JPWO2010140367A1 - 台紙付き磁性シートとそれを用いた電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

実施形態によれば、樹脂フィルム３と薄板状磁性体５とを積層した磁性シート２を、台紙６となるシート基材８に接着層７を介して接着した台紙付き磁性シート１が提供される。シート基材８から磁性シート２を剥がしたとき、台紙６の接着層７はシート基材８に付着している。

Description

本発明の実施形態は台紙付き磁性シートとそれを用いた電子部品の製造方法に関する。

磁性シートは、非接触型受電装置、電磁波吸収体、アンテナ等の様々な分野で用いられている。磁性シートは運搬等における取扱い性を向上させるために、シート基材に貼り付けた状態で扱われている。従来の磁性シートは、薄板状磁性体をシート基材から剥がしたときに、薄板状磁性体と接着層とが一体になっている（特許文献１参照）。これによって、任意の場所に薄板状磁性体を貼り付けることができる。

非接触型受電装置は、携帯電話、デジタルカメラ、ビデオカメラ、ノート型パソコン等の各種充電式電子機器に広がってきている。非接触型充電方式は、受電装置と給電装置の両方にコイルを設け、電磁誘導を利用した充電方式である。非接触型であることから、電極同士の接触圧を考慮する必要がない。接触圧を考慮しなくてよいので、電極同士の接触状態に左右されずに、安定して充電電圧を供給することができる。各種電子機器の薄型化や小型化によって、受電装置も薄型化や小型化してきている。

従来の受電装置は、電磁誘導で発生する渦電流への対策が不十分である。特に、受電装置は二次電池を備えているため、熱の発生は好ましくない。受電装置は電子機器本体に取り付けられることから、熱の発生は回路部品等に悪影響を及ぼす。そのため、充電時に大きな電力を送信できず、充電時間が長いといった問題が生じている。さらに、渦電流の発生はノイズの発生につながり、充電効率の低下要因となる。

このような点に対して、特許文献２にはコイルと二次電池との間等に薄板状磁性体を介在させることが記載されている。特許文献２は薄板状磁性体を設置することを開示しているものの、薄板状磁性体の接着固定方法は示されていない。非接触型受電装置は様々な分野に用いられており、使用される機器毎に薄板状磁性体の接合に求められる接着力が異なる。このため、シート基材から薄板状磁性体を剥がしたときに、薄板状磁性体と接着層とが一体化されている磁性シートは、１種類の製品に対しては効率的であるものの、複数種の製品に同じ磁性シートを適用する場合、求められる接着力を有していなければ一旦接着層を除去し、改めて接着工程を行わなければならないために効率が悪い。

磁性シートの適用機器の広がりに伴って、磁性シートには様々な接着力が求められている。しかしながら、従来の磁性シートは薄板状磁性体が接着層を有しているため、適用機器に求められる接着力に応じて接着層を変えなければならず、取扱い性に劣るという難点を有している。さらに、磁性シートを受電装置のような電子機器に適用する場合、渦電流対策の向上等を図るために、磁気特性のさらなる改善が求められている。受電装置において、単に磁性シートを配置するだけでは十分な渦電流対策を得ることができない。

特開２００８−１１２８３０公報 国際公開第２００７／０８０８２０号パンフレット

本発明の目的は、取扱い性を高めた台紙付き磁性シートを提供することにある。本発明の他の目的は、そのような磁性シートを用いることによって、製造性を向上させた電子部品の製造方法を提供することにある。

実施形態の台紙付き磁性シートは、薄板状磁性体と、前記薄板状磁性体と積層された樹脂フィルムとを備える磁性シートと、前記磁性シートと接着層を介して接着されたシート基材とを具備し、前記シート基材から前記磁性シートを剥がしたときに、前記接着層が前記シート基材に付着することを特徴としている。

実施形態の電子部品の製造方法は、実施形態の台紙付き磁性シートから前記磁性シートを剥がす工程と、電子部品本体の予め接着剤層が設けられた位置に、前記接着剤層を介して前記磁性シートを貼り付ける工程とを具備している。

第１の実施形態の台紙付き磁性シートを示す断面図である。 第２の実施形態の台紙付き磁性シートを示す断面図である。 円状クラックの一例を示す拡大写真である。 磁性シートのＬ値およびＱ値の測定方法を説明するための図である。

