JP4533964B1 - 発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透光性の管1と、管1の内周に設けた、透光性の第1電極層12bと、第1電極層の内周に設けた、電界を印加して発光する有機物層OLと、有機物層OLの内周に設けた第2電極層12gと、管1の内周を気密に封止する、封止部110とを備えた発光装置の再生産方法であって、以下の工程を有する。封止部110を取外す。第2電極層12gを除去して有機物層OLを露出させる。有機物層OLを除去して第1電極層12bを露出させる。第1電極層12bを表面処理する。表面処理された第1電極層12bの内周に新たな有機物層OLを成膜する。成膜された新たな有機物層OLの内周に新たな第2電極層12gを成膜する。成膜された新たな第2電極層12gを含む管1の内周を封止部110で気密に封止する。
【選択図】図2
Description
(実施の形態1)
はじめに本発明の実施の形態1の発光装置の構成について説明する。
上述したように、発光装置の電極112aと電極112bとの間に電圧が印加されることで、発光装置から発光が生じる。有機物層OLは、発光時間の経過により徐々に劣化していく。この劣化にともない、発光装置の輝度が低下していく。輝度が初期値の70%まで低下した時点を寿命時間と定義すると、この寿命時間は、たとえば4000時間である。寿命に到達した発光装置は、回収された後、以下に説明する発光装置の再生産に供される。
再び図2を参照して、不活性ガス雰囲気中で、一時的に保管されていた封止部110と、配線113a、113bと、乾燥剤127とが、再び円筒管1に取り付けられる。このようにして封止部110が再使用されて円筒管1の内周が気密に封止される。配線113aが透明陽極層12bに接続され、配線113bが陰極層12gに接続される。封止部110は、Oリング124を有しているので、容易に円筒管1に取り付けることができる。
上記の発光装置の再生産方法では、封止部110を取り外す工程と、有機物層OLを露出させる工程と、透明陽極層12b(第1電極層)を露出させる工程と、透明陽極層12b(第1電極層)を表面処理する工程と、新たな有機物層OLを成膜する工程と、新たな陰極層12g(第2電極層)を成膜する工程と、円筒管1の内周を封止部110で気密に封止する工程との全ては、円筒管1が縦に保持された状態で行なわれる。この場合には、各工程を行う装置の各部の全てが、円筒管1を縦に保持できるように構成されている。また、これらの各工程の少なくとも1つの工程が円筒管1が縦に保持された状態で行なわれてもよい。この場合には、各工程を行う装置の各部が、円筒管1を縦に保持できるように構成されている。
本発明の実施の形態2の発光装置の再生産方法では、実施の形態1における陰極層12gのドライエッチング工程(図4)および有機物層OLのドライエッチング工程(図5)のそれぞれの代わりに、液体を使用した陰極層12gのウェットエッチング工程および有機物層OLのウェットアッシング工程が行なわれる。以下にこの工程について説明する。
図9を参照して、円筒管1の長さ方向LDが重力方向に交差するように円筒管1が支持される。円筒管1の両端のそれぞれに、回転導入フランジ40および回転排出フランジ41が取り付けられる。回転モータ43の駆動力が駆動機構48を介して伝達されることにより回転導入フランジ40が軸受42aに支持されながら回転する。これにより円筒管1が円筒管1の長さ方向LDを中心として自転する。
有機物層OLの除去後、円筒管1の回転が停止されて上記と同様に傾斜台46が傾斜されることにより円筒管1は傾斜されることにより、円筒管1内の炭化水素系洗浄溶剤が排出口45から排出される。続いて、液体供給管44から円筒管1内に非塩素系洗浄溶剤が導入されることで、円筒管1内に付着している炭化水素系洗浄溶剤が洗い流される。この非塩素系洗浄溶剤は、たとえば住友スリーエム株式会社製「ノベック」(商標)HFE−7100、または旭硝子株式会社製「アサヒクリン」(商標)AE−3000である。 次に液体供給管44から円筒管1内に純水が導入されることで、さらに洗浄が行なわれる。次に円筒管1がランプヒータ47と対向する位置で回転モータ43の駆動力によって回転される。これにより、ランプヒータ47の熱によって効率よく円筒管1内が乾燥される。
はじめに本発明の実施の形態3の再生産装置の構成について説明する。
発光装置が搬入室51に設置される。図示しない制御装置によって、発光装置の種類がバーコード13により識別され、プロセスレシピが選択され、再生産作業が開始される。
はじめに、本発明の実施の形態4の再生産装置の構成について説明する。
図12を参照して、窒素雰囲気の気密室70内で、発光装置の封止部110が取り外される。そして、図中矢印X1で示すように、円筒管1の両端に結合治具71が装着される。
発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
はじめに、本発明の実施の形態5の再生産装置の構成について説明する。
本実施の形態においては第1〜第4の層12c〜12fはガス輸送法により形成される。ここでガス輸送法とは、OVPD(Organic Vapor Phase Deposition)法とも称され、以下の工程を含む成膜方法のことである。
