JPWO2011021506A1 - ボンディングパッドを有するシリコン構造体 - Google Patents
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Abstract
電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有し、該シリコン基板上の保護膜に、ボンディングパッドを露出させるパッド開口パターンを形成したシリコン構造体において、ボンディングパッドの平面形状を大きくすることなく、プローブ痕とワイヤボンディング位置とを異ならせることが可能なシリコン構造体を得る。保護膜のパッド開口パターン内に位置するボンディングパッドのエッジの外側一部に、該保護膜によって覆われない基板露出部を形成し、かつこの基板露出部は、配線導体を露出させることがない位置に形成したシリコン構造体。
Description
本発明は、電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有するシリコン構造体に関する。
このようなシリコン構造体として、半導体圧力センサ(ダイヤフラム型圧力センサ)を例にとると、シリコン基板には、平面矩形のダイヤフラム部分(凹部)が形成され、同シリコン基板上には、ダイヤフラムのエッジ各辺上に位置する複数の感応抵抗素子(電気素子)と、この感応抵抗素子に配線導体を介して接続されたボンディングパッドが形成されている。金属薄膜からなる配線導体とボンディングパッドは、最も一般的にはAl(アルミニウム膜)から構成される。
この半導体圧力センサでは、感応抵抗素子と配線導体を保護膜(パッシベーション膜)によって覆い、ボンディングパッドは、外部回路とワイヤボンディングするために露出させている。つまり、保護膜には、ボンディングパッド部分に対応させて、パッド開口パターンを形成している。
従来、このパッド開口パターンは、ボンディングパッド外形より若干小さく形成するのが普通であった。ところが、半導体圧力センサの小型化が進むに連れて、次のような問題が指摘されている。
半導体圧力センサは、ウェハ状態での完成時に全数について性能検査が行われる。この検査に際しては、そのボンディングパッドに、検査用プローブが接触し、その痕(プローブ痕)が発生することが避けられない。ウェハ状態での検査が終了すると、ダイヤフラム型センサとして切り出され、そのボンディングパッドと外部回路がAu線(接続ワイヤ)でワイヤボンディングされることとなる。ボンディングパッドが大型(大面積)であれば、プローブ痕とワイヤボンディングワイヤボンディング位置を異ならせることができるが(特許文献1、2)、ボンディングパッドの大きさは、現状で平面100μm角未満であり、プローブ痕とワイヤボンディング位置とが重なってしまう(プローブ痕上にワイヤボンディングしてしまう)。微視的に見ると、プローブ痕は、金属膜が部分的に存在しない状態となっており、プローブ痕上にワイヤボンディングすると、ボンディング不良(接触不良)が発生するおそれがある。Au線とAl膜のボンディングでは、AuとAlを固相拡散させることができなくなり(固相拡散させる面積が小さくなり)、電気的導通を確保することが困難となる。以上の問題点は、半導体圧力センサだけでなく、電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有するシリコン構造体一般のもつ問題点である。
半導体圧力センサは、ウェハ状態での完成時に全数について性能検査が行われる。この検査に際しては、そのボンディングパッドに、検査用プローブが接触し、その痕(プローブ痕)が発生することが避けられない。ウェハ状態での検査が終了すると、ダイヤフラム型センサとして切り出され、そのボンディングパッドと外部回路がAu線(接続ワイヤ)でワイヤボンディングされることとなる。ボンディングパッドが大型(大面積)であれば、プローブ痕とワイヤボンディングワイヤボンディング位置を異ならせることができるが(特許文献1、2)、ボンディングパッドの大きさは、現状で平面100μm角未満であり、プローブ痕とワイヤボンディング位置とが重なってしまう(プローブ痕上にワイヤボンディングしてしまう)。微視的に見ると、プローブ痕は、金属膜が部分的に存在しない状態となっており、プローブ痕上にワイヤボンディングすると、ボンディング不良(接触不良)が発生するおそれがある。Au線とAl膜のボンディングでは、AuとAlを固相拡散させることができなくなり(固相拡散させる面積が小さくなり)、電気的導通を確保することが困難となる。以上の問題点は、半導体圧力センサだけでなく、電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有するシリコン構造体一般のもつ問題点である。
本発明は、以上の問題意識に基づき、ボンディングパッドの平面形状を大きくすることなく、プローブ痕とワイヤボンディング位置とを異ならせることが可能なシリコン構造体を得ることを目的とする。
