの原料粉末に、純水を媒体として平均粒径50nmのBaTiO3粉末(BaTiO3粉末B)およびSiO2粉末を添加し、ボールミルにより12時間混合した。その後、蒸発乾燥することにより、表の試料番号1〜19にかかる誘電体セラミック原料を得た。
なお、上述の平均粒径200nmのBaTiO3粉末Aに対する、平均粒径50nmのBaTiO3粉末Bの配合比率(モル比)は、BaTiO3粉末A:BaTiO3粉末B=8:2である。

また、比較のため、平均粒径50nmのBaTiO3粉末Bを添加していない誘電体セラミック原料(すなわち、BaTiO3粉末A:BaTiO3粉末B=10:0(モル比)で、本発明の要件を備えていない比較用の誘電体セラミック原料)として、表1の試料番号20の誘電体セラミック原料を作製した。

なお、主成分原料であるBaTiO3粉末Aおよび添加用のBaTiO3粉末Bは、その製造方法に特別の制約はなく、固相合成法、水熱合成法、加水分解法などいずれの方法で作製されたものも使用することが可能である。

また、BaTiO3粉末A,Bの作製に用いられる原料および副成分の化合物形態についても特別の制約はなく、酸化物、炭酸物をはじめ、塩化物、金属有機化合物など種々のものを使用することが可能である。

(B)積層セラミックコンデンサの作製
上記(A)で作製した誘電体セラミック原料に、ポリビニルブチラール系バインダーおよび有機溶媒(この実施例1ではエタノール)を加えて、ボールミルにより所定の時間、湿式混合し、セラミックスラリーを作製した。

このセラミックスラリーをLip方式によりシート成形し、焼成後の誘電体素子厚が10μmになるようなセラミックグリーンシートを得た。
次に、上記セラミックグリーンシート上に、ニッケル粉末を導電成分とする導電ペーストをスクリーン印刷し、焼成後に内部電極となる導電ペースト層(内部電極パターン)を形成した。

その後、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを、内部電極パターンが交互に逆側に引き出されるような態様で有効誘電体層(コンデンサ形成層)の層数が10層となるように積層し、さらに、上下両面側に、導電ペーストパターンが形成されていないセラミックグリーンシートを外層として積層することにより、積層ブロックを作製した。

それから、この積層ブロックを所定の寸法となるようにカットすることにより得た未焼成の積層体を、大気中で300℃に加熱してバインダーを燃焼させた後、酸素分圧10-10MPaのH2−N2−H2Oガス雰囲気(還元性雰囲気)中で、1200℃、2時間の条件で焼成し、焼成済みの積層体(セラミック積層体)を得た。

それから焼成済みの積層体の、内部電極が引き出された両端面に、B23−Li2O−SiO2−BaO系のガラスフリットを含有する、銅粉末を導電成分とする導電ペーストを塗布して、800℃で焼き付けることにより、内部電極と電気的に接続された外部電極を形成した。

これにより、図1に模式的に示すように、積層セラミック素子(セラミック焼結体)10の内部に配設された内部電極12が、誘電体層(誘電体セラミック層)11を介して積層され、かつ、積層セラミック素子10の両端面には、交互に逆側の端面に露出した内部電極12と導通するように一対の外部電極13a,13bが配設された構造を有する積層セラミックコンデンサを得た。

なお、得られた積層セラミックコンデンサの外形寸法は、長さ:2.0mm、幅:1.2mm、厚さ:1.0mmであり、内部電極12間に介在する誘電体層(誘電体セラミック層)11の厚みは10μmであった。
また、有効誘電体層(コンデンサ形成層)の総数は10であり、一層当たりの対向電極面積は1.4mm2であった。

(C)特性の測定、誘電体セラミック層の構造分析、および評価
(1)特性の測定
(イ)比誘電率
上述のようにして作製した試料(積層セラミックコンデンサ)について、静電容量を1kHz、1Vrmsの条件で測定し、得られた静電容量の値から比誘電率を算出した。その結果を表1に示す。

(ロ)信頼性(寿命特性)
上述のようにして作製した各試料(積層セラミックコンデンサ)をそれぞれ10個用意し、各10個の試料について、温度170℃で、電圧DC400Vを印加する高温加速寿命試験(HALT)を行い、絶縁抵抗値が100kΩ以下になるまでの時間を故障時間として測定し、その値から平均故障時間(MTTF)を求めた。その結果を表1に示す。

