JPWO2010113518A1 - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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- 230000005669 field effect Effects 0.000 title claims abstract description 107
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 131
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 128
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 58
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 51
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 52
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 50
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 146
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 26
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 26
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- -1 for example Chemical compound 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000002074 nanoribbon Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical group [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004002 angle-resolved photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical group [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical group [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002717 carbon nanostructure Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Chemical group 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
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- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic Table
- H01L29/1606—Graphene
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02612—Formation types
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- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
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- H01L21/8213—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using SiC technology
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- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66431—Unipolar field-effect transistors with a heterojunction interface channel or gate, e.g. HFET, HIGFET, SISFET, HJFET, HEMT
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Abstract
本発明は、グラフェンチャネルを有する電界効果トランジスタであって、アンバイポーラ特性を示さないトランジスタを提供する。具体的には、半導体基板と、前記半導体基板上に配置されたグラフェン層を含むチャネルと、金属からなるソース電極およびドレイン電極と、ゲート電極とを有する電界効果トランジスタであって、前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、半導体層を介して接続している電界効果トランジスタを提供する。
Description
本発明は、電界効果トランジスタ、より具体的にはグラフェンチャネルを有する電界効果トランジスタに関する。
電界効果トランジスタは、半導体からなるチャネルと、チャネルにコンタクトするソース電極とドレイン電極と、チャネルに流れる電流を制御するゲート電極とを有する。そして、チャネルをグラフェンとする電界効果トランジスタも提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
グラフェンは、一般的に炭素原子からなる六員環構造を有する単層シートである。グラフェンは、既存のあらゆる半導体よりも格段に電子輸送特性が優れるので、チャネルをグラフェンとする電界効果トランジスタは、微細化限界で直面しているトランジスタの速度性能を飛躍的に向上させることができると期待されている。ところが、理想的なグラフェンは伝導帯と価電子帯が一点で接触するバンド構造を有し、バンドギャップが存在しない。このため、バンドギャップの実現方法に関する研究が活発に行われている(非特許文献1〜3)。
バンドギャップを実現する第1の手段(ナノリボン)は、電流に対する垂直方向のチャネル幅をナノメートルサイズに制限し、幅方向電子閉じ込めによりバンドギャップを発現する(非特許文献1を参照)。
バンドギャップを実現する第2の手段(対称性破壊)は、グラフェン層下部の基板原子配列に起因したグラフェン層のA、Bサイトの対称性を破壊することにより、バンドギャップを発現する(非特許文献2を参照)。SiC上に作製されたグラフェンのうち、第一層グラフェンのπ電子はSiCと共有されて電導に寄与しない(このため、第一層グラフェンはバッファ層と称される)。一方、バッファ層上のグラフェンのπ電子は電導に寄与する。ここで、バッファ層の六員環とグラフェン層の六員環が、完全に重なって積層されると、六員環中単位格子(AサイトとBサイト)間の対称性は保たれる。ところが、図7のようなA-B積層においては、グラフェン層のAサイトとBサイト間の対称性が破壊されるので、AサイトとBサイトのポテンシャルエネルギーに差が生じる。そのため、この差の分だけバンドギャップ(実測値は約0.2eV)が生じる。
バンドギャップを実現する第3の手段(二層グラフェン)は、二層グラフェンの層間にポテンシャル差をつけることにより、バンドギャップを発現させる(非特許文献3を参照)。具体的には、図7のように、グラフェン層をA-B積層して、二層間にポテンシャル差をつけて、バンドギャップを生じさせる。バンドギャップ値は、固有値を求めることにより理論的に導くことができる。ポテンシャル差のつけ方として、不純物ドーピングあるいは外部からの電界印加が考えられている。
ところが、上記の手段にはそれぞれ以下の問題があった。ナノリボンは、電流に対する垂直方向のチャネル幅の炭素原子数が3m+2(m:自然数)であるときにバンドギャップが存在しない。そのため、チャネル幅を数ナノメートル以下の原子オーダで加工する必要があり、現状の加工技術では困難である。
対象性破壊によれば、SiC基板上で対称性が破壊されてバンドギャップが出現するという見解と、否定的な見解とがあり、論争の最中であり、その詳細が明らかでない。
不純物ドーピングによる二層グラフェンの場合には、各グラフェン層にドナーとアクセプターを、面密度1013cm−2ドーピングしても、得られるバンドギャップは、0.2eV程度である(強束縛ハミルトニアンとポアソン方程式をセルフコンシステントに解く方法で計算)。また、外部電界印加による二層グラフェンの場合には、上下にゲートを持つダブルゲート構造が必要で、作製が極めて困難である。
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図1Aに、一般的に考えられる構造のグラフェンチャネル電界効果トランジスタ(GFET)の例の断面図を示す。図1Aに示されるように、シリコンカーバイド基板5と、ソース電極S、ドレイン電極D、ゲート電極G、チャネルとなるグラフェン層1、ゲート絶縁層6を有する。金属からなるソース電極Sとドレイン電極Dが、グラフェンチャネルに対して、直接ソースコンタクトおよびドレインコンタクトしている。
ソース電極およびドレイン電極を金属とする電界効果トランジスタの動作メカニズムは、通常のシリコンMOSFETの動作メカニズムと異なる。図1Aに示される電界効果トランジスタは、ソースおよびドレインと、チャネルとの間のショットキー障壁を制御することにより動作し、そのため「ショットキー障壁電界効果トランジスタ」とも称される。
ショットキー障壁電界効果トランジスタは、そのチャネル半導体のバンドギャップが小さいと、ソース・ゲート間に正の電圧が印加された場合には、ソースから注入された電子が伝導に寄与し;ソース・ゲート間に負の電圧が印加された場合には、ドレインから注入されたホールが伝導に寄与する。これをアンバイポーラ特性という。
図1Bに、図1Aに示された電界効果トランジスタのソース−ゲート間に電圧を印加したときの、ソース・チャネルおよびドレイン・チャネル間のポテンシャル分布の概略を示す。左側は、ソース−ゲート間に正の電圧を印加したとき;右側は、ソース−ゲート間に負の電圧を印加したときのポテンシャル分布を示す。図1Bに示されるように、正のゲート電圧を印加すると電子がソースから注入されチャネルを走行してドレインに流れ込み、電子電流が流れる。一方、負のゲート電圧を印加するとドレインからホールが注入されチャネルを走行してソースに流れ込み、ホール電流が流れる。このように、アンバイポーラ特性を生じさせる。