本発明の実施の形態7の成膜装置100Qは、実施の形態1の成膜装置100Vと比較して、加熱台(第1の放出部、第2の放出部)150と、原料供給器(有機物原料供給器、第2電極原料供給器)151と、レーザーパーティクルモニタ152とを備えている点で主に異なっている。
本発明の実施の形態8は、実施の形態1と比較して、複数の坩堝31が円筒管1の内側に配置される点で主に異なっている。
Claims (15)
- 透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第1電極層と、前記第1電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第2電極層と、前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部と、前記封止部に設けられた第1および第2の電極と、前記第1電極に取り付けられかつ両端部にて前記第1電極層と電気的に接続される第1配線と、前記第2電極に取り付けられかつ両端部にて前記第2電極層と電気的に接続される第2配線とを備えた発光装置の再生産方法であって、
前記封止部および前記管を破壊することなしに前記封止部を前記第1および第2配線とともに前記管から取り外す工程と、
前記封止部が取り外された前記発光装置の前記第2電極層を除去して前記有機物層を露出させる工程と、
露出された前記有機物層を除去して前記第1電極層を露出させる工程と、
露出された前記第1電極層を前記有機物層が除去される際に生じた前記第1電極層の表面残渣が取り除かれるように表面処理する工程と、
前記管が縦に保持された状態で、表面処理された前記第1電極層の内周に新たな有機物層を成膜する工程と、
前記管が縦に保持された状態で、成膜された前記新たな有機物層の内周に新たな第2電極層を成膜する工程と、
成膜された前記新たな第2電極層を含む前記管の内周を前記封止部で気密に封止する工程とを備え、
前記新たな有機物層を成膜する工程と前記新たな第2電極層を成膜する工程との各々の新たな層を成膜する工程は、
上面に設けられた開口部と、前記開口部に通じ、かつ側面に開口する隙間とを有する放出部を、前記放出部の前記側面が前記管の内周面と対向するように前記管の内部に配置する工程と、
前記管の外部に配置された原料供給部によって前記新たな層の固体状の原料を前記管の内部へ落下させることにより供給する工程と、
前記落下により供給された固体状の前記原料を、前記放出部の前記開口部を通して前記放出部の内部に導き、前記放出部の内部で加熱することによって気化させ、気化した前記原料を前記隙間から前記管の内周面に向けて放出することにより、前記管の内周面に前記新たな層を成膜する工程とを含み、
前記新たな層の成膜時において、前記放出部が前記管に対して、前記管の長さ方向を中心として相対的に回転し、かつ前記管の長さ方向に相対的に変位するように、前記放出部および前記管の少なくともいずれかが動いている、発光装置の再生産方法。 - 前記第2電極層を除去する工程は、ハロゲンガス系プラズマおよび有機ガス系プラズマの少なくともいずれかで前記第2電極層をエッチングする工程と、酸溶液で前記第2電極層をエッチングする工程との少なくともいずれかを含む、請求項1に記載の発光装置の再生産方法。
- 前記有機物層を除去する工程は、酸素プラズマで前記有機物層をアッシングする工程と、炭化水素系溶剤および水の少なくともいずれかで前記有機物層をエッチングする工程と、光照射による加熱で前記有機物層を蒸発させる工程と、高温ガスによる加熱で前記有機物層を蒸発させる工程との少なくともいずれかを含む、請求項1または2に記載の発光装置の再生産方法。
- 前記第1電極層を表面処理する工程は、前記第1電極層の表面を酸素プラズマ中で表面処理する工程と、前記第1電極層の表面を酸素雰囲気中で加熱表面処理する工程と、前記第1電極層の表面を紫外線で表面処理する工程との少なくともいずれかを含む、請求項1〜3のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
- 前記放出部が複数の放出部分を有する、請求項1に記載の発光装置の再生産方法。
- 前記封止部を取り外す工程と、前記管の内部を前記封止部で気密に封止する工程とは第1の気密容器内で行われ、
前記第2電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第1電極層を表面処理する工程とは前記第1の気密容器とは異なる第2の気密容器内で行われ、
前記有機物層を成膜する工程と、前記第2電極層を成膜する工程とは前記第1および第2の気密容器とは異なる第3の気密容器内で行われ、
前記管が前記第1〜第3の気密容器に搬送手段によって搬送される、請求項1〜5のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。 - 前記第2電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第1電極層を表面処理する工程と、前記新たな有機物層を成膜する工程と、前記新たな第2電極層を成膜する工程が一つの気密容器内で行われ、前記管が一つの気密容器内で搬送手段によって搬送される、請求項1〜5のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