(2)誘電体セラミック層の構造分析
上述のようにして作製した試料(積層セラミックコンデンサ)について、エネルギー分散型X線分光法(TEM−EDX)により、2nmのプローブを用いて、誘電体セラミック層のR成分およびM成分を定量し、それぞれの濃度分布を観察した。

(3)評価
表1に示すように、本発明の要件を備えた実施例にかかる試料である試料番号1〜19の各試料においては、170℃、400VでのMTTF(平均故障時間)が250時間以上の高水準であることが確認された。これにより、高温や高電界強度の環境のもとでも、良好な信頼性(寿命特性)が得られることがわかる。

また、試料番号1〜19の各試料における比誘電率の値は、平均粒径50nmのBaTiO3粉末Bの添加(後添加)を行っていない試料番号20の試料(比較用の試料)の場合と同等で、比誘電率の低下などが生じていないことが確認された。

また、上記のTEM−EDXによる構造分析の結果、試料番号1〜19の各試料は、図2に模式的に示すように、セラミック粒子20のシェル部21においてR成分とM成分が検出され、粒界25からコア部22に向かって、R成分およびM成分の濃度が高くなるという、本発明の要件を満たしていることが確認された。

これは、試料番号1〜19の試料の場合、シェル部に副成分であるR成分とM成分が拡散した仮焼済みの主成分原料粉末(BaTiO3)に対して、R成分およびM成分(副成分)を含まない平均粒径50nmのBaTiO3粉末Bを添加する(BaTiO3粉末Bの後添加する)ようにしていることから、シェル部に副成分であるR成分とM成分が拡散した仮焼済みの主成分原料粉末(BaTiO3)に、後添加したBaTiO3粉末Bに由来するBaTiO3が拡散して、シェル部の粒界に近い部分のR成分およびM成分の濃度が低下させるため、相対的に、シェル部に含まれるRおよびMの濃度が、粒界からコア部に向かって高くなったものと考えられる。

なお、図3は本発明の要件を備えた試料番号9の試料の顕微鏡写真であり、図4は図3に示されたポイント1〜15の各ポイントにおけるR成分であるGdと、M成分であるMgの濃度を示す図である。
図3,4に示すように、本発明の実施例にかかる積層セラミックコンデンサ(試料番号9の試料)の誘電体セラミック層を構成するセラミック粒子のR成分であるGdとM成分であるMgの、ポイント1〜15の濃度からも、粒界25からコア部22に向かって、R成分(Gd)およびM成分(Mg)の濃度が高くなっていることがわかる。

一方、平均粒径50nmのBaTiO3粉末Bの添加(後添加)を行っていない試料番号20の試料の場合、MTTF(平均故障時間)が110時間と、本発明の要件を満たす試料に比べて大幅に短くなることが確認された。なお、比誘電率の値は3500と、本発明の要件を満たす試料番号1〜19の試料と同等であった。

また、試料番号20の試料について、TEM−EDXによる構造分析を行った結果、図5に示すように、セラミック粒子20のシェル部21においてR成分とM成分が検出されたが、粒界25からコア部22付近に向かってそれぞれ濃度が低くなる傾向が認められた。
これは、試料番号20の試料の場合、平均粒径50nmのBaTiO3粉末Bの添加(後添加)を行っていないことから、上述の試料番号1〜19の試料において得られるような、BaTiO3粉末Bが後添加されることによる効果が得られないことによるものである。

(A)誘電体セラミック原料の作製
この実施例2では、主成分原料(出発原料)としてTiの一部がZrに置換されたBaTiO3粉末A’、すなわち、Ba(Ti1-xZrx)O3粉末を準備した。なお、Ba(Ti1-xZrx)O3におけるxの値(すなわち、Ti:Zrの比)は表2に示すように、Ti:Zr=100:0〜70:30の範囲で変化させた。

また、後添加するBaTiO3粉末B’としても、それぞれ、主成分原料であるTiの一部がZrに置換されたBaTiO3粉末A’と同じBaTiO3粉末B’を用意した。

なお、この実施例2では、R成分はGdに固定し、M成分はMgに固定した。
そして、上述のようなBaTiO3粉末A’およびB’を用いたことを除いて、上記実施例1の場合と同じ方法および条件で、表2の試料番号21〜25の誘電体セラミック原料を作製した。