前述のように、グラフェンのバンドギャップは、従来いずれの方法を用いても0.2eV程度と小さな値とならざるを得ない。したがって、グラフェンをチャネルとする電界効果トランジスタにおいて、図1Aに示されるようにチャネルに対するソースコンタクトおよびドレインコンタクトを金属電極で行うと、ソース・ゲート間に正電圧を印加したときに電子電流が流れ;負電圧を印加したときにホール電流が流れるという、いわゆるアンバイポーラ特性が現れると予想される。
アンバイポーラ特性を有する電界効果トランジスタは、シリコンMOSFETで多く用いられる相補型論理回路を実現するには不向きな特性である。ところが、アンバイポーラ特性を回避するためのグラフェンチャネル電界効果トランジスタは、これまで提案されてこなかった。
そこで本発明は、グラフェンチャネルを有する電界効果トランジスタであって、アンバイポーラ特性を示さないトランジスタを提供することを課題とする。
すなわち本発明は、以下に示す電界効果トランジスタなどに関する。
[1] 半導体基板と、前記半導体基板上に配置されたグラフェン層からなるチャネルと、金属からなるソース電極およびドレイン電極と、ゲート電極とを有する電界効果トランジスタであって、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、半導体層を介して接続している、電界効果トランジスタ。
[2] 前記半導体層は、前記半導体基板のソース領域およびドレイン領域である、[1]に記載の電界効果トランジスタ。
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、半導体層を介して接続している、電界効果トランジスタ。
[2] 前記半導体層は、前記半導体基板のソース領域およびドレイン領域である、[1]に記載の電界効果トランジスタ。
[3] 前記グラフェン層は、前記半導体基板上に設けられたグラフェン前駆体からなる層の上に形成されており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、前記半導体層および前記グラフェン前駆体からなる層を介して接続している、[1]または[2]に記載の電界効果トランジスタ。
[4] 前記グラフェン層は、前記半導体基板上に設けられたシリコンカーバイド層上に形成されており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、前記半導体層および前記シリコンカーバイド層を介して接続している、[1]または[2]に記載の電界効果トランジスタ。
[5] 前記シリコンカーバイド層の厚さは、100nm以下である、[4]に記載の電界効果トランジスタ。
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、前記半導体層および前記グラフェン前駆体からなる層を介して接続している、[1]または[2]に記載の電界効果トランジスタ。
[4] 前記グラフェン層は、前記半導体基板上に設けられたシリコンカーバイド層上に形成されており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、前記半導体層および前記シリコンカーバイド層を介して接続している、[1]または[2]に記載の電界効果トランジスタ。
[5] 前記シリコンカーバイド層の厚さは、100nm以下である、[4]に記載の電界効果トランジスタ。
[6] 前記[1]〜[5]のいずれかに記載の電界効果トランジスタであって、
前記グラフェン層のソース領域およびドレイン領域は、n型ドーピングされており、かつ
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とを接続する半導体層は、n型ドーピングされている、n型電界効果トランジスタ。
[7] 前記[1]〜[5]のいずれかに記載の電界効果トランジスタであって、
前記グラフェン層のソース領域およびドレイン領域は、p型ドーピングされており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とを接続する半導体層は、p型ドーピングされている、p型電界効果トランジスタ。
前記グラフェン層のソース領域およびドレイン領域は、n型ドーピングされており、かつ
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とを接続する半導体層は、n型ドーピングされている、n型電界効果トランジスタ。
[7] 前記[1]〜[5]のいずれかに記載の電界効果トランジスタであって、
前記グラフェン層のソース領域およびドレイン領域は、p型ドーピングされており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とを接続する半導体層は、p型ドーピングされている、p型電界効果トランジスタ。
[8] 前記グラフェン層は、二層以上のグラフェン層であり、
前記グラフェン層の各層の間にポテンシャル差を与えることができる、[1]〜[7]のいずれかに記載の電界効果トランジスタ。
[9] 前記グラフェン層は、二層である、[8]に記載の電界効果トランジスタ。
[10] 前記半導体基板とチャネル間のビルトイン電界を印加するか、または半導体基板にバイアスを印加することで、前記グラフェン層の各層の間にポテンシャル差を与える、[8]に記載の電界効果トランジスタ。
前記グラフェン層の各層の間にポテンシャル差を与えることができる、[1]〜[7]のいずれかに記載の電界効果トランジスタ。
