JP2019201121A - プリモールド基板とその製造方法および中空型半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
半導体素子を載置する素子搭載部と、
前記素子搭載部の周囲に設けられたインナーリードと、
前記素子搭載部および前記インナーリードの周囲に設けられた枠状配線と、
前記インナーリードの裏面に接して設けられたアウターリードと、
前記枠状配線の裏面に接して設けられた第一の枠状壁と、
前記インナーリードと前記枠状配線との間、および、前記アウターリードと前記第一の枠状壁との間に設けられた樹脂封止体と、を備え、
前記素子搭載部と前記インナーリードの上面と前記枠状配線の上面は前記樹脂封止体の第一面に露出し、
前記アウターリードの裏面と前記第一の枠状壁の裏面は前記第一面の反対側の面である第二面に露出することを特徴とするプリモールド基板とした。
前記インナーリードの前記第一主面と反対側の面上にアウターリードを形成するとともに、前記枠状配線の前記第一主面と反対側の面上に前記アウターリードを囲う第一の枠状壁を形成する工程と、
前記第一主面と前記インナーリードと前記アウターリードと前記枠状配線と前記第一の枠状壁を樹脂にて封止する工程と、
前記樹脂が前記ベース基板と接する面とは反対側の面から研磨して前記アウターリードおよび前記第一の枠状壁の裏面を前記樹脂から露出する工程と、
前記ベース基板の第一主面と反対側の第二主面の外周部分以外を開口して、前記インナーリードおよび前記枠状配線と前記樹脂を露出する工程と、
を備えることを特徴とするプリモールド基板の製造方法を用いた。
前記半導体素子を載置する素子搭載部と、
前記素子搭載部の周囲に設けられ、前記半導体素子と電気的に接続されたインナーリードと、
前記素子搭載部および前記インナーリードの周囲に設けられた枠状配線と、
前記インナーリードの裏面に接して設けられたアウターリードと、
前記枠状配線の裏面に接して設けられた第一の枠状壁と、
前記インナーリードと前記枠状配線との間、および、前記アウターリードと前記第一の枠状壁との間に設けられた樹脂封止体と、
前記枠状配線の裏面とは反対側の面に接して設けられた第二の枠状壁と、
前記第二の枠状壁の前記枠状配線と接する面とは反対側の面に接して設けられた封止板と、を備え、
前記素子搭載部と前記インナーリードと前記枠状配線は前記樹脂封止体の第一面に露出し、前記アウターリードと前記第一の枠状壁は前記第一面の反対側の面である第二面に露出することを特徴とする中空型半導体装置とした。
前記インナーリードの前記第一主面と反対側の面上にアウターリードを形成するとともに、前記枠状配線の前記第一主面と反対側の面上に前記アウターリードを囲う第一の枠状壁を形成する工程と、
前記第一主面と前記インナーリードと前記アウターリードと前記枠状配線と前記第一の枠状壁を樹脂にて封止する工程と、
前記樹脂が前記ベース基板と接する面とは反対側の面から研磨して前記アウターリードおよび前記第一の枠状壁の裏面を前記樹脂から露出する工程と、
前記ベース基板の第一主面と反対側の第二主面の外周部分以外を開口して、前記インナーリードおよび前記枠状配線と前記樹脂を露出する工程と、
前記露出した枠状配線の表面に第二の枠状壁を形成する工程と、
前記枠状配線の内側の素子搭載部に半導体素子を載置する工程と、
前記半導体素子と前記インナーリードを電気的に接続する工程と、
前記第二の枠状壁の上面に封止板を接合し、前記封止板と前記第二の枠状壁と前記樹脂で囲まれる中空部を有する中空封止体を形成する工程と、
前記中空封止体を個片化する工程と、
を備えることを特徴とする中空型半導体装置の製造方法とした。
図1は本発明の第一実施形態の中空型半導体装置の構造を示す図であり、図1(1)は封止板を接合する前の半導体素子搭載側から見た中空型半導体装置の斜視図である。樹脂封止体6の表面には電圧リファレンス素子などの半導体素子1が載置され、半導体素子1の周囲に離間して複数のインナーリード2が配置されている。インナーリード2はその表面のみを樹脂封止体6から露出し、その側面は樹脂封止体6に埋め込まれている。そして、半導体装置1の表面に設けられた複数の電極パッドとインナーリード2が金属線5を介して電気的に接続されている。複数のインナーリード2の周囲には樹脂封止体6から露出する枠状配線7が設けられ、枠状配線7の上面には第二の枠状壁9が設けられている。図1(2)は封止板を接合した後の半導体素子搭載側から見た中空型半導体装置の斜視図である。第二の枠状壁9の上端の端面に封止板4が接合され、封止板4の裏面と第二の枠状壁9の内側面と樹脂封止体6の上面によって囲まれた中空部を形成している。図1(3)は、実装面側からの中空型半導体装置の斜視図である。樹脂封止体6から複数のアウターリード3と第一の枠状壁8が露出している。複数のアウターリード3と第一の枠状壁8はその裏面のみを樹脂封止体6から露出し、それらの側面は樹脂封止体6に埋め込まれている。そして、アウターリード3とインナーリード2は樹脂封止体6内で接合し、同様に、第一の枠状壁8は樹脂封止体6内で枠状配線7と接合している。平面視的に中空型半導体装置の外周部には樹脂封止体6が形成され、外周部の内側に第一の枠状壁8が環状に形成され、さらに、第一の枠状壁8の内側に複数のアウターリード3が形成されている。ここで、樹脂封止体6の裏面と第一の枠状壁8の裏面とアウターリード3の裏面は同一面を成している。なお、第一の枠状壁8およびアウターリード3の裏面には実装用のメッキ層(図示せず)が形成されている。中空型半導体装置を実装基板に実装する場合、樹脂封止体6から露出する複数のアウターリード3と第一の枠状壁8が実装面となり、この実装面で実装基板に接合されることになる。
