JPWO2010032304A1 - 配管装置および流体搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明に係る流体搬送装置を備える、反応室へ気体状の物質を供給するための物質供給システムの概略構成を示すブロック図である。図1に示すように、物質供給システム1は、外部より液体状の原料を受け入れて気化器140に供給する液状原料供給装置110と、液状原料供給装置110より供給された液体状の原料を加熱し気化させて気体状にする気化器140と、気体状の原料が供給されて、基板の表面への成膜などの所定の反応が行なわれる、反応室150とを備える。また物質供給システム1は、気化器140において気化された原料を反応室150へ向けて搬送するキャリアガスを気化器140へ供給する、キャリアガス供給装置120を備える。
図7は、実施の形態2の流体輸送経路の構成を示す模式図である。図8は、図7に示す流体輸送経路を端面側から視た模式図である。実施の形態1では、流体輸送経路141を二重管構造にして、外管21の内周面にウィック22を設けてヒートパイプ化することにより、気体状の反応ガスを搬送する配管10の外周部にヒートパイプ20を設ける例について説明した。これに対し、実施の形態2では、図7および図8に示すように、複数のヒートパイプ20が配管10の外周面10aに貼付されており、これらのヒートパイプ20の熱輸送によって配管10を全長に亘って均熱化する例が示されている。
図9は、実施の形態3の流体輸送経路の構成を示す模式図である。実施の形態1および2では、配管10を加熱するためのヒートパイプ20は、従来のウィック式のヒートパイプであった。これに対し、実施の形態3では、図9に示すように蛇行させたループ型細管が配管10の外周面10aに貼り付けられ、そのループ型細管の内部に2相凝縮性作動液が封入されており、配管10に熱的に接触するヒートパイプがループ型細管ヒートパイプ30である例について示す。
図12は、実施の形態4の配管を平板状に展開した状態を示す模式図である。図13は、図12に示す矢印XIII方向から平板状に展開された配管を見た図である。なお図12は、図13に示す矢印XII方向から平板状に展開された配管を見た図を示している。図14は、実施の形態4の配管の斜視図である。
図15は、実施の形態5の配管の斜視図である。図16は、図15に示すXVI−XVI線に沿う配管の断面図である。実施の形態4では、内部にループ型細管ヒートパイプ30が形成された平板を曲げて管状に加工する配管40について説明した。これに対し、実施の形態5の配管50は、図15および図16に示すように、外側管51と内側管52とを含む。内側管52の外周面52aに、外側管51の内周面51aが密着している。
図17は、実施の形態6の配管の斜視図である。図18は、図17に示すXVIII−XVIII線に沿う配管の断面図である。図17に示す配管は、図14を参照して説明した配管40の周囲を、さらに外覆管60で囲っている。外覆管60は、ループ型細管ヒートパイプ30を内蔵する配管40を内包している。配管40の外周面40aと、外覆管60の内周面60aとの間には、真空空間61が形成されている。
実施の形態1〜6の説明においては、図1に示す気化器140と加熱部143との間に設けられた流体輸送経路141を例として説明したが、本発明の配管装置および流体搬送装置は、種々の系統に用いることが可能である。図19〜図22は、物質供給システムの変形例の概略構成を示すブロック図である。
実施の形態1〜7においては、ヒートパイプを用いた配管の加熱について述べたが、ヒートパイプから積極的に熱を奪ってヒートパイプの作動流体を冷却させる冷却器を、ヒートパイプと熱的に接触するように設けてもよい。加熱部によるヒートパイプの加熱を停止した後に、冷却器によってヒートパイプを冷却すれば、ヒートパイプの一部を冷却することにより、ヒートパイプ全体の冷却を効率的に行なうことができる。つまり、実施の形態1で説明した従来型のヒートパイプの熱輸送動作、または実施の形態3で説明したループ型細管ヒートパイプの熱輸送動作により、ヒートパイプ全体を冷却する必要はなく、効率的にヒートパイプの冷却を行なうことができる。
Claims (7)
- 流体を搬送するための配管装置であって、
管状部材(40)と、
前記管状部材(40)を加熱する加熱部(140,143)とを備え、
前記管状部材(40)の環状壁部(41)の内部には、前記管状部材(40)の延在方向に沿う複数の細管部(42)と、前記細管部(42)の一端同士を連結する第一連結管部(43)と、前記細管部(42)の他端同士を連結する第二連結管部(44)とが設けられており、
前記細管部(42)、前記第一連結管部(43)および前記第二連結管部(44)は、ループ型細管ヒートパイプ(30)を構成する、配管装置。 - 前記管状部材(50)は、内側管(52)と、前記内側管(52)の外周面(52a)に内周面(51a)が密着する外側管(51)とを含み、
前記細管部(42)は、前記内側管(52)の前記外周面(52a)および前記外側管(51)の前記内周面(51a)の少なくともいずれか一方が凹凸加工されて形成されている、請求の範囲第1項に記載の配管装置。 - 前記管状部材(40)を内包する外覆管(60)をさらに備え、
前記管状部材(40)の外周面(40a)と、前記外覆管(60)の内周面(60a)との間に、真空空間(61)を有する、請求の範囲第1項に記載の配管装置。 - 第一加熱部(140)と、
第二加熱部(143)と、
前記第一加熱部(140)と前記第二加熱部(143)とを連結し、前記第一加熱部(140)から前記第二加熱部(143)へ流体を搬送する管状部材(10)と、
前記管状部材(10)に熱的に接触するヒートパイプ(20)とを備え、
前記ヒートパイプ(20)は、前記第一加熱部(140)および前記第二加熱部(143)の少なくともいずれか一方により加熱される、流体搬送装置(2)。 - 前記管状部材(10)および前記ヒートパイプ(20)を内包する外覆管(60)をさらに備え、
前記管状部材(10)の外周面(10a)と、前記外覆管(60)の内周面(60a)との間に、真空空間(61)を有する、請求の範囲第4項に記載の流体搬送装置。 - 前記ヒートパイプは、ループ型細管ヒートパイプ(30)である、請求の範囲第4項または第5項に記載の流体搬送装置。
- 前記管状部材(40)の環状壁部(41)の内部には、前記管状部材(40)の延在方向に沿う複数の細管部(42)と、前記細管部(42)の一端同士を連結する第一連結管部(43)と、前記細管部(42)の他端同士を連結する第二連結管部(44)とが設けられており、
前記細管部(42)、前記第一連結管部(43)および前記第二連結管部(44)は、前記ループ型細管ヒートパイプ(30)を構成する、請求の範囲第6項に記載の流体搬送装置。
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