[9] 前記グラフェン層は、二層である、[8]に記載の電界効果トランジスタ。
[10] 前記半導体基板とチャネル間のビルトイン電界を印加するか、または半導体基板にバイアスを印加することで、前記グラフェン層の各層の間にポテンシャル差を与える、[8]に記載の電界効果トランジスタ。
[11] 前記[6]に記載の電界効果トランジスタと、前記[7]に記載の電界効果トランジスタとを含む、相補型論理回路。
本発明の電界効果トランジスタは、グラフェン材料の有する超高速特性を享受しながら、かつ従来のCMOS集積回路が有する超低消費電力超大規模集積化を実現することができる。
本発明の電界効果トランジスタは、半導体基板と、グラフェン層からなるチャネルと、ソース電極およびドレイン電極と、ゲート電極とを有する。本発明の電界効果トランジスタは、n型電界効果トランジスタであってもよく、p型電界効果トランジスタであってもよい。グラフェン層からなるチャネルと、ソース電極およびドレイン電極とは、直接コンタクトせず、半導体層を介して接続している。
本発明の電界効果トランジスタの半導体基板は、特に限定されないが、シリコン基板であることが好ましい。後述の通り、半導体基板にはチャネルとなるグラフェン層が配置される必要があり;シリコン基板には、グラフェン層の前駆体となるシリコンカーバイド層をエピタキシャル成長させることができるからである。
さらに、n型電界効果トランジスタにおける半導体基板は、p型シリコン基板であってもよく;p型電界効果トランジスタにおける半導体基板は、n型シリコン基板であってもよい。
また、半導体基板のソース領域およびドレイン領域は、それぞれドーピングされている。n型電界効果トランジスタの場合には、半導体基板のソース領域およびドレイン領域をn型ドーピングすればよく;p型電界効果トランジスタの場合には、半導体基板のソース領域およびドレイン領域をp型ドーピングすればよい。ドーピングの手段は特に限定されず、従来の手法を用いればよい。
本発明の電界効果トランジスタのチャネルはグラフェン層を含む。グラフェン層とは、1層のグラファイト(単層グラフェン)であっても、複数(例えば2)層のグラファイト(複層グラフェン)であってもよい。複層グラフェンとした場合には、複層グラフェンの各層の間にポテンシャル差をつけて、バンドギャップを出現させることもできる。複層グラフェンの各層の間にポテンシャル差をつけるには、シリコン基板とチャネル間のビルトイン電界を印加するか、または半導体基板にバイアスを印加すればよい。
チャネルとなるグラフェン層のソース領域およびドレイン領域は、それぞれドーピングされていることが好ましい。つまり、n型電界効果トランジスタとする場合には、ソース領域およびドレイン領域をn型ドーピングすればよく;p型電界効果トランジスタとする場合には、ソース領域およびドレイン領域をp型ドーピングすればよい。
グラフェンをn型ドーピングするには、例えばアンモニアを吸着すればよく;一方、グラフェンをp型ドーピングするには、例えば水や二酸化窒素を吸着すればよい(T. O. Wehling et al., “Molecular doping of graphene,” NanoLett., vol. 8, pp. 173-177, 2008)。また、n型またはp型GaAsからグラフェンへ電荷移動する可能性も知られている(T. A. G. Eberlein et al., “Doping of graphene: density functional calculations of charge transferbetweenGaAs and carbon nanostructures,” Phys. Rev. B, vol.78, p. 045403, 2008)。さらに、n型SiC上に形成されたグラフェンへ電子が移動することも示唆されている(T. Ohta et al., “Interlayer interaction and electronic screening in multilayer grapheneinvestigatedwithangle-resolved photoemission spectroscopy,” Phys. Rev. Lett., vol. 98, p. 206802, 2007)。
グラフェン層からなるチャネルは、グラフェン前駆体からなる層の表面をグラフェン化することで得られうる。グラフェン前駆体からなる層の例には、シリコンカーバイド層などがある。シリコンカーバイド層の表面のグラフェン化は、例えば、以下の文献に示された手法を用いることができる。つまり、6H-SiCのシリコン終端面を1250-1450℃でアニーリングすることにより、グラフェン化することもできる(C. Berger et al., “Ultrathin epitaxial graphite: 2D electron gas properties and a route toward graphene-based nanoelectronics,” J. Chem. B, vol. 108, pp. 19912-19916, 2004.)。
もちろん、シリコンカーバイドのグラフェン化はこれに限定されず、シリコン基板上にエピタキシャル成長させた3C−SiCの表面を炭化して、グラフェン化することもできる。
