JPWO2010016484A1 - 真空処理装置、真空処理方法 - Google Patents
真空処理装置、真空処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2010016484A1 JPWO2010016484A1 JP2010523860A JP2010523860A JPWO2010016484A1 JP WO2010016484 A1 JPWO2010016484 A1 JP WO2010016484A1 JP 2010523860 A JP2010523860 A JP 2010523860A JP 2010523860 A JP2010523860 A JP 2010523860A JP WO2010016484 A1 JPWO2010016484 A1 JP WO2010016484A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- processing
- degassing
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 244
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims abstract description 179
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 23
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 17
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/081—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
- C23C14/566—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
- H01L21/67173—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers in-line arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67201—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
- H01L21/6723—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process comprising at least one plating chamber
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
しかし、搬入室を高真空排気する場合、20インチ以上のバルブを介して高真空排気ポンプ(ターボ分子ポンプやクライオポンプ)を搬入室に接続する必要があり、80秒タクトで基板を処理する場合、1ヶ月に27000回以上の開閉頻度となるため、約3ヶ月に1回のオーバーホールが必要になり、バルブのオーバーホール及び故障が装置ダウンタイムの大きな原因になっていた。
従って、MgO成膜装置の価格やランニングコストは高価になり、また、広い設置スペースや設備を必要としており、解決が望まれていた。
フラットパネルディスプレイ大事典,工業調査会,2001年12月25日,第1版,p269,p683−684,p688ー689,p737−738 新版真空ハンドブック,(株)オーム社,平成14年7月1日,p5(1、2項 真空用語)
高真空雰囲気では、圧力P(Pa)、放出ガス量Q(Pa・m3/sec)、有効排気速度S(m3/sec)の間には、P=Q/S の関係がある。放出ガス量Qは、キャリアと基板から放出される吸着ガスの量であるとすると、キャリアと基板を真空雰囲気中で一定温度に加熱して脱ガスした場合、放出ガス量Qの値は時間のみの関数になるとみなしてよい。即ち、加熱脱ガス時の放出ガス量Qは、加熱脱ガス中の周囲の真空雰囲気の圧力には依存しない。
そうであれば、プロセスを行う処理室には高真空雰囲気にできる真空排気装置を接続する必要があっても、加熱脱ガスを行う脱ガス室には、処理室に接続された真空排気装置よりも到達真空度が低い真空排気装置を接続し、従来よりも高い圧力中で加熱脱ガスを行うことができることになる。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置の到達圧力は、前記処理室用真空排気装置の到達圧力よりも高い真空ポンプが用いられた真空処理装置である。
また、本発明は、前記処理室にはMgO蒸着源が配置され、前記MgO蒸着源からMgO蒸気が放出され、前記処理対象物の表面にMgO薄膜が形成される真空処理装置である。
また、本発明は、複数の前記脱ガス室を有し、前記各脱ガス室は直列に接続され、前記処理対象物は前記各脱ガス室で脱ガス処理された後、前記処理室に移動される真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置は、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にする排気速度を有し、前記処理室用真空排気装置は前記処理室内の圧力を1Pa未満にする真空排気速度を有する真空処理装置である。
また、本発明は、基板加熱機構を有する脱ガス室と、前記脱ガス室に接続されたバッファ室と、前記バッファ室に接続された処理室とを有し、前記脱ガス室と前記バッファ室と前記処理室は真空雰囲気に置かれ、前記脱ガス室内で加熱されて脱ガス処理された処理対象物が前記バッファ室を通って前記処理室内に搬入され、前記処理室内で真空処理される真空処理装置であって、前記脱ガス室に接続された脱ガス室用真空排気装置の排気速度は、前記バッファ室に接続されたバッファ室用真空排気装置の排気速度よりも小さくされた真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置の排気速度は、前記処理室に接続された処理室用真空排気装置の排気速度よりも小さくされた真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置の到達圧力は、前記バッファ室用真空排気装置の到達圧力よりも高い真空ポンプが用いられた真空処理装置である。
