JP7029297B2 - 電子素子モジュール - Google Patents
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Description
図1~図14に基づき、本発明の第1実施形態に係る電子素子モジュールA1について説明する。電子素子モジュールA1は、基板1、電子部品2、気圧センサ3、複数のボンディングワイヤ4、カバー6および接合体7を備えている。本実施形態の電子素子モジュールA1は、気圧を検出するものであり、例えば携帯端末などの各種電子機器の回路基板に実装される。例えば携帯端末においては、電子素子モジュールA1は大気圧を検出する。検出された大気圧は、高度を演算するための情報として用いられる。
図15は、電子素子モジュールA1の変形例を示す要部拡大断面図である。本変形例の電子素子モジュールA11においては、接合体7の絶縁性整合材71が、ボンディング部11に接している。また、絶縁性整合材71は、ボンディングワイヤ4に接している。
図16は、本発明の第2実施形態に係る電子素子モジュールを示す要部平面図である。本実施形態の電子素子モジュールA2においては、グランド用開口112および導通接合領域721の位置が、上述した実施形態と異なっている。本実施形態においては、グランド用開口112および導通接合領域721は、基材第2辺12Aおよび基材第4辺14Aと、延長線221および延長線241とに囲まれた領域を避けた位置に設けられている。グランド用開口112および導通接合領域721は、素子第2辺22よりもy方向外方(y1方向)に配置されている。
図17は、本発明の第3実施形態に係る電子素子モジュールを示す要部平面図である。本実施形態の電子素子モジュールA3においては、グランド用開口112および導通接合領域721は、基材第1辺11Aおよび基材第3辺13Aと、延長線211および延長線231とに囲まれた領域に配置されている。また、本実施形態においても、複数のボンディング部11は、基材第1辺11Aおよび基材第3辺13Aと、延長線211および延長線231とに囲まれた領域を避けた位置に設けられている。
1 :基板
1A :基材
1B :配線部
1C :搭載面絶縁層
1D :実装面絶縁層
1a :搭載面
1b :実装面
1c :側面
2 :電子部品
2a :搭載面
2b :実装面
2c :側面
3 :気圧センサ
3a :主面
3b :実装面
3c :側面
4 :ボンディングワイヤ
6 :カバー
7 :接合体
11 :ボンディング部
11A :基材第1辺
12 :延出部
12A :基材第2辺
13 :矩形環状部
13A :基材第3辺
14A :基材第4辺
19 :実装電極部
21 :素子第1辺
22 :素子第2辺
23 :素子第3辺
24 :素子第4辺
25 :電極パッド
29 :接合材
31 :シリコン基板
31a :シリコン層
31b :酸化層
31c :シリコン層
32 :ガラス基板
33 :キャビティ
34,34a,34b,34c,34d:電極パッド
35 :金属配線
36 :拡散配線
37,37a,37b,37c,37d:拡散抵抗
61 :開口部
71 :絶縁性整合材
72 :導電性整合材
100 :搭載面部
101 :第1搭載面部
102 :第2搭載面部
105 :貫通部
107 :実装面部
111 :ボンディング用開口
112 :グランド用開口
115 :実装用開口
211 :延長線素子第1辺
211,221,231,241:延長線
229 :温度セン
229 :温度センサ
239 :マルチプレクサ
249 :デジタル変換回路
259 :信号処理部
269 :クロック
279 :記憶部
289 :インターフェイス
311 :ダイアフラム
312 :支持層
711 :接合材第1部
712 :接合材第2部
713 :接合材第3部
714 :接合材第4部
721 :導通接合領域
1111 :開口第1部
1113 :開口第3部
Claims (13)
- 互いに反対側を向く搭載面および実装面を有する基材および当該基材に形成された配線部を有する基板と、
前記基板の前記搭載面に搭載された1以上の電子素子と、
前記電子素子と前記配線部とに接続された複数のボンディングワイヤと、
前記電子素子を覆い且つ前記搭載面に接合体によって接合されたカバーと、
を備えた電子素子モジュールであって、
前記配線部は、前記搭載面に形成された複数の搭載面部を有しており、