本発明の電界効果トランジスタのチャネルは、半導体基板の表面に配置されたシリコンカーバイド層の表面を熱分解して得られるグラフェン層でありうるが、シリコンカーバイドの一部はグラフェン化されることなく残っていてもよい。残っているシリコンカーバイド層の厚さは、トンネル伝導が可能な程度の厚さであればよいが、具体的には5〜100nmであることが好ましい。残っているシリコンカーバイド層の厚さが薄いほど、ゲート電圧によるチャネル伝導を制御しやすいと考えられる。
また、グラフェン化されずに残っているシリコンカーバイド層のソース領域およびドレイン領域は、それぞれドーピングされている。n型電界効果トランジスタの場合には、n型ドーピングをされており;p型電界効果トランジスタの場合には、p型ドーピングをされている。シリコンカーバイド層のドーピングも、従来の手法と同様に行うことができる。
電界効果トランジスタのソース電極とドレイン電極は、金属材料からなる。金属材料の例には、白金などが含まれるが特に限定されない。本発明の電界効果トランジスタにおいて、グラフェン層を含むチャネルと、金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、直接コンタクトせず、半導体層を介して接続していることを特徴とする。グラフェン層からなるチャネルと、ソース電極およびドレイン電極とを接続する半導体層は、半導体基板のソース領域およびドレイン領域でありうるし、さらにシリコンカーバイド層のソース領域およびドレイン領域でありうる。つまり、金属からなるソース電極とチャネルとは、半導体基板のソース領域、およびシリコンカーバイド層のソース領域を介して接続されていることが好ましい。同様に、金属からなるドレイン電極とチャネルとは、半導体基板のドレイン領域、およびシリコンカーバイド層のドレイン領域とを介して接続されていることが好ましい。
本発明の電界効果トランジスタのゲート電極は、チャネルとは絶縁されており、かつチャネルに流れる電流を制御できるように配置されていればよく、その配置形式は特に限定されない。つまり、チャネルに対して絶縁層を介して配置されていてもよいし(トップゲートとも称される)、半導体基板の裏面(チャネルが配置されている面の裏面)に配置されていてもよい(ボトムゲートとも称される)。
ゲート電極とチャネルとを絶縁するゲート絶縁層の例には、酸化シリコン(SiO2)層、酸化アルミニウム(Al2O3)層、酸化ハフニウム(HfO2)層、酸化ジルコニウム(ZrO2)層などが含まれる。ゲート絶縁層の形成は、例えば堆積法により行えばよく、通常のMOSFETのゲート絶縁層の形成と同様である。
図2Aは、本発明のn型グラフェン電界効果トランジスタの概略断面図を示す。図2Aに示される電界効果トランジスタは、シリコン基板10と、グラフェン層1と、シリコンカーバイド層2と、ゲート絶縁層6と、ソース電極Sと、ドレイン電極Dと、ゲート電極Gとを有する。シリコン基板10は、p型シリコン基板のソース領域とドレイン領域とを、n型としたシリコン基板である。グラフェン層1のソース領域とドレイン領域1n、およびシリコンカーバイド層2のソース領域とドレイン領域2nも、n型とされている。
図2Bは、本発明のp型グラフェン電界効果トランジスタの概略断面図を示す。図2Bに示される電界効果トランジスタも、シリコン基板10と、グラフェン層1と、シリコンカーバイド層2と、ゲート絶縁層6と、ソース電極Sと、ドレイン電極Dと、ゲート電極Gとを有する。シリコン基板10は、n型シリコン基板のソース領域とドレイン領域とを、p型としたシリコン基板である。グラフェン層1のソース領域とドレイン領域1p、およびシリコンカーバイド層2のソース領域とドレイン領域2pも、p型とされている。
本発明の電界効果トランジスタは、バンドギャップを有さないか、または極めて小さいバンドギャップを有するグラフェンチャネルであるにも係わらず、アンバイポーラ特性を有さないことを特徴とする。
図3Aには、図2Aに示される電界効果トランジスタ(n型)のソース電極Sからグラフェン層1のソース領域1nまでの伝導パスに沿ったポテンシャル分布が示される。また図示はされないが、ドレイン電極Dからグラフェン層1のドレイン領域1nまでの伝導パスに沿ったポテンシャル分布図も、図3Aと同様である。
n型ドーピングされたシリコンカーバイド層2nを薄くしてトンネル伝導を可能にすれば、ソース電極Sからグラフェン層1のソース領域1nに電子を注入することができることがわかる。そして、ホールに対するポテンシャル障壁が高いので、ソース電極Sとゲート電極Gとの間に負の電圧を印加したときに、ホールがチャネルに注入されることはない。つまり、電子のみが伝導に寄与するので、アンバイポーラ特性を示さない。
図3Bには、図2Aにされるソース電極Sからグラフェン層1のソース領域1nまでの伝導パスに沿った系について、ポアソン方程式と電流連続式とを用いて、チャネル電流密度と印加電圧との関係をシミュレーションした結果が示される。シリコンカーバイド層の厚さを5nm;グラフェン層、シリコンカーバイド層およびシリコンの不純物濃度を1020cm−3に設定した。図3Bに示されるように、印加電圧を正にしたときに、n型グラフェン−n型SiC−n型Siには電流が流れる(図3Bの正バイアス領域を参照)。一方、印加電圧を負にしたときには、グラフェン層をp型に反転したとしても電流はほとんど流れない(図3Bの負バイアス領域を参照)。印加電圧を+1Vとしたときの電流密度は、印加電圧を−1Vとしたときの電流密度の1×107以上であった。
図8-1に示される電界効果トランジスタのモデルをシュミレーションして、ゲート電圧とドレイン電流との関係(図8-2)と、キャリア分布とポテンシャル分布(図8-3および図8-4)を求めた結果を示す。
