JPWO2010123027A1 - 蒸着処理装置および蒸着処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
10…アノード層
11…発光層
12…カソード層
13…封止膜層
15…成膜装置
20…処理チャンバー
21…基板保持室
22…蒸着ヘッド
26、55…真空ポンプ
30…材料供給装置
30a…制御部
30b…供給部
30c…材料ガス生成部
31…材料導入路
33…弾性シール体
40…材料投入機構
41…攪拌器
42…攪拌部
43…落下孔
44…回転筒
50、62…回転機構
51…回転伝達部
52…ヒーター
57…ガス導入器
60、60’…蓋体
61…軸
63…凹面体
64…間隙部
65…昇降機構
66…測定器
70…定量部
71…空間
72…落下通路
80、80’…昇華材ボトル
81…材料分散板
82…材料蒸発板
82’…突出部
90…溶解材ボトル
91…ガス通過孔
92…仕切り板
95…材料分散機構
96…材料散布体
97…材料均一体
98…材料昇華板
100…密閉空間
101…側面
101a…緩斜面
101b…急斜面
103…境界
104…円錐部
105…円柱部
120…材料導入部
121…排気口
125…材料投入路
130…ゲートバルブ
132…空間
133…導入口
140…精製機構
142…ヒーター
145…攪拌機構
147…回転軸
149…攪拌棒
150…ダクト
A…有機EL素子
B…液化有機材料
G…基板
L…液体
Claims (32)
- 蒸着によって基板に薄膜を成膜させる蒸着処理装置であって、
材料ガスを供給する減圧自在な材料供給装置と、
前記基板に薄膜を成膜する成膜装置を備え、
前記材料供給装置は材料を定量する定量部と、前記定量部を通過した材料を気化させる材料ガス生成部を有する、蒸着処理装置。 - 前記定量部は、上に凸の円錐形状の蓋体と、前記蓋体の上面に対向して設けられた円錐形状の凹面体と、前記蓋体および前記凹面体を相対的に回転させる回転機構とを有する、請求項1に記載の蒸着処理装置。
- 前記蓋体の側面は相対的に傾斜の異なる上側面と下側面からなり、前記上側面の傾斜が前記下側面の傾斜より緩やかである、請求項2に記載の蒸着処理装置。
- 前記定量部は、真空引きされ、前記定量部に材料を投入する材料投入機構と、前記蓋体と前記凹面体の間の隙間を自在に変更させる昇降機構を有する、請求項2に記載の蒸着処理装置。
- 前記定量部および前記定量部近傍を振動させる振動機構を備える、請求項1に記載の蒸着処理装置。
- 前記材料供給装置には、顆粒状の材料を攪拌する攪拌器を有する攪拌部が前記定量部の上方に設けられる、請求項1に記載の蒸着処理装置。
- 前記材料ガス生成部は、前記定量部と所定の長さの通路を介して連通する、材料を昇華させる材料昇華室であり、前記通路および前記材料昇華室はヒーターを備え、前記通路には前記定量部側の温度が低く前記材料ガス生成部側の温度が高い温度勾配が付与されている、請求項1に記載の蒸着処理装置。
- 前記通路および前記材料昇華室の外面には、内部に前記ヒーターを有する密閉空間が形成され、前記密閉空間内には揮発性の液体が封入されている、請求項7に記載の蒸着処理装置。
- 前記材料昇華室には、材料を透過させることで分散させる材料分散板と、上面に突出部を有するポーラスセラミックスからなる昇華材料蒸発部とが設けられる、請求項7に記載の蒸着処理装置。
- 前記材料昇華室には、材料を加熱することで昇華させる材料昇華板と、回転自在な前記通路内を通るシャフトと、前記シャフトの端部に固着され前記材料昇華板の上面近傍に配置される材料分散機構とが設けられる、請求項7に記載の蒸着処理装置。
- 前記通路および前記材料昇華室の内表面は粗面である、請求項7に記載の蒸着処理装置。
- 前記材料ガス生成部は、前記定量部と所定の長さの通路を介して連通する、材料を溶解させる材料溶解室であり、前記通路および前記材料溶解室はヒーターを備え、前記通路には前記定量部側の温度が低く前記材料ガス生成部側の温度が高い温度勾配が付与されている、請求項1に記載の蒸着処理装置。