以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。図１は第１の実施形態による台紙付き磁性シートを示す断面図、図２は第２の実施形態による台紙付き磁性シートを示す断面図である。これらの図において、１は台紙付き磁性シート、２は磁性シート、３は樹脂フィルム、４は接着層、５は薄板状磁性体、６は台紙、７は接着層、８はシート基材である。図１は１枚の薄板状磁性体５を備える台紙付き磁性シート１を示している。図２は２枚の薄板状磁性体５、５を備える台紙付き磁性シート１を示している。

台紙付き磁性シート１は、樹脂フィルム３と薄板状磁性体５との積層体からなる磁性シート２を備えている。磁性シート２は接着層７を介してシート基材８に接着されている。シート基材８は台紙６として機能するものである。台紙付き磁性シート１は、磁性シート２とシート基材８との接着体により構成されている。磁性シート２はシート基材８から剥がして使用される。磁性シート２をシート基材８から剥がしたときに、台紙６の接着層７はシート基材８に付着した状態となる。

台紙６を構成するシート基材８は、柔軟性を有する材質からなるものであれば特に限定されるものではない。シート基材８としては、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム、ポリプロピレン（ＰＰ）フィルム、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム等の樹脂フィルムが好ましい。

シート基材８の厚さは５〜１００μｍの範囲であることが好ましい。シート基材８の厚さが５μｍ未満であると、台紙６の機能を十分に得ることができないおそれがある。さらに、シート基材８の厚さが５μｍ未満であると、後述するトムソン刃等によるハーフカット加工を実施する際に、シート基材８まで切れてしまうおそれがある。シート基材８の厚さが１００μｍを超えると、台紙付き磁性シート１をリール状に巻いた際に外径が大きくなり、台紙付き磁性シート１の取扱い性が低下する。

薄板状磁性体５としては、アモルファス磁性合金や微細結晶を有する鉄基合金等が用いられる。特に、Ｃｏ基アモルファス磁性合金は比透磁率が高い等、磁気特性に優れているため、薄板状磁性体５として好適である。薄板状磁性体５の板厚は５〜３０μｍの範囲であることが好ましい。薄板状磁性体５の板厚が３０μｍを超えるとばね性が強くなり、台紙付き磁性シート１をリール状に巻く際の取扱い性等が低下する。さらに、アモルファス合金からなる薄板状磁性体５の場合、板厚が厚いとアモルファス化が困難になる。なお、厚さが５μｍ未満の薄板状磁性体５は作製することが難しい。

薄板状磁性体５と積層して磁性シート２を構成する樹脂フィルム３は、シート基材１に適用される樹脂フィルムと同様に、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム、ポリプロピレン（ＰＰ）フィルム、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム等からなることが好ましい。樹脂フィルム３の厚さは５〜５０μｍの範囲であることが好ましい。樹脂フィルム３の厚さが５μｍ未満であると、磁性シート２の強度が不十分になりやいい。一方、樹脂フィルム３の厚さが５０μｍを超えると磁性シート２が厚くなりすぎて、磁性シート２の薄型化を妨げることになる。

薄板状磁性体５は樹脂フィルム３と積層され、これにより磁性シート２が作製される。薄板状磁性体５と樹脂フィルム３との積層構造は、薄板状磁性体５／樹脂フィルム３の片面積層体、樹脂フィルム３／薄板状磁性体５／樹脂フィルム３の両面積層体のどちらでもよい。磁性シート２における薄板状磁性体５の枚数は特に限定されるものではなく、図１に示すように１枚の薄板状磁性体５を用いた磁性シート２、図２に示すように２枚の薄板状磁性体５を用いた磁性シート２、さらには３枚以上の薄板状磁性体５を用いた磁性シート２等、薄板状磁性体５の枚数は１つまたは複数のいずれであってもよい。薄板磁性体５の枚数は、磁性シート２の薄型化の観点から５枚以下であることが好ましい。

樹脂フィルム３は、磁性シート２をシート基材８から剥がしたときに接着層７がシート基材８に付着した状態となるように、接着層７と接する位置に配置されていることが好ましい。また、後述する円状クラックを薄板状磁性体５に形成する場合、薄板状磁性体５の飛散や分離等を抑制する上で、樹脂フィルム３はシート基材８とは反対側に配置されていることが好ましい。磁性シート２は薄板状磁性体５の両面に積層された樹脂フィルム（第１および第２の樹脂フィルム）３、３を有することが好ましい。