また、比較のため、平均粒径50nmのBaTiO3粉末B’の後添加を行っていない誘電体セラミック原料(すなわち、BaTiO3粉末A’:BaTiO3粉末B’=10:0(モル比)で、本発明の要件を備えていない比較用の誘電体セラミック原料)として、表2の試料番号26の誘電体セラミック原料を作製した。

(B)積層セラミックコンデンサの作製
上記(A)で作製した、各誘電体セラミック原料を用いたことを除いて、上記実施例1の場合と同じ方法および条件で、表2の試料番号21〜26の各試料(誘電体セラミックコンデンサ)を作製した。

(C)特性の測定、誘電体セラミック層の構造分析、および評価
上記実施例1の場合と同じ方法および条件で、表2の試料番号21〜26の試料について、特性を測定するとともに、誘電体セラミック層の構造分析を行った。
その結果を表2に示す。

表2に示すように、本発明の要件を備えた試料番号21〜25の各試料(本発明の実施例にかかる積層セラミックコンデンサ)においては、170℃、400VでのMTTF(平均故障時間)が250時間以上の高水準であることが確認された。これにより、高温や高電界強度の環境のもとでも、良好な信頼性(寿命特性)が得られることがわかる。

なお、比誘電率は、例えば、試料番号23〜25の試料において低い値となっているが、これは、Tiの一部がZrに置換されたBaTiO3粉末を用いていることによるものである。なお、比誘電率が低くても、他の特性、例えば、耐圧特性や寿命特性などの特性次第では、それに適した用途に用いることが可能で、必ずしも欠点となるものではない。

また、上記のTEM−EDXによる構造分析の結果、特に図示しないが、試料番号21〜25の各試料においては、セラミック粒子のシェル部においてR成分とM成分が検出され、粒界からコア部に向かって、R成分およびM成分の濃度が高くなる、本発明の要件を満たす構造を有するものが得られることが確認された。
これは、上記実施例1の、表1における試料番号1〜19の試料の場合と同様に、試料番号21〜25の試料においては、上述の、平均粒径50nmのBaTiO3粉末B’の後添加を行っていることから、シェル部に副成分であるR成分とM成分が拡散した仮焼済みの主成分原料粉末(BaTiO3粉末A’)に、後添加したBaTiO3粉末B’に由来するBaTiO3が拡散して、シェル部の粒界に近い部分のR成分およびM成分の濃度が低下したため、相対的に、シェル部に含まれるRおよびMの濃度が、粒界からコア部に向かって高くなったことによるものと考えられる。

一方、試料番号26の試料の場合、Tiの5%をZrに置換(Ti:Zr=95:5)しているだけであることから、比誘電率の値は2800と、Tiの5%をZrに置換した本発明の要件を満たす試料番号22の試料(Ti:Zr=95:5)の比誘電率とほぼ同等であったが、MTTF(平均故障時間)が100時間と、本発明の要件を満たす試料に比べて、大幅に短くなることが確認された。

また、試料番号26の試料について、TEM−EDXによる構造分析を行った結果、シェル部においてR成分とM成分が検出されたが、粒界からコア部付近に向かってそれぞれ濃度が低くなる傾向が認められた。
これは、試料番号26の試料の場合、上述のように平均粒径50nmのBaTiO3粉末B’の後添加を行っていないことから、試料番号21〜25の試料の場合のような、BaTiO3が後添加されることによる効果が得られないことによるものである。

なお、この実施例2では、BaTiO3系セラミックを構成するTiの一部がZrに置換されている場合を例にとって説明したが、Baの一部がCaおよび/またはSrで置換された構成とすることも可能であり、また、Baの一部がCaおよび/またはSrで置換され、かつ、Tiの一部がZrで置換された構成とすることも可能である。

また、上記実施例1では、R成分およびM成分(副成分)を含まない平均粒径の小さいBaTiO3粉末Bを後添加し、実施例2ではBaTiO3粉末B’を後添加することにより、セラミック粒子のシェル部において粒界からコア部に向かって、R成分およびM成分の濃度が高くなるような構成を実現するようにしたが、粒界からコア部に向かってR成分およびM成分の濃度が高くなるような構成を実現する手段に特別の制約はなく、後添加するBaTiO3粉末の組成や焼成の条件などを調製する方法などによっても、粒界からコア部に向かってR成分およびM成分の濃度が高くなるような構成を実現することは可能である。

