JP2010087321A - Memsモジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】 低コストかつ高信頼性を有するMEMS素子の封止構造を含む機能モジュールを実現する新たな技術を開示し、かつ、提供するものであり、とりわけ、低コストでかつ信頼性の高い封止構造と駆動電子回路とを物理的に一体化した新たなMEMSモジュールを提供する。
【解決手段】 本発明のMEMSモジュール1は少なくとも一の層基板100aと他の層基板100bとにより多層プリント回路基板100からなる。一の層基板100aにMEMS素子101が配置されている。一の層基板100aとは異なる他の層基板100bにMEMS素子101を駆動する電気回路素子106が配置されている。MEMS素子101を包囲するようにして封止する封止空間101Aが多層のプリント回路基板100の少なくとも一部により構成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明のMEMSモジュール1は少なくとも一の層基板100aと他の層基板100bとにより多層プリント回路基板100からなる。一の層基板100aにMEMS素子101が配置されている。一の層基板100aとは異なる他の層基板100bにMEMS素子101を駆動する電気回路素子106が配置されている。MEMS素子101を包囲するようにして封止する封止空間101Aが多層のプリント回路基板100の少なくとも一部により構成されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、マイクロ電気機械機構(MEMS)モジュール、とりわけ、MEMSマイクロスキャナー等の光MEMS素子等の機能素子を有するMEMSモジュールに関する。
MEMS技術を用いたセンサーおよびアクチュエータは、すでに様々な分野で実用化されている。例えば、加速度センサーや磁性素子を用いた方位センサー等にMEMS技術が用いられ、かつ、実用化されている。また、例えば、光ミラーアレイや光マイクロスキャナー等の光MEMS素子等の機能素子を有するMEMSモジュールも実用化されている。
ここで、光MEMSとは、光を利用した情報通信やプロジェクタ、計測器、顕微鏡システム等に用いられるMEMS部品の総称であり、具体的には、マイクロミラー、形状可変ミラー等がある。
多くの場合、MEMS素子がセンサーあるいはアクチュエータとしての機能を発揮するためには、微細加工を主体とするMEMSチップ作製に加え、そのパッケージング及び駆動電子回路の付与が必要である。
更に、使用者の利便性は、MEMS素子を含むパッケージ構造と駆動電子回路が物理的に一体化された機能モジュールが供給されることにより、向上する。
MEMS素子を含む機能モジュールのコストは、一般に、微細加工、パッケージング及び電子回路の3要素に支配される。これに加え、最終製品のテスト、検査費用が発生する場合もある。これらのコスト要素のうち、パッケージングは一般に全体コストの6割以上を占めると言われている。
MEMS素子のパッケージングは、MEMS素子がゴミや汚れ等の外的な要因により破損することを避けると同時に、温度や湿度等の使用外部環境が変化した際にもMEMS素子の正常な動作を保証するという信頼性を確保する目的がある。
要求される信頼性はMEMS素子や用途により異なり、それに応じて性能、コスト面で最も合理的なパッケージやパッケージング方法が要求される。
MEMS素子のパッケージは、通常2つの構成部材よりなり、一方にMEMS素子が固定され、他方と接着材、溶接等の方法により接合されることにより、封止構造が形成される。また、封止は目的に応じ、大気、減圧、不活性ガス等の環境下で実施される。
更に、封止構造内部には、吸着剤等がMEMS素子と併置される場合もある。パッケージに用いる部材、接合方法及び環境等により、パッケージングに要するコストや信頼性は大きく左右される。
低コストと信頼性を両立するパッケージング手法としては、例えば、次のようなウエハレベルパッケージング法が実用化されている。
即ち、一般に、MEMSはシリコンウェハを用い、半導体IC製造プロセスに類似した技術により製造される。ウエハレベルパッケージング法においては、製造後のシリコンウェハを1つずつのチップに切り離すことなく、キャビティ等を形成した一枚のウェハをこれに位置合わせの上、両ウェハを接合することにより、ウェハレベルでの封止構造の形成が行われる。
2枚の接合されたウェハは多数のMEMS素子の封止構造を含み、その後ダイシング等の手段により個々のデバイスに切り分けられる。この際MEMS素子は既に封止されているため、切断時に破損を受けることがない。
このパッケージング法は、非常に量産性の高いMEMS素子の封止方法を提供し、特に大量用途向けにMEMS素子と駆動回路が同一チップに集積化されている場合に有効である。
また、MEMS素子の駆動制御回路と一体化可能な機能モジュールの構成として、セラミックス基板やセラミックス側壁を用いたパッケージにMEMS素子を封入し、耐透湿性等を確保した後、これを予め回路を形成した多層プリント回路基板と一体化させることにより、信頼性の高い機能モジュールを実現することを可能とした構造も知られている(特許文献1参照)。
米国特許6603182号公報
しかしながら、ウエハレベルパッケージング法は、少量用途の場合にはパッケージングに必要な装置や技術開発に要する費用及び期間の点から、有効なコスト削減手段となり得ない。
また、MEMS素子と駆動回路を同一チップに集積することには、多額の開発コストを必要とするため、大量用途以外ではMEMS素子の封止構造と駆動回路を別々に準備することが多い。
このような場合、別途、MEMS素子と駆動回路の配線を行う必要があり、ウエハレベルパッケージング法を適用することが困難となる。また、ウエハレベルパッケージング法では通常、400℃以上の加熱が行われるため、MEMS素子に用いられている材料が、耐熱性が良好でないない場合には、ウエハレベルパッケージング法を適用することが困難であるという問題もある。
一方、特許文献1に開示の技術を用いて機能モジュールを構成する場合、MEMS素子をいったんセラミックス基板やセラミックス側壁を用いた封止空間にMEMS素子を封止する必要があるため、モジュール作製の際の生産効率が低く、更に、セラミックス部材を準備する必要があり、低コスト化を達成し難いという問題点がある。
すなわち、パッケージングにかかるコストは、一般にMEMS機能モジュール製造の全体コストの6割以上を占めると言われ、MEMS技術の実用・普及上の大きな障害要因となっており、MEMS技術の実用化を図るためには、信頼性を損なうことなく、機能モジュール製造のコストダウンが必要な状況にあり、MEMS技術、とりわけ、光MEMS技術の実用化の障害となる高信頼性パッケージングに付随する高コスト化の解消が技術的解決課題となっている。
そこで、本発明は、低コストかつ高信頼性を有するMEMS素子の封止構造を含む機能モジュールを実現する新たな技術を開示し、かつ、提供するものであり、とりわけ、低コストでかつ信頼性の高い封止構造と駆動電子回路とを物理的に一体化した新たなMEMSモジュールを提供することにある。
上記課題を解決するため、
本願の請求項1に記載の発明は、少なくとも一の層基板と他の層基板とにより多層プリント回路基板が構成され、前記一の層基板にMEMS素子が配置され、前記一の層基板とは異なる前記他の層基板に前記MEMS素子を駆動する電気回路素子が配置され、前記MEMS素子を包囲するようにして封止する封止空間が前記多層のプリント回路基板の少なくとも一部により構成されていることを特徴とするMEMSモジュールである。
本願の請求項1に記載の発明は、少なくとも一の層基板と他の層基板とにより多層プリント回路基板が構成され、前記一の層基板にMEMS素子が配置され、前記一の層基板とは異なる前記他の層基板に前記MEMS素子を駆動する電気回路素子が配置され、前記MEMS素子を包囲するようにして封止する封止空間が前記多層のプリント回路基板の少なくとも一部により構成されていることを特徴とするMEMSモジュールである。
本願の請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のMEMSモジュールにおいて、前記封止空間が前記MEMS素子を載置する一の層基板の載置壁部と前記MEMS素子を包囲する前記他の層基板の包囲壁部と前記MEMS素子を覆うようにして前記封止空間を封止する蓋部材とから構成され、前記一の層基板部の前記載置壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられていることを特徴とするMEMSモジュールである。
本願の請求項3に記載の発明は、請求項1に記載のMEMSモジュールにおいて、前記封止空間が前記MEMS素子を載置する一の層基板の載置壁部と前記MEMS素子を包囲する前記他の層基板の包囲壁部と前記MEMS素子を覆うようにして前記封止空間を封止する蓋部材とから構成され、前記他の層基板部の前記包囲壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられていることを特徴とするMEMSモジュールである。
本願の請求項4に記載の発明は、請求項1に記載のMEMSモジュールにおいて、前記封止空間が前記MEMS素子を載置する一の層基板の載置壁部と前記MEMS素子を包囲する前記他の層基板の包囲壁部と前記MEMS素子を覆うようにして前記封止空間を封止する蓋部材とから構成され、前記一の層基板部の前記載置壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられ、前記他の層基板部の前記包囲壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられていることを特徴とするMEMSモジュールである。
本願の請求項5に記載の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のMEMSモジュールにおいて、前記MEMS素子が光MEMS素子であることを特徴とするMEMSモジュールである。
本発明に係るMEMSモジュールは、耐湿性等の高信頼性が確保されたMEMS素子を含む封止空間と駆動電子回路とを物理的に一体化した機能モジュールを低コストで製造でき、MEMS技術、とりわけ、光MEMS技術の実用化を促進するのに貢献できるという効果を奏する。
以下に、図面を参照しつつ、本発明に係るMEMSモジュールについて詳細に説明する。
(実施例1)
図1は、本発明に係るMEMSモジュールの実施例1を説明する図である。この図1(a)、(b)において、符号1はMEMSモジュールを示している。
図1は、本発明に係るMEMSモジュールの実施例1を説明する図である。この図1(a)、(b)において、符号1はMEMSモジュールを示している。
MEMSモジュール1は、多層プリント回路基板100とMEMS素子101とから大略構成されている。多層プリント回路基板100は、MEMS素子101の駆動に必要な電気回路配線を少なくとも部分的に有する。
多層プリント回路基板100は、ここでは、少なくとも、一の層基板部100aと他の層基盤部100bとから大略構成されている。
その層基板100aと層基板100bとは、互いに接着剤により接合されている。
一の層基板部100aは、MEMS素子101が配置される載置壁部111を有する。一の層基板100aとは異なる他の層基板100bにはMEMS素子101を駆動する集積回路素子等の電気回路素子106が配置されている。
多層プリント回路基板100には、MEMS素子101を包囲するようにして封止する封止空間101Aがその多層プリント回路基板100の少なくとも一部により構成されている。
ここでは、封止空間101AはMEMS素子101を載置する一の層基板100aの載置壁部111とMEMS素子101を包囲する他の層基板100bの包囲壁部112とMEMS素子101を覆うようにして封止空間101Aを封止する蓋部材103とから構成されている。MEMS素子101はこの封止空間101Aに封入されている。
ここでは、蓋部材103には、MEMS素子101が光MEMS素子の場合、ガラスが用いられる場合が多いが、これに限定されるものではない。蓋部材103と多層プリント回路基板100とは、例えば、接着材102を用いて接合することにより、要求される信頼性を満たす気密性を達成することができる。 また、この接着性を高めるため、蓋部材103に対する多層プリント回路基板100の層基板100bの接合部に予め金属メッキ等の下地を形成しておいても良い。
載置壁部111には、封止空間101Aに外部からの水分子の侵入を阻止するための第1の低透湿性材料108が設けられている。この低透湿性材料108は封止空間111Aに臨む載置壁部111の実質全面を覆っている。ここで、低透湿性材料108には、好ましくは金属としての銅を用いる。しかしながら、特に、外部から層基板100aを透過して封止空間101A内に達する水分子等の気体、液体等を、要求されるMEMS素子101の動作の信頼性が損なわれない範囲で遮断できる材料であれば、これに限定されるものではない。
なお、低透湿性材料108として銅を用いる場合、通常の多層プリント回路基板作製プロセスにより、MEMS素子101の駆動に必要な電気回路パターンと同時に形成することができるので、製造プロセス上の利点が大きい。
低透湿性材料108には、MEMS素子101と多層プリント回路基板100との電気的接続を確立するため、ボンドパッド105aを形成しても良い。 更に、ボンドパッド105aをビア105bと一体化して形成し、多層プリント回路基板100に対する接続部105を形成することができる。MEMS素子101とボンドパッド105aは各種の手法により、電気的接続を行うことができる。図1には、一例として、ボンディングワイヤ104を用いて、MEMS素子101とボンドパッド105aとが接続されている接続形態が示されている。
ボンドパッド105aを形成することにより、ボンドパッド105aと低透湿性材料108との間での電気的絶縁を確立するため、載置壁部111には、複数箇所に低透湿性材料108によって被覆されていない箇所が発生する。
層基板100aから封止空間101A内への水分子の透過量は、載置壁部111の低透湿性材料108により覆われていない箇所の面積に比例するので、要求される信頼性に応じてこの覆われていない箇所の形状や大きさ寸法を調節することにより、載置壁部111が実質全面にわたって低透湿性材料108によって覆われているときと同様の作用効果を得ることができる。また、必要に応じて、この覆われていない箇所を、図1(a)、(b)に示す別の低透湿性部材110により被覆してもよい。ここで、この低透湿性部材110には、接着材又は充填材等を用いることができる。