薄板状磁性体５と樹脂フィルム３の大きさ（縦横サイズ）は同じであってもよいが、樹脂フィルム３の方が若干大きいことが好ましい。後述する円状クラックを薄板状磁性体５に複数個設ける場合、薄板状磁性体５自体の強度が低下するため、磁性シート２を樹脂フィルム３／薄板状磁性体５／樹脂フィルム３の両面積層体で構成すると共に、樹脂フィルム３の縦横サイズが薄板状磁性体５の縦横サイズより大きいことが好ましい。これによって、例えば複数に分割されて強度が低下した薄板状磁性体５のシート形状を良好に維持することができる。薄板状磁性体５と樹脂フィルム３とを積層する際に、これらは接着層４を介して一体化することが好ましい。

また、シート基材８を薄板状磁性体５と比べて大きなものとすることによって、複数の磁性シート２が接着された台紙付き磁性シート１とすることも可能である。シート基材８の形状としては、縦横の長さを大きくしたもの、長さを長尺化したもの等が挙げられる。縦横を大きくしたシート基材８によれば、台紙付き磁性シート１を積層して運搬することができる。長尺化したシート基材８によれば、台紙付き磁性シート１をリール状に巻回して運搬することができる。このように、シート基材８のサイズを調整することによって、台紙付き磁性シート１の収納性や運搬性を向上させることが可能となる。

上述した薄板状磁性体５と樹脂フィルム３の積層体からなる磁性シート２を、接着層７を介してシート基材８（台紙６）と接着することによって、台紙付き磁性シート１が構成される。接着層７を有するシート基材８は、シート基材８の表面に接着剤を塗布して接着層７を形成することにより作製される。幅広の接着テープのような接着層７とシート基材８とが予め一体化した粘着テープを使用してもよい。接着層７とシート基材８とが一体化した粘着テープの具体例としては、マルウ接着社製ＰＥＴ系フィルム等が挙げられる。

この実施形態の台紙付き磁性シート１は、シート基材８（台紙６）から磁性シート２を剥がしたときに、接着層７がシート基材８に付着した状態となる。言い換えると、シート基材８（台紙６）から磁性シート２を剥がしたときに、接着層７が磁性シート２には付着しない。このため、磁性シート２を貼付する部品の磁性シート２の貼付箇所に、予め目的とする接着力を有する接着剤層を設けておくことによって、磁性シート２と当該部品との接着力を制御することができる。従って、磁性シート２を貼付する部品に応じた接着力で磁性シート２を効率よく接着することが可能となる。

接着層７がシート基材８に付着した状態を維持するため、接着層７はシート基材８には馴染みが良く、薄板状磁性体５には馴染みが悪い接着剤で形成することが好ましい。このような接着剤としてはアクリル系粘着剤が挙げられる。シート基材８と接着層７との接着強度は９．８Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。一方、磁性シート２と接着層７との接着強度は０．０３〜９Ｎ／２５ｍｍの範囲であることが好ましい。このような接着力を有する接着層７を適用することで、台紙６から磁性シート２を剥がしたときに、接着層７が台紙６側に付着した状態を再現性よく得ることができる。磁性シート２と接着層７との接着強度は０．０４〜０．２４Ｎ／２５ｍｍの範囲であることがより好ましい。

接着層７は予め磁性シート２に対する接着力を調整した接着剤を用いる以外に、以下に示すような前処理を施して接着力を調整することも可能である。すなわち、磁性シート２を接着する前に、シート基材８に設けられた接着層７の表面を乾燥させて接着力を低下させる、接着層７を数日間放置して接着力を低下させる、一旦接着した磁性シート２を剥がして接着層７の接着力を低下させる等の前処理を施すことによって、磁性シート２に対する接着力を調整した接着層７を使用してもよい。

この実施形態の台紙付き磁性シート１は以下のようにして使用される。まず、シート基材８（台紙６）から磁性シート２を剥がし、剥がした磁性シート２を部品に貼り付けて使用する。部品の磁性シート２の貼付箇所には、予め目的とする接着力を有する接着剤層を設けておき、この部品側に設けられた接着剤層を使用して磁性シート２を接着する。部品側に設ける接着剤層を、その部品に応じた接着力を有するように調整しておくことによって、磁性シート２を部品に応じた接着力で貼り付けることができる。