なお、本発明にかかる誘電体セラミックは、積層セラミックコンデンサに限らず、LC複合部品などにも適用することが可能である。

本発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、本発明の誘電体セラミックを製造する場合の各原料の種類、仮焼工程における条件、副成分の割合などに関し、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。

10 積層セラミック素子
11 セラミック層
12 内部電極層
13a,13b 外部電極
20 セラミック粒子
21 シェル部
22 コア部
25 粒界

Claims (3)

  1. BaTiO3系のセラミック粒子を主相粒子とする焼結体からなり、
    前記セラミック粒子は、表層部であるシェル部と、シェル部の内側のコア部とを備え、
    副成分として、R(Rは、希土類元素であって、Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,ErおよびYからなる群より選ばれる少なくとも1種)、および、M(Mは、Mg,Mn,Ni,Co,Fe,Cr,Cu,Al,Mo,WおよびVからなる群より選ばれる少なくとも1種以上)を含み、
    前記Rおよび前記Mは、前記セラミック粒子の前記シェル部に存在し、
    前記シェル部に含まれる前記Rおよび前記Mの濃度が、粒界から前記コア部に向かって高くなっていること
    を特徴とする誘電体セラミック。
  2. Baの一部がCa,Srで置換されていること、および/または、Tiの一部がZrで置換されていること
    を特徴とする請求項1記載の誘電体セラミック。
  3. 複数の誘電体層と複数の内部電極とが一体的に積層された構造を有する積層セラミックコンデンサであって、
    前記誘電体層が、請求項1または2記載の誘電体セラミックから形成されていること
    を特徴とする積層セラミックコンデンサ。
JP2012509437A 2010-04-02 2011-03-25 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ Pending JPWO2011125543A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010085775 2010-04-02
JP2010085775 2010-04-02
PCT/JP2011/057353 WO2011125543A1 (ja) 2010-04-02 2011-03-25 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2011125543A1 true JPWO2011125543A1 (ja) 2013-07-08

Family

ID=44762497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012509437A Pending JPWO2011125543A1 (ja) 2010-04-02 2011-03-25 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8841225B2 (ja)
JP (1) JPWO2011125543A1 (ja)
WO (1) WO2011125543A1 (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011256091A (ja) * 2010-06-11 2011-12-22 Murata Mfg Co Ltd 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ
JP5531863B2 (ja) * 2010-08-31 2014-06-25 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物およびセラミック電子部品
KR101912266B1 (ko) 2012-07-20 2018-10-29 삼성전기 주식회사 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법
KR101823162B1 (ko) * 2012-10-05 2018-01-29 삼성전기주식회사 유전체 조성물 및 이를 이용한 적층 세라믹 전자부품
KR101952846B1 (ko) * 2012-10-05 2019-02-27 삼성전기주식회사 유전체 조성물 및 이를 이용한 적층 세라믹 전자부품
CN103208365B (zh) * 2013-01-25 2016-01-06 湖北大学 一种温度稳定型异质叠层电介质陶瓷电容器及其制备方法
KR101983171B1 (ko) * 2014-07-07 2019-05-28 삼성전기주식회사 유전체 자기 조성물 및 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터
CN104318980B (zh) * 2014-08-26 2017-02-15 北京化工大学 介电陶瓷颗粒及其制备方法和应用
JP6451293B2 (ja) * 2014-12-17 2019-01-16 Tdk株式会社 積層セラミックコンデンサ
TWI573775B (zh) * 2015-07-16 2017-03-11 Ceramic capacitor dielectric material
WO2017073621A1 (ja) * 2015-10-28 2017-05-04 京セラ株式会社 コンデンサ
KR20190023298A (ko) * 2017-08-28 2019-03-08 삼성전기주식회사 유전체 파우더 및 이를 이용한 적층형 세라믹 전자부품
KR20190074019A (ko) 2017-12-19 2019-06-27 삼성전자주식회사 세라믹 유전체 및 그 제조 방법, 세라믹 전자 부품 및 전자장치
KR102145313B1 (ko) * 2018-08-03 2020-08-18 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001057314A (ja) * 1999-08-19 2001-02-27 Murata Mfg Co Ltd 誘電体セラミックおよび積層セラミック電子部品
JP2003277139A (ja) * 2002-01-15 2003-10-02 Tdk Corp 誘電体磁器組成物および電子部品
JP2006298746A (ja) * 2005-03-22 2006-11-02 Tdk Corp 粉末の製造方法、その粉末及びその粉末を用いた積層セラミックコンデンサ
WO2006117996A1 (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. 誘電体セラミック及びその製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ
JP2008222520A (ja) * 2007-03-14 2008-09-25 Tdk Corp 誘電体磁器組成物および電子部品