インナーリード2、アウターリード3、枠状配線7には銅をベースとした合金等の金属が用いられ、これを埋め込む樹脂封止体6には遮光成分を含有した熱硬化型のエポキシ樹脂が用いられる。また、第一の枠状壁8や第二の枠状壁9には非透湿性の材料が適しているが、非透湿性の材料として、銅をベースとした合金等の金属のほかセラミックやガラスでも良い。
図6(1)に示すように、まず、ベース板10を準備する。ベース板10は、長さ250mm、幅80mm、厚さ250μmの鉄系の鋼板である。また、ベース板10として銅をベースにした合金素材、または、ニッケルをベースにした合金素材を用いても良い。さらに、絶縁体であるセラミクスあるいは繊維強化プラスチック(FRP)の板やポリイミドなどの有機素材の板を用いても良い。次に、図6(2)に示すように、ベース板10の一方の主面に、複数の銅のインナーリード2および枠状配線7を電解メッキまたは無電解メッキにより、厚さ30μmの配線パターンを形成する。その後、図6(3)に示すように、インナーリード2のベース板10と反対側の面となる表面の一部と、枠状配線7のベース板10と反対側の面となる表面の一部に電解メッキまたは無電解メッキにより、それぞれ厚さ80μmのアウターリード3および第一の枠状壁8をパターン形成する。アウターリード3および第一の枠状壁8は、金、銀、銅、錫、アルミ、パラジウム、ニッケルの単層材料、もしくは、これらの中の複数の材料を積層した多層金属材料、もしくは、これらの中の複数の材料の合金からなる。
図9は、本発明の第二の実施形態である中空型半導体装置の製造方法を示す工程フロー断面図である。図9(1)は、封止板4で中空封止を行う前の製造工程を示す図で、第一の実施形態の図8(1)と同一図である。図9(2)には外縁部4a付きの封止版4で封止する状態を図示している。封止板4は200μm厚の銅板からなる外縁部4aを有し、封止板4の外縁部4aの端面にはあらかじめ半田11が被覆され、第二の枠状壁9の外周に沿って封止板4をはめ込み、半田リフロー処理を行う。これにより、封止板4の半田被覆面と枠状配線7の表面の一部と第二の枠状壁9の表面の一部が半田で接合されて中空封止が完了する。ここで、半田接合をより確実にするために、リフロー処理前に半田被覆面にフラックスを塗布しておくことが望ましい。次いで、図9(3)に示すように、ブレードダイシングで中空封止体を個片化して、個々の中空型半導体装置が完成する。
第一の実施形態の製造方法の説明で用いた図8(2)は個片化前の状態を示したものであるが、この中空封止体の表面をトランスファーモールド法で樹脂封止し、第二の樹脂封止体12を被覆した状態を図10(1)に示した。第二の樹脂封止体12は中空封止体14の封止板4と第二の枠状壁9と樹脂封止体6の一部を覆うように形成されている。このように、中空封止体14の外側を樹脂で覆うことで実装時のハンドリング性を高めるとともに、中空型半導体装置の保護性をより一層高めることができる。第二の樹脂封止体12は樹脂封止体6と同様、一般的な遮光成分を含有した熱硬化型のエポキシ樹脂としたが、求められる特性に合わせて透明樹脂としても良い。また、第二の樹脂封止体12で一体成型を行う前に、エッチングで開口させたインナーリード2、枠状配線7、樹脂封止体6の表面および中空封止体14の表面をプラズマ処理などで洗浄しておくと、界面での樹脂密着性が高まり、信頼性の高い第二の樹脂封止体12を得ることができる。さらに、第二の樹脂封止体12の形成においてはトランスファーモールド法に代えてポッティング法やプレッシング法を用いても良い。最後に、図10(2)に示すように、ブレードダイシングで隣接する中空封止体14の間を分割することで、個片化された中空型半導体装置が完成する。
2 インナーリード
3 アウターリード
4 封止板
4a 外縁部
4b 平板部
5 金属線
6 樹脂封止体
7 枠状配線
8 第一の枠状壁
9 第二の枠状壁
10 ベース板
11 半田
12 第二の樹脂封止体
13 中空部
14 中空封止体
15 プリモールド基板
16 ダイシングライン
17 素子搭載部
20 プリント回路基板
Claims (16)
- 半導体素子を載置する素子搭載部と、
前記素子搭載部の周囲に設けられたインナーリードと、
前記素子搭載部および前記インナーリードの周囲に設けられた枠状配線と、
前記インナーリードの裏面に接して設けられたアウターリードと、