例えば、携帯電話、デジタルカメラ、ビデオカメラ、ノート型パソコン等の携帯型電子機器の受電装置に磁性シート２を使用する場合、磁性シート２の貼付箇所は受電コイルや二次電池の近傍となる。実際に磁性シート２を貼り付ける箇所は機種によって様々であり、貼付箇所によって求められる接着力が異なる。このような点に対して、磁性シート２を貼付する部品に予め所望の接着力を有する接着剤層を設けておき、この部品側の接着剤層を使用して磁性シート２を貼り付けることによって、磁性シート２を部品に応じた接着力で接着することができる。このため、１つの台紙付き磁性シート１を様々な部品に適用することができ、台紙付き磁性シート１の取扱い性を向上させることが可能となる。

この実施形態の電子部品の製造方法は、台紙付き磁性シート１から磁性シート２を剥がす工程と、電子部品本体の予め接着剤層が設けられた位置に磁性シート２を貼り付ける工程とを具備している。電子部品は特に限定されるものではなく、受電装置やそれを構成する部品、パソコンやテレビ等の電子機器における電磁波防止機能が求められる部品、電磁波防止部品等が挙げられる。さらに、上記した方法で磁性シート２を貼り付けた部品、すなわち電磁波防止部品やそれを備える受電装置等を使用することによって、携帯電話、デジタルカメラ、ビデオカメラ、ノート型パソコン等の携帯型電子機器、あるいはパソコン、テレビ等の電子機器が作製される。

この実施形態の台紙付き磁性シート１において、薄板状磁性体５には円状クラックが形成されていることが好ましい。さらに、薄板状磁性体５は複数個の円状クラックを有していることがより好ましい。薄板状磁性体５に円状クラック、特に複数個の円状クラックを設けることによって、薄板状磁性体５の磁気特性（Ｑ値）を向上させることができる。薄板状磁性体５の磁気特性を向上させる上で、複数個の円状クラック間はヒビでつながっていることがより好ましい。すなわち、複数個の円状クラックとヒビで薄板状磁性体５を複数に分割することで、薄板状磁性体５の磁気特性をより一層向上させることができる。

図３は円状クラックを設けた薄板状磁性体の一例を示す拡大写真であり、９は円状クラック（点線で囲った部分）、１０は円状クラックにつながったヒビである。図中に表示された数字の単位はｍｍである。このような円状クラックは、例えば薄板状磁性体５にセラミックボールによるショットブラスト加工を施すことにより形成される。薄板状磁性体５にセラミックボールを衝突させると、衝突位置の周囲に円状クラックが形成される。さらに、セラミックボールを複数個所に衝突されることで、円状クラックの形成と同時にヒビが入り、複数個の円状クラック間がヒビでつながった状態となる。セラミックボールの衝突部位は貫通孔になっていることが好ましい。

円状クラックの直径は０．１〜０．５ｍｍの範囲であることが好ましい。また、円状クラックは薄板状磁性体５の単位面積１０ｍｍ×１０ｍｍあたりに４〜１００個の範囲で形成することが好ましい。円状クラックの数が単位面積あたりに４個未満では、円状クラックを設けたことによる磁気特性の向上効果を十分に得ることができない。一方、円状クラックの数が単位面積あたりに１００個を超えると、薄板状磁性体５の強度低下が大きくなり、磁性シート２としての機能が損なわれるおそれがある。円状クラックの数は単位面積１０ｍｍ×１０ｍｍあたりに３０〜７０個の範囲であることがより好ましい。

薄板状磁性体５に複数個の円状クラックを設ける場合、上述したように円状クラック間はヒビでつながっていることが好ましい。複数個の円状クラック間をヒビでつなげることによって、前述した特許文献２に記載されているような折曲加工で薄板状磁性体を複数に分割したときと同様の効果が得られるものと考えられる。さらに、単に折曲加工で薄板状磁性体を複数に分割する場合と比べて、複数個の円状クラック間をヒビでつなげることで磁気特性（Ｑ値）をより一層向上させることができる。

