JPWO2010073666A1 - ガス供給装置、真空処理装置及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 5
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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- Materials Engineering (AREA)
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Abstract
Description
〈真空処理装置〉
まず、図1を参照して、本発明に係る真空処理装置の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明に係るガス供給装置を備えた第1の実施形態の真空処理装置を示し、図1(a)は正面模式図、図1(b)は右側面模式図である。
次に、図2を参照して、本実施形態のガス供給装置20の具体的な構造について説明する。図2は、本実施形態のガス供給装置の構造を示す模式図である。
図4を参照して、第2の実施形態の真空処理装置100について説明する。図4は、第2の実施形態の真空処理装置を例示する断面模式図である。なお、第1の実施形態と同様の構成の部材については、同一の符号を付して説明する。
図5を参照して第3の実施形態の真空処理装置200について説明する。
図6を参照して、第4の実施形態の真空処理装置300について説明する。図6は、第4の実施形態の真空処理装置を例示する模式図である。なお、第1、第2及び第3の実施形態と同様の構成の部材については、同一の符号を付して説明する。
図7を参照してガス供給装置20の他の例について説明する。図7は他の例に係るガス供給装置の構造を示す模式図である。なお、第1の実施形態におけるガス供給装置20と同様の構成の部材については、同一の符号を付して説明する。
2,102 基板
3 処理空間
4 真空容器
5 基板支持台
6 カソードユニット
7 排気口
20 ガス供給装置
21 ガス供給管
22 ガス導入管
23 内管
24 外管
25 焼結体
26 ガス吹出口
30 カバー部材
40 シールド
Claims (12)
- 真空容器内にガスを供給するガス供給管を備えたガス供給装置であって、
前記ガス供給管は、ガス導入管に接続された内管と、該内管の外周部を間隙を隔てて被う外管とからなる二重管であり、
前記内管は、少なくとも一部に、ガスを通過させる多孔質の焼結体を有し、
前記外管は、前記焼結体を通過したガスを前記真空容器内へ放出させる多数のガス吹出口を有することを特徴とするガス供給装置。 - 前記外管のガス吹出口の開設範囲が、前記真空容器内で処理する基板の幅よりも大きく設定されていることを特徴とする請求項1に記載のガス供給装置。
- 前記ガス導入管が、前記外管の中央部を貫通して前記内管の長手方向の中央部に接続され、
前記内管の前記焼結体面が、前記基板の幅方向中心に対して左右均等に配置され、かつ前記ガス導入管の接続部を境にした前記外管の左右部分の中央部に位置することを特徴とする請求項1または2に記載のガス供給装置。 - 前記外管の内部において、前記内管の前記焼結体は、前記外管の前記ガス吹出口の開設側と逆方向に臨んでいることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のガス供給装置。
- 基板を処理する真空容器内にガスを供給するガス供給管を備えた真空処理装置において、
前記ガス供給管は、ガス導入管に接続された内管と、該内管の外周部を間隙を隔てて被う外管とからなる二重管であり、
前記内管は、少なくとも一部に、ガスを通過させる多孔質の焼結体を有し、
前記外管は、前記焼結体を通過したガスを前記真空容器内へ放出させる多数のガス吹出口を有することを特徴とする真空処理装置。 - 前記基板と対向する位置にターゲットを配置したことを特徴とする請求項5に記載の真空処理装置。
- 前記ガスは処理ガスであることを特徴とする請求項5または6に記載の真空処理装置。
- 前記外管のガス吹出口の開設範囲が、前記真空容器内で処理する基板の幅よりも大きく設定されていることを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載の真空処理装置。
- 前記ガス導入管が、前記外管の中央部を貫通して前記内管の長手方向の中央部に接続され、
前記内管の前記焼結体面が、前記基板の幅方向中心に対して左右均等に配置され、かつ前記ガス導入管の接続部を境にした前記外管の左右部分の中央部に位置することを特徴とする請求項5ないし8のいずれかに記載の真空処理装置。 - 前記外管の内部において、前記内管の前記焼結体は、前記外管の前記ガス吹出口の開設側と逆方向に臨んでいることを特徴とする請求項5ないし9のいずれかに記載の真空処理装置。
- 前記ターゲットは前記真空処置装置の上壁に固定され、前記外管ガス吹き出し口は、前記真空処理装置の上壁に向けてガスを吹き出すように配置されていることを特徴とする請求項6に記載の真空処理装置。
- 真空容器内にガスを供給するガス供給管を備えた真空処理装置内で基板処理を行う工程を有するデバイスの製造方法において、
前記ガス供給管は、ガス導入管に接続された内管と、該内管の外周部を間隙を隔てて被う外管とからなる二重管であり、
前記内管は、少なくとも一部に、ガスを通過させる多孔質の焼結体を有し、