まず、図8-1に示されるモデルは、図2Aに示されるn型電界効果トランジスタと同様であるが、グラフェン層1を2層構造としてポテンシャル差を設けた。各層のポテンシャルに差を設けるには、グラフェン層各層を別個にドーピングすればよい。
2層構造のグラフェン層1の全体でのバンドギャップEGを、0.01eVとした場合と、0.18eVとした場合とをシミュレートした。それぞれの場合についてソース−ドレイン電圧を50mVに設定し、ゲート電圧を−2〜0Vにまでスキャンしたときの、2層構造のグラフェン層1に流れるドレイン電流を求めた。図8-2に、バンドギャップEGを0.01eVに設定した場合を実線で示し、バンドギャップEGを0.18eVに設定した場合を点線で示した。
図8-3および図8-4には、2層構造のグラフェン層1の全体でのバンドギャップEGを、0.02eVとした場合の、チャネル層におけるポジション(X軸)と、ポテンシャル電位(Y軸左側)およびキャリア密度(Y軸右側)との関係が示される。X軸における0は、図8-1におけるn+Si領域を意味し;X軸における10nmは、図8-1におけるn+Si領域/SiC(符号2n)界面を意味し;X軸における15nmは、SiC(符号2n)/グラフェン(符号1n)界面を意味する(図8-1における点線X参照)。計算の都合上、図8−1の電界効果トランジスタのモデルにおけるグラフェン層1の厚みを過剰に厚く設定しているが、実際のグラフェン層1の厚みは0.68nm程度である。
図8-3および図8-4におけるEc(点線)は、伝導帯のエネルギーの下端(conduction-band edge)を示し;Ev(点線)は、価電子帯のエネルギーの上端(valence-band edge)を示す(Y軸左側参照)。EcとEvの間がバンドギャップとなる。Ecのうち、SiC領域における曲線aは、量子効果を無視した場合のポテンシャルを示し;曲線bは、量子効果を考慮した場合のポテンシャルを示す。
一方、図8−3および図8−4におけるElectron(実線)は電子密度を示し;Hole(実線)はホール密度を示す(Y軸右側参照)。
図8-3は、図8-1のゲート電極にプラスの電圧を印加した場合を示し;図8-4は、ゲート電極にマイナスの電圧を印加した場合を示す。図8-3に示すように、ゲート電極にプラスの電圧を印加した場合には、電子が誘起されて電流が流れることがわかる。一方、図8-4に示すように、ゲート電極にマイナスの電圧を印加した場合には、ホールが誘起されるものの、ホールは注入しない。このように、本発明の電界効果トランジスタは、アンバイポーラ特性を有さないことがわかる。
本発明の電界効果トランジスタの製法は特に限定されないが、以下にその一例を説明する。図4Aと図4Bに、本発明の電界効果トランジスタのうちのn型トランジスタ(図2A参照)の作製プロセスフローの概要を示す。
まず、p型シリコン基板10を準備して、その一部(ソース領域およびドレイン領域となる部分)をn型ドーピングする(図4-1)。ドーピングはイオン注入法などを用いて行えばよい。
ドーピングした領域をまたぐように、シリコン基板上にシリコンカーバイド層2を配置する(図4-2)。基板上のシリコンカーバイド層2は、エピタキシャル成長により形成することが好ましい。
シリコンカーバイド層2の表層をグラフェン化して、グラフェン層1とする(図4-3)。グラフェン化は、例えばシリコンカーバイド層2の6H−Si面を1200℃〜1700℃にて熱分解することにより行われる。熱分解によりシリコンカーバイド層2の表面のSi原子が除去されて、C原子が凝縮することによりグラフェン層1が形成される。
基板上に絶縁膜6を形成して、グラフェン層1を覆う(図4-4)。絶縁膜6は、酸化シリコン(SiO2)層、酸化アルミニウム(Al2O3)層、酸化ハフニウム(HfO2)層、酸化ジルコニウム(ZrO2)層などでありうる。絶縁膜6は、ゲート絶縁層として機能する。
絶縁膜6の上に、ゲート電極Gを配置する(図4-5)。
グラフェン層1のソース領域およびドレイン領域をn型ドーピングして、ドーピング領域1nとする(図4-6)。グラフェン層1のドーピングは、前述の通り行えばよい。
また、シリコンカーバイド層2のソース領域およびドレイン領域をn型ドーピングして、n型ドーピング領域2nとする(図4-7)。シリコンカーバイドのn型ドーピングは、イオン注入法により構成元素の一部を窒素、リン、ヒ素、アンチモンなどで置換したりすればよい。
次に、ソース電極Sおよびドレイン電極Dを形成する(図4-8)。つまり、絶縁膜6をエッチングしてシリコン基板のn型ドーピング領域(ソース領域とドレイン領域)を露出させ、金属を蒸着すればよい。これにより、n型グラフェン電界効果トランジスタが得られる。
図4A〜図4Bに示されるn型グラフェン電界効果トランジスタの作製フローと同様にして、p型グラフェン電界効果トランジスタも作製することができる。つまり、p型シリコン基板にn型ドーピングする(図4-1参照)代わりに、n型シリコン基板にp型ドーピングし;さらに、グラフェン層1のソース領域およびドレイン領域を、n型ドーピングする(図4-6参照)代わりに、p型ドーピングし;シリコンカーバイド層2のソース領域およびドレイン領域を、n型ドーピングする(図4-7参照)代わりに、p型ドーピングすること以外は、同様にしてp型グラフェン電界効果トランジスタが得られる。
