JPWO2010143590A1 - β型サイアロン蛍光体、その用途及びその製造方法 - Google Patents

β型サイアロン蛍光体、その用途及びその製造方法 Download PDF

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Abstract

本発明の目的は、高い輝度を示すEu付活β型サイアロン蛍光体、その蛍光体の用途及びその製造方法を提供することにある。一般式:Si6−zAlzOzN8−z(0<z<4.2)で示されるβ型サイアロン結晶を母体材料とし、付活剤としてのEuが前記β型サイアロン結晶中に固溶されており、前記Euの組成は、Eu2+/(Eu2++Eu3+)が0.8以上であることを特徴とするβ型サイアロン蛍光体である。β型サイアロン結晶内へのEu固溶量は0.1〜1質量%であるのが好ましい。

Description

本発明は、青色発光LED(Light Emitting Diode)又は紫外発光LED(紫外LED)を用いた白色発光LED(白色LED)等を初めとする発光装置に利用可能なβ型サイアロン蛍光体、その用途及びその製造方法に関する。
近年、白色LEDの高出力化に伴い、それに使用される蛍光体の耐熱性、耐久性に対する要求が高まっている。温度上昇に伴う輝度変化が小さく、耐久性に優れた蛍光体として、共有結合性の強い窒化物・酸窒化物を母体材料とした蛍光体が注目されている。
窒化物・酸窒化物蛍光体の中でも、Euイオンを付活したβ型サイアロンは、紫外から青色光の幅広い波長の光で励起され、520〜545nmの波長域にピークを有する緑色光を発光することから、白色LEDに有用な蛍光体として、その実用化が検討されている(特許文献1、2)。しかしながら、その輝度は必ずしも十分満足し得るものではいなかった。
特開2005−255895号公報 国際公開第2006/121083号パンフレット
本発明の目的は、高い輝度を示すEu付活β型サイアロン蛍光体、その蛍光体の用途及びその製造方法を提供することにある。
本発明者らは、Euを含むβ型サイアロン蛍光体についてEuの存在状態に着目して鋭意検討を重ねた結果、原料中に存在するEuの全てが焼成過程で必ずしもβ型サイアロンに固溶しないこと、またEuは、Eu2+とEu3+の二種類のイオンとして存在し、それが製造条件に影響を受けることを見い出すとともに、Eu2+の比率を一定以上である場合に輝度が高くなるとの知見を得て、本発明に至ったものである。
即ち、本発明のβ型サイアロン蛍光体は、一般式:Si6−zAl8−z(0<z<4.2)で示されるβ型サイアロン結晶を母体材料とし、付活剤としてのEuが前記β型サイアロン結晶中に固溶されており、前記Euの組成は、Eu2+/(Eu2++Eu3+)が0.8以上であることを特徴とする。
以下、本発明の種々の実施形態を例示する。以下に示す種々の実施形態は、互いに組合せ可能である。
前記Euの固溶量は、前記β型サイアロン結晶の質量に対して、0.1〜1質量%であることが好ましい。
前記β型サイアロン結晶が90質量%以上含有されることが好ましい。
本発明は、別の観点では、LEDと、LEDの発光面側に積層された蛍光体層とを備え、前記蛍光体層は、上記記載のβ型サイアロン蛍光体を含有する発光素子を提供する。
また、本発明は、さらに別の観点では、上記記載の発光素子を有する照明装置を提供する。
また、本発明は、さらに別の観点では、上記記載のβ型サイアロン蛍光体の原料混合物を窒素雰囲気下で1820℃〜2200℃の温度で焼成して焼成物を得る焼成工程と、前記焼成物を還元性雰囲気下で1100℃以上の温度でアニールするアニール工程を備えるβ型サイアロン蛍光体の製造方法を提供する。
前記原料混合物は、窒化ケイ素と、窒化アルミニウムと、Eu含有化合物を含むことが好ましい。
前記原料混合物は、酸化ケイ素と酸化アルミニウムの少なくとも一方をさらに含むことが好ましい。
前記還元性雰囲気は、水素ガスのみ、又は希ガスと水素ガスとを含む混合ガスの雰囲気であることが好ましい。
前記希ガスは、アルゴンガスであることが好ましい。
前記還元性雰囲気が希ガスと水素ガスとを含む混合ガスであり、雰囲気中の1%以上100%未満が水素ガスであることが好ましい。
前記アニール工程は、1500℃以下の温度で行われることが好ましい。