本発明は、ボンディングパッドと、これを露出させる保護膜のパッド開口パターンとの位置関係及び形状を工夫することにより、目的を達したものである。
本発明は、電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有し、該シリコン基板上の保護膜に、ボンディングパッドを露出させるパッド開口パターンを形成したシリコン構造体において、平面的に見たとき、保護膜のパッド開口パターン内に位置するボンディングパッドのエッジの外側一部に、該保護膜によって覆われない基板露出部を形成したこと、及び該基板露出部は、配線導体を露出させることがない位置に形成したことを特徴としている。
すなわち、従来、保護膜のパッド開口パターンは、ボンディングパッドの全エッジ部を覆い、ボンディングパッドの中央部を部分的に露出させるというのが技術的に常識であったところ、保護膜のパッド開口パターン内に位置するボンディングパッドのエッジの外側一部に、保護膜によって覆われない基板露出部を形成することで、プローブの接触領域を確保し、一方、パッド開口パターンが配線導体を露出させると、保護膜の目的を達成できないことから、基板露出部が、配線導体を露出させることがないように位置を定めたものである。
すなわち、従来、保護膜のパッド開口パターンは、ボンディングパッドの全エッジ部を覆い、ボンディングパッドの中央部を部分的に露出させるというのが技術的に常識であったところ、保護膜のパッド開口パターン内に位置するボンディングパッドのエッジの外側一部に、保護膜によって覆われない基板露出部を形成することで、プローブの接触領域を確保し、一方、パッド開口パターンが配線導体を露出させると、保護膜の目的を達成できないことから、基板露出部が、配線導体を露出させることがないように位置を定めたものである。
基板露出部は、その一態様では、ボンディングパッドのエッジの一部と、保護膜のパッド開口パターンのエッジの一部との間に隙間を生じさせて形成することができる。
上記隙間を形成していたパッド開口パターンのエッジは、ウェハからシリコン構造体を切り出すときに除去してもよい。
ボンディングパッドは、一態様では、平面矩形のシリコン基板の直角コーナ部に位置しており、直角をなす基板エッジと平行な直角エッジを備えている。この態様では、ボンディングパッドの直角エッジの外側に、基板露出部を設ける。配線導体は、基板露出部とは反対の方向に延びるから、露出することがない。
本発明は、シリコン構造体のボンディングパッドを外部回路に接続したシリコン構造体を含む電気デバイスの態様では、ボンディングパッドには、上記基板露出部に接近した位置にプローブ痕が存在し、上記基板露出部から離れた位置にワイヤボンディングされていることが好ましい。つまり、検査用のプローブは、上記基板露出部に接近した位置においてボンディングパッドに接触し、接続ワイヤは、同基板露出部から離れた位置にボンディングすること実際的である。仮に、プローブがボンディングパッドのエッジと上記基板露出部とに跨って接触したとしても、シリコン基板は硬質であるから、プローブ痕発生の問題は生じない。
本発明によれば、電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有し、該シリコン基板上の保護膜に、ボンディングパッドを露出させるパッド開口パターンを形成したシリコン構造体において、ボンディングパッドの平面形状を大きくすることなく、検査時に発生するプローブ痕と、製品状態で結合するワイヤボンディング位置とを異ならせることが可能なシリコン構造体を得ることができる。
図は、本発明によるシリコン構造体を半導体圧力センサに適用した実施形態を示しており、図1と図2は、半導体圧力センサSPA全体の構成を示している。この半導体圧力センサSPAは、表裏面に圧力検出用のダイヤフラム21とキャビティ20を有する半導体基板10と、この半導体基板10のキャビティ20側の面に、該キャビティ20内を真空状態で密閉するようにして接合されたベース基板31とを備えている。
半導体基板10は、シリコン酸化膜(SiO2)13を介して第1シリコン基板11と第2シリコン基板12を貼り合わせてなるSOI(シリコン・オン・インシュレータ)基板である。この半導体基板10には、第2シリコン基板12とシリコン酸化膜13の一部を第2シリコン基板12側から除去することによってキャビティ(凹部)20が形成され、このキャビティ20の上面を構成するシリコン酸化膜13及び第1シリコン基板11によってダイヤフラム21が形成されている。本実施形態のダイヤフラム21は平面視矩形(正方形)であり、その矩形の輪郭をダイヤフラムエッジ21aとして図1に破線で示した。ダイヤフラムエッジ21aは、キャビティ20の輪郭を示すキャビティエッジである。ダイヤフラム21(ダイヤフラムエッジ21a)の外周領域は、圧力変化によって変形しない固定領域25である。