前記枠状配線の裏面に接して設けられた第一の枠状壁と、
前記インナーリードと前記枠状配線との間、および、前記アウターリードと前記第一の枠状壁との間に設けられた樹脂封止体と、を備え、
前記素子搭載部と前記インナーリードの上面と前記枠状配線の上面は前記樹脂封止体の第一面に露出し、
前記アウターリードの裏面と前記第一の枠状壁の裏面は前記第一面の反対側の面である第二面に露出することを特徴とするプリモールド基板。 - 平面視的に、前記インナーリードは前記アウターリードよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のプリモールド基板。
- 平面視的に、前記枠状配線は前記第一の枠状壁よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載のプリモールド基板。
- 前記アウターリードと前記第一の枠状壁のそれぞれが金、銀、銅、ニッケル、アルミ、錫、パラジウムのいずれかひとつからなる単一金属材料、もしくは、これらの中の複数の材料を積層した多層金属材料、もしくは、これらの中の複数の材料の合金からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプリモールド基板。
- ベース基板の第一主面に、インナーリードおよび前記インナーリードを囲う枠状配線を形成する工程と、
前記インナーリードの前記第一主面と反対側の面上にアウターリードを形成するとともに、前記枠状配線の前記第一主面と反対側の面上に前記アウターリードを囲う第一の枠状壁を形成する工程と、
前記第一主面と前記インナーリードと前記アウターリードと前記枠状配線と前記第一の枠状壁を樹脂にて封止する工程と、
前記樹脂が前記ベース基板と接する面とは反対側の面から研磨して前記アウターリードおよび前記第一の枠状壁の裏面を前記樹脂から露出する工程と、
前記ベース基板の第一主面と反対側の第二主面の外周部分以外を開口して、前記インナーリードおよび前記枠状配線と前記樹脂を露出する工程と、
を備えることを特徴とするプリモールド基板の製造方法。 - 前記インナーリードおよび前記枠状配線と前記樹脂を露出する工程の後に、
隣接する前記枠状配線の間の前記樹脂を切断する工程を備えることを特徴とする請求項5に記載のプリモールド基板の製造方法。 - 半導体素子と、
前記半導体素子を載置する素子搭載部と、
前記素子搭載部の周囲に設けられ、前記半導体素子と電気的に接続されたインナーリードと、
前記素子搭載部および前記インナーリードの周囲に設けられた枠状配線と、
前記インナーリードの裏面に接して設けられたアウターリードと、
前記枠状配線の裏面に接して設けられた第一の枠状壁と、
前記インナーリードと前記枠状配線との間、および、前記アウターリードと前記第一の枠状壁との間に設けられた樹脂封止体と、
前記枠状配線の裏面とは反対側の面に接して設けられた第二の枠状壁と、
前記第二の枠状壁の前記枠状配線と接する面とは反対側の面に接して設けられた封止板と、を備え、
前記素子搭載部と前記インナーリードと前記枠状配線は前記樹脂封止体の第一面に露出し、前記アウターリードと前記第一の枠状壁は前記第一面の反対側の面である第二面に露出することを特徴とする中空型半導体装置。 - 前記封止板は外縁部を有し、前記外縁部の内側面が前記第二の枠状壁の外側面と接していることを特徴とする請求項7に記載の中空型半導体装置。
- 前記封止板と前記第二の枠状壁の外表面を被覆する第二の樹脂封止体が設けられていることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の中空型半導体装置。
- 前記第二の枠状壁が金、銀、銅、ニッケル、アルミ、錫、パラジウムのいずれかひとつからなる単一金属材料、もしくは、これらの中の複数の材料を積層した多層金属材料、もしくは、これらの中の複数の材料の合金からなることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の中空型半導体装置。
- 前記封止板が金属材、ガラスなどの無機材あるいは樹脂などの有機材のいずれかひとつからなる単一材料、もしくは、これらの中の複数の材料を積層した多層材料からなることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の中空型半導体装置。
- ベース基板の第一主面に、インナーリードおよび前記インナーリードを囲う枠状配線を形成する工程と、
前記インナーリードの前記第一主面と反対側の面上にアウターリードを形成するとともに、前記枠状配線の前記第一主面と反対側の面上に前記アウターリードを囲う第一の枠状壁を形成する工程と、
前記第一主面と前記インナーリードと前記アウターリードと前記枠状配線と前記第一の枠状壁を樹脂にて封止する工程と、
前記樹脂が前記ベース基板と接する面とは反対側の面から研磨して前記アウターリードおよび前記第一の枠状壁の裏面を前記樹脂から露出する工程と、