また、薄板状磁性体５は多角形の外形を有し、外形の少なくとも一辺が切断面を有すると共に、切断面に０．１ｍｍ以上の欠け部がないことが好ましい。後述するように、台紙付き磁性シート１の量産性を向上させるためには、長尺の薄板状磁性体５を備える磁性シート２とシート基材８とを、接着層７を介して接着した後、薄板状磁性体５を備える磁性シート２を切断加工または打抜き加工して、複数の磁性シート２を搭載した台紙付き磁性シート１とすることが効果的である。薄板状磁性体５としてロール急冷法による長尺リボンを使用した場合、この形状を利用することで量産性を向上させることができる。

次に、この実施形態の台紙付き磁性シート１の製造方法について述べる。台紙付き磁性シート１の製造方法は、樹脂フィルム３と薄板状磁性体５との積層体からなる磁性シート２を、台紙６となるシート基材８上に接着層７を介して接着する工程と、磁性シート２をシート基材８に接着された状態を維持しつつ、切断加工または打抜き加工により所望形状（磁性シート２の製品形状）に成形する工程とを具備することが好ましい。薄板状磁性体５に円状クラックを設ける場合、磁性シート２とシート基材８との接着状態を維持しつつ、薄板状磁性体５に外力により円状クラックを設ける工程を具備することが好ましい。このような製造方法によれば、台紙付き磁性シート１を効率よく製造することができる。

まず、樹脂フィルム３と薄板状磁性体５との積層体からなる磁性シート２を作製する。薄板状磁性体５は、最終的に用いられる磁性シート２のサイズに予め切断したものであってもよいが、長尺なものや幅広のものを用いることが好ましい。例えば、アモルファス磁性合金薄帯はロール急冷法により製造される。このため、アモルファス磁性合金薄帯は長尺リボンとして得られる。長尺リボンからなる薄板状磁性体５と長尺形状の樹脂フィルム３とを積層することによって、長尺な磁性シート２を製造することができる。

また、長尺または幅広の樹脂フィルム３上に、最終的な製品サイズに切断された複数個の薄板状磁性体５をそれぞれ配置するようにしてもよい。あるいは、最終的な製品サイズに切断された薄板状磁性体５とそのサイズに合わせた樹脂フィルム３とを積層してもよい。樹脂フィルム３と薄板状磁性体５とを積層するにあたって、それらの間には必要に応じ接着層４が設けられる。樹脂フィルム３と薄板状磁性体５とを一体化する上で、樹脂フィルム３と薄板状磁性体５とは接着層４で接着することが好ましい。

樹脂フィルム３と薄板状磁性体５との積層構造には、樹脂フィルム３／薄板状磁性体５の２層構造、樹脂フィルム３／薄板状磁性体５／樹脂フィルム３の３層構造、さらに樹脂フィルム３と薄板状磁性体５とを交互に４層以上積層した多層構造等、各種の積層構造を適用することができる。薄板状磁性体５の表裏両面に樹脂フィルム３を積層し、薄板状磁性体５を樹脂フィルム３で挟む場合には、樹脂フィルム３／薄板状磁性体５／薄板状磁性体５／樹脂フィルム３というような変則的な積層構造であってもよい。薄板状磁性体５の積層数は目的とする磁気特性に応じて設定され、必要に応じて複数の薄板状磁性体５が使用される。磁性シート２に強度が求められる場合には、薄板状磁性体５の表裏両面を樹脂フィルム３で覆う積層構造を適用することが好ましい。

次に、磁性シート２を台紙６となるシート基材８上に接着層７を介して接着する。前述したように、接着層７とシート基材８とが予め一体化した粘着テープを使用すると効率的である。次いで、磁性シート２がシート基材８に接着された状態を維持しつつ、外力により磁性シート２を複数に分割する、もしくは磁性シート２に貫通孔を設ける工程を行うことが好ましい。分割工程には、折曲加工や切断加工が適用される。貫通孔を設ける工程には、ニードルで穴を開ける方法、硬質ボールを噴射する方法（ショットブラスト）等が適用させる。これらの工程は、薄板状磁性体５が剥き出しの場合には薄板状磁性体５に直接行ってもよいし、また樹脂フィルム３越しに行ってもよい。