第1シリコン基板11の回路面(図1の上面)には、図3に示すブリッジ回路4を構成する複数の感応抵抗素子40(41〜44)が埋設形成されている。複数の感応抵抗素子40は、ダイヤフラム21の中心を中心として、互いに90°間隔をあけて配置されている。各感応抵抗素子40の周囲は不図示のシリコン酸化膜で埋められ、シリコン酸化膜上に、複数の感応抵抗素子40に接続する複数の配線導体50及びボンディングパッド55が形成されている。この回路面は、パッシベーション膜(保護膜)15で全面的に覆われ、該パッシベーション膜15を介して感応抵抗素子40、配線導体50及び第1シリコン基板11の絶縁性が確保されている。ボンディングパッド55は、パッシベーション膜15から露出している。パッシベーション膜15は、例えば、シリコンナイトライドSi3N4、SiO2の単層膜または積層膜からなるもので、現状では、全体として8000Å程度の膜厚を備えている。図1では、このパッシベーション膜を描いていない。
ダイヤフラム21が外面に付加される圧力に応じて歪むと、その歪みに応じて複数の感応抵抗素子40の抵抗値が変化し、この複数の感応抵抗素子40によって構成されたブリッジ回路4の中点電位VGが変化する。図3はブリッジ回路4の回路構成図である。このように感応抵抗素子40の抵抗値の変化によって変動する中点電位VGが、センサ出力として公知の測定装置に出力される。
パッシベーション膜15には、図4、図5に示すように、ボンディングパッド55を露出させるためのパッド開口パターン15Pが形成されている。ボンディングパッド55は、平面矩形の半導体圧力センサSPAの4つの直角コーナ部に同一形状(または回転対称形状)で存在しており、半導体圧力センサSPAの直角コーナ部の直角エッジに沿う外側直角エッジ55Dと、配線導体50が接続される内側エッジ55Hを有している。一方、パッシベーション膜15のパッド開口パターン15Pは、この外側直角エッジ55Dと平行で、該外側直角エッジ55Dとの間に隙間Sを形成する外側直角エッジ15Dと、内側エッジ55Hと平行で同内側エッジ55Hよりもボンディングパッド内側に延びる(ボンディングパッドのエッジを覆う)内側エッジ15Hを有している。
パッシベーション膜15が存在しない隙間Sには、第1シリコン基板11が露出している。すなわち、隙間Sは、同時に基板露出部である。基板露出部Sは、シリコン基板11上に全面的に保護層(例えばSiO2膜)が形成される場合には、同保護層が露出する領域を意味する。露出パッド開口パターン15Pの形状は、周知のパターニング技術(フォトリソグラフィー技術)により、任意に設定することができる。ボンディングパッド55の現状での大きさは、数十μm角程度、内側エッジ55Hと内側エッジ15Hのオーバラップ量は、例えば5μm前後、隙間Sの幅は、例えば5〜10μm程度、ボンディングパッド55の厚さは、8000Å程度である。
このようにパッド開口パターン15P内に位置するボンディングパッド55のエッジの外側一部に、パッシベーション膜15に覆われない基板露出部Sが存在すると、図1に鎖線で示すように、多数の半導体圧力センサSPAを同一ウェハ上に同時に製造した後、同ウェハ状態で行う各半導体圧力センサSPAの検査の際に、ボンディングパッド55の外側(隙間(基板露出部)Sに近い側)にプローブを接触させることが容易になる。図4のPDは、プローブ痕の位置の例である。プローブがボンディングパッド55に接触するとき同時に隙間Sの第1シリコン基板11に当接したとしても、第1シリコン基板11は硬質であるため、何ら問題は生じない。つまり、検査プローブは、ボンディングパッド55の一部との接触が確保される限りにおいて、できるだけ、ボンディングパッド55の外側に接触させることが好ましく、本実施形態によればそれが可能である。
検査が終了すると、ウェハからダイシングライン(ダイシングストリート)DL(図1)に沿って半導体圧力センサSPAが取り出され、製品として外部回路に接続される。この外部回路の接続の際には、ボンディングパッド55と外部回路とがワイヤボンディング(接続ワイヤ)によって接続される。このボンディングパッド55に対するワイヤボンディングの位置は、隙間Sから離れた側(プローブ痕PDから離れた側)にする。図5のWBは、このワイヤボンディング位置の例である。ワイヤボンディング位置WBをプローブ痕PDから離すと(プローブ痕PDとワイヤボンディング位置WBとが重ならないようにすると)、プローブ痕PDにより損傷を受けていない十分な厚さのボンディングパッド55に接続ワイヤをボンディングすることができ、特に、ボンディングパッド55がAlからなるとき接続ワイヤのAuと十分に固相拡散させ、電気的導通を確保することができる。本実施形態によれば、プローブ痕PDとワイヤボンディング位置WBとが重ならないようにすることができる。