このように、本発明の電界効果トランジスタは、通常のMOSトランジスタと同様の構造を有しており、しかも通常のMOSトランジスタの製法と同様に、ドーピングによりp型にもn型にもすることができる。つまり、現状のMOS回路をそのまま利用して回路を形成することができる。
前記の通り、本発明の電界効果トランジスタは、グラフェンチャネルを有するにも係わらず、アンバイポーラ特性を有しないことを特徴とする。したがって、相補型論理回路を構成するトランジスタとして好適に用いることができる。相補型論理回路とは、n型トランジスタと、p型トランジスタとを組み合わせた回路であり、微細化による高集積化が可能なこと;消費電力が少ないこと;低電圧で動作可能なこと;ノイズマージンが大きいことなどのメリットを有する。相補型論理回路のn型トランジスタと、p型トランジスタとを、本発明の電界効果トランジスタとすることができる。
相補型論理回路では、同一の半導体基板上に、n型トランジスタと、p型トランジスタとを作る必要があり、一般的にウェルと称される拡散領域内に、各トランジスタが作られる。ウェル構造にも種々あるが、本発明の相補型論理回路は、いずれのウェル構造にも適用可能である。
図5には、本発明の電界効果トランジスタを含む、相補型理論回路の例が示される。本発明の電界効果トランジスタを2つ含み、一方はn型グラフェン電界効果トランジスタαであり;もう一方はp型グラフェン電界効果トランジスタβである。電界効果トランジスタαと電界効果トランジスタβは、フィールド酸化膜11で互いに素子分離されている。もちろん、素子分離の手段は特に限定されない。図5における他の符号は、図2Aおよび図2Bと同様である。
図6は、図2Aに示された本発明の電界効果トランジスタのゲート電圧(横軸)と、グラフェンチャネルのシート電子密度(縦軸)との関係をシミュレーションした結果を示すグラフである。ゲート、絶縁膜、グラフェン、シリコンカーバイド、シリコン基板の一次元の系(図2Aにおける点線矢印を参照)について、ポアソン方程式と電流連続式を用いて計算を行った。グラフェン、シリコンカーバイド、シリコンにドーピングしたアクセプター濃度を、1018cm−3に設定した。ゲート絶縁層はハフニウムオキサイド(HfO2)として、厚さ5nmと設定した。そして、シリコンカーバイド層の厚さを、100nm、50nm、20nm、5nmと設定したときの曲線が示されている。
図6に示されたように、ゲート電圧によって、チャネルのシート電子密度が制御されていることがわかる。つまり、On/Off比が102〜104に調整されうる。また、ゲート電圧が0のとき(オフ時)、チャネルのシート電子密度が低くなっており、チャネルに流れる電流が少なくなっているので都合がよい。また、シリコンカーバイド層の厚さが薄いほど、ゲート電圧によりチャネルのシート電子密度を制御しやすいことがわかる。
本発明により、グラフェン材料の有する超高速特性を享受しながら、かつ従来のCMOS集積回路が有する超低消費電力超大規模集積化を実現するグラフェン電界効果トランジスタが提供される。本発明は、グラフェンチャネルを有する電界効果トランジスタを、量産性に優れた実用技術で初めて提供可能にする技術である。現在の半導体技術ロードマップが直面する技術飽和を解決するブレークスルーとなる。
1 グラフェン層1n グラフェン層のn型ドーピングされているソース・ドレイン領域1p グラフェン層のp型ドーピングされているソース・ドレイン領域2 シリコンカーバイド層2n シリコンカーバイド層のn型ドーピングされているソース・ドレイン領域2p シリコンカーバイド層のn型ドーピングされているソース・ドレイン領域5 シリコンカーバイド基板6 ゲート絶縁層10 シリコン基板11 フィールド酸化膜S ソース電極D ドレイン電極G ゲート電極
Claims (11)
- 半導体基板と、前記半導体基板上に配置されたグラフェン層からなるチャネルと、金属からなるソース電極およびドレイン電極と、ゲート電極とを有する電界効果トランジスタであって、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、半導体層を介して接続している、電界効果トランジスタ。 - 前記半導体層は、前記半導体基板のソース領域およびドレイン領域である、請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記グラフェン層は、前記半導体基板上に設けられたグラフェン前駆体からなる層の上に形成されており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、前記半導体層および前記グラフェン前駆体からなる層を介して接続している、請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記グラフェン層は、前記半導体基板上に設けられたシリコンカーバイド層上に形成されており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とは、前記半導体層および前記シリコンカーバイド層を介して接続している、請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記シリコンカーバイド層の厚さは、100nm以下である、請求項4に記載の電界効果トランジスタ。
- 請求項1に記載の電界効果トランジスタであって、
前記グラフェン層のソース領域およびドレイン領域は、n型ドーピングされており、かつ
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とを接続する半導体層は、n型ドーピングされている、