硬質ボールを噴射する方法としては、ジルコニアやアルミナ等のセラミックボールを使う方法が挙げられる。硬質ボールを噴射する方法であれば、樹脂フィルム３越しに薄板状磁性体５に貫通孔を形成することができる。貫通孔の周囲には円状クラックが形成され、さらに円状クラックからヒビが入り、円状クラック間はヒビでつながった状態となる。その結果、薄板状磁性体５は分割状態となることがある。このとき、薄板状磁性体５は樹脂フィルム３と積層されているため、薄板状磁性体５の飛散や分離が抑制される。特に、薄板状磁性体５のセラミックボールが衝突する面側にも樹脂フィルム３を積層しておくことによって、薄板状磁性体５の飛散や分離を効果的に抑制することができる。

セラミックボールの直径は０．５〜１．５ｍｍの範囲、噴射圧力は０．１〜０．５ＭＰａの範囲であることが好ましい。このような範囲であれば、厚さ５〜３０μｍの薄板状磁性体５と樹脂フィルム３との積層体からなる磁性シート２において、円状クラックの割合を単位面積１０ｍｍ×１０ｍｍあたり４〜１００個の範囲に調整しやすい。さらに、噴射時間を０．１〜１０秒間とすることによって、円状クラックの割合を単位面積１０ｍｍ×１０ｍｍあたり３０〜７０個の範囲に調整できる。さらに、円状クラック間のヒビで薄板状磁性体５が分割された場合においても、薄板状磁性体５の少なくとも一部を０．０１〜２５ｍｍ^２の範囲の面積を有する磁性体片とすることができる。

このようにして、磁性シート２と台紙６となるシート基材８とが一体となった台紙付き磁性シート１を作製する。磁性シート２が長尺形状や幅広形状を有する場合には、磁性シート２を目的のサイズ（例えば製品サイズ）に加工する。この際、磁性シート２のみを切断加工または打抜き加工することによって、シート基材８上に所望のサイズを有する複数の磁性シート２が搭載された台紙付き磁性シート１を得ることができる。このような台紙付き磁性シート１のシート基材８から磁性シート２を剥がして使用することによって、磁性シート２の取扱い性を高めることができる。

磁性シート２の加工には、例えばトムソン刃によるハーフカット加工を適用することが好ましい。トムソン刃による加工は打抜き加工の一種であり、トムソン刃とは一定形状に打ち抜くための金型である。ハーフカット加工により磁性シート２部分のみを切断し、台紙６となるシート基材８は切断しない。これによって、台紙６上に複数の磁性シート２が搭載された台紙付き磁性シート１を製造することができる。ハーフカット加工を適用して磁性シート２部分のみを打抜き加工することによって、複数の磁性シート２をシート基材８上に配置した台紙付き磁性シート１を効率よく製造することができる。

例えば、縦横サイズが広い幅広の台紙６を用いた場合には、複数の磁性シート２はシート基材８上にマトリックス状に配置される。このような台紙付き磁性シート１は積み重ねて運搬することができる。長尺な台紙６を用いた場合には、複数の磁性シート２はシート基材８の長手方向に順に配置される。このような台紙付き磁性シート１はリール状に巻いて運搬することができる。このような台紙付き磁性シート１によれば、磁性シート２の取扱い性や運搬性等を高めることができる。

次に、本発明の具体的な実施例について述べる。

（実施例１）
厚さ２０μｍのＣｏ基アモルファス合金薄帯（幅４０ｍｍ×長さ５ｍの長尺リボン）と、厚さ２５μｍのＰＥＴフィルム（幅４ｍｍ×長さ５ｍ）とを、アクリル系粘着剤を使用して接着し、「ＰＥＴフィルム／接着層／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯／接着層／ＰＥＴフィルム」の５層構造からなる磁性シート（厚さ９０μｍ）を作製した。

次に、微粘着シート（シート基材が厚さ８０μｍ×幅５５ｍｍ×長さ５ｍのＰＥＴフィルムである粘着テープ、ＰＥＴフィルムと接着層との接着力：９．８Ｎ／２５ｍｍ）上に長尺な磁性シートを接着して、長尺な台紙付き磁性シートを作製した。この後、長尺な磁性シートにトムソン刃によるハーフカット加工を施して、幅３５ｍｍ×長さ３５ｍｍ単位となるように磁性シートを切断した。

個々の磁性シートを剥がしたところ、磁性シート側には粘着剤（接着層）の付着は認められなかった。また、ハーフカット後の台紙付き磁性シートをリール状に巻いたところ、磁性シートの剥がれ落ちや破損は認められなかった。