また、本発明は、前記処理室にはMgO蒸着源が配置され、前記MgO蒸着源からMgO蒸気が放出され、前記処理対象物の表面にMgO薄膜が形成される真空処理装置である。
また、本発明は、複数の前記脱ガス室を有し、前記各脱ガス室は直列に接続され、前記処理対象物は前記各脱ガス室で脱ガス処理された後、前記バッファ室に移動される真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置は、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にする排気速度を有し、前記バッファ室用真空排気装置は前記バッファ室内の圧力を1Pa未満にする真空排気速度を有する真空処理装置である。
また、本発明は、処理対象物をキャリアに装着して搬送ユニットとし、前記搬送ユニットを大気雰囲気中から真空雰囲気中に搬入し、前記搬送ユニットを脱ガス室内で加熱して脱ガス処理した後、バッファ室内に搬入し、バッファ室内の圧力を低下させた後、前記バッファ室と処理室とを接続し、前記搬送ユニットを前記処理室内に搬入し、前記搬送ユニット内の前記処理対象物を真空処理する真空処理方法であって、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にし、前記処理室内の圧力を1Pa未満にする真空処理方法である。
また、本発明は、前記処理室内でMgO蒸気を発生させ、前記処理対象物表面にMgO薄膜を形成する真空処理方法である。
搬入室を高真空雰囲気にする必要が無いので、搬入室の真空排気系に大型のバルブを設ける必要がない。
図4のグラフから、処理室の前のバッファ室で、処理室に接続できる圧力まで真空排気を行えば、真空排気した搬入室の圧力や、脱ガス室での脱ガスを行う際の圧力は従来の約3倍以上でもよいことがわかる。
この結果、本発明は真空排気系を大幅に削減することが可能になり、装置コストを約5%〜10%削減することができた。また、設備電力、装置運転時の電力量、冷却水は約5%削減できた。さらに設置スペースは約3%削減できた。これらに加え、必要ではない真空排気装置を削減することにより、装置全体の信頼性がアップすると同時に定期メンテナンスコストの削減もできる。
7……キャリア
10、20……真空処理装置
11、12、21、22……脱ガス室
13……バッファ室
14、24……処理室
17……冷却室
18……処理対象物
31、32……基板加熱機構
33……バッファ室用加熱機構
35……MgO蒸着源
61、62、71、72……脱ガス室用真空排気装置
63……バッファ室用真空排気装置
この真空処理装置10は、搬入室15と、第一の脱ガス室11と、第二の脱ガス室12と、バッファ室13と、処理室14と、冷却室17と、搬出室16とを有している。 各室15、11〜14、、17、16は、この順序で配置され、ゲートバルブ51〜56によって直列に接続されている。
開始後は、各真空排気装置61〜64、67を動作させておき、第一、第二の脱ガス室11、12とバッファ室13と処理室14と冷却室17は真空排気を継続して行う。
搬入室15の内部が約100Paの所定圧力に到達したところで、ゲートバルブ51を開けて一枚の搬送ユニット5を搬入室15から第一の脱ガス室11の内部に移動させる。
ここでは、搬送ユニット5を、予め設定された第二の脱ガス処理時間の間、第二の脱ガス室12の内部で脱ガス処理を行う。
バッファ室用真空排気装置63は高真空排気ポンプであり、その排気速度S3は、第一、第二の真空排気装置61、62の真空排気速度S1、S2よりも大きく、ゲートバルブ53を閉じ、バッファ室用真空排気装置63によって真空排気すると、バッファ室13内の圧力は急速に低下する。
処理室14内に未処理の搬送ユニットを順次搬入すると、複数の処理対象物に、連続的に真空処理(MgO薄膜の形成)を行うことができる。
搬出室16内に真空処理済みの搬送ユニット5が所定枚数配置された後、ゲートバルブ56を閉じた状態で大気との間の扉58を開け、搬送ユニット5を大気に取り出す。
横軸の原点0は、第一の脱ガス室11内で脱ガス処理を開始した時刻を示しており、符号t1は、搬送ユニット5を第一の脱ガス室11から第二の脱ガス室12に移動させた時刻を示し、符号t2は第二の脱ガス室12からバッファ室13に移動させた時刻を示し、符号t3は、バッファ室13から処理室14に移動させた時刻を示している。
脱ガスの際に搬送ユニット5を同じ温度に加熱する場合は、吸着ガスの放出速度は脱ガス時間に依存し、放出速度が同じ場合の真空雰囲気の圧力は真空排気系の有効排気速度の大きさに依存するから、高い圧力で脱ガスを行う本発明の場合も、高真空雰囲気で脱ガスを行う従来技術の場合も、バッファ室13内での圧力は同じになる。
図3の符号110は、本発明方法に用いることができる真空処理装置であり、真空槽114を有している。
真空槽114の内部には基板加熱機構117が配置されており、基板加熱機構117には処理対象物118が対向して設置されている。
脱ガス中の放出ガスはクライオポンプに吸着しないから、クライオポンプを使用して脱ガス処理中も高真空にしていた従来技術の場合に比べ、処理時間を長くすることなく、クライオポンプの再生間隔を長くすることができる。
図1の真空処理装置10の、各真空排気装置61〜63、65の構成と、それら真空排気装置61〜63、65の排気速度と、搬送ユニット5を次の真空槽に移動させるときの真空槽内部の圧力とを次の表1に示す。
搬入室用真空排気装置65は、ドライポンプとメカニカルブースタポンプとから成り、合計排気速度S1が0.5m3/secである排気ユニットである。
上記実施例とは真空排気装置が異なる他は同じ構成の比較例の真空処理装置を用いたときの手順を説明する。