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4326102B2 (ja) 2000-02-16 2009-09-02 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサの製造方法
JP2001240466A (ja) * 2000-02-28 2001-09-04 Taiyo Yuden Co Ltd 誘電体磁器と積層セラミック電子部品
TWI299328B (en) 2002-01-15 2008-08-01 Tdk Corp Dielectric ceramic composition and multi-layer ceramic capacitor
TW200839814A (en) * 2007-03-14 2008-10-01 Tdk Corp Dielectric ceramic composition and electronic device
JP5531863B2 (ja) * 2010-08-31 2014-06-25 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物およびセラミック電子部品
JP2012193072A (ja) * 2011-03-16 2012-10-11 Tdk Corp 誘電体磁器組成物

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001057314A (ja) * 1999-08-19 2001-02-27 Murata Mfg Co Ltd 誘電体セラミックおよび積層セラミック電子部品
JP2003277139A (ja) * 2002-01-15 2003-10-02 Tdk Corp 誘電体磁器組成物および電子部品
JP2006298746A (ja) * 2005-03-22 2006-11-02 Tdk Corp 粉末の製造方法、その粉末及びその粉末を用いた積層セラミックコンデンサ
WO2006117996A1 (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. 誘電体セラミック及びその製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ
JP2008222520A (ja) * 2007-03-14 2008-09-25 Tdk Corp 誘電体磁器組成物および電子部品

Also Published As

Publication number Publication date
US20130222968A1 (en) 2013-08-29
US8841225B2 (en) 2014-09-23
WO2011125543A1 (ja) 2011-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4491794B2 (ja) 誘電体セラミック、及び積層セラミックコンデンサ
KR100906079B1 (ko) 유전체 세라믹, 및 적층 세라믹 콘덴서
JP5440779B2 (ja) 誘電体セラミック、及び積層セラミックコンデンサ
JP5182531B2 (ja) 誘電体セラミック、及び積層セラミックコンデンサ
JP3567759B2 (ja) 誘電体セラミック組成物および積層セラミックコンデンサ
KR100533580B1 (ko) 유전체 세라믹 및 그 제조방법, 적층 세라믹 콘덴서
US6556423B2 (en) Dielectric ceramic, methods for making and evaluating the same, and monolithic ceramic electronic component
JP4817199B2 (ja) 低温焼成及び高温絶縁抵抗強化用誘電体組成物及びこれを用いた積層セラミックキャパシタ
US7751178B2 (en) Dielectric ceramic and multilayer ceramic capacitor using the same
KR100566396B1 (ko) 유전체 세라믹 및 그 제조방법 및 적층 세라믹 커패시터
TW454209B (en) Ceramic capacitor and method for making the same
JP5315856B2 (ja) 積層セラミック電子部品
JPWO2015040869A1 (ja) 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
US6829137B2 (en) Dielectric ceramic and monolithic ceramic capacitor including same
JP5144052B2 (ja) 誘電体セラミック組成物、積層セラミックコンデンサ及びその製造方法
KR100406818B1 (ko) 유전체 세라믹, 유전체 세라믹의 생산 공정 및 다층세라믹 커패시터
TWI501273B (zh) Laminated ceramic capacitors
JP4110978B2 (ja) 誘電体セラミックおよびその製造方法ならびに積層セラミックコンデンサ
KR100822178B1 (ko) 유전체 세라믹 및 그 제조방법, 및 적층 세라믹 커패시터
JP5455164B2 (ja) 誘電体磁器組成物、及び積層セラミックコンデンサ
JP6102410B2 (ja) 誘電体磁器組成物、および誘電体素子
JP5375994B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
KR20160065012A (ko) 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법
JP4805938B2 (ja) 誘電体磁器およびその製法、並びに積層セラミックコンデンサ
JP2007331956A (ja) 電子部品、誘電体磁器組成物およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140213

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140701