（実施例２〜６）
厚さ２０μｍのＣｏ基アモルファス磁性薄帯（幅４０ｍｍ×長さ５ｍの長尺リボン）と、厚さ２５μｍのＰＥＴフィルム（幅４ｍｍ×長さ５ｍ）とを、アクリル系粘着剤を使用して接着し、「ＰＥＴフィルム／接着剤／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯／接着剤／ＰＥＴフィルム」の５層構造からなる磁性シート（厚さ９０μｍ）を作製した。次いで、表１に示す条件で磁性シートにジルコニアボールを噴射して円状クラックを形成した。

次に、ＰＥＴフィルムを貼り替えた微粘着シート（シート基材は厚さ８０μｍ×幅５５ｍｍ×長さ５ｍのＰＥＴフィルム）上に長尺な磁性シートを接着して、長尺な台紙付き磁性シートを作製した。この後、長尺な磁性シートにトムソン刃によるハーフカット加工を施して、幅３５ｍｍ×長さ３５ｍｍ単位となるように磁性シートを切断した。磁性シートを剥がしたところ、磁性シート側には粘着剤（接着層）の付着は認められなかった。

次に、シート基材から剥がした磁性シートを、図４に示すように平面コイル１１上に配置してＬ値とＱ値を測定した。Ｌ値およびＱ値は、平面コイル１１上に配置された磁性シート２について、測定周波数１２０ｋＨｚ、測定電圧０．１Ｖの条件にてＬＣＲメーターを使用して測定した。その結果を表１に示す。なお、表１には磁性シートとシート基材との接着力（台紙の接着層による磁性シートの接着力）を併せて示す。

（実施例７）
「ＰＥＴフィルム（厚さ４０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ２０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ２０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／ＰＥＴフィルム（厚さ４０μｍ）」の７層構造の磁性シート（Ｃｏ基アモルファス合金薄帯を２枚使用）を用いる以外は、実施例２と同様にして台紙付き磁性シートを作製した。このような台紙付き磁性シートの特性を、実施例２と同様にして測定した。その結果を表１に示す。

（実施例８）
「ＰＥＴフィルム（厚さ４０μｍ）／接着層（接着層３μｍ）／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ２０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ２０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ２０μｍ）／接着層（３μｍ）／ＰＥＴフィルム（厚さ４０μｍ）」の９層構造の磁性シート（Ｃｏ基アモルファス合金薄帯を３枚使用）を用いる以外は、実施例２と同様にして台紙付き磁性シートを作製した。このような台紙付き磁性シートの特性を、実施例２と同様にして測定した。その結果を表１に示す。

（実施例９）
「ＰＥＴフィルム（厚さ２５μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ１５μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／ＰＥＴフィルム（厚さ２５μｍ）」の５層構造の磁性シートを使用する以外は、実施例２と同様にして台紙付き磁性シートを作製した。このような台紙付き磁性シートの特性を、実施例２と同様にして測定した。その結果を表１に示す。

（実施例１０）
「ＰＥＴフィルム（厚さ４０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ３０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／ＰＥＴフィルム（厚さ４０μｍ）」の５層構造の磁性シートを使用する以外は、実施例３と同様にして台紙付き磁性シートを作製した。このような台紙付き磁性シートの特性を、実施例２と同様にして測定した。その結果を表１に示す。

（参考例１）
「Ｃｏ基アモルファス合金薄帯（厚さ２０μｍ）／接着層（厚さ３μｍ）／ＰＥＴフィルム（厚さ４０μｍ）」の積層構造を有する磁性シートにおいて、Ｃｏ基アモルファス合金薄帯に噴射圧力１ＭＰａ×噴射時間３秒の条件で直径０．２ｍｍのジルコニアボールを直接噴射したところ、Ｃｏ基アモルファス合金薄帯は粉々になってしまった。

表１から明らかなように、円状クラックの個数が４〜１００個、さらには３０〜７０個のものの特性が良かった。また、円状クラックの形成時において、円状クラック間はヒビでつながっていた。薄板状磁性体と樹脂フィルムとを積層した磁性シートに対し、樹脂フィルムの上からショットブラストを行っているため、薄板状磁性体は粉々にならず、目的とする円状クラックを形成することができた。その結果、磁性シートの切断面においても０．１ｍｍ以上の欠けは存在していなかった。

