JP2009105156A - 均熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の面内で高精度に均一な温度分布を保ちながら加熱・冷却が出来、薄形・軽量で昇降温時の熱応答性の高い均熱処理装置を得る。
【解決手段】同一平面内で等間隔に配置されるように成形された複数本の曲管２、複数本の曲管の上面および下面にそれぞれ熱的に接触する上部プレート部材１ａおよび下部プレート部材１ｂとにより構成されるプレート構造体１と、プレート構造体の外部下方に設置され、内部に作動液が充填される蒸発器３と、曲管の両端部がプレート構造体の外部に突出され、突出された曲管の入口側および出口側のそれぞれが蒸発器の上部側および下部側にそれぞれ接続されて各曲管と蒸発器による連通回路を形成している蒸気管５および液管６と、蒸発器に設けられ、作動液を加熱する加熱手段４とを備え、各曲管と蒸発器による連通回路は、内部を真空排気した後、所定量の作動液７を充填して封止する。
【選択図】図１

Description

この発明は、例えば半導体ウエハや、液晶ガラス基板等を均一な温度で熱処理を行う均熱処理装置に関するものである。

半導体あるいは液晶表示装置の製造工程においては、基板の水分を除去するための乾燥工程、フォトレジストを塗布した後の塗布膜の乾燥工程、フォトレジスト膜に対して露光処理を施した後の加熱工程、現像処理を施した後の乾燥工程などの熱処理工程があり、これらの各工程において、基板の熱処理装置が用いられている。

このような基板の熱処理に用いられる従来の装置において、例えば特許文献１に示すものがある。図１０に特許文献１の実施例を示す。図１０（ａ）は平面図、図１０（ｂ）は断面図である。この熱処理装置は図１０（ｂ）に示すように、プレート２１の下部にマイカヒータなどの発熱体２４を貼り付け、プレート２１の伝熱部分２１ａに穿孔した複数の孔に、単管状のヒートパイプ２２を埋設したものであり、ヒートパイプ２２は図１０（ａ）に示すように、プレート２１の平面内で複数本が並行に埋設されたものが記載されている。

この従来の熱処理装置においては、プレート２１の底面側に埋め込まれた発熱体２４の加熱により、プレート２１は所定温度に加熱される。このプレート２１はアルミニウムなどの伝熱性の良い材料で形成されているが、プレート２１の表面上の温度分布を高精度に均一化するには、発熱体２４の接着状況のばらつき、および発熱密度のばらつきなどの影響を少なくするために、発熱体２４からプレート２１の表面までの伝熱部分２１ａの寸法をある程度大きくとる必要がある。この伝熱部分２１ａにヒートパイプ２２を埋め込み、ヒートパイプ２２による均熱機能を利用して、この伝熱部分２１ａの寸法を小さくすることで、プレート２１の熱容量を減少させて、プレート２１の昇降温時の熱応答を向上させることを目的としたものである。

また、プレート２１の外部にヒートパイプ２２の端部を突出させ、この突出部に熱媒体を通過させる冷却媒体流路２３を形成してプレート２１を加熱あるいは冷却することも可能としている。

また、特許文献２に記載された均熱装置の実施例を図１１に示す。この均熱装置は図１１に示すように、プレート３１の内部に形成した溝３２と蒸発器３３が連通する構造となっており、蒸発器３３の内部の作動液３７に浸漬された発熱体３４により作動液３７を蒸発させ、作動液３７の蒸気をプレート３１の溝３２に拡散させてプレート３１表面下で作動液３７の蒸気を凝縮させることにより、プレート３１の表面を高精度の均一温度に保つものである。

特開２０００−１６４６０１号公報 特開平９−３２７８２７号公報

特許文献１に示す従来の熱処理装置は、ヒートパイプ２２による均熱機能を利用しているものの、単管状のヒートパイプ２２が単独で均熱動作を行うため、ヒートパイプ２２間のプレート２１の表面温度分布を改善することができないという問題点があった。