バッファ室13にも、第一、第二の脱ガス室11、12と同じ高真空排気系(合計排気速度約80m3/secのターボ分子ポンプとコールドトラップ(及び背圧ポンプ)を使用した高真空排気系)が接続されており、この高真空排気系によって真空排気しながら加熱・脱ガスを行い、バッファ室13の圧力を10-3Pa台まで低下させた状態で、処理室14に接続し、搬送ユニット5を移動させた。
なお、本実施例では、第一、第二の脱ガス室11、12を、ターボ分子ポンプから成る第一、第二の脱ガス室用真空排気装置61、62で真空排気したが、ターボ分子ポンプに替え、ドライポンプとルーツブロアポンプ(メカニカルブースタポンプ)とで排気してもよい。また、本発明はインライン式の真空成膜装置に限らず、枚葉式装置、ロードロック装置及びハッチ式装置にも適用できる。
処理室24にはターボ分子ポンプから成る真空排気系73が接続されており、処理室24内が10-3Paに真空排気された後、真空処理が開始され、処理後、搬入搬出室25から大気中に取り出される。
同図(b)は、従来技術の真空処理装置120であり、搬送室129に、搬入搬出室125と、第一、第二の脱ガス室121、122と、処理室124とが接続されている。搬入搬出室125以外の各室121、122,124及び129は予め真空排気されている。また、処理室124と第一、第二の脱ガス室121、122には、ターボ分子ポンプから成る真空排気系173、171、172がそれぞれ接続されており、高真空に真空排気できるようにされている。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置には、到達圧力が、前記処理室用真空排気装置の到達圧力よりも高い圧力である真空ポンプが用いられた真空処理装置である。
また、本発明は、前記処理室にはMgO蒸着源が配置され、前記MgO蒸着源からMgO蒸気が放出され、前記処理対象物の表面にMgO薄膜が形成される真空処理装置である。
また、本発明は、複数の前記脱ガス室を有し、前記各脱ガス室は直列に接続され、前記処理対象物は前記各脱ガス室で脱ガス処理された後、前記処理室に移動される真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置は、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にする排気速度を有し、前記処理室用真空排気装置は前記処理室内の圧力を1Pa未満にする排気速度を有する真空処理装置である。
また、本発明は、基板加熱機構を有する脱ガス室と、前記脱ガス室に接続されたバッファ室と、前記バッファ室に接続された処理室とを有し、前記脱ガス室と前記バッファ室と前記処理室は真空雰囲気に置かれ、前記脱ガス室内で加熱されて脱ガス処理された処理対象物が前記バッファ室を通って前記処理室内に搬入され、前記処理室内で真空処理される真空処理装置であって、前記脱ガス室に接続された脱ガス室用真空排気装置の排気速度は、前記バッファ室に接続されたバッファ室用真空排気装置の排気速度よりも小さくされた真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置の排気速度は、前記処理室に接続された処理室用真空排気装置の排気速度よりも小さくされた真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置には、到達圧力が、前記バッファ室用真空排気装置の到達圧力よりも高い圧力である真空ポンプが用いられた真空処理装置である。
また、本発明は、前記処理室にはMgO蒸着源が配置され、前記MgO蒸着源からMgO蒸気が放出され、前記処理対象物の表面にMgO薄膜が形成される真空処理装置である。
また、本発明は、複数の前記脱ガス室を有し、前記各脱ガス室は直列に接続され、前記処理対象物は前記各脱ガス室で脱ガス処理された後、前記バッファ室に移動される真空処理装置である。
また、本発明は、前記脱ガス室用真空排気装置は、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にする排気速度を有し、前記バッファ室用真空排気装置は前記バッファ室内の圧力を1Pa未満にする排気速度を有する真空処理装置である。
また、本発明は、処理対象物をキャリアに装着して搬送ユニットとし、前記搬送ユニットを大気雰囲気中から真空雰囲気中に搬入し、前記搬送ユニットを脱ガス室内で加熱して脱ガス処理した後、バッファ室内に搬入し、バッファ室内の圧力を低下させた後、前記バッファ室と処理室とを接続し、前記搬送ユニットを前記処理室内に搬入し、前記搬送ユニット内の前記処理対象物を真空処理する真空処理方法であって、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にし、前記処理室内の圧力を1Pa未満にする真空処理方法である。
また、本発明は、前記処理室内でMgO蒸気を発生させ、前記処理対象物表面にMgO薄膜を形成する真空処理方法である。
上記実施例とは真空排気装置が異なる他は同じ構成の比較例の真空処理装置を用いたときの手順を説明する。
Claims (13)
- 基板加熱機構を有する脱ガス室と、基板の真空処理を行う処理室とを有し、
前記脱ガス室と前記処理室とは真空雰囲気に置かれ、前記脱ガス室内で加熱されて脱ガス処理された処理対象物が前記処理室内に搬入され、前記処理室内で真空処理される真空処理装置であって、
前記脱ガス室に接続された脱ガス室用真空排気装置の排気速度は、前記処理室に接続された処理室用真空排気装置の排気速度よりも小さくされた真空処理装置。 - 前記脱ガス室用真空排気装置の到達圧力は、前記処理室用真空排気装置の到達圧力よりも高い真空ポンプが用いられた請求項1記載の真空処理装置。
- 前記処理室にはMgO蒸着源が配置され、前記MgO蒸着源からMgO蒸気が放出され、前記処理対象物の表面にMgO薄膜が形成される請求項1記載の真空処理装置。
- 複数の前記脱ガス室を有し、前記各脱ガス室は直列に接続され、前記処理対象物は前記各脱ガス室で脱ガス処理された後、前記処理室に移動される請求項1記載の真空処理装置。
- 前記脱ガス室用真空排気装置は、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にする排気速度を有し、