- 前記新たな有機物層を成膜する工程において、前記第1電極層に第1のマスクを設けて、前記第1のマスクが設けられた領域以外に前記新たな有機物層を成膜する、請求項1〜7のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
- 前記新たな第2電極層を成膜する工程において、前記新たな有機物層に第2のマスクを設けて、前記第2のマスクが設けられた領域以外に前記新たな第2電極層を成膜する、請求項1〜8のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
- 前記新たな有機物層の成膜後、前記新たな有機物層を光照射により蒸発させて、前記光照射により蒸発された領域以外に前記新たな有機物層を残存させる、請求項1〜9のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
- 前記第1電極層と前記有機物層と前記第2電極層とを含む有機発光素子は、可撓性フィルムに形成された状態で前記管の内周に配置される、請求項1〜10のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
- 前記可撓性フィルムは湾曲させた状態で前記管の内周に装着される、請求項11に記載の発光装置の再生産方法。
- 透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第1電極層と、前記第1電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第2電極層と、前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部と、前記封止部に設けられた第1および第2電極と、前記第1電極に取り付けられかつ両端部にて前記第1電極層と電気的に接続される第1配線と、前記第2電極に取り付けられかつ両端部にて前記第2電極層と電気的に接続される第2配線とを備えた発光装置の再生産装置であって、
前記封止部および前記管を破壊することなしに前記発光装置の前記封止部を前記第1および第2配線とともに前記管から取り外す封止着脱部と、
前記封止着脱部で前記封止部が取り外された前記発光装置から前記第2電極層を除去する第2電極層除去部と、
前記第2電極層が除去された前記発光装置から前記有機物層を除去する有機物層除去部と、
前記有機物層が除去された前記発光装置の前記第1電極層を前記有機物層が除去される際に生じた前記第1電極層の表面残渣が取り除かれるように表面処理する第1電極層表面処理部と、
前記管を縦に保持できるように構成されており、かつ前記表面処理された第1電極層の内周に新たな有機物層を成膜する有機物層成膜部と、
前記管を縦に保持できるように構成されており、かつ前記新たな有機物層の内周に第2電極層を成膜する第2電極層成膜部とを備え、
前記封止着脱部は、前記新たな有機物層および前記新たな第2電極層を含む前記管の内周を気密に封止するよう構成されており、
前記新たな有機物層と前記新たな第2電極層との各々の新たな層を成膜するように前記有機物層成膜部と前記第2電極層成膜部との各々は、
上面に設けられた開口部と、前記開口部に通じ、かつ側面に開口する隙間とを有し、かつ前記側面が前記管の内周面と対向するように前記管の内部に配置された放出部と、
前記管の外部に配置され、かつ前記新たな層の固体状の原料を前記管の内部へ落下させることにより供給する原料供給部とを含み、
前記放出部は、前記落下により供給された固体状の前記原料を、前記放出部の前記開口部を通して前記放出部の内部に導き、前記放出部の内部で加熱することによって気化させ、気化した前記原料を前記隙間から前記管の内周面に向けて放出することにより、前記管の内周面に前記新たな層を成膜できるよう構成されており、
前記放出部および前記管の少なくともいずれかは、前記新たな層の成膜時において、前記放出部が前記管に対して、前記管の長さ方向を中心として相対的に回転し、かつ前記管の長さ方向に相対的に変位できるよう構成されている、発光装置の再生産装置。 - 前記封止着脱部を有する第1の気密容器と、
前記第2電極層除去部と、前記有機物層除去部と、前記第1電極層表面処理部とを有する、前記第1の気密容器とは異なる第2の気密容器と、
前記有機物層成膜部と、前記第2電極層成膜部とを有する、前記第1および第2の気密容器とは異なる第3の気密容器とを備え、
前記管が前記第1〜3の気密容器に搬送手段によって搬送される、請求項13に記載の発光装置の再生産装置。 - 前記新たな層の固体状の原料を前記管の内部へ落下させることにより供給する工程は、前記原料供給器から落下により前記管の内部に供給された前記新たな層の固体状の原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ前記計測の結果に基づき前記新たな層の固体状の原料の供給量を制御する工程を有する、請求項1に記載の発光装置の再生産方法。
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