前記ベース基板の第一主面と反対側の第二主面の外周部分以外を開口して、前記インナーリードおよび前記枠状配線と前記樹脂を露出する工程と、
前記露出した枠状配線の表面に第二の枠状壁を形成する工程と、
前記枠状配線の内側の素子搭載部に半導体素子を載置する工程と、
前記半導体素子と前記インナーリードを電気的に接続する工程と、
前記第二の枠状壁の上面に封止板を接合し、前記封止板と前記第二の枠状壁と前記樹脂で囲まれる中空部を有する中空封止体を形成する工程と、
前記中空封止体を個片化する工程と、
を備えることを特徴とする中空型半導体装置の製造方法。 - 前記中空封止体を形成する工程において、前記封止板は外縁部を有し、前記外縁部の内側面が前記第二の枠状壁の外側面と接するように接合することを特徴とする請求項12に記載の中空型半導体装置の製造方法。
- 前記中空封止体を形成する工程の後と前記中空封止体を個片化する工程の間に、
前記封止板と前記第二の枠状壁の外表面に第二の樹脂を被覆する工程を設けることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の中空型半導体装置の製造方法。 - 前記露出した枠状配線の表面に第二の枠状壁を形成する工程と前記枠状配線の内側の素子搭載部に半導体素子を載置する工程の間に、
前記樹脂から露出した前記インナーリードと前記枠状配線と前記複数のアウターリード、前記第一の枠状壁と前記第二の枠状壁の表面にメッキ膜を形成する工程を設けることを特徴とする請求項12乃至請求項14のいずれか1項に記載の中空型半導体装置の製造方法。 - 前記中空封止体を個片化する工程が、ブレードダイシング法、ブレーキング法、あるいはレーザーカット法で行われることを特徴とする請求項12乃至15のいずれか1項に記載の中空型半導体装置の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JPH05299526A (ja) * | 1992-04-22 | 1993-11-12 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH0799265A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-04-11 | Hitachi Ltd | 多層配線基板および多層配線基板の製造方法 |
JP2010087321A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Topcon Corp | Memsモジュール |
JP2010287742A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板の製造方法 |
JP2014072346A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Nec Corp | 中空封止構造及び中空封止構造の製造方法 |
JP2015518651A (ja) * | 2012-03-26 | 2015-07-02 | アドヴァンパック ソリューションズ ピーティーイー リミテッド | 半導体パッケージング用の多層基板 |
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WO2014038128A1 (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-13 | パナソニック株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05299526A (ja) * | 1992-04-22 | 1993-11-12 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH0799265A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-04-11 | Hitachi Ltd | 多層配線基板および多層配線基板の製造方法 |
JP2010087321A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Topcon Corp | Memsモジュール |
JP2010287742A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板の製造方法 |
JP2015518651A (ja) * | 2012-03-26 | 2015-07-02 | アドヴァンパック ソリューションズ ピーティーイー リミテッド | 半導体パッケージング用の多層基板 |
JP2014072346A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Nec Corp | 中空封止構造及び中空封止構造の製造方法 |
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