前記外管は、前記焼結体を通過したガスを前記真空容器内へ放出させる多数のガス吹出口を有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010543884A JP5209740B2 (ja) | 2008-12-26 | 2009-12-24 | ガス供給装置及び真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008332856 | 2008-12-26 | ||
JP2008332856 | 2008-12-26 | ||
PCT/JP2009/007188 WO2010073666A1 (ja) | 2008-12-26 | 2009-12-24 | ガス供給装置、真空処理装置及び電子デバイスの製造方法 |
JP2010543884A JP5209740B2 (ja) | 2008-12-26 | 2009-12-24 | ガス供給装置及び真空処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010073666A1 true JPWO2010073666A1 (ja) | 2012-06-07 |
JP5209740B2 JP5209740B2 (ja) | 2013-06-12 |
Family
ID=42287308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010543884A Active JP5209740B2 (ja) | 2008-12-26 | 2009-12-24 | ガス供給装置及び真空処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110064877A1 (ja) |
JP (1) | JP5209740B2 (ja) |
WO (1) | WO2010073666A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5866815B2 (ja) * | 2011-06-21 | 2016-02-24 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
CN103510045A (zh) * | 2012-06-29 | 2014-01-15 | 深圳富泰宏精密工业有限公司 | 真空镀膜用气管及应用该气管的真空镀膜装置 |
CN104451583B (zh) * | 2015-01-05 | 2017-05-10 | 合肥京东方显示光源有限公司 | 磁控溅射真空室进气装置及磁控溅射设备 |
CN113330137B (zh) * | 2018-11-06 | 2023-05-09 | 康宁股份有限公司 | 包括第一导管并且第一导管被第二导管包围的方法和设备 |
CN113846315B (zh) * | 2021-09-27 | 2022-08-02 | 华中科技大学 | 空间隔离原子层沉积装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60206474A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-18 | 株式会社 サタケ | 堅形選別装置の給穀装置 |
JPS62263971A (ja) * | 1986-05-12 | 1987-11-16 | Babcock Hitachi Kk | 気相成長装置 |
JPH02213468A (ja) * | 1989-02-13 | 1990-08-24 | Fuji Electric Co Ltd | 反応性スパツタリング装置 |
US5443645A (en) * | 1990-05-19 | 1995-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Microwave plasma CVD apparatus comprising coaxially aligned multiple gas pipe gas feed structure |
JP3079436B2 (ja) * | 1991-02-16 | 2000-08-21 | バブコック日立株式会社 | 光化学反応装置 |
JP2001054746A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-02-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガスノズル |
JP4549081B2 (ja) * | 2004-03-11 | 2010-09-22 | Jfeスチール株式会社 | 化学蒸着処理の原料ガス供給用ノズル |
-
2009
- 2009-12-24 WO PCT/JP2009/007188 patent/WO2010073666A1/ja active Application Filing
- 2009-12-24 JP JP2010543884A patent/JP5209740B2/ja active Active
- 2009-12-24 US US12/993,168 patent/US20110064877A1/en not_active Abandoned
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5209740B2 (ja) | 2013-06-12 |
WO2010073666A1 (ja) | 2010-07-01 |
US20110064877A1 (en) | 2011-03-17 |
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