n型電界効果トランジスタ。 - 請求項1に記載の電界効果トランジスタであって、
前記グラフェン層のソース領域およびドレイン領域は、p型ドーピングされており、
前記チャネルと、前記金属からなるソース電極およびドレイン電極とを接続する半導体層は、p型ドーピングされている、
p型電界効果トランジスタ。 - 前記グラフェン層は、二層以上のグラフェン層であり、
前記グラフェン層の各層の間にポテンシャル差を与えることができる、請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 - 前記グラフェン層は、二層である、請求項8に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記半導体基板とチャネル間のビルトイン電界を印加するか、または半導体基板にバイアスを印加することで、前記グラフェン層の各層の間にポテンシャル差を与える、
請求項8に記載の電界効果トランジスタ。 - 請求項6に記載の電界効果トランジスタと、請求項7記載の電界効果トランジスタとを含む、相補型論理回路。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009089353 | 2009-04-01 | ||
JP2009089353 | 2009-04-01 | ||
PCT/JP2010/002412 WO2010113518A1 (ja) | 2009-04-01 | 2010-04-01 | 電界効果トランジスタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010113518A1 true JPWO2010113518A1 (ja) | 2012-10-04 |
Family
ID=42827825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011507038A Withdrawn JPWO2010113518A1 (ja) | 2009-04-01 | 2010-04-01 | 電界効果トランジスタ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120049160A1 (ja) |
EP (1) | EP2416365A4 (ja) |
JP (1) | JPWO2010113518A1 (ja) |
KR (1) | KR20110134420A (ja) |
WO (1) | WO2010113518A1 (ja) |
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US8785912B2 (en) * | 2010-12-29 | 2014-07-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Graphene electronic device including a plurality of graphene channel layers |
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- 2010-04-01 EP EP10758297.5A patent/EP2416365A4/en not_active Withdrawn
- 2010-04-01 JP JP2011507038A patent/JPWO2010113518A1/ja not_active Withdrawn
- 2010-04-01 WO PCT/JP2010/002412 patent/WO2010113518A1/ja active Application Filing
- 2010-04-01 US US13/262,066 patent/US20120049160A1/en not_active Abandoned
- 2010-04-01 KR KR1020117022148A patent/KR20110134420A/ko not_active Application Discontinuation
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Also Published As
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---|---|
US20120049160A1 (en) | 2012-03-01 |
EP2416365A1 (en) | 2012-02-08 |
WO2010113518A1 (ja) | 2010-10-07 |
EP2416365A4 (en) | 2014-07-30 |
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JP2013046028A (ja) | 電子装置 | |
JP2018014359A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130116 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20131118 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20140307 |