前記処理室用真空排気装置は前記処理室内の圧力を1Pa未満にする真空排気速度を有する請求項1記載の真空処理装置。 - 基板加熱機構を有する脱ガス室と、前記脱ガス室に接続されたバッファ室と、前記バッファ室に接続された処理室とを有し、前記脱ガス室と前記バッファ室と前記処理室は真空雰囲気に置かれ、前記脱ガス室内で加熱されて脱ガス処理された処理対象物が前記バッファ室を通って前記処理室内に搬入され、前記処理室内で真空処理される真空処理装置であって、
前記脱ガス室に接続された脱ガス室用真空排気装置の排気速度は、前記バッファ室に接続されたバッファ室用真空排気装置の排気速度よりも小さくされた真空処理装置。 - 前記脱ガス室用真空排気装置の排気速度は、前記処理室に接続された処理室用真空排気装置の排気速度よりも小さくされた請求項6記載の真空処理装置。
- 前記脱ガス室用真空排気装置の到達圧力は、前記バッファ室用真空排気装置の到達圧力よりも高い真空ポンプが用いられた請求項6記載の真空処理装置。
- 前記処理室にはMgO蒸着源が配置され、前記MgO蒸着源からMgO蒸気が放出され、前記処理対象物の表面にMgO薄膜が形成される請求項6記載の真空処理装置。
- 複数の前記脱ガス室を有し、前記各脱ガス室は直列に接続され、前記処理対象物は前記各脱ガス室で脱ガス処理された後、前記バッファ室に移動される請求項6記載の真空処理装置。
- 前記脱ガス室用真空排気装置は、前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にする排気速度を有し、
前記バッファ室用真空排気装置は前記バッファ室内の圧力を1Pa未満にする真空排気速度を有する請求項6記載の真空処理装置。 - 処理対象物をキャリアに装着して搬送ユニットとし、前記搬送ユニットを大気雰囲気中から真空雰囲気中に搬入し、前記搬送ユニットを脱ガス室内で加熱して脱ガス処理した後、バッファ室内に搬入し、バッファ室内の圧力を低下させた後、前記バッファ室と処理室とを接続し、前記搬送ユニットを前記処理室内に搬入し、前記搬送ユニット内の前記処理対象物を真空処理する真空処理方法であって、
前記脱ガス室内の圧力を1Pa以上100Pa以下の圧力雰囲気にし、前記処理室内の圧力を1Pa未満にする真空処理方法。 - 前記処理室内でMgO蒸気を発生させ、前記処理対象物表面にMgO薄膜を形成する請求項12記載の真空処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010523860A JP5583580B2 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008201693 | 2008-08-05 | ||
JP2008201693 | 2008-08-05 | ||
JP2010523860A JP5583580B2 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 真空処理装置 |
PCT/JP2009/063799 WO2010016484A1 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 真空処理装置、真空処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010016484A1 true JPWO2010016484A1 (ja) | 2012-01-26 |
JP5583580B2 JP5583580B2 (ja) | 2014-09-03 |
Family
ID=41663701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010523860A Expired - Fee Related JP5583580B2 (ja) | 2008-08-05 | 2009-08-04 | 真空処理装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20110143033A1 (ja) |
JP (1) | JP5583580B2 (ja) |
KR (1) | KR101252948B1 (ja) |
CN (1) | CN102112646A (ja) |
DE (1) | DE112009001885T5 (ja) |
TW (1) | TWI452165B (ja) |
WO (1) | WO2010016484A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011004441B4 (de) * | 2011-02-21 | 2016-09-01 | Ctf Solar Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von auf Transformationstemperatur temperierten Glassubstraten |
DE102015001167A1 (de) | 2015-02-02 | 2016-08-04 | Entex Rust & Mitschke Gmbh | Entgasen bei der Extrusion von Kunststoffen |
DE102017001093A1 (de) | 2016-04-07 | 2017-10-26 | Entex Rust & Mitschke Gmbh | Entgasen bei der Extrusion von Kunststoffen mit Filterscheiben aus Sintermetall |
JP6558642B2 (ja) * | 2016-08-26 | 2019-08-14 | トヨタ自動車株式会社 | プラズマ成膜方法 |
DE102017004563A1 (de) | 2017-03-05 | 2018-09-06 | Entex Rust & Mitschke Gmbh | Entgasen beim Extrudieren von Polymeren |