前記β型サイアロン蛍光体の製造方法にあっては、前記焼成物を酸処理する酸処理工程をさらに備えることが好ましい。
前記酸処理工程は、フッ化水素酸と硝酸からなる混酸中に前記焼成物を浸漬させて加熱することによって行われることが好ましい。
前記加熱は、前記混酸の温度が50℃〜80℃で行われることが好ましい。
本発明のβ型サイアロン蛍光体は、紫外線から可視光の幅広い波長域で励起され、高蛍光発光効率で緑色発光し、緑色の蛍光体として優れている。このβ型サイアロン蛍光体は、使用環境の変化に対する輝度変化が少なく、単独又もしくは他の蛍光体と組み合わせて種々の発光素子、特に紫外LED又は青色LEDを光源とする白色LEDに使用できる。
比較例1における合成粉及び酸処理かつ微粉除去粉のX線回折パターンを示す説明図。 実施例1及び比較例1で得られた蛍光体のXANESスペクトルを示す説明図。
本発明の一実施形態のβ型サイアロン蛍光体は、一般式:Si6−zAl8−z(0<z<4.2)で示されるβ型サイアロン結晶を母体材料とし、付活剤としてのEuが前記β型サイアロン結晶中に固溶されており、前記Euの組成は、Eu2+/(Eu2++Eu3+)が0.8以上である。
β型サイアロン結晶は、一般式:Si6−zAl8−z(0<z<4.2)を有しており、zは、例えば、0.1、0.5、1、1.5、2、2.5、3、3.5、4、4.1であり、ここで例示した数値の何れか2つの範囲内であってもよい。
β型サイアロン蛍光体中に存在するEuは、Eu2+又はEu3+イオンとして存在し、Eu2+の比率が高いほど好ましく、Eu2+/(Eu2++Eu3+)が0.8以上である必要がある。β型サイアロン蛍光体中に存在するEu3+は蛍光発光に全く寄与しない。そのためEu2+とEu3+の比率は、Eu2+/Eu2++Eu3+の値で0.8以上であり、上限は、理論値での1である。Eu2+の発現率は、アニールの温度、保持時間、雰囲気の還元性の調整によって調整することできる。Eu2+/(Eu2++Eu3+)は、0.8〜1であり、具体的には0.8、0.81、0.82、0.83、0.84、0.85、0.86、0.88、0.9、0.95、0.99、1である。Eu2+/(Eu2++Eu3+)は、ここで例示した数値の何れか2つの範囲内であってもよい。
Eu2+とEu3+の比率の定量は、例えばEu−L3吸収端のXANESスペクトルを測定することにより算出できる。XANESとは、X-ray Absorption Near Edge Structure(X線吸収端近傍微細構造)の略であり、X線吸収微細構造(XAFS)測定法の中の一種の分析法である。希土類元素のL3吸収端XANESスペクトルに現れる強い吸収ピークエネルギーは、希土類の価数によって決まることが知られており、Euの場合、Eu2+は6970eV近傍に、Eu3+は6980eV近傍に、それぞれピークが現れるため、2つを分離して定量することが可能である。
β型サイアロン蛍光体は、一例では、窒化ケイ素粉末、窒化アルミニウム粉末、酸化ユーロピウム粉末及び/又は必要に応じてケイ素やアルミニウムの酸化物からなる混合物を窒素雰囲気下の高温で焼成することにより得られる。加熱初期に系内に存在する酸化物(窒化物粉末の表面酸化層を含む)が反応し、液相を形成し、その液相を介して各構成元素が拡散し、β型サイアロン結晶が生成し、粒成長が進行する。上記原料系においてβ型サイアロン結晶近傍の配合で合成した場合、β型サイアロン結晶以外にAlNと類似の構造を有する層状化合物であるAlNポリタイポイドが微量副生してしまう。つまり、上記方法で得られたβ型サイアロン蛍光体には、β型サイアロン結晶とAlNポリタイポイドが含まれる。副生成物であるAlNポリタイポイドにも付活材であるEuが固溶する。
本発明者の検討によれば、Euはβ型サイアロン結晶よりもAlNポリタイポイドへ優先的に固溶するため、原料配合でのEu設計濃度に対して、実際のβ型サイアロン結晶中のEu固溶濃度は低くなる。実際にβ型サイアロン結晶に固溶しているEu量を求めるべく、第二相(β型サイアロン結晶以外の相)の除去を検討した結果、Eu含有のAlNポリタイポイドは、特定条件下での酸処理等により除去できることを見いだした。具体例としては、β型サイアロン蛍光体の合成粉をフッ化水素酸と硝酸からなる混酸中で加熱処理すると、AlNポリタイポイドの大半が酸に溶解し、AlNポリタイポイドの一部がサブミクロンサイズのフッ化物又は酸フッ化物として析出する。このフッ化物又は酸フッ化物は、β型サイアロン結晶の粒子とは粒径差が大きいことから、沈降分級等により容易に除去される。前記処理により、β型サイアロン蛍光体の合成粉のEu含有量が10〜40%減少するが、蛍光特性はほとんど変化しない。つまり、AlNポリタイポイドの有無はβ型サイアロン蛍光体の特性には影響がない。