図6と図7は、本発明によるボンディングパッドを有するシリコン構造体の別の実施形態を示している。この実施形態は、ウェハから半導体圧力センサSPAを切り出すダイシングラインDL(図6)を、隙間S上に設定して、残存する基板露出部S'を幅狭とした(S≧S')実施形態である。すなわち、四隅のパッシベーション膜15のパッド開口パターン15Pのうち、ボンディングパッド55の外側直角エッジ55Dと平行な部分は切除されている。この実施形態においても、図4、図5の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
図8と図9は、比較のために示す、図4と図5に対応する従来例である。ボンディングパッド55は、そのエッジ全体がパッシベーション膜15によって覆われており、仮に、ボンディングパッド55の大きさを図4、図5と同一とすれば、同ボンディングパッド55の露出面積が小さくなり、プローブ痕PDとワイヤボンディング位置WBとがオーバラップしないようにすることが難しいが分かる。仮に、プローブがパッド開口パターン15Pにエッジに当たると、金属であるボンディングパッド上のパッシベーション膜が砕けて製品不良となる。半導体圧力センサSPAの小型化が進めば、この困難はさらに増すことになるのに対し、本実施形態によれば、プローブ痕PDとワイヤボンディング位置WBとのオーバラップを容易に避けることができる。また、本実施形態で、仮にプローブがパッド開口パターンの外側直角エッジ15Dに当たっても、シリコン基板11上に金属を介さずにパッシベーション膜15があるので、砕けることがなく、製品不良になりにくい。
以上の実施形態のボンディングパッド55は、平面矩形であるが、同パッドの形状については自由度がある。要は、保護膜のパッド開口パターン内に位置するボンディングパッドのエッジの外側一部に、該保護膜によって覆われない基板露出部を生じさせ、かつ、この隙間は、保護膜が配線導体を露出させることがない位置に形成するという技術思想を維持すれば本発明は成立する。また、以上は、本発明を半導体圧力センサに適用した実施形態であるが、本発明は、電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有するシリコン構造体に広く適用することができる。
本願発明は、電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有するシリコン構造体及び該シリコン構造体を用いた電気デバイスに適用可能である。
SPA 半導体圧力センサ(シリコン構造体)
10 半導体基板
15 パッシベーション膜(保護膜)
15P パッド開口パターン
15H 内側エッジ
15D 外側直角エッジ
21 ダイヤフラム
40 感応抵抗素子(電気素子)
50 配線導体
55 ボンディングパッド
55D 外側直角エッジ
55H 内側エッジ
S S' 隙間(基板露出部)
PD プローブ痕
WB ワイヤボンディング位置
DL ダイシングライン(ダイシングストリート)
10 半導体基板
15 パッシベーション膜(保護膜)
15P パッド開口パターン
15H 内側エッジ
15D 外側直角エッジ
21 ダイヤフラム
40 感応抵抗素子(電気素子)
50 配線導体
55 ボンディングパッド
55D 外側直角エッジ
55H 内側エッジ
S S' 隙間(基板露出部)
PD プローブ痕
WB ワイヤボンディング位置
DL ダイシングライン(ダイシングストリート)
Claims (5)
- 電気素子を有するシリコン基板上に、該電気素子と外部回路とを接続するための配線導体及びボンディングパッドを有し、該シリコン基板上の保護膜に、ボンディングパッドを露出させるパッド開口パターンを形成したシリコン構造体において、
平面的に見たとき、保護膜のパッド開口パターン内に位置するボンディングパッドのエッジの外側一部に、該保護膜によって覆われない基板露出部を形成したこと、及び
該基板露出部は、配線導体を露出させることがない位置に形成したこと、
を特徴とするシリコン構造体。 - 請求の範囲第1項に記載のシリコン構造体において、上記基板露出部は、ボンディングパッドのエッジの一部と、保護膜のパッド開口パターンのエッジの一部との間に隙間を生じさせて形成されているシリコン構造体。
- 請求の範囲第2項に記載のシリコン構造体において、上記隙間を形成していたパッド開口パターンのエッジは、ウェハからシリコン構造体を切り出すときに除去されているシリコン構造体。
- 請求の範囲第1項ないし第3項のいずれか1項記載のシリコン構造体において、シリコン基板は平面矩形をなしていて、ボンディボンディングパッドは、シリコン基板の直角エッジと平行な直角エッジを備えており、この直角エッジの外側に、上記基板露出部が形成されているシリコン構造体。
- 請求の範囲第1項ないし第4項のいずれか1項記載のシリコン構造体のボンディングパッドを接続ワイヤを介して外部回路に接続した電気デバイスであって、上記ボンディングパッドには、上記基板露出部に接近した位置にプローブ痕が存在し、上記基板露出部から離れた位置に上記接続ワイヤがボンディングされている電気デバイス。
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