また、プレート２１外部のヒートパイプ２２突出部に熱媒体を通過させて加熱・冷却する場合、熱媒体は流れ方向に温度差が生じるため、プレート２１の表面を均一温度に加熱・冷却できないという問題点があった。

また、特許文献２に示す均熱装置は、プレート３１全体を中空構造としているので、使用温度における作動液３７の蒸気圧に耐えるようにプレート３１の容器材料の肉厚を十分に確保する必要があるためプレート３１の熱容量が大きくなり、プレート３１の昇降温時の熱応答性が改善できないという問題点があった。

この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、基板の面内で高精度に均一な温度分布を保ちながら加熱・冷却が出来、薄形・軽量で昇降温時の熱応答性の高い均熱処理装置を得ることを目的とする。

この発明に係わる均熱処理装置は、同一平面内で等間隔に配置されるように成形された複数本の曲管、複数本の曲管の上面および下面にそれぞれ熱的に接合された上部プレート部材および下部プレート部材より構成されるプレート構造体と、プレート構造体の外部下方に設置され、内部に作動液が充填される蒸発器と、各曲管の両端部がプレート構造体の外部に突出され、突出された曲管の入口側および出口側のそれぞれが蒸発器の上部側および下部側にそれぞれ接続されて各曲管と蒸発器による連通回路を形成している蒸気管および液管と、蒸発器に設けられ、作動液を加熱する加熱手段とを備え、各曲管と蒸発器による連通回路は、内部を真空排気した後、所定量の作動液を充填して封止したものである。

この発明によれば、プレートの内部を通過する複数本の曲管の両端を蒸発器と接続することで連通回路を構成するようにしたので、蒸発器の内部作動液の加熱により発生する蒸気がプレート構造体の全面に同一圧力下でゆきわたり、同一温度で蒸気の凝縮が行われるため、プレート構造体の全面にわたって高精度に均熱加熱できる装置が得られる。また、プレート構造体の内部に配置される曲管はパイプ構造のため、内部の蒸気圧に対して強度が高く、薄肉化が可能であるとともに、曲管の上下に熱的に接続される上部プレート部材、下部プレート部材には蒸気の圧力が加わらないため、薄肉の低熱容量部材を使用することができる。これにより、プレート構造体としての熱容量を従来装置に比べて大幅に低減できるため、昇降温時の熱応答性を大きく改善できるとともに昇温時の熱エネルギーを最小にできるので省エネルギーのものが得られる。

実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図１（ａ）及び図１（ｂ）に基づいて説明する。
図１（ａ）はこの発明の実施の形態１における均熱処理装置を示す平面図、図１（ｂ）はこの発明の実施の形態１における均熱処理装置を示す断面図である。図１（ａ）及び図１（ｂ）において、１は円形平板状の上部プレート部材１ａ、円形平板状の下部プレート部材１ｂおよび複数本からなるＵ字状の曲管２より構成されるプレート構造体である。このプレート構造体１の内部には、Ｕ字状の曲管２が同一平面内で複数本略等間隔（等ピッチ）で配置され、複数本の曲管２は上部プレート部材１ａおよび下部プレート部材１ｂとの接触部において接着、ロウ付けあるいは溶接などにより熱的に接合されている。上記複数本の曲管２は、最内側に位置するＵ字状の曲管の左右直管部間ピッチと先端曲げ半径が最も小さくなるように構成され、それから外側に行くに従ってＵ字状の曲管の左右直管部間ピッチと先端曲げ半径が順次に大きくなるように構成され、最外側に位置するＵ字状の曲管の左右直管部間ピッチと先端曲げ半径が最も大きくなるように構成されている。３はプレート構造体１の外部下方に設置された密閉構造の蒸発器、４はこの蒸発器３の内部に挿入されるヒータ（加熱手段）、５は蒸発器３の上部側および各曲管２の入口側部とを接続する複数の蒸気管、６は蒸発器３の上方部を越えて外方部の下部まで回り込むように延長されて蒸発器３の下部側および各曲管２の出口側部とを接続する複数の液管である。曲管２と蒸発器３はこのように接続されて曲管と蒸発器による連通回路が形成されている。また、この曲管２と蒸発器３による連通回路の内部は真空排気後に所定量の作動液７が充填されている。また、この実施の形態では蒸発器３に挿入されるヒータ４は、蒸発器３の内部に充填される作動液７に浸漬された構造のものとしている。