- 前記通路および前記材料溶解室の外面には、内部に前記ヒーターを有する密閉空間が形成され、前記密閉空間内には揮発性の液体が封入されている、請求項12に記載の蒸着処理装置。
- 前記通路および前記材料溶解室の内表面は粗面である、請求項12に記載の蒸着処理装置。
- 前記成膜装置は、外部の真空ポンプと連通する処理チャンバーと、基板を保持する基板保持室から構成され、内部に前記材料ガス生成部と材料導入路を介して連通する蒸着ヘッドを有する、請求項1に記載の蒸着処理装置。
- 前記材料導入路には、材料の流量を制御する弁が設けられ、前記材料導入路には外部の真空ポンプと連通し、開閉自在な弁を有する材料退避路が設けられ、前記蒸着ヘッドには外部の真空ポンプと連通し、開閉自在な弁を有する出流れ用流路が設けられている、請求項15に記載の蒸着処理装置。
- 前記材料投入機構は、材料が導入される真空引き可能な材料導入部と、導入された材料を前記材料供給装置に投入する真空引き可能な材料投入部から構成され、前記材料導入部と前記材料投入部はゲートバルブを介して接続される、請求項4に記載の蒸着処理装置
- 前記材料導入部は材料を精製する精製機構を備える、請求項17に記載の蒸着処理装置。
- 前記定量部および前記材料ガス生成部にはキャリアーガスとしてアルゴンが導入される、請求項1に記載の蒸着処理装置。
- 基板に薄膜を成膜させる成膜装置に材料ガスを供給する材料供給装置であって、
材料を定量する定量部と、前記定量部を通過した材料を気化させる材料ガス生成部を有する、材料供給装置。 - 前記定量部は、上に凸の円錐形状の蓋体と、前記蓋体の上面に対向して設けられた円錐形状の凹面体と、前記蓋体および前記凹面体を相対的に回転させる回転機構とを有する、請求項20に記載の材料供給装置。
- 前記定量部は、真空引きされ、前記定量部に材料を投入する材料投入機構と、前記蓋体と前記凹面体の間の隙間を自在に変更させる昇降機構を有する、請求項20に記載の材料供給装置。
- 前記定量部および前記定量部近傍を振動させる振動機構を備える、請求項20に記載の材料供給装置。
- 顆粒状の材料を攪拌する攪拌器を有する攪拌部が前記定量部の上方に設けられる、請求項20に記載の材料供給装置。
- 前記材料ガス生成部は、前記定量部と所定の長さの通路を介して連通する、材料を昇華させる材料昇華室であり、前記通路および前記材料昇華室はヒーターを備え、前記通路には前記定量部側の温度が低く前記材料ガス生成部側の温度が高い温度勾配が付与されている、請求項20に記載の材料供給装置。
- 前記材料昇華室には、材料を透過させることで分散させる材料分散板と、上面に突出部を有するポーラスセラミックスからなる昇華材料蒸発部とが設けられる、請求項25に記載の材料供給装置。
- 前記材料昇華室には、材料を加熱することで昇華させる材料昇華板と、回転自在な前記通路内を通るシャフトと、前記シャフトの端部に固着され前記材料昇華板の上面近傍に配置される材料分散機構とが設けられる、請求項25に記載の材料供給装置。
- 前記通路および前記材料昇華室の内表面は粗面である、請求項25に記載の材料供給装置。
- 前記材料ガス生成部は、前記定量部と所定の長さの通路を介して連通する、材料を溶解させる材料溶解室であり、前記通路および前記材料溶解室はヒーターを備え、前記通路には前記定量部側の温度が低く前記材料ガス生成部側の温度が高い温度勾配が付与されている、請求項20に記載の材料供給装置。
- 前記通路および前記材料溶解室の内表面は粗面である、請求項29に記載の材料供給装置。
- 蒸着によって基板に薄膜を成膜させる蒸着処理方法であって、
顆粒状の材料を粉砕し、
粉砕した前記材料を昇華または溶解させることによって気化させ、
気化した材料ガスを用いて基板に薄膜を成膜させる蒸着処理方法。 - 顆粒状の前記材料は、粉状の材料を粒状化させて作られる、請求項31に記載の蒸着処理方法。
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