前記複数の搭載面部は、前記複数のボンディングワイヤが接続されたボンディング部を各々が有する複数の第1搭載面部と、グランド接続される第2搭載面部と、を含み、
前記カバーは導電性材料からなり且つ前記第2搭載面部に導通しており、
前記接合体は、絶縁性接合材を含み、
前記接合体は、前記カバーと前記第1搭載面部とを導通させ且つ前記第1搭載面部との接合領域である導通接合領域を有する導電性接合材を含み、
前記基材は、厚さ方向に直角である第1方向に沿う基材第1辺および基材第2辺と、前記厚さ方向および前記第1方向に直角である第2方向に沿う基材第3辺および基材第4辺と、を有し、
前記厚さ方向視において最も大きい前記電子素子は、前記基材第1辺に対向する素子第1辺、前記基材第2辺に対向する素子第2辺、前記基材第3辺に対向する素子第3辺および前記基材第4辺に対向する素子第4辺を有し、
前記複数のボンディング部は、前記第2方向において前記素子第1辺よりも外方の領域、または前記第1方向において前記素子第3辺よりも外方の領域、に配置されており、
前記複数のボンディング部は、前記基材第1辺および前記基材第3辺と、前記素子第1辺の延長線および前記素子第3辺の延長線と、に囲まれた領域を避けた位置に配置されていることを特徴とする、電子素子モジュール。 - 前記導通接合領域は、前記第2方向において前記素子第2辺よりも外方の領域、または前記第1方向において前記素子第4辺よりも外方の領域、に配置されている、請求項1に記載の電子素子モジュール。
- 前記導通接合領域は、前記基材第2辺および前記基材第4辺と、前記素子第2辺の延長線および前記素子第4辺の延長線と、に囲まれた領域に配置されている、請求項2に記載の電子素子モジュール。
- 前記複数のボンディング部は、前記基材第1辺と前記素子第1辺との間において、前記第2方向に沿って配列されたものを含む、請求項1に記載の電子素子モジュール。
- 前記複数のボンディング部は、前記基材第3辺と前記素子第3辺との間において、前記第1方向に沿って配列されたものを含む、請求項1または4に記載の電子素子モジュール。
- 前記絶縁性接合材は、前記基材第1辺および前記素子第1辺の間に位置する接合材第1部と、前記基材第3辺および前記素子第3辺の間に位置する接合材第3部と、を含む、請求項1ないし5のいずれかに記載の電子素子モジュール。
- 前記接合材第1部および前記接合材第3部は、前記複数のボンディング部よりも外方に位置している、請求項6に記載の電子素子モジュール。
- 前記絶縁性接合材は、前記基材第2辺および前記素子第2辺の間に位置する接合材第2部と、前記基材第4辺および前記素子第4辺の間に位置する接合材第4部と、を含む、請求項6または7に記載の電子素子モジュール。
- 前記基板は、前記配線部の一部を覆い、前記複数のボンディング部を露出させるボンディング用開口と、前記第2搭載面部の少なくとも一部を露出させるグランド用開口と、を有する搭載面絶縁層を有する、請求項1ないし8のいずれかに記載の電子素子モジュール。
- 前記ボンディング用開口は、前記基材第1辺および前記素子第1辺の間に位置する開口第1部と、前記基材第3辺および前記素子第3辺の間に位置する開口第3部と、を有する、請求項9に記載の電子素子モジュール。
- 前記グランド用開口は、前記第2方向において前記素子第2辺よりも外方の領域、または前記第1方向において前記素子第4辺よりも外方の領域、に配置されている、請求項9または10に記載の電子素子モジュール。
- 前記第2搭載面部は、前記厚さ方向視において前記基材第1辺ないし前記基材第4辺と前記素子第1辺ないし前記素子第4辺との間に位置する矩形環状部を有する、請求項9ないし11のいずれかに記載の電子素子モジュール。
- 前記1以上の電子素子は、気圧センサを含む、請求項1ないし12のいずれかに記載の電子素子モジュール。
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JP2018004824A JP7029297B2 (ja) | 2018-01-16 | 2018-01-16 | 電子素子モジュール |
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JP2013181788A (ja) | 2012-02-29 | 2013-09-12 | Omron Corp | 圧力センサパッケージ及びその製造方法 |
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