次に動作について説明する。
上記のように構成された実施の形態１における均熱処理装置において、蒸発器３の内部に設置されたヒータ４の発熱により、作動液７は蒸発し、蒸気８となって、破線矢印に示すように、蒸発器３の上部に接続された複数の蒸気管５を経由してプレート構造体１の内部に設置された複数本の曲管２の内部に移動する。プレート構造体１の温度は蒸発器３の温度よりも低いため、蒸気８は複数本の曲管２の内面各部で凝縮するが、各曲管２が蒸発器３により連通回路化されているので、蒸気８の圧力は回路の全体にわたりほぼ一様となり、各曲管２の内面各部において等温で凝縮し、凝縮潜熱をプレート構造体１に放出してプレート構造体１を内部から一様に加熱する。蒸気８は各曲管２の内部で順次凝縮しながら、破線矢印に示すように各曲管２の入口から出口に向かって移動し、凝縮液９も各曲管２の内部で実線矢印に示すように蒸気８の流れ方向と同じ方向に移動する。凝縮液化した凝縮液９は、蒸発器３の上方部を越えて外方部の下部まで回り込んだ複数の液管６を経由して、蒸発器３の下部から内部に自然に還流する。なお、複数本の曲管２は、互いに隣接する曲管２を移動する作動液７（蒸気８および凝縮液９）の方向が互いに逆方向となるように配列されている。プレート構造体１の上面に位置する円形平板状の上部プレート部材１ａには、被加熱物である基板（図示せず）が載置されており、プレート構造体１の表面から基板に放熱して基板を一様に加熱することができる。また、この構造では、作動液７の蒸気８の流れと凝縮液９の流れが同一方向となるので、プレート構造体１の内部に配置される曲管２が水平であっても凝縮液９の蒸発器３への還流がスムーズに行なわれる。このため、蒸気８と凝縮液９が対向して流れる単管状のヒートパイプ２２を用いる従来の場合のように、液戻りのためにパイプを傾斜させる必要が無く、パイプが内蔵されるプレート構造体１の肉厚をパイプの傾斜分だけアップする必要がないので、プレート構造体１を薄形に構成することができる。また、プレート構造体１の内部に配置される曲管２はパイプ構造のため、内部の蒸気圧に対して強度が高く、薄肉化が可能であるとともに、曲管２の上下に熱的に接続される上部プレート部材１ａ、下部プレート部材１ｂには蒸気の圧力が加わらないため、上部プレート部材１ａ、下部プレート部材１ｂに薄肉部材を使用することが可能となる。これにより従来装置に比べて熱容量を大幅に低減でき、熱応答の高い均熱処理装置が得られるとともに、昇温時の加熱エネルギーを最小にできるので、装置の省エネ化が図れる。

実施の形態２．
図２（ａ）は図１（ａ）のプレート構造体の断面図であり、上記実施の形態１では、図２（ａ）に示すように、複数本の曲管２を円形平板状の上部プレート部材１ａと円形平板状の下部プレート部材１ｂの間で挟み込み、円形平板状の上部プレート部材１ａの周縁部全周にわたって形成した下向きの周側壁下端面を円形平板状の下部プレート部材１ｂの周縁部上面に突き合わせてプレート構造体１を構成する場合について示したが、この実施の形態２においては、図２（ｂ）に示すように、上部プレート部材１ａと下部プレート部材１ｂとの間でかつ各曲管２相互間の中間位置にそれぞれ複数のステー部材１０を設けてプレート構造体１を構成したものである。このように構成すると、プレート構造体１の剛性が大幅に向上するので、プレートの外部荷重に対する強度やハンドリング時の強度が向上するので強度の高い均熱処理装置が得られる。

実施の形態３．
また、上記実施の形態２では、上部プレート部材１ａと下部プレート部材１ｂとの間でかつ各曲管２相互間の中間位置に複数のステー部材１０を設けてプレート構造体１を構成したものについて述べたが、この実施の形態３においては、図２（ｃ）に示すように、上部プレート部材１ａの下面に複数のステー部材１０を一体的に形成するように加工し、上部プレート部材１ａの下面と下部プレート部材１ｂの上面および曲管２の上下面を互いに接合してプレート構造体１を構成したものである。この場合、上記実施の形態２よりも加工部品点数が低減でき、経済的に優れた装置を得ることができるとともに、さらにプレート構造体１の剛性を向上させることができる。なお、上部プレート部材１ａの下面にステー部材１０を一体的に形成するように加工する代わりに、下部プレート部材１ｂの上面にステー部材１０を一体的に形成するように加工しても良い。

実施の形態４．
上記実施の形態１〜３では、上部プレート部材１ａと下部プレート部材１ｂおよび曲管２で形成される中空スペースを内部に有するプレート構造体１について述べたが、この実施の形態４においては、図２（ｄ）に示すように、板厚が厚い上部プレート部材１ａの下面に半円状の溝加工を施し、この上部プレート部材１ａの溝部に下部開口部から曲管２を挿入し、板厚が薄い下部プレート部材１ｂを上記溝部の下部開口部のみを塞ぐように接着、溶接などにより上部プレート部材１ａと一体接合してプレート構造体１を構成したものである。このように構成すると、プレート構造体１をさらに強固なものにすることができる。また、この場合、上部プレート部材１ａおよび下部プレート部材１ｂにアルミ材などを用いると、曲管２からプレート部材１ａおよび１ｂへの伝熱性に優れ、軽量で熱応答性の高いプレート構造体１を得ることができる。

実施の形態５．
図３（ａ）はこの発明の実施の形態５における均熱処理装置を示す平面図、図３（ｂ）はこの発明の実施の形態５における均熱処理装置を示す断面図である。なお、実施の形態１と同一又は相当部分には同一符号を付している。
上記実施の形態１では、蒸発器３に挿入されるヒータ４が蒸発器３の内部の作動液７に浸漬された構造のものについて述べたが、この実施の形態５においては、図３に示すように、ヒータ４を蒸発器３の下部外表面に熱的に接触させるように構成したものである。このように構成すると、蒸発器３の両端にヒータ４を貫通させる必要がないため、蒸発器３の構造が簡素化でき、ヒータ４に平面状のヒータを使用することができるので、安価な均熱処理装置が得られる。また、ヒータ４に平面状の薄形ヒータを使用することで、蒸発器３の高さが低減できるので、均熱処理装置のコンパクト化を図ることができる。

実施の形態６．
図４（ａ）はこの発明の実施の形態６における均熱処理装置を示す平面図、図４（ｂ）はこの発明の実施の形態６における均熱処理装置を示す断面図である。なお、実施の形態１と同一又は相当部分には同一符号を付している。
上記実施の形態１〜５では、液管６の戻り部分が蒸発器３の上方部を越えて外方部の下部まで回り込んで蒸発器３の下方部分に接続されて、凝縮液９が蒸発器３の内部に還流するようにしたものについて述べたが、この実施の形態６においては、図４に示すように、液管６を蒸発器３の上部壁を貫通させて蒸発器３の作動液７の液面下で開口するように配置したものである。このように構成すると、蒸発器３からの蒸気管５の立ち上がり部および液管６の戻り部を横一線上に配置できるので、構造が簡素化でき加工が容易になるとともに液管６の戻り部分が蒸発器４の後方にはみ出すことが無くなるので、均熱処理装置のコンパクト化がさらに図れるとともに、構造が簡素化できて低コスト化が図れる。なお、図４ではヒータ４を蒸発器３の底面外表面に熱的に接触する方式のものについて示しているが、ヒータの位置はこの図に限定するものではなく、作動液７を加熱するものであればよい。

実施の形態７．
なお、上記実施の形態１〜６では曲管２の断面が丸形のものについて示したが、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、曲管２の断面の底面をフラットにした略半円形断面のもの、あるいは図５（ｃ）および図５（ｄ）に示すように、略四角形断面のものとしてもよい。また、丸形断面の場合は図５（ｅ）に示すように、パイプ内径部の凝縮液９による蒸気流の閉塞が生じ易いため、パイプ内径をある程度大きくする必要があり、プレート厚みを大きくする必要がある。しかしながら、図５（ｆ）に示すように、パイプ断面の底面部をフラットにして底面部の両側に、図５（ｅ）に示す曲率半径Ｒ１に比べて小さな曲率半径Ｒ２を形成するコーナ部２ａ、２ｂを設けると、毛管力により凝縮液９がこのコーナ部２ａ、２ｂに保持されるように働くので、パイプ断面全体が凝縮液９で閉塞される現象を防止することができ、パイプ断面を小さくしても作動液の蒸気通路が閉塞されることが無いため、円滑な熱輸送動作を行うことができる。

また、曲管２の断面を半円形状あるいは四角形状にすることで、曲管２の高さが低減でき、プレート構造体１の全体厚みを下げることができる。これにより熱容量が低減できるので、プレートの昇降温時の熱応答性をさらに改善することができる。

実施の形態８．
図６（ａ）はこの発明の実施の形態８における均熱処理装置を示す平面図、図６（ｂ）はこの発明の実施の形態８における均熱処理装置を示す断面図である。なお、実施の形態１と同一又は相当部分には同一符号を付して説明を省略している。
上記実施の形態１〜７では、プレートを加熱する場合のプレート構造に関するものについて説明したが、この実施の形態８においては、プレート構造体１に冷却機構を設けたものであり、図６は、曲管２と上部プレート部材１ａおよび下部プレート部材１ｂとで形成される複数の空間部１１に冷却媒体１６を流通させてプレート構造体１を冷却するものについて示しており、上記複数の空間部１１は、曲管２と並行するように形成されている。冷却媒体１６は入口部１４より下部プレート部材１ｂの下面の一側寄りに設けられた複数個の入口管１２に並行分配され、曲管２と上部プレート部材１ａおよび下部プレート部材１ｂとで形成されるプレート構造体１の複数の空間部１１をそれぞれ流通し、プレート構造体１から熱を奪い、プレート構造体１を冷却しながら下部プレート部材１ｂの下面の他側寄りに設けられた複数個の出口管１３に至り、冷却媒体１６の出口部１５にて集約されて排出されるものについて示している。このように構成すると、プレート構造体１の内部に新たな流通路を設けることなく、プレート構造体１の内部を冷却媒体１６により直接冷却することができるので有効な冷却方式が得られる。

実施の形態９
図７（ａ）はこの発明の実施の形態９における均熱処理装置を示す平面図、図７（ｂ）はこの発明の実施の形態９における均熱処理装置を示す断面図である。なお、実施の形態８と同一又は相当部分には同一符号を付している。
この実施の形態９においては、図７に示すように、冷却媒体１６は入口部１４より下部プレート部材１ｂの下面の一側寄りに設けられた２個の入口管１２に分配され、プレート構造体１の空間部１１に流通した後、下部プレート部材１ｂの下面の他側寄りに設けられた２個のヘッダ１７を経由して、それぞれ隣の空間部１１をリターンして入口管１２の近傍に設けられた出口管１３に到達し、冷却媒体１６の入口部１４近傍に設けられた冷却媒体１６の出口部１５に集約されて排出されるようにしたものである。このように構成すると、冷却媒体１６の入口部１４と出口部１５を近接して設けることが出来るので、冷却媒体の供給および排出の配管ルートが簡素化でき、冷却装置の小形が可能になる。また、冷却媒体の流量が同じ場合、実施の形態８で説明した完全な並行分配の流れに比べて空間部１１を通過する冷却媒体１６の流速を２倍に高めることができるので、プレート構造体１から冷却媒体１６への熱伝達率が向上し、プレートの冷却効果を高めることができる。