DE102018001412A1 (de) | 2017-12-11 | 2019-06-13 | Entex Rust & Mitschke Gmbh | Entgasen beim Extrudieren von Stoffen, vorzugsweise von Kunststoffen |
DE102018115410A1 (de) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Vakuumanordnung und Verfahren |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4650919A (en) * | 1984-08-01 | 1987-03-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Thermoelectric generator and method for the fabrication thereof |
US4897290A (en) * | 1986-09-26 | 1990-01-30 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd. | Method for manufacturing the substrate for liquid crystal display |
JP3444793B2 (ja) * | 1998-08-28 | 2003-09-08 | 松下電器産業株式会社 | ガス放電パネルの製造方法 |
US7077159B1 (en) * | 1998-12-23 | 2006-07-18 | Applied Materials, Inc. | Processing apparatus having integrated pumping system |
US6767832B1 (en) * | 2001-04-27 | 2004-07-27 | Lsi Logic Corporation | In situ liner barrier |
JP4704605B2 (ja) * | 2001-05-23 | 2011-06-15 | 淳二 城戸 | 連続蒸着装置、蒸着装置及び蒸着方法 |
US6672864B2 (en) * | 2001-08-31 | 2004-01-06 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for processing substrates in a system having high and low pressure areas |
JP2003183827A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-03 | Yamaguchi Technology Licensing Organization Ltd | 薄膜作製装置 |
JP4452029B2 (ja) * | 2003-03-24 | 2010-04-21 | 株式会社アルバック | 酸化マグネシウム被膜の形成方法及び大気リターン型のインライン式真空蒸着装置 |
US20040206306A1 (en) * | 2003-04-17 | 2004-10-21 | Frank Lin | Deposition station for forming a polysilicon film of low temperature processed polysilicon thin film transistor |
US7531205B2 (en) | 2003-06-23 | 2009-05-12 | Superpower, Inc. | High throughput ion beam assisted deposition (IBAD) |
JP4667057B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2011-04-06 | キヤノン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
JP5014603B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2012-08-29 | 株式会社アルバック | 真空処理装置 |
JP2007131883A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置 |
JP4596005B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2010-12-08 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
JP2007317488A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Ulvac Japan Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネルの製造装置 |
US8915121B2 (en) * | 2006-12-28 | 2014-12-23 | Agency For Science, Technology And Research | Encapsulated device with integrated gas permeation sensor |
-
2009
- 2009-08-04 CN CN2009801308214A patent/CN102112646A/zh active Pending
- 2009-08-04 WO PCT/JP2009/063799 patent/WO2010016484A1/ja active Application Filing
- 2009-08-04 DE DE112009001885T patent/DE112009001885T5/de not_active Withdrawn
- 2009-08-04 KR KR1020117002447A patent/KR101252948B1/ko active IP Right Grant