上記の方法によりβ型サイアロン蛍光体から第二相を除去することによって、β型サイアロン結晶内へのEu固溶量を求めることができる。本実施形態では、このEu固溶量は、β型サイアロン結晶の質量に対して、0.1〜1質量%であることが好ましく、0.3〜1質量%であることがさらに好ましい。Eu固溶量が0.1質量%よりも小さいとβ型サイアロン蛍光体として、十分な輝度が得られないことから好ましくない。また、Euはβ型サイアロン結晶へ固溶しにくいことから、実質的に1質量%を越える固溶量は得られない。Eu固溶量は、例えば、0.1、0.2、0.3、0.35、0.4、0.45、0.5、0.55、0.6、0.7、0.8、0.9、1.0質量%である。このEu固溶量は、ここで例示した数値の何れか2つの範囲内であってもよい。
本実施形態のβ型サイアロン蛍光体は、蛍光発光の観点からは、上記β型サイアロン結晶を高純度で極力多く含むことが好ましく、できれば単相から構成されていることが望ましいが、若干量の不可避的なアモルファス相及び他の結晶相を含む混合物であっても、特性が低下しない範囲であれば構わない。本発明者の検討によれば、本実施形態のβ型サイアロン蛍光体には、90質量%以上のβ型サイアロン結晶が含有されることが好ましい。逆に、β型サイアロン結晶の含有量が90質量%未満では、蛍光発光特性が低下するので好ましくない。
次に、本実施形態のβ型サイアロン蛍光体を得る方法について説明する。
原料は、例えば窒化ケイ素(Si)と、窒化アルミニウム(AlN)と、Euの金属、酸化物、炭酸塩、窒化物又は酸窒化物から選ばれるEu化合物を用いる。これらを用いて反応後に所定のβ型サイアロン蛍光体の組成になるように配合する。その際、窒化ケイ素粉末や窒化アルミニウム粉末に含まれる酸化物量も考慮する。酸化ケイ素(SiO)及び/又は酸化アルミニウム(Al)を原料に混合してもよい。原料に用いる化合物や単体はここで示したものに限定されない。例えば、原料のケイ素源には、金属シリコンのみや、金属シリコンと窒化ケイ素の混合物を用いてもよい。
前記した各出発原料を混合する場合、乾式混合する方法、原料各成分と実質的に反応しない不活性溶媒中で湿式混合した後に溶媒を除去する方法などを採用することができる。混合装置としては、V型混合機、ロッキングミキサー、ボールミル、振動ミル等が好適に使用される。
上記の原料混合粉末を、少なくとも当該原料が接する面が窒化ホウ素からなる坩堝等の容器に充填し、窒素雰囲気中で加熱することにより、原料粉末内の固溶反応を進行させ、β型サイアロン蛍光体を得る。
前記の窒素雰囲気中での温度は組成により異なるので一概に規定できないが、一般的には1820℃以上2200℃以下が好ましい。窒素雰囲気中での温度があまりに低いと、β型サイアロン蛍光体の結晶構造中にEuが固溶することができない傾向にあり、あまりに高いと、原料及びβ型サイアロン蛍光体の分解を抑制するために非常に高い窒素圧力を必要とし工業的に好ましくない。
固溶反応後のβ型サイアロン蛍光体は塊状なので、これを解砕、粉砕及び場合によっては分級操作を組み合わせて所定のサイズの粉末にすることで、色々な用途へ適用される。白色LED用蛍光体として好適に使用するためには、平均粒径を6〜30μmにするのが好ましい。本明細書において、「平均粒径」は、レーザー回折・散乱法によって求めた粒度分布における体積積算値50%での粒径を意味する。
平均粒径を6〜30μmにするための具体例としては、塊状のβ型サイアロン蛍光体を目開き45μm程度の篩分級処理し、篩を通過した粉末を次工程に回す方法、又は、塊状のβ型サイアロン蛍光体をボールミルや振動ミル、ジェットミルと等の一般的な粉砕機を使用して所定の粒度に粉砕する方法が挙げられる。
本実施形態のβ型サイアロン蛍光体の製造方法は、上述の例示の方法により合成したEuを含有するβ型サイアロン蛍光体を還元性雰囲気下、1100℃以上でアニール工程に供することにより、β型サイアロン結晶内に固溶するEu中のEu2+の割合を高めている。還元性雰囲気とは、例えば、還元性ガスのみ、又は希ガスと還元性ガスとを含む混合ガスの雰囲気である。希ガスは、例えば、アルゴンやヘリウムなどの第18属元素のガスである。還元性ガスは、例えば、アンモニア、炭化水素ガス、一酸化炭素、水素などの還元力を有するガスである。還元性ガスの混合割合は、還元性ガスが水素の場合、その濃度は、1%以上100%未満が好ましい。濃度が低すぎると還元力が十分ではないからである。水素濃度は、具体的には99%以下、90%以下、50%以下、20%以下、又は10%以下である。爆発防止の観点からは水素濃度は、爆発限界である4%以下にすることが好ましい。
アニール工程での温度が1100℃よりも低いと、Eu3+からEu2+への変化が小さくなり好ましくない。アニール工程での温度の上限は特に規定されないが、例えば、1600℃であり、1500℃程度が好ましい。アニール温度があまりに高いと、β型サイアロンが窒素を放出して分解するためである。アニール温度は、具体的には、例えば、1100、1150、1200、1250、1300、1350、1400、1450、1500、1550、1600℃であり、ここで例示した数値の何れか2つの範囲内であってもよい。
アニール工程の処理時間は、2時間以上24時間以下が好ましい。アニール工程での処理時間が短いと、Eu2+の割合が少ない傾向にあり、長いとEu2+割合が大きくなる傾向にあるが、長すぎてもアニール工程での効果が頭打ちになるため、2時間以上24時間以下が好ましく、より好ましくは2時間以上8時間以下である。アニール工程の処理時間は、例えば、2、4、6、8、10、12、14、16、18、20、22、24時間であり、ここで例示した数値の何れか2つの範囲内であってもよい。
アニール工程後のβ型サイアロン蛍光体は、更に酸処理工程に供されるのが好ましい。この酸処理により、酸洗浄され、蛍光特性が向上するためである。酸処理に用いられる酸としては、フッ化水素酸、硫酸、リン酸、塩酸、硝酸から選ばれる1種又は2種以上の酸が用いられ、これらの酸を含む水溶液の形で使用される。この酸処理の主な目的は、アニール工程の際に極微量生じるβ型サイアロン結晶の分解物の除去であり、この分解物の除去に適したフッ化水素酸と硝酸からなる混酸を用いることが好ましい。この酸処理工程は、β型サイアロン蛍光体を、上述の酸を含む水溶液に分散し、数分から数時間程度(例:10分〜3時間)、撹拌することにより上記の酸と反応させることにより行う。酸の温度は室温でも良く、好ましくは50〜80℃である。酸処理後は、フィルター等で蛍光体粒子と酸を分離した後に、水洗するのが好ましい。
本実施形態のβ型サイアロン蛍光体は、発光素子の蛍光体層の材料として好適に用いられる。発光素子の一例は、LEDと、LEDの発光面側に積層された蛍光体層を備えるものである。この発光素子のLEDとしては、350〜500nmの波長の光を発する紫外LED又は青色LED、特に好ましくは440〜480nmの波長の光を発する青色LEDを用いることが好ましい。さらに、この発光素子は、照明装置に組み込むことができる。照明装置としては、液晶ディスプレイのバックライトがある
本発明にかかる実施例を、比較例と対比しつつ詳細に説明する。
(比較例1)
宇部興産株式会社製α型窒化ケイ素粉末(SN−E10グレード、酸素含有量1.0質量%)95.43質量%、トクヤマ株式会社製窒化アルミニウム粉末(Fグレード、酸素含有量0.8質量%)3.04質量%、大明化学株式会社製酸化アルミニウム粉末(TM−DARグレード)0.74質量%、信越化学工業株式会社製酸化ユーロピウム粉末(RUグレード)0.79質量%を、V型混合機(筒井理化学器械株式会社製S−3)を用い混合し、更に目開き250μmの篩を全通させ凝集を取り除き、原料混合粉末を得た。ここでの配合比は、β型サイアロンの一般式:Si6−zAl8−zにおいて、酸化ユーロピウムを除いて、z=0.25となるように設計したものである。
ここで得た原料混合粉末を、蓋付きの円筒型窒化ホウ素製容器(電気化学工業株式会社製N−1グレード)に充填し、カーボンヒーターの電気炉で0.8MPaの加圧窒素雰囲気中、2000℃で12時間の加熱処理を行った。原料混合粉末は、加熱処理後に、緩く凝集した塊状となる。この塊をほぐし、軽度の解砕を行った後、目開き45μmの篩を通した。篩を通過して得られた粉末に対して、50%フッ化水素酸と70%硝酸の1:1混酸中、75℃で30分間浸す酸処理を行った。酸処理後の粉末を、沈殿させ、上澄み及び酸処理で生成した微粉を除去し、更に蒸留水を加え、撹拌及び静置をし、上澄みと微粉を除去するデカンテーションを溶液のpHが8以下で上澄み液が透明になるまで繰り返し、最終的に得られた沈殿物をろ過、乾燥し、比較例1のβ型サイアロン蛍光体を得た。
酸処理前後のβ型サイアロン蛍光体に対してCuのKα線を用いた粉末X線回折測定(XRD)を行った結果を、図1に示す。2θ=30〜40°に見られるAlNポリタイポイドの回折線が上記処理により、消失した。酸処理により、Eu含有量は0.80質量%から0.45質量%に低下した。ここでのEu含有量は、ICP発光分光分析装置により、リガク社製「SPECTRO CIROS−120」を使用して測定した。
(実施例1)
比較例1のβ型サイアロン蛍光体を、円筒型窒化ホウ素製容器に充填し、カーボンヒーターの電気炉で大気圧のアルゴン+4%水素混合ガス雰囲気中、1450℃で8時間のアニール工程を行った。アニール工程後のβ型サイアロン蛍光体に対して、比較例1と同様の酸処理を行った。アニール工程後、β型サイアロン蛍光体は緑色から深緑色に変化し、酸処理後、鮮やかな緑色となった。
(比較例2)
実施例1で得られたβ型サイアロン蛍光体を、アルミナ坩堝に充填し、マッフル炉を用いて、大気中、900℃でのアニール工程を行った。アニール工程後の粉末に対して、比較例1と同様の酸処理を行った。アニール工程後、β型サイアロン蛍光体は緑色から青緑色に変化したが、酸処理後のβ型サイアロン蛍光体の粉体色は変化しなかった。
(実施例2)
比較例1のβ型サイアロン蛍光体を、円筒型窒化ホウ素製容器に充填し、タングステンヒーターの炉内が全てメタル製の電気炉で大気圧の水素ガス雰囲気中、1450℃で8時間のアニール工程をおこなった。得られた粉末に対して、比較例1と同様の酸処理を行った。この場合は、実施例1と同様の粉体色の変化を示した。
(β型サイアロン蛍光体の評価)
β型サイアロン蛍光体の発光効率は次の様に求めた。反射率が99%の標準反射板(Labsphere社製、スペクトラロン)を積分球にセットし、この積分球に、発光光源(Xeランプ)から分光した波長455nmの単色光を、光ファイバーを用いて導入した。
この単色光を標準反射板に照射し、分光光度計(大塚電子株式会社製、MCPD−7000)を用いて、反射光のスペクトル測定を行った。次に、標準反射板の位置に凹部にβ型サイアロン蛍光体粉末を充填したセルをセットし、同じく波長455nmに分光した単色光を照射し、その反射スペクトル及び蛍光スペクトルを測定した。
発光効率の算出は、以下の様に行った。450〜465nmの波長範囲の標準反射板の反射スペクトルから励起光フォトン数(Qex)を算出した。次いで、蛍光体の反射光フォトン数(Qref)を450〜465nmの波長範囲で、蛍光フォトン数(Qem)を465〜800nmの範囲で算出した。得られた三種類のフォトン数から外部量子効率(Qem/Qex×100)、吸収率((Qex−Qref)×100)、内部量子効率(Qem/(Qex−Qref)×100)を求めた。
βサイアロン蛍光体のEu−L3吸収端のXANESスペクトル測定は、佐賀県立九州シンクロトロン光研究センター(SAGA−LS)のBL11に設置されているXAFS測定装置にて行った。入射X線エネルギーは約0.4eV間隔で6950eV〜7020eVの間を走査した。入射側X線強度IはHe/N=50/50混合ガスを流した17cm電離箱で、透過X線強度IはNガスを流した31cm電離箱を用いて、積算時間を2秒/点として透過法で測定した。
得られたEu−L3吸収端のXANESスペクトルは、吸収ピークより低エネルギー側(プレエッジ領域)のバックグラウンドを差し引き、吸収ピークより高エネルギー側(ポストエッジ領域)のバックグラウンド強度が1になるように規格化した。規格化したスペクトルの、階段状の吸収に対応する部分をアークタンジェント関数で、Eu2+とEu3+に対応するピークをそれぞれローレンツ関数でモデル化し、フィッティングを行った。これらの解析には、次の文献に示されているXAFSデータ解析ソフト「Athena」を用いた。
B. Ravel and M. Newville, J. Synchrotron Rad. (2005), 12, p.537-541.
βサイアロン蛍光体のEu−L3吸収端のXANESスペクトルをモデル化し、フィッティングの結果として得られた、Eu2+に対応するローレンツ関数の面積をS[Eu2+]、Eu3+に対応するローレンツ関数の面積をS[Eu3+]としたとき、Eu2+の比率をEu2+/(Eu2++Eu3+)=S[Eu2+]/(S[Eu2+]+S[Eu3+])と定義した。
表1に実施例1及び2、比較例1及び2の蛍光体のICP発光分光分析により測定したEu含有量、波長455nmの単色光で励起した場合の内部量子効率と外部量子効率及びXANES測定により求めたEu2+/(Eu2++Eu3+)値を示す。
実施例は、その構成により、比較例に比べ、高輝度のβ型サイアロン蛍光体であった。
本発明のβ型サイアロン蛍光体は、紫外から青色光の幅広い波長で励起され、高輝度の緑色発光を示すことから、青色又は紫外光を光源とする白色LEDの蛍光体として好適に使用できる。

Claims (15)

  1. 一般式:Si6−zAl8−z(0<z<4.2)で示されるβ型サイアロン結晶を母体材料とし、付活剤としてのEuが前記β型サイアロン結晶中に固溶されており、
    前記Euの組成は、Eu2+/(Eu2++Eu3+)が0.8以上であるβ型サイアロン蛍光体。
  2. 前記Euの固溶量は、前記β型サイアロン結晶の質量に対して、0.1〜1質量%である請求項1に記載の蛍光体。
  3. 前記β型サイアロン結晶が90質量%以上含有される請求項1に記載の蛍光体。
  4. LEDと、LEDの発光面側に積層された蛍光体層とを備え、前記蛍光体層は、請求項1に記載のβ型サイアロン蛍光体を含有する発光素子。
  5. 請求項4に記載の発光素子を有する照明装置。
  6. 請求項1に記載のβ型サイアロン蛍光体の原料混合物を窒素雰囲気下で1820℃〜2200℃の温度で焼成して焼成物を得る焼成工程と、
    前記焼成物を還元性雰囲気下で1100℃以上の温度でアニールするアニール工程を備えるβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  7. 前記原料混合物は、窒化ケイ素と、窒化アルミニウムと、Eu含有化合物を含む請求項6に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  8. 前記原料混合物は、酸化ケイ素と酸化アルミニウムの少なくとも一方をさらに含む請求項7に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  9. 前記還元性雰囲気は、水素ガスのみ、又は希ガスと水素ガスとを含む混合ガスの雰囲気である請求項6に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  10. 前記希ガスは、アルゴンガスである請求項9に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  11. 前記還元性雰囲気が希ガスと水素ガスとを含む混合ガスであり、雰囲気中の1%以上100%未満が水素ガスである請求項9に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  12. 前記アニール工程は、1500℃以下の温度で行われる請求項6に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  13. 前記焼成物を酸処理する酸処理工程をさらに備える請求項6に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  14. 前記酸処理工程は、フッ化水素酸と硝酸からなる混酸中に前記焼成物を浸漬させて加熱することによって行われる請求項13に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
  15. 請求項14の加熱は、前記混酸の温度が50℃〜80℃で行われる請求項14に記載のβ型サイアロン蛍光体の製造方法。
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