（実施例１１〜１２）
厚さ２５μｍのＦｅ基アモルファス合金薄帯（幅４０ｍｍ×長さ５ｍの長尺リボン）と、厚さ２５μｍのＰＥＴフィルム（幅４ｍｍ×長さ５ｍ）とを、アクリル系粘着剤を使用して接着し、「ＰＥＴフィルム／接着剤／Ｆｅ基アモルファス合金薄帯／接着剤／ＰＥＴフィルム」の５層構造からなる磁性シートを作製した。次いで、表２に示す条件で磁性シートにジルコニアボールを噴射して円状クラックを形成した。

次に、微粘着シート（シート基材は厚さ８０μｍ×幅５５ｍｍ×長さ５ｍのＰＥＴフィルム）上に長尺な磁性シートを接着して、長尺な台紙付き磁性シートを作製した。この後、長尺な磁性シートにトムソン刃によるハーフカット加工を施して、幅３５ｍｍ×長さ３５ｍｍ単位となるように磁性シートを切断した。磁性シートを剥がしたところ、磁性シート側には粘着剤（接着層）の付着は認められなかった。このような台紙付き磁性シートの特性を、実施例２と同様にして測定した。その結果を表２に示す。

１…台紙付き磁性シート、２…磁性シート、３…樹脂フィルム、４…接着層、５…薄板状磁性体、６…台紙、７…接着層、８…シート基材、９…円状クラック、１０…ヒビ。

Claims (16)

1. 薄板状磁性体と、前記薄板状磁性体と積層された樹脂フィルムとを備える磁性シートと、
   前記磁性シートと接着層を介して接着されたシート基材とを具備し、
   前記シート基材から前記磁性シートを剥がしたときに、前記接着層が前記シート基材に付着することを特徴とする台紙付き磁性シート。
2. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記樹脂フィルムは前記薄板状磁性体と前記接着層との間に配置されていることを特徴とする台紙付き磁性シート。
3. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記磁性シートと前記接着層との接着強度が０．０３Ｎ／２５ｍｍ以上９Ｎ／２５ｍｍ以下の範囲であることを特徴とする台紙付き磁性シート。
4. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記シート基材と前記接着層との接着強度が９．８Ｎ／２５ｍｍ以上であることを特徴とする台紙付き磁性シート。
5. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記薄板状磁性体と前記樹脂フィルムとは接着されていることを特徴とする台紙付き磁性シート。
6. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記薄板状磁性体には円状クラックが形成されていることを特徴とする台紙付き磁性シート。
7. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記薄板状磁性体には複数個の円状クラックが形成されていることを特徴とする台紙付き磁性シート。
8. 請求項７記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記複数個の円状クラック間がヒビでつながっていることを特徴とする台紙付き磁性シート。
9. 請求項８記載の台紙付き磁性シートにおいて、
   前記薄板状磁性体は前記複数個の円状クラックと前記ヒビとにより複数に分割されていることを特徴とする台紙付き磁性シート。
10. 請求項７記載の台紙付き磁性シートにおいて、
    前記円状クラックは単位面積１０ｍｍ×１０ｍｍあたり４〜１００個の範囲で形成されていることを特徴とする台紙付き磁性シート。
11. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
    前記樹脂フィルムは、前記薄板状磁性体の第１の表面に積層された第１の樹脂フィルムと、前記薄板状磁性体の前記第１の表面とは反対側の第２の表面に積層された第２の樹脂フィルムとを備えることを特徴とする台紙付き磁性シート。
12. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
    前記薄板状磁性体は多角形の外形を有し、前記外形の少なくとも一辺は切断面を有し、前記切断面は０．１ｍｍ以上の欠けがないことを特徴とする台紙付き磁性シート。
13. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
    前記薄板状磁性体の板厚が５〜３０μｍの範囲であることを特徴とする台紙付き磁性シート。
14. 請求項１記載の台紙付き磁性シートにおいて、
    複数の前記薄板状磁性体を具備することを特徴とする台紙付き磁性シート。
15. 請求項１記載の台紙付き磁性シートから前記磁性シートを剥がす工程と、
    電子部品本体の予め接着剤層が設けられた位置に、前記接着剤層を介して前記磁性シートを貼り付ける工程と
    を具備することを特徴とする電子部品の製造方法。
16. 請求項１５記載の電子部品の製造方法において、
    前記電子部品は受電装置であることを特徴とする電子部品の製造方法。

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