実施の形態１０
図８（ａ）はこの発明の実施の形態１０における均熱処理装置を示す平面図、図８（ｂ）はこの発明の実施の形態１０における均熱処理装置を示す断面図である。なお、実施の形態９と同一又は相当部分には同一符号を付している。
この実施の形態１０においては、図８に示すように冷却媒体１６の流れを一回路としたものである。図８において、冷却媒体１６は入口部１４より下部プレート部材１ｂの下面の一側寄りに設けられた１個の入口管１２に供給され、プレート構造体１の空間部１１を経由して、順次隣の空間部に導入されるように下部プレート部材１ｂの下面に設けられた複数のヘッダ１７により、１個の出口管１３から出口部１５に至る単一の冷却媒体回路を構成するようにしたものである。このように構成すると、冷却媒体１６の入口部および出口部での分流部が不要となり、冷却媒体１６の出入口部の構造が簡素化できるとともに、冷却媒体１６の流速を最も高めることができるので、冷却能力を最大にすることができる。なお、実際の適用にあたっては冷却媒体１６の圧損についても検討の上、最適な冷却回路の選定が必要である。

実施の形態１１
図９（ａ）はこの発明の実施の形態１１における均熱処理装置を示す平面図、図９（ｂ）はこの発明の実施の形態１１における均熱処理装置を示す断面図である。なお、実施の形態１０と同一又は相当部分には同一符号を付している。
この実施の形態１１においては、上記実施の形態４のプレート構造体に上記実施の形態１０に示す冷却機構を追加したものである。図９に示すように、板厚が厚い上部プレート部材１ａの下面に複数本の曲管２が挿入される溝加工とは別の溝１１を加工し、この別の溝１１と下部プレート部材１ｂの上面との間で形成される内部空間に冷却媒体１６を流通させるように入口管１２、出口管１３およびヘッダ１７を設けるようにしたものである。この例では、入口から出口にかけて単一の冷却回路のものについて示しているが、冷却回路については実施の形態８および９に示すものであってもよい。

なお、上記の一連の実施例では動作をわかり易く示すために、プレート内部に並行して配置される曲管の数が４本のものについて示したが、管本数は４本に限定するものではなく、プレートのサイズおよび要求される均熱性に応じて決定すれば良い。

また、上記の一連の実施例では曲管の出入口部は蒸気管側と液管側が交互に蒸発器に接合されるものについて示しているが、曲管の表面温度は入口側から出口側にかけて均一になるので、蒸気管および液管と蒸発器との接続順序は任意で良く、必ずしも交互に蒸発器に接続される必要は無い。例えば、蒸気管（曲管の入口側）および液管（曲管の出口側）をそれぞれまとめて蒸発器上に並べて接続するようにしてもかまわない。接続順序は配管加工の容易性、装置の設置スペースなどを考慮の上で決定すれば良い。

また、上記の一連の実施例では曲管がＵ字状の形状のものを組み合わせたものについて示したが、各曲管はプレート内の同一平面上でほぼ等間隔でプレート内を適宜周回するように配置されたものであれば良く、曲管の形状をＵ字状に限定するものでは無い。

なお、加熱ヒータの種別は電熱式でも、温水加熱、蒸気加熱であってもかまわない。また、上記実施の形態８〜１０では、プレートを冷却するものについて説明したが、冷却媒体の代わりに加熱媒体を流通させるようにして、発熱体による加熱を補助する手段として使用するようにしても良い。

この発明の実施の形態１における均熱処理装置を示す平面図および断面図である。 この発明の実施の形態１〜４における均熱処理装置を示す要部断面図である。 この発明の実施の形態５における均熱処理装置を示す平面図および断面図である。 この発明の実施の形態６における均熱処理装置を示す平面図および断面図である。 この発明の実施の形態７における均熱処理装置を示す要部断面図である。 この発明の実施の形態８における均熱処理装置を示す平面図および断面図である。 この発明の実施の形態９における均熱処理装置を示す平面図および断面図である。 この発明の実施の形態１０における均熱処理装置を示す平面図および断面図である。 この発明の実施の形態１１における均熱処理装置を示す平面図および断面図である。 従来の均熱処理装置の一例を示す平面図および断面図である。 従来の均熱処理装置の他の例を示す断面図である。