- 2009-08-04 JP JP2010523860A patent/JP5583580B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-08-05 TW TW098126367A patent/TWI452165B/zh active
-
2011
- 2011-01-31 US US13/017,519 patent/US20110143033A1/en not_active Abandoned
- 2011-11-29 US US13/306,477 patent/US20120114854A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201020335A (en) | 2010-06-01 |
JP5583580B2 (ja) | 2014-09-03 |
WO2010016484A1 (ja) | 2010-02-11 |
US20110143033A1 (en) | 2011-06-16 |
CN102112646A (zh) | 2011-06-29 |
TWI452165B (zh) | 2014-09-11 |
KR101252948B1 (ko) | 2013-04-15 |
US20120114854A1 (en) | 2012-05-10 |
KR20110025233A (ko) | 2011-03-09 |
DE112009001885T5 (de) | 2011-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5583580B2 (ja) | 真空処理装置 | |
KR100992937B1 (ko) | 진공 처리 장치 | |
JP4916140B2 (ja) | 真空処理システム | |
EP3427291B1 (en) | Chamber for degassing substrates | |
KR20100065127A (ko) | 진공 처리 시스템 및 기판 반송 방법 | |
KR101327715B1 (ko) | 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법, 그리고 기판 처리 장치 | |
JP2008297584A (ja) | 成膜装置 | |
TWI633579B (zh) | Hard mask forming method and hard mask forming device | |
JP4472005B2 (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
JP6852040B2 (ja) | 半導体製造装置部品の洗浄装置、半導体製造装置部品の洗浄方法、及び半導体製造装置部品の洗浄システム | |
TWI700764B (zh) | 裝載鎖定裝置中的基板冷卻方法、基板搬運方法及裝載鎖定裝置 | |
JP6640759B2 (ja) | 真空処理装置 | |
JP2005019739A (ja) | 被処理体の搬送方法 | |
JP2005259858A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2010225847A (ja) | 真空処理装置,減圧処理方法,基板処理方法 | |
JP4452029B2 (ja) | 酸化マグネシウム被膜の形成方法及び大気リターン型のインライン式真空蒸着装置 | |
KR101632043B1 (ko) | 로드록 장치 및 이를 구비한 진공처리장치 | |
JP2003306771A (ja) | グローブボックス付き成膜装置 | |
TWI714836B (zh) | 成膜裝置及成膜方法 | |
JP2001185598A (ja) | 基板処理装置 | |
JP6075611B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP6336146B2 (ja) | インライン式成膜装置、および、成膜方法 | |
TW200528374A (en) | Transfer system | |
JP2004111788A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2009224799A (ja) | 基板処理装置およびそれを用いた基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130409 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130607 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130607 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131101 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20131101 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140425 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140515 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140526 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140715 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140716 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5583580 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |