JP5354185B2 - 誘電体セラミック及びその製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ - Google Patents
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Description
また、本発明の誘電体セラミックの製造方法は、焼成後の結晶性複合酸化物においてNi、Ti及びMgの含有量の総計に対するAlの含有量が、モル比で0.05〜0.4であって、Alの含有量に対するMgの含有量が、元素比で、2.5以下(0を含まず。)となるように、前記希土類化合物、前記Mg化合物、前記Ni化合物、前記Al化合物、及び前記Ti化合物を秤量するのも好ましい。
(実施例試料No.1〜17)
セラミック素原料として、BaCO3、TiO2を所定量秤量し、これら秤量物をPSZボール及び純水と共にボールミルに投入し、十分に湿式で混合粉砕し、乾燥させた後、1050℃の温度で約2時間、仮焼し、これにより平均粒径0.12μmのBa1.01TiO3からなる主成分粉末を作製した。
実施例試料No.1〜17と同様の方法・手順で、Ba1.01TiO3からなる主成分粉末を作製した。
実施例試料No.1〜17の各試料について、破断面を研磨し、FE−SEM(電界放射型走査電子顕微鏡)で観察し、WDX(波長分散型X線マイクロアナライザ)で組成をマッピング分析して結晶性複合酸化物を同定した。
〔実施例1〕と同様の方法・手順で、Ba1.01TiO3からなる主成分粉末を作製した。
〔実施例1〕と同様、各試料について、TEM−EDSを使用し、結晶性複合酸化物の組成分析を行い、さらに高温負荷試験を行った。
〔実施例1〕と同様の方法・手順でBa1.01TiO3からなる主成分粉末を作製した。
〔実施例2〕と同様、各試料について、TEM−EDSを使用し、結晶性複合酸化物の組成分析を行い、さらに高温負荷試験を行った。
(実施例No.51)
セラミック素原料として、BaCO3、CaCO3、SrCO3、TiO2を用意した。そしてこれらセラミック素原料を所定量秤量してPSZボール及び純水と共にボールミルに投入し、十分に湿式で混合粉砕し、乾燥させた後、1100℃の温度で約2時間、仮焼処理を施し、これにより平均粒径0.12μmの、(Ba0.965Ca0.020Sr0.015)1.012TiO3からなる主成分粉末を作製した。
セラミック素原料として、BaCO3、TiO2、及びZrO2を用意した。そしてこれらセラミック素原料を所定量秤量してPSZボール及び純水と共にボールミルに投入し、十分に湿式で混合粉砕し、乾燥させた後、1100℃の温度で約2時間、仮焼処理を施し、これにより平均粒径0.12μmの、Ba(Ti0.95Zr0.15)O3からなる主成分粉末を作製した。
セラミック素原料として、BaCO3、CaCO3、SrCO3、TiO2、及びZrO2を用意した。そしてこれらセラミック素原料を所定量秤量してPSZボール及び純水と共にボールミルに投入し、十分に湿式で混合粉砕し、乾燥させた後、1100℃の温度で約2時間、仮焼処理を施し、これにより平均粒径0.12μmの(Ba0.965Ca0.020Sr0.015)1.012(Ti0.95Zr0.15)O3からなる主成分粉末を作製した。
〔実施例1〕と同様の方法・手順で、Ba1.01TiO3からなる主成分粉末を作製した。
〔実施例1〕と同様の方法・手順で、Ba1.01TiO3からなる主成分粉末を作製した。
〔実施例1〕と同様の方法・手順で、Ba1.01TiO3からなる主成分粉末を作製した。
実施例1と同様の方法・手順により、各試料について、TEM−EDSを使用し、結晶性複合酸化物の組成分析を行い、さらに高温負荷試験を行った。
2a〜2f 内部電極層
3 外部電極
10 セラミック焼結体
Claims (8)
- チタン酸バリウム系複合酸化物を主成分とし、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、及びLuの群から選択された少なくとも1種の希土類元素R、Mg、Ni、及びAlを含有し、
前記希土類元素R、Ni、Al及びTiを主成分とする結晶性複合酸化物が存在し、
かつ、前記結晶性複合酸化物中のNi及びTiの含有量の総計に対するAlの含有量は、モル比で、
0.05≦Al/(Ni+Ti)≦0.5
を満足していることを特徴とする誘電体セラミック。 - 前記結晶性複合酸化物は、組成式R 2 (Ni,Al)TiO 6 で表されることを特徴とする請求項1記載の誘電体セラミック。
- Mgが、前記結晶性複合酸化物に主成分として含まれていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の誘電体セラミック。
- 前記結晶性複合酸化物中のNi、Ti及びMgの含有量の総計に対するAlの含有量が、モル比で、
0.05≦Al/(Ni+Ti+Mg)≦0.4
を満足し、Alの含有量に対するMgの含有量が、元素比で、
0<Mg/Al≦2.5
を満足していることを特徴とする請求項3記載の誘電体セラミック。 - 前記結晶性複合酸化物は、組成式R 2 (Ni,Al,Mg)TiO 6 で表されることを特徴とする請求項3又は請求項4記載の誘電体セラミック。
- 少なくともBa化合物及びTi化合物を含むセラミック素原料を出発原料としてチタン酸バリウム系複合酸化物からなる主成分粉末を作製する主成分粉末作製工程と、
焼成後の結晶性複合酸化物においてNi及びTiの含有量の総計に対するAlの含有量が、モル比で0.05〜0.5となるように、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、及びLuの群から選択された少なくとも1種の希土類元素Rを含有した希土類化合物、Mg化合物、Ni化合物、Al化合物、及びTi化合物を秤量して熱処理を施し、前記結晶性複合酸化物を含む熱処理粉末を作製する熱処理粉末作製工程と、
少なくとも前記主成分粉末及び前記熱処理粉末を混合して成形し、成形体を作製する成形体作製工程と、
該成形体を焼成する焼成工程とを含むことを特徴とする誘電体セラミックの製造方法。 - 焼成後の結晶性複合酸化物においてNi、Ti及びMgの含有量の総計に対するAlの含有量が、モル比で0.05〜0.4であって、Alの含有量に対するMgの含有量が、元素比で、2.5以下(0を含まず。)となるように、前記希土類化合物、前記Mg化合物、前記Ni化合物、前記Al化合物、及び前記Ti化合物を秤量することを特徴とする請求項6記載の誘電体セラミックの製造方法。
- 誘電体セラミック層と内部電極層とが交互に積層されて焼成されたセラミック焼結体を備え、該セラミック焼結体の両端部に外部電極が形成された積層セラミックコンデンサにおいて、
前記誘電体セラミック層が、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の誘電体セラミックで形成されていることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
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