符号の説明

１ プレート構造体
１ａ 上部プレート部材
１ｂ 下部プレート部材
２ 曲管（Ｕ字状曲管）
３ 蒸発器
４ 加熱手段（ヒータ）
５ 蒸気管
６ 液管
７ 作動液
８ 蒸気
９ 凝縮液
１０ ステー部材
１１ 空間部（溝）
１２ 冷却媒体の入口管
１３ 冷却媒体の出口管
１４ 冷却媒体の入口部
１５ 冷却媒体の出口部
１６ 冷却媒体
１７ ヘッダ
２１ 従来のプレート
２１ａ 伝熱部分
２２ ヒートパイプ
２３ 冷却媒体流露
２４ 発熱体
３１ 従来のプレート
３２ 溝
３３ 従来の蒸発器
３４ 発熱体
３７ 作動液

Claims (8)

1. 同一平面内で略等間隔に配置されるように成形された複数本の曲管、上記複数本の曲管の上面および下面にそれぞれ熱的に接合された上部プレート部材および下部プレート部材より構成されるプレート構造体と、
   上記プレート構造体の外部下方に設置され、内部に作動液が充填される蒸発器と、
   上記各曲管の両端部が上記プレート構造体の外部に突出され、突出された上記曲管の入口側および出口側のそれぞれが上記蒸発器の上部側および下部側にそれぞれ接続されて上記各曲管と上記蒸発器による連通回路を形成している蒸気管および液管と、
   上記蒸発器に設けられ、上記作動液を加熱する加熱手段とを備え、
   上記各曲管と上記蒸発器による連通回路は、内部を真空排気した後、所定量の作動液を充填して封止したことを特徴とする均熱処理装置。
2. 下面に溝加工が施された上部プレート部材、この上部プレート部材の溝部に下部開口部から挿入され、同一平面内で略等間隔に配置されるように成形された複数本の曲管、および上記曲管の下面に設けられ、少なくとも上部プレート部材の溝部の下部開口部を塞ぐように設けられた下部プレート部材より構成されるプレート構造体と、
   上記プレート構造体の外部下方に設置され、内部に作動液が充填される蒸発器と、
   上記各曲管の両端部が上記プレート構造体の外部に突出され、突出された上記曲管の入口側および出口側のそれぞれが上記蒸発器の上部側および下部側にそれぞれ接続されて上記各曲管と上記蒸発器による連通回路を形成している蒸気管および液管と、
   上記蒸発器に設けられ、上記作動液を加熱する加熱手段とを備え、
   上記各曲管と上記蒸発器による連通回路は、内部を真空排気した後、所定量の作動液を充填して封止したことを特徴とする均熱処理装置。
3. 加熱手段は、蒸発器の内部に充填される作動液に浸漬して設置されることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の均熱処理装置。
4. 加熱手段は、蒸発器の下部外表面に熱的に接触して設置されることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の均熱処理装置。
5. 複数本の曲管の入口側が蒸発器の上部側に接続され、複数本の曲管の出口側が蒸発器の上部壁面を貫通して蒸発器内部に充填された作動液面下で開口するように配置されたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の均熱処理装置。
6. 複数本の曲管の断面形状は、略円形、略半円形、略四角形のいずれかであることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の均熱処理装置。
7. 曲管の外表面と上下プレート部材の表面とで形成される内部空間に、冷却媒体あるいは加熱媒体を流通させることを特徴とする請求項１記載の均熱処理装置。
8. 上部プレート部材の下面に複数本の曲管が挿入される溝加工とは別の溝加工を施し、この上部プレート部材の別加工の溝部および下部プレート部材の上面との間で形成される内部空間に、冷却媒体あるいは加熱媒体を流通させることを特徴とする請求項２記載の均熱処理装置。

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