更に、この実施例1では、層基板部100bの包囲壁部112を通して外部から封止空間101A内に水分子等が侵入するのを防止するため、層基板部100bには、包囲壁部112を取り囲むようにして、矩形状の包囲溝109Aが形成され、この包囲溝109Aが第2の低透湿性材料109により充填されている。この低透湿性材料109にも接着材、充填材、金属等を用いることができ、流動性や水分透過性、生産性等を考慮して選定すれば良い。また、この低透湿性材料109を、包囲壁部112の封止空間101Aに臨む面や多層プリント回路基板100の層基板100bの外周の端面100cに設けてもよい。
多層プリント回路基板100の層基板100bには、ここでは、集積回路素子106の他に電力を供給するコネクタ107等も配置でき、その結果、MEMS素子101を含む機能モジュール1が製造される。なお、集積回路素子106やコネクタ107等は、多層プリント回路基板100の両面又は片面に配置できる。
以上、この実施例1では、多層プリント回路基板100が層基板100a、100bの2層より構成される場合について説明したが、多層プリント回路基板100が3層以上の層基板を有していても良い。
(変形例1)
なお、図2に示すように、MEMS素子101を封止する封止空間101Aの包囲壁部112から多層プリント回路基板100の層基板100bの端面100cとの距離が十分に大きい場合には、図2(a)、(b)に示すように、図1(a)、(b)に示す第2の低透湿性材料109を省略しても良い。図2に示すMEMSモジュール素子1のその他の構成は、実施例1と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
(変形例2)
また、なお、図3(a)、(b)に示すように、MEMS素子101を封止する封止空間101Aを構成する多層プリント回路基板100の層基板100aの厚さが十分に厚い場合や、多層プリント回路基板100の層基板100aの外面100dに十分にソルダーレジストが設けられている場合等には、封止空間101Aの壁面部の透湿性のみを高めれば所望の信頼性が満たされる場合があり、この場合には低透湿性材料108を省略することができる。この図3に示すMEMSモジュール素子1のその他の構成も、実施例1と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
(実施例2)
図4は、本発明に係るMEMSモジュールの実施例2を説明する図である。MEMSモジュール1がその信頼性を損ない難い環境で使用される場合等には、実施例1に示す第1、第2の低透湿性材料108、109を省略することができる。
(変形例1)
なお、図2に示すように、MEMS素子101を封止する封止空間101Aの包囲壁部112から多層プリント回路基板100の層基板100bの端面100cとの距離が十分に大きい場合には、図2(a)、(b)に示すように、図1(a)、(b)に示す第2の低透湿性材料109を省略しても良い。図2に示すMEMSモジュール素子1のその他の構成は、実施例1と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
(変形例2)
また、なお、図3(a)、(b)に示すように、MEMS素子101を封止する封止空間101Aを構成する多層プリント回路基板100の層基板100aの厚さが十分に厚い場合や、多層プリント回路基板100の層基板100aの外面100dに十分にソルダーレジストが設けられている場合等には、封止空間101Aの壁面部の透湿性のみを高めれば所望の信頼性が満たされる場合があり、この場合には低透湿性材料108を省略することができる。この図3に示すMEMSモジュール素子1のその他の構成も、実施例1と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
(実施例2)
図4は、本発明に係るMEMSモジュールの実施例2を説明する図である。MEMSモジュール1がその信頼性を損ない難い環境で使用される場合等には、実施例1に示す第1、第2の低透湿性材料108、109を省略することができる。
すなわち、図2は、本発明に係るMEMSモジュールの実施例2を説明する図である。この図2(a)、(b)において、符号2はMEMSモジュールを示している。
MEMSモジュール2は、多層プリント回路基板200とMEMS素子201とから大略構成されている。多層プリント回路基板200は、MEMS素子201の駆動に必要な電気回路配線を少なくとも部分的に有する。
多層プリント回路基板200は、ここでは、少なくとも、一の層基板部200aと他の層基盤部200bとから大略構成されている。
その層基板200aと層基板200bとは、互いに接着剤により接合されている。
一の層基板部200aは、MEMS素子201が配置される載置壁部211を有する。一の層基板200aとは異なる他の層基板200bにはMEMS素子201を駆動する集積回路素子等の電気回路素子206が配置されている。
多層プリント回路基板200にはMEMS素子201を包囲するようにして封止する封止空間201Aがその多層プリント回路基板200の少なくとも一部により構成されている。
ここでは、封止空間201AはMEMS素子201を載置する一の層基板200aの載置壁部211とMEMS素子201を包囲する他の層基板200bの包囲壁部212とMEMS素子201を覆うようにして封止空間201Aを封止する蓋部材203とから構成されている。MEMS素子201はこの封止空間201Aに封入されている。
ここでは、蓋部材203には、MEMS素子201が光MEMS素子の場合、ガラスが用いられる場合が多いが、これに限定されるものではない。蓋部材203と多層プリント回路基板200とは、例えば、接着材202を用いて接合することにより、要求される信頼性を満たす気密性を達成することができる。また、この接着性を高めるため、蓋部材203に対する多層プリント回路基板200の層基板200bの接合部に予め金属メッキ等の下地を形成しておいても良い。
MEMS素子201と多層プリント回路基板200との電気的接続を確立するため、ボンドパッド205aを形成しても良い。更に、ボンドパッド205aをビア205bと一体化して形成し、多層プリント回路基板200に対する接続部205を形成することができる。MEMS素子201とボンドパッド205aは各種の手法により、電気的接続を行うことができる。図2には、一例として、ボンディングワイヤ204を用いて、MEMS素子201とボンドパッド205aとが接続されている接続形態が示されている。
多層プリント回路基板200の層基板200bには、ここでは、集積回路素子206の他に電力を供給するコネクタ207等も配置でき、その結果、MEMS素子201を含む機能モジュール2が製造される。なお、集積回路素子206やコネクタ207等は、多層プリント回路基板200の両面又は片面に配置できる。
1…MEMSモジュール
100…多層プリント回路基板
100a…一の層基板
100b…他の層基板
101…MEMS素子
101A…封止空間
100…多層プリント回路基板
100a…一の層基板
100b…他の層基板
101…MEMS素子
101A…封止空間
Claims (5)
- 少なくとも一の層基板と他の層基板とにより多層プリント回路基板が構成され、前記一の層基板にMEMS素子が配置され、前記一の層基板とは異なる前記他の層基板に前記MEMS素子を駆動する電気回路素子が配置され、前記MEMS素子を包囲するようにして封止する封止空間が前記多層のプリント回路基板の少なくとも一部により構成されていることを特徴とするMEMSモジュール。
- 請求項1に記載のMEMSモジュールにおいて、前記封止空間が前記MEMS素子を載置する一の層基板の載置壁部と前記MEMS素子を包囲する前記他の層基板の包囲壁部と前記MEMS素子を覆うようにして前記封止空間を封止する蓋部材とから構成され、前記一の層基板部の前記載置壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられていることを特徴とするMEMSモジュール。
- 請求項1に記載のMEMSモジュールにおいて、前記封止空間が前記MEMS素子を載置する一の層基板の載置壁部と前記MEMS素子を包囲する前記他の層基板の包囲壁部と前記MEMS素子を覆うようにして前記封止空間を封止する蓋部材とから構成され、前記他の層基板部の前記包囲壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられていることを特徴とするMEMSモジュール。
- 請求項1に記載のMEMSモジュールにおいて、前記封止空間が前記MEMS素子を載置する一の層基板の載置壁部と前記MEMS素子を包囲する前記他の層基板の包囲壁部と前記MEMS素子を覆うようにして前記封止空間を封止する蓋部材とから構成され、前記一の層基板部の前記載置壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられ、前記他の層基板部の前記包囲壁部に前記封止空間に前記外部からの水分子の侵入を阻止するための低透湿性材料が設けられていることを特徴とするMEMSモジュール。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のMEMSモジュールにおいて、前記MEMS素子が光MEMS素子であることを特徴